KR101560962B1 - 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치 - Google Patents

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무츠노리 고요모기
메구무 마키노
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가부시키가이샤 후지킨
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Abstract

본 발명은 유체 제어 장치의 대폭적인 개조를 행하지 않으면서, 라인간에 상이한 퍼지 가스의 공급을 가능하게 하기 위한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 이러한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트를 구비한 유체 제어 장치를 제공한다. 본 발명의 유체 제어 장치에서는, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)가 접속되어 있다. 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)는, 3방향 밸브용 통로부의 프로세스 가스용 입구 통로(7a)에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와, 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와 3방향 밸브용 통로부의 출구 통로(8a)를 연통하는 출구 통로(5b)와, 3방향 밸브용 통로부의 퍼지 가스용 입구 통로(9a)에 연통되지 않고 이것을 폐지하는 통로 폐지부(5c)와, 출구 통로(5b)에 연통되고 상면에 개구하는 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d)를 갖는다.

Description

퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치{PURGE LINE CHANGE BLOCK JOINT AND FLUID CONTROL DEVICE}
본 발명은, 복수의 유체 제어 기기가 집적화되어 형성되는 유체 제어 장치에서 사용되는 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 이러한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트를 구비한 유체 제어 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에서 사용되는 유체 제어 장치에서는, 복수의 유체 제어 기기가 인접하게 배치되어 지지 부재에 부착된 라인을 베이스 부재 상에 병렬형으로 설치함으로써, 파이프나 조인트를 개재하지 않고 유체 제어 장치를 구성하는 집적화가 진행되고 있다. 특허문헌 1에는, 이러한 유체 제어 장치에 있어서, 매니폴드 블록 조인트를 사용하는 것이 개시되어 있다.
도 4 내지 도 6에, 본 발명의 유체 제어 장치가 대상으로 하는 종래의 유체 제어 장치를 도시한다.
종래의 유체 제어 장치는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 복수(도시는 3개만)의 라인(P1, P2, P3)을 갖고 있다.
각 라인(P1, P2, P3)은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 상단(上段)에 배치된 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4)와, 하단(下段)에 배치되어 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4)를 지지하는 복수의 이음 부재(6, 7, 8, 9)를 구비한다. 각 라인(P1, P2, P3)은, 복수의 이음 부재(6, 7, 8, 9)로서, 각각 상면에 개구하는 V자형 통로(6a, 7a, 8a)를 갖는 3개의 블록 조인트(6, 7, 8)와, 상면에 개구하는 복수의 라인간 접속용 분기 통로(9a)를 갖는 매니폴드 블록 조인트(9)를 구비한다.
각 유체 제어 기기(2, 3, 4)는, 대응하는 이음 부재(6, 7, 8, 9)에 볼트(10)에 의해 고정되어 있다.
각 라인(P1, P2, P3)은, 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4)로서, 매스 플로우 컨트롤러(2)와, 매스 플로우 컨트롤러(2)의 바로 상류측에 배치된 3방향 밸브(3)와, 3방향 밸브(3)의 바로 상류측에 배치된 2방향 밸브(4)를 구비한다.
2방향 밸브(4)에는, 하면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 가스 입구 통로(4a) 및 프로세스 가스용 가스 출구 통로(4b)가 마련되고, 3방향 밸브(3)에는, 하면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 가스 입구 통로(3a), 퍼지 가스용 입구 통로(3b) 및 양(兩) 가스 공용의 출구 통로(3c)가 마련되어 있다.
3방향 밸브(3)는, 2개의 블록 조인트(7, 8)와, 3개의 라인(P1, P2, P3)에 공통의 하나의 매니폴드 블록 조인트(9)의 일부에 의해 지지되어 있다. 이렇게 하여, 3방향 밸브(3)는, 총 3개의 블록 조인트(7, 8, 9)에 의해 지지되어 있고, 이들 블록 조인트(7, 8, 9)에 의해, 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로(7a), 퍼지 가스용 입구 통로(9a) 및 양(兩) 가스 공용의 출구 통로(8a)를 포함하는 3방향 밸브용 통로부가 형성되어 있다.
이 유체 제어 장치의 각 라인(P1, P2, P3)에서는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 2방향 밸브(4)로부터 3방향 밸브(3)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 프로세스 가스 통로와, 매니폴드 블록 조인트(9)의 각 퍼지 가스용 입구 통로(9a)로부터 3방향 밸브(3)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 퍼지 가스(예컨대 질소 N2 가스) 통로가 형성되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 출원 공개 제2001-254900호 공보
상기 종래의 유체 제어 장치에 의하면, 매니폴드 블록 조인트를 사용함으로써, 배관이 간소화되어 메인터넌스가 용이해지는 이점을 갖고 있지만, 이 경우 각 라인에서 퍼지 가스로서 사용하는 가스종을 동일하게 하는 것이 필요하며, 예컨대 어떤 라인에 대해서는, 질소 가스를 퍼지 가스로서 공급하고, 다른 라인에 대해서는, 다른 가스(예컨대 아르곤 가스)를 퍼지 가스로서 공급할 수 없게 된다. 라인간에 퍼지 가스를 상이한 것으로 하기 위해서는, 유체 제어 장치의 대폭적인 개조가 필요하다고 하는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 유체 제어 장치의 대폭적인 개조를 행하지 않고, 라인간에 상이한 퍼지 가스의 공급을 가능하게 하기 위한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 이러한 퍼지 라인 변경용 블록 조인트를 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 퍼지 라인 변경용 블록 조인트는, 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양(兩) 가스 공용의 출구 통로를 형성하는 하단 이음 부재의 상측에 접속되는 퍼지 라인 변경용 블록 조인트로서, 하단 이음 부재의 프로세스 가스용 입구 통로에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로와, 프로세스 가스용 입구 통로와 하단 이음 부재의 출구 통로를 연통하는 출구 통로와, 하단 이음 부재의 퍼지 가스용 입구 통로에 연통되지 않고 이것을 폐지(閉止)하는 통로 폐지부와, 출구 통로에 연통되는 신규 퍼지 가스용 입구 통로를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
하단 이음 부재는, 특별히 한정되는 것이 아니지만, 통상적으로, 복수의 블록 조인트를 포함하는 것으로 되고, 예컨대 프로세스 가스용 입구 통로를 갖는 블록 조인트, 퍼지 가스용 입구 통로를 갖는 블록 조인트 및 양 가스 공용의 출구 통로를 갖는 블록 조인트를 포함하는 것으로 된다.
본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 하나의 라인이, 상단에 배치된 유량 제어기, 2방향 밸브 및 3방향 밸브와, 하단에 배치된 복수의 이음 부재를 가지며, 복수의 라인이 병렬형으로 배치되고, 하단에 배치되어 복수의 라인 중 적어도 2개를 접속하는 이음 부재로서의 매니폴드 블록 조인트가 마련되어 있으며, 3방향 밸브의 하측에 배치된 복수의 이음 부재는, 각 라인마다 마련된 블록 조인트 또는 매니폴드 블록 조인트의 일부에 의해, 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양 가스 공용의 출구 통로를 포함하는 3방향 밸브용 통로부를 형성하고 있고, 3방향 밸브는, 하면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 가스 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양 가스 공용의 출구 통로를 가지며, 3방향 밸브에 의해, 퍼지 가스가 유량 제어기에 보내지도록 이루어져 있는 유체 제어 장치에 있어서, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서는, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 3방향 밸브가 접속되어 있고, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서는, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 퍼지 라인 변경용 블록 조인트가 접속되어 있으며, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트는, 3방향 밸브용 통로부의 프로세스 가스용 입구 통로에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로와, 프로세스 가스용 입구 통로와 3방향 밸브용 통로부의 출구 통로를 연통하는 출구 통로와, 3방향 밸브용 통로부의 퍼지 가스용 입구 통로에 연통되지 않고 이것을 폐지하는 통로 폐지부와, 출구 통로에 연통되는 신규 퍼지 가스용 입구 통로를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명의 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치에 의하면, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트는, 하단 이음 부재(3방향 밸브용 통로부)의 프로세스 가스용 입구 통로에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로와, 프로세스 가스용 입구 통로와 하단 이음 부재(3방향 밸브용 통로부)의 출구 통로를 연통하는 출구 통로와, 하단 이음 부재(3방향 밸브용 통로부)의 퍼지 가스용 입구 통로에 연통되지 않고 이것을 폐지하는 통로 폐지부와, 출구 통로에 연통되고 상면에 개구하는 신규 퍼지 가스용 입구 통로를 갖기 때문에, 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양 가스 공용의 출구 통로를 포함하는 3방향 밸브용 통로부를 형성하고 있는 하단 이음 부재의 상측에 접속할 수 있다. 따라서, 3방향 밸브용 통로부를 형성하고 있는 하단 이음 부재의 상측에 접속되어 있는 3방향 밸브를 이 퍼지 라인 변경용 블록 조인트로 치환함으로써, 종래의 퍼지 가스 통로가 퍼지 라인 변경용 블록 조인트의 통로 폐지부에 의해 폐지되어, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트의 신규 퍼지 가스용 입구 통로로부터 상이한 종류의 퍼지 가스가 도입 가능해진다. 이 상이한 종류의 퍼지 가스의 추가를 위해 행하는 작업은, 볼트를 풀어 3방향 밸브를 탈거하고, 탈거한 장소에, 볼트로 퍼지 라인 변경용 블록 조인트를 부착하는 것만으로도 좋고, 유체 제어 장치의 대폭적인 개조는 불필요하다.
유량 제어기, 2방향 밸브 및 3방향 밸브는, 라인을 구성하는 유체 제어 기기의 일부이며, 각 라인에는, 유량 제어기, 2방향 밸브 및 3방향 밸브 외에, 감압 밸브, 압력 및 유량의 측정 및 표시기, 필터 등이 필요에 따라 적절하게 배치된다. 유량 제어기로서는, 매스 플로우 컨트롤러와 같은 열식(熱式) 질량 유량 제어 장치나 압력식 유량 제어 장치 등이 사용된다.
또한, 본 명세서에서, 상하는 도 2의 상하를 말하는 것으로 하지만, 이 상하는 편의적인 것으로, 본 발명의 유체 제어 장치는, 수평 및 수직 중 어디에서의 사용도 가능하다.
본 발명의 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치에 의하면, 3방향 밸브용 통로부를 형성하고 있는 하단 이음 부재의 상측에 접속되어 있는 3방향 밸브를 이 퍼지 라인 변경용 블록 조인트로 치환함으로써, 유체 제어 장치의 대폭적인 개조를 행하지 않고, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트의 신규 퍼지 가스용 입구 통로로부터 상이한 종류의 퍼지 가스를 도입할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 퍼지 라인 변경용 블록 조인트 및 유체 제어 장치의 실시형태를 도시하는 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 하나의 라인을 도시하는 통로 부분을 단면으로 한 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치에서의 가스의 흐름을 도시하는 흐름도이다.
도 4는 종래의 유체 제어 장치를 도시하는 평면도이다.
도 5는 종래의 유체 제어 장치의 하나의 라인을 도시하는 통로 부분을 단면으로 한 측면도이다.
도 6은 종래의 유체 제어 장치에서의 가스의 흐름을 도시하는 흐름도이다.
본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 유체 제어 장치의 주요부를 도시한다. 유체 제어 장치(1)는, 반도체 제조 장치 등에서 이용되는 것으로, 도 1에 도시하는 바와 같이, 복수(제1에서 제3까지 도시)의 라인(P1, Q, P3)을 갖는다.
각 라인(P1, Q, P3)은, 상단에 배치된 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5)와, 하단에 배치되어 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5)를 지지하는 복수의 이음 부재(6, 7, 8, 9)를 구비한다. 각 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5)는, 대응하는 이음 부재(6, 7, 8, 9)에 볼트(10)에 의해 고정되어 있다.
각 라인(P1, Q, P3)은, 복수의 이음 부재(6, 7, 8, 9)로서, 각각 상면에 개구하는 V자형 통로(6a, 7a, 8a)를 갖는 3개의 블록 조인트(6, 7, 8)와, 상면에 개구하는 복수의 라인간 접속용 분기 통로(9a)를 갖는 매니폴드 블록 조인트(9)를 구비한다.
제1 및 제3 라인(P1, P3)은, 도 5에 도시한 라인(P1)과 동일한 구성으로 되어 있고, 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4)로서, 매스 플로우 컨트롤러(유량 제어기)(2)와, 매스 플로우 컨트롤러(2)의 바로 상류측에 배치된 3방향 밸브(3)와, 3방향 밸브(3)의 바로 상류측에 배치된 2방향 밸브(4)를 구비한다.
제2 라인(Q)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 복수의 유체 제어 기기(2, 4, 5)로서, 매스 플로우 컨트롤러(2)와, 매스 플로우 컨트롤러(2)의 바로 상류측에 배치된 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)와, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)의 바로 상류측에 배치된 2방향 밸브(4)를 구비한다. 즉, 제2 라인(Q)은, 제1 및 제3 라인(P1, P3)에서의 3방향 밸브(3)가 본 발명의 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)로 치환한 것으로 되어 있다.
매스 플로우 컨트롤러(2), 3방향 밸브(3), 2방향 밸브(4) 및 하단에 배치된 블록 조인트(6, 7, 8, 9)는, 도 5에 도시하는 것과 동일한 것으로 되어 있다. 즉, 2방향 밸브(4)에는, 하면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 가스 입구 통로(4a) 및 프로세스 가스용 가스 출구 통로(4b)가 마련되고, 3방향 밸브(3)(도 5 참조)에는, 하면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 가스 입구 통로(3a), 퍼지 가스용 입구 통로(3b) 및 양 가스 공용의 출구 통로(3c)가 마련되어 있다. 3방향 밸브(3)에서는, 프로세스 가스용 입구 통로(3a)와 출구 통로(3c)가 항상 연통해 있고, 3방향 밸브(3)의 위치를 전환함으로써, 퍼지 가스용 입구 통로(3b)와 출구 통로(3c)가 연통 또는 차단된다.
2방향 밸브(4)는, 2개의 블록 조인트(6, 7)에 의해 지지되어 있고, 3방향 밸브(3)는, 2개의 블록 조인트(7, 8)와, 3개의 라인(P1, Q, P3)에 공통의 하나의 매니폴드 블록 조인트(9)의 일부에 의해 지지되어 있다. 이렇게 하여, 3방향 밸브(3)는, 총 3개의 블록 조인트(7, 8, 9)에 의해 지지되어 있고, 이들 블록 조인트(7, 8, 9)에 의해, 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로(7a), 퍼지 가스용 입구 통로(9a) 및 양 가스 공용의 출구 통로(8a)를 포함하는 3방향 밸브용 통로부가 형성되어 있다.
퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)는, 평면에서 봤을 때(도 1) 사각형이고 측면에서 봤을 때(도 2) 대략 사각형이며 정면에서 봤을 때(도시 생략) 중앙부가 볼록한 블록형을 이루며, 도 1에 도시하는 바와 같이, 그 양 가장자리의 낮아져 있는 부분이 볼트(10)에 의해 대응하는 블록 조인트(7, 8, 9)에 부착되어 있다.
퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 3방향 밸브용 통로부의 프로세스 가스용 입구 통로(7a)에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와, 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와 3방향 밸브용 통로부의 출구 통로(8a)를 연통하는 양 가스 공용의 출구 통로(5b)와, 3방향 밸브용 통로부의 퍼지 가스용 입구 통로(9a)에 연통되지 않고 이것을 폐지하는 통로 폐지부(5c)와, 출구 통로(5b)에 연통되고 상면에 개구하는 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d)를 갖는다. 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d)에는, 외부 배관이 접속 가능하도록 원통형의 돌출부(5e)가 마련되어 있다. 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d)는, 프로세스 가스용 입구 통로(5a)와도 연통되어 있고, 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d), 프로세스 가스용 입구 통로(5a) 및 출구 통로(5b)는, 측면에서 봤을 때 역 Y자형을 이루고 있다.
이 유체 제어 장치(1)에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 및 제3 라인(P1, P3)에서는, 종래와 마찬가지로, 2방향 밸브(4)로부터 3방향 밸브(3)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 프로세스 가스 통로와, 매니폴드 블록 조인트(9)의 각 퍼지 가스용 입구 통로(9a)로부터 3방향 밸브(3)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 퍼지 가스(예컨대 질소 N2 가스) 통로가 형성되어 있다.
퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)를 사용하고 있는 것에 의해, 제2 라인(Q)에서는, 2방향 밸브(4)로부터 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)의 프로세스 가스용 입구 통로(5a) 및 출구 통로(5b)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 프로세스 가스 통로가 형성되어 있다. 매니폴드 블록 조인트(9)의 퍼지 가스용 입구 통로(9a)로부터 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 통로[제1 및 제3 라인(P1, P3)과 같은 퍼지 가스 통로]에 대해서는, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)에 통로 폐지부(5c)가 마련되어 있고, 통로 폐지부(5c)가 퍼지 가스용 입구 통로(9a)를 폐지함으로써, 매니폴드 블록 조인트(9)로부터의 퍼지 가스의 도입이 멈춰진다. 그리고, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)에는, 양 가스 공용의 출구 통로(5b)에 연통되고 상면에 개구하는 신규 퍼지 가스용 입구 통로(5d)가 마련되어 있기 때문에, 이것을 사용함으로써, 매니폴드 블록 조인트(9)와는 상이한 계통으로 퍼지 가스(여기서는 아르곤 Ar 가스)가 도입 가능하게 되고, 이에 의해, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)를 경유하여 매스 플로우 컨트롤러(2)에 이르는 Ar 퍼지 가스 통로가 형성되어 있다.
이렇게 하여, 모든 라인(P1, Q, P3)에서, 프로세스 가스와 퍼지 가스가 매스 플로우 컨트롤러(2)에 도입된다. 그리고, 퍼지 가스에 대해서는, 매니폴드 블록 조인트(9)를 통해, 2개의 라인(P1, P3)에 대하여 동일한 퍼지 가스가 공급되고, 남은 하나의 라인(Q)에 대해서는, 상이한 퍼지 가스가 공급 가능하게 되어 있다. 따라서, 본 발명의 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)에 의하면, 종래의 유체 제어 장치 중 어느 하나의 [도 4의 (P2)의 라인에 마련된] 3방향 밸브(3)를 이 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)로 치환으로써, 프로세스 가스는, 종래대로 흘릴 수 있고, 종래의 퍼지 가스 공급 통로(예컨대 질소 가스 공급 통로)를 폐지하여, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)의 위쪽으로부터 다른 종류의 퍼지 가스(예컨대 아르곤 가스)를 공급할 수 있다. 여기서, 이 퍼지 가스 종류의 변경을 위해 행하는 작업은, 볼트(10)를 풀어 3방향 밸브(3)를 탈거하고, 탈거한 장소에, 볼트(10)로 퍼지 라인 변경용 블록 조인트(5)를 부착하는 것만이어도 좋고, 유체 제어 장치(1)의 대폭적인 개조를 필요로 하지 않으며, 매우 용이하게, 퍼지 가스 종류의 변경을 행할 수 있다.
또한, 상기의 설명에서는, 3개의 라인(P1, Q, P2)밖에 도시하지 않지만 4 이상의 복수의 라인으로 하여도 물론 좋다. 이 경우, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 3방향 밸브가 접속되고, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 퍼지 라인 변경용 블록 조인트가 접속된다. 또한, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트를 부착한 상태로 프로세스 가스를 도입한 경우, 신규 퍼지 가스용 입구 유로(9a) 부분은 소위 데드 스페이스(가스 체류 부위)가 되기 때문에, 예컨대 유로의 길이를 짧게 하거나, 3방향 밸브의 기구(機構)를 이용하여 프로세스 가스용 입구 통로(5a) 및 출구 통로(5b)를 항상 연통하는 구조로 하여, 데드 스페이스를 삭감하는 방법을 취할 수 있다.
산업상 이용가능성
본 발명에 의하면, 3방향 밸브용 통로부를 형성하고 있는 하단 이음 부재의 상측에 접속되어 있는 3방향 밸브를 본 발명의 퍼지 라인 변경용 블록 조인트로 치환함으로써, 유체 제어 장치의 대폭적인 개조를 행하지 않고, 퍼지 라인 변경용 블록 조인트의 신규 퍼지 가스용 입구 통로로부터 상이한 종류의 퍼지 가스를 도입할 수 있기 때문에, 복수의 유체 제어 기기가 집적화되어 형성되는 유체 제어 장치의 성능 향상에 기여할 수 있다.
1: 유체 제어 장치 2: 매스 플로우 컨트롤러(유량 제어기)
3: 3방향 밸브 3a: 프로세스 가스용 가스 입구 통로
3b: 퍼지 가스용 입구 통로 3c: 출구 통로
4: 2방향 밸브 5: 퍼지 라인 변경용 블록 조인트
5a: 프로세스 가스용 입구 통로 5b: 출구 통로
5c: 통로 폐지부 5d: 신규 퍼지 가스용 입구 통로
7, 8: 블록 조인트(이음 부재) 9: 매니폴드 블록 조인트(이음 부재)
7a: 프로세스 가스용 입구 통로 8a: 출구 통로
9a: 퍼지 가스용 입구 통로

Claims (2)

  1. 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양 가스 공용의 출구 통로를 형성하는 하단(下段) 이음 부재의 상측에 접속되는 퍼지 라인 변경용 블록 조인트로서,
    하단 이음 부재의 프로세스 가스용 입구 통로에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로와,
    프로세스 가스용 입구 통로와 하단 이음 부재의 출구 통로를 연통하는 출구 통로와,
    하단 이음 부재의 퍼지 가스용 입구 통로에 연통되지 않고 이것을 폐지(閉止)하는 통로 폐지부와,
    상기 출구 통로에 연통되고 상면으로 개구되어 있는 신규 퍼지 가스용 입구 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지 라인 변경용 블록 조인트.
  2. 하나의 라인이, 상단(上段)에 배치된 유량 제어기, 2방향 밸브 및 3방향 밸브와, 하단에 배치된 복수의 이음 부재를 가지며,
    복수의 라인이 병렬형으로 배치되고,
    하단에 배치되어 복수의 라인 중 적어도 2개를 접속하는 이음 부재로서의 매니폴드 블록 조인트가 마련되어 있으며,
    3방향 밸브의 하측에 배치된 복수의 이음 부재는, 각 라인마다 마련된 블록 조인트 또는 매니폴드 블록 조인트의 일부에 의해, 상면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양 가스 공용의 출구 통로를 포함하는 3방향 밸브용 통로부를 형성하고 있으며,
    3방향 밸브는, 하면에 각각 개구하는 프로세스 가스용 가스 입구 통로, 퍼지 가스용 입구 통로 및 양 가스 공용의 출구 통로를 갖고,
    3방향 밸브에 의해, 퍼지 가스가 유량 제어기에 보내지도록 이루어져 있는 것인 유체 제어 장치에 있어서,
    복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서는, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 3방향 밸브가 접속되어 있고, 복수의 라인 중 적어도 하나에 있어서는, 3방향 밸브용 통로부의 상측에 퍼지 라인 변경용 블록 조인트가 접속되어 있으며,
    퍼지 라인 변경용 블록 조인트는, 3방향 밸브용 통로부의 프로세스 가스용 입구 통로에 연통되는 프로세스 가스용 입구 통로와, 프로세스 가스용 입구 통로와 3방향 밸브용 통로부의 출구 통로를 연통하는 출구 통로와, 3방향 밸브용 통로부의 퍼지 가스용 입구 통로에 연통되지 않고 이것을 폐지하는 통로 폐지부와, 상기 출구 통로에 연통되고 상면으로 개구되어 있는 신규 퍼지 가스용 입구 통로를 갖는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
JP6147113B2 (ja) * 2013-06-27 2017-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置用継手および流体制御装置
JP6186275B2 (ja) * 2013-12-27 2017-08-23 株式会社フジキン 流体制御装置
JP6486035B2 (ja) * 2014-08-28 2019-03-20 株式会社フジキン マニホールドバルブおよび流体制御装置
CN104962880B (zh) 2015-07-31 2017-12-01 合肥京东方光电科技有限公司 一种气相沉积设备
US10983537B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
JP7061808B2 (ja) * 2017-03-15 2022-05-02 株式会社フジキン 継手および流体制御装置
US11761082B2 (en) 2017-05-02 2023-09-19 Picosun Oy ALD apparatus, method and valve
JP7065531B2 (ja) 2017-05-31 2022-05-12 株式会社フジキン バルブ装置および流体制御装置
WO2020214616A1 (en) * 2019-04-15 2020-10-22 Lam Research Corporation Modular-component system for gas delivery
JP2024512898A (ja) 2021-03-03 2024-03-21 アイコール・システムズ・インク マニホールドアセンブリを備える流体流れ制御システム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001254900A (ja) 2000-03-10 2001-09-21 Toshiba Corp 流体制御装置
WO2007032147A1 (ja) 2005-09-12 2007-03-22 Fujikin Incorporated 流体制御装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5992463A (en) * 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US6302141B1 (en) * 1996-12-03 2001-10-16 Insync Systems, Inc. Building blocks for integrated gas panel
JP3871438B2 (ja) * 1997-06-06 2007-01-24 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
US6152175A (en) 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
JP3780096B2 (ja) * 1998-04-27 2006-05-31 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
JP4146978B2 (ja) * 1999-01-06 2008-09-10 キヤノン株式会社 細孔を有する構造体の製造方法、該製造方法により製造された構造体
JP2000320697A (ja) * 1999-05-12 2000-11-24 Benkan Corp ガス供給制御ライン用弁
DE60106312T2 (de) 2000-03-10 2005-11-17 Tokyo Electron Ltd. Fluidregelvorrichtung
DE10393800B3 (de) * 2002-11-26 2013-05-23 Swagelok Company Modulares Oberflächenmontage-Fluidsystem
JP2004183771A (ja) * 2002-12-03 2004-07-02 Fujikin Inc 流体制御装置
KR101522725B1 (ko) * 2006-01-19 2015-05-26 에이에스엠 아메리카, 인코포레이티드 고온 원자층 증착용 인렛 매니폴드
CN101680561B (zh) * 2007-05-31 2011-12-21 东京毅力科创株式会社 流体控制装置
US7806143B2 (en) * 2007-06-11 2010-10-05 Lam Research Corporation Flexible manifold for integrated gas system gas panels
US8307854B1 (en) * 2009-05-14 2012-11-13 Vistadeltek, Inc. Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001254900A (ja) 2000-03-10 2001-09-21 Toshiba Corp 流体制御装置
WO2007032147A1 (ja) 2005-09-12 2007-03-22 Fujikin Incorporated 流体制御装置

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Publication number Publication date
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JP5868219B2 (ja) 2016-02-24
KR20140007007A (ko) 2014-01-16
WO2013129205A1 (ja) 2013-09-06
CN103732972A (zh) 2014-04-16
CN103732972B (zh) 2015-12-30
US20150152969A1 (en) 2015-06-04
TW201350717A (zh) 2013-12-16
JP2013177948A (ja) 2013-09-09
US9169940B2 (en) 2015-10-27
TWI610039B (zh) 2018-01-01

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