JPH0678690U - 配管ブロック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案に係る配管ブロックは、位置合わせ作
業を合理化できる。 【構成】 本考案に係る配管ブロック１は、流体の流れ
る方向を変更して他の配管ブロック２へ当該流体を送出
する排出口８と、当該他の配管ブロック２から前記流体
の流入を受ける流入口９とを備えさせ、前記他の配管ブ
ロック２との間との関係においては、前記排出口８と前
記流入口９とが同一面に形成されている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体製造工程等に適用される配管系に好適な配管ブロックに関 するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の配管ブロックを用いて、マスフローコントローラにより流量制御を行う ようにしたシステムを図９に示す。配管ブロック３０２には、破線で示される流 路が設けられ、この流路は上方のマスフローコントローラ３０４側へ屈折してお り、流体は流量制御を受け、再び配管ブロック３０２の流路へ戻る。配管ブロッ ク３０２の上流側と下流側にはそれぞれ配管ブロック３０１、３０２が接続され 流体は、管との接続部３０５から到来し、図の破線の経路を流れる。バルブ３０ ６は接続部３０５から到来する流体の流路を開閉し、バルブ３０７は図示しない が、図の下方からの破線によりシンボル化された流入口からと到来する流体の流 路を開閉する。また、配管ブロック３０３のバルブ３０８、３０９はそれぞれ図 の破線の２つの出口の内、いずれか一方を選択するためのバルブである。この様 な構成の配管ブロックによるシステムでは、配管ブロック３０１〜３０３のそれ ぞれの接続部で位置合わせが必要であり、３つの配管ブロックがねじれないよう に接続する作業が煩わしいものであった。つまり、排出口側と流入口側とで、別 々の位置合わせ作業で全体をねじれないようにする作業が必要であった。

【０００３】 また、図１０に示されるように配管ブロック３０２の上流側と下流側とに、そ れぞれ下方に口が設けられた配管ブロック３２３、３２４を接続し、共に上方に 口が設けられた配管ブロック３２１と配管ブロック３２２とをそれぞれに接続し たシステムも知られている。図１０の３２６、３２７、３２９〜３３２はバルブ を示す。係る構成では、配管ブロックが多くなっているので、これらの間の位置 合わせ作業が煩わしくなるという問題点が生じていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記に対し、配管ブロック３０１〜３０３、或いは配管ブロック３０２、３２ ３、３２４を一体化して配管ブロックとすることも考え得るが、いずれの場合に おいても、故障時のメンテナンス性が悪く、また配管ブロックが図の横方向に広 がり、配管システムにおいては、大きな配管のクリアランスを要し好ましくない ものであった。

【０００５】 本考案は上記に示した従来の配管システムにおける配管ブロックの問題点を解 決せんとしてなされたもので、その目的は、配管ブロック間の位置合わせが容易 な配管ブロックを提供することであり、また、配管ブロック同志を接続するとき に、配管のクリアランスを少なくできる配管ブロックを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

そこで本考案では、流体の流れる方向を変更して他の配管ブロックへ当該流体 を送出する排出口と、当該他の配管ブロックから前記流体の流入を受ける流入口 とを備えさせ、前記他の配管ブロックとの間との関係においては、前記排出口と 前記流入口とを同一面に形成させて、配管ブロックを構成した。

【０００７】

【作用】

上記構成によると、配管ブロック相互においては、必ず同一面において排出口 と流入口とが対向していることになり、配管ブロック相互の接続の場合に、この 面の接合さえ的確であれば良く、位置合わせの作業を合理化できる。配管ブロッ ク相互においては、必ず同一面において排出口と流入口とが対向していることに より、配管ブロックを順次に数多く接続する場合でも、従来のいわば横長になる 構成に比べて、積み重ねて縦長にするようにでき、従来のいわば横長になる構成 に比べて、配管のクリアランスを少なくし得るものである。

【０００８】

【実施例】

以下、添付図面を参照して、本考案の実施例を説明する。図１には、本考案の 実施例をマスフローコントローラ３による流量制御システムに適用した例が示さ れている。また、図２はマスフローコントローラ３の平面図を示し、図３はＡ− Ａ線断面図を示している。配管ブロック１は両端部に接続部４、５を有し、それ ぞれ配管系の管に接続される。接続部４の端部から流入路６が形成され、この流 入路６は上方に折れ曲って排出口８へと至る。また、接続部５の端部から内部方 向に流出路７が形成され、この流出路７は上方へ折れ曲がって流入口９へと至る 。配管ブロック１は直方体の形状をなしており、上記の排出口８と流入口９とは 同一面に形成されている。

【０００９】 配管ブロック１の上方には、配管ブロック２が載置されて両ブロックはネジ１ ０により固着されている。配管ブロック２も直方体の形状をなす。配管ブロック ２の左端部から穿設された穴はバイパス流路１１を構成する。このバイパス流路 １１の先端部は穴の径が絞られており、層流素子１２が設けられ、蓋１４へ至る 流路に配されたリングにより固定されている。バイパス流路１１からは穴１５が 上方のセンサ管１６へ延びている。このセンサ管の部分はマスフローコントロー ラ３を構成しており、例えば、本出願人の特許出願である特願平１−２９３８０ ４等に詳しく述べられている通りの構成を有する。センサ管１６を通った流体は 、配管ブロック２の穴１７からバイパス流路１１の層流素子１２の後端部に至る 。バイパス流路１１の先端の穴１８は上方に折れ曲がってピエゾバルブによる弁 室へ出る。

【００１０】 弁室では弁体２０がバネ１９により上方へ付勢されており、このピエゾバルブ はノーマリーオープンタイプとなっている。上記弁室からは配管ブロック２の穴 ２４が配管ブロック１の流入口９へ延びている。上記の構成において、配管ブロ ック１の排出口８に対向する穴部分は、流入口１３となっており、配管ブロック １の流入口９に対応する穴部分は排出口２５となっている。なお、２３はマスフ ローコントローラ３のケースを示し、２６はセンサケース、２７はピエゾバルブ のケース蓋を示す。各ケースは、図２に示されるように、ネジ止めされている。 また、穴相互の接続部分には、金属Ｏリングが介装され、シールされている。

【００１１】 以上の通りに構成された配管ブロックによるシステムでは、配管ブロック２に マスフローコントローラ３がセットされたユニットを、配管ブロック１に取り付 けるだけで、マスフローコントローラを配管系に取り付けることができる。つま り、位置合わせについては、両ブロックの対向面についてだけ考慮すれば良く、 位置合わせの作業を合理的に行うことができる。

【００１２】 図４には、他の実施例の構成が示されている。この実施例では、配管ブロック ２にマスフローコントローラ３を搭載させた構成であることは、図１の実施例と 変わらない。この実施例では、図１の配管ブロック１に代えて、配管ブロック３ ０に配管ブロック２を取り付けている。配管ブロック３０は、両側端に接続部３ １、３２を有し、接続部３１の端部から内部へ向かって延びる流入路はバルブ３ ３の開閉作用部を介して上方へ及びそのまま下方へ延び、それぞれ排出口３５、 ３７へ至る。また、接続部３２の端部から内部へ向かって延びる流入路はバルブ ３４の開閉作用部を介して上方及びそのまま下方へ延び、それぞれ流入口３６、 ３８へ至る。配管ブロック３０もバルブ３３、３４の取り付け部分を除き、直方 体状をなし、排出口３５と流入口３６、排出口３７と流入口３８とは、それぞれ 、配管ブロック２、配管ブロック４０に対向する同一面に構成されている。

【００１３】 一方、配管ブロック４０は、その左側面図が図５に示される。図４、図５から 明白なように配管ブロック４０も直方体状をなし、配管ブロック３０の排出口３ ７に対応する位置に流入口４５が形成され、配管ブロック４０の流入口３８に対 応する位置に排出口４６を有する。流入口４５及び排出口４６は配管ブロック３ ０に対し、同一面に形成されている。流入口４５から内部へ延びる流路は、バル ブ４１の開閉作用部を介して、配管ブロック４０の正面及び裏面に設けられた接 続部４３、４４へ至る。また、排出口４６から内部へ向かって延びる流路は、バ ルブ４２の開閉作用部を介して、配管ブロック４０の正面及び裏面に設けられた 接続部４３、４４へ至る。配管ブロック２、３０、４０はボルト等により固着さ れる。また、各配管ブロックにおける穴相互の接続部分には、金属Ｏリングが介 装され、シールされている。

【００１４】 以上のように構成されたシステムにおいては、配管ブロック２と配管ブロック ３０とが１つの面により、また、配管ブロック３０と配管ブロック４０とが１つ の面により、それぞれ接合される。つまり、各配管ブロック間は１面を介して接 合されるだけで、従来の数ブロックによる配管系を構成できる。つまり、位置合 わせについては、両ブロックの対向面についてだけ考慮すれば良く、位置合わせ の作業を合理的に行うことができる。更に、排出口と流入口の組を設けた１面の 対向面に他のブロックに対する排出口と流入口の組を設けているので、図の横方 向に配管ブロックが広がることなく、この方向において、配管のクリアランスを 少なくできる。

【００１５】 この実施例では、通常状態において、バルブ４１、４２が閉じられ、バルブ３ ３、３４が開かれる。そして、流体は、接続部３１から排出口３５を介してバイ パス流路１１へと至り、マスフローコントローラ３による流量制御を受け、再び 配管ブロック３０の流入口３６へと戻る。流入口３６へ到来した流体は接続部３ ２から排出される。これに対し、マスフローコントローラ３の異常によりバイパ ス流路１１を介して流体が流れなくなると、バルブ４１、４２を開き、配管ブロ ック４０を介して接続部３１、３２間の流路を接続する。この経路は、ガスパー ジ用の経路としても用いられる。なお、接続部４３、４４は、流体の予備的な流 入口、流出口として、或いは、ガスパージ時のガス残量確認用の測定器を接続す るポートとして、用いられる。

【００１６】 図６には、上記図４の実施例を４ユニット用いて構成したガスフローシステム のブロック図が、図７にはそのシグナルフローが示されている。シグナルフロー のバルブにおいてはハッチングされている方向からハッチングのなされていない 方向へ流体が流れることを示す。他の実施例では、各ユニットの接続部４３，４ ４間が接続されるが、この実施例では、４つの配線ブロック３０を共通に搭載可 能な大型の破線で示されるような配線ブロック４０Ａにより構成され、流体の予 備的な流入口、流出口として、或いは、ガスパージ時のガス残量確認用の測定器 を接続するポート（４３，４４）が一本化されている。ハイフンを付した符号に より図４、図５と同一構成要素が示してある各ユニットは、独立して１ユニット ずつ或いは複数ユニット同時にガスが流され、例えば、半導体の製作が効率的に なされ得る。

【００１７】 図８には、他の実施例が示されている。この例では、それぞれ直方体状の各配 管ブロック２、６０、７０Ａ、７０Ｂには、実線によりシンボル化されて示され る通りの流体流路があり、接合される配管ブロック相互においては、排出口と流 入口とが同一面に設けられ、対向するようにされている。配管ブロック６０には 接続部６１、６２が設けられている。配管ブロック７０Ａ、７０Ｂにはそれぞれ 、バルブ７１Ａ、７１Ｂが設けられている。

【００１８】 この実施例は、図９の従来例に対応するものであるが、各配管ブロック間は１ 面を介して接合されるだけで、従来の数ブロックによる配管系を構成できる。つ まり、位置合わせについては、両ブロックの対向面についてだけ考慮すれば良く 、位置合わせの作業を合理的に行うことができる。

【００１９】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、配管ブロック相互においては、必ず同 一面において排出口と流入口とが対向していることになり、配管ブロック相互の 接続の場合に、この面の接合さえ的確であれば良く、位置合わせの作業を合理化 できる。また、配管ブロックを順次に数多く接続する場合でも、従来のいわば横 長になる構成に比べて、積み重ねて縦長にするようにでき、従来の構成に比べて 、配管のクリアランスを少なくし得る効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例により構成された流体流量制御
システムの構成図。

【図２】図１の要部の平面図。

【図３】図１のＡ−Ａ線断面図。

【図４】本考案の他の実施例により構成された流体流量
制御システムの構成図。

【図５】図４の要部の側面図。

【図６】図４のシステムを複数用いて構成したガスフロ
ーシステムのブロック図。

【図７】図６のシグナルフローを示す図。

【図８】本考案の他の実施例により構成された流体流量
制御システムのブロック図。

【図９】従来例を示す図。

【図１０】従来例を示す図。

【符号の説明】

１、２、３０、４０、６０、７０Ａ、７０Ｂ 配管ブロ
ック ３ マスフローコントローラ ８、２５、３５、３７ 流出口 １１ バイ
パス流路 １３、１９、３６、３８ 流入口 ３３、３
４、４１、４２ バルブ

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 配管系に用いられ、流体の流れる方向を
   変更して他の配管ブロックへ当該流体を送出する排出口
   と、当該他の配管ブロックから前記流体の流入を受ける
   流入口とを備える配管ブロックであって、 前記他の配管ブロックとの間との関係においては、前記
   排出口と前記流入口とが同一面に形成されていることを
   特徴とする配管ブロック。
2. 【請求項２】 配管ブロックには、マスフローコントロ
   ーラのバイパス流路が形成されていることを特徴とする
   請求項１記載の配管ブロック。
3. 【請求項３】 配管ブロックには、流路を開閉するバル
   ブが設けられていることを特徴とする請求項１または請
   求項２に記載の配管ブロック。
4. 【請求項４】 配管ブロックには、管と接続するための
   接続部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至
   請求項３のいずれか１項に記載の配管ブロック。