WO2013129205A1 - パージライン変更用ブロック継手および流体制御装置 - Google Patents

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gas inlet
way valve
inlet passage
purge
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隆司 余湖
出 四方
睦典 小艾
恵 牧野
隆博 松田
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株式会社フジキン
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    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Definitions

  • the present invention relates to a purge line changing block joint used in a fluid control apparatus formed by integrating a plurality of fluid control devices and a fluid control apparatus including such a purge line changing block joint.
  • a pipe or a joint is formed by arranging a line in which a plurality of fluid control devices are arranged adjacent to each other and attached to a support member in parallel on a base member. Integration that constitutes a fluid control device without intervention is in progress.
  • Patent Document 1 discloses the use of a manifold block joint in such a fluid control device.
  • the conventional fluid control device has a plurality of (only three in the drawing) lines (P1, P2, P3).
  • each line (P1) (P2) (P3) includes a plurality of fluid control devices (2) (3) (4) arranged in the upper stage and a plurality of fluid control apparatuses arranged in the lower stage.
  • a plurality of joint members (6), (7), (8), and (9) that support the devices (2), (3), and (4) are provided.
  • Each line (P1) (P2) (P3) has a plurality of joint members (6), (7), (8), and (9) as V-shaped passages (6a), (7a), and (8a) that open to the upper surface.
  • Each fluid control device (2) (3) (4) is fixed to the corresponding joint member (6) (7) (8) (9) with a bolt (10).
  • Each line (P1) (P2) (P3) consists of a mass flow controller (2) and a three-way arrangement just upstream of the mass flow controller (2) as multiple fluid control devices (2) (3) (4) A valve (3) and a two-way valve (4) disposed immediately upstream of the three-way valve (3) are provided.
  • the two-way valve (4) is provided with a process gas gas inlet passage (4a) and a process gas gas outlet passage (4b) that are opened on the lower surface, respectively, and the three-way valve (3) is opened with a process gas opened on the lower surface, respectively.
  • a gas inlet passage (3a), a purge gas inlet passage (3b), and an outlet passage (3c) for both gases are provided.
  • the three-way valve (3) is supported by two block joints (7) (8) and a part of one manifold block joint (9) common to the three lines (P1) (P2) (P3). Yes.
  • the three-way valve (3) is supported by a total of three block joints (7), (8), and (9), and the process of opening to the upper surface by these block joints (7), (8), and (9), respectively.
  • a three-way valve passage portion including a gas inlet passage (7a), a purge gas inlet passage (9a), and an outlet passage (8a) shared by both gases is formed.
  • each line (P1) (P2) (P3) of this fluid control device as shown in FIG. 6, the process gas passage from the two-way valve (4) to the mass flow controller (2) through the three-way valve (3) And a purge gas (for example, nitrogen N2 gas) passage extending from each purge gas inlet passage (9a) of the manifold block joint (9) to the mass flow controller (2) through the three-way valve (3).
  • a purge gas for example, nitrogen N2 gas
  • the use of the manifold block joint has the advantage of simplifying the piping and facilitating maintenance.
  • the gas type used as the purge gas in each line is selected.
  • nitrogen gas may be supplied as a purge gas for a certain line, and other gas (for example, argon gas) may not be supplied as a purge gas for another line.
  • argon gas may not be supplied as a purge gas for another line.
  • An object of the present invention is to provide a purge line changing block joint and a purge line changing block joint for enabling supply of different purge gases between lines without significant modification of the fluid control device.
  • the object is to provide a fluid control device.
  • the purge line changing block joint is a purge line changing block connected to the upper side of a lower joint member forming a process gas inlet passage, a purge gas inlet passage and an outlet passage shared by both gases, each opening on the upper surface.
  • a joint, a process gas inlet passage communicating with the process gas inlet passage of the lower joint member, an outlet passage communicating the process gas inlet passage and the outlet passage of the lower joint member, and a purge gas for the lower joint member It has a passage closing portion that closes the inlet passage without communicating with it, and a new purge gas inlet passage that communicates with the outlet passage.
  • the lower joint member is not particularly limited, but is usually composed of a plurality of block joints.
  • a block joint having a process gas inlet passage a block joint having a purge gas inlet passage, and a common use of both gases
  • a block joint having an outlet passage is usually composed of a plurality of block joints.
  • one line includes a flow controller, a two-way valve and a three-way valve arranged in the upper stage, and a plurality of joint members arranged in the lower stage.
  • a manifold block joint as a joint member that is arranged in the lower stage and connects at least two of the plurality of lines is provided, and the plurality of joint members disposed below the three-way valve are
  • a part of the block joint or manifold block joint provided for each line forms a three-way valve passage part comprising a process gas inlet passage, a purge gas inlet passage and an outlet passage shared by both gases, each opening on the upper surface.
  • the three-way valve has a process gas gas inlet passage, a purge gas inlet passage and an outlet passage shared by both gases, each opening on the lower surface.
  • the three-way valve is connected to the upper side of the three-way valve passage portion in at least one of the plurality of lines.
  • a purge line changing block joint is connected to the upper side of the three-way valve passage portion, and the purge line changing block joint is connected to the process gas inlet passage of the three-way valve passage portion.
  • the purge line changing block joint includes a process gas inlet passage communicating with the process gas inlet passage of the lower joint member (three-way valve passage portion),
  • the process gas inlet passage and the outlet passage of the lower joint member (three-way valve passage portion) communicate with each other and the purge gas inlet passage of the lower joint member (three-way valve passage portion) does not communicate with the outlet passage.
  • the conventional purge gas passage becomes the passage of the purge line changing block joint.
  • Different kinds of purge gas can be introduced from the new purge gas inlet passage of the purge line changing block joint by being closed by the closing portion. To add this different type of purge gas, all you have to do is remove the bolt, remove the three-way valve, and install the purge line change block joint at the place where it was removed. It is unnecessary.
  • the flow controller, two-way valve and three-way valve are part of the fluid control equipment that constitutes the line.
  • each line has a pressure reducing valve, pressure and flow rate. Measurements, indicators, filters, etc. are appropriately arranged as necessary.
  • a thermal mass flow controller such as a mass flow controller or a pressure flow controller is used.
  • top and bottom refer to the top and bottom of FIG. 2, but this top and bottom are for convenience, and the fluid control device of the present invention can be used either horizontally or vertically.
  • the three-way valve connected to the upper side of the lower joint member forming the three-way valve passage is replaced with the purge line changing block joint.
  • Different kinds of purge gas can be introduced from the new purge gas inlet passage of the purge line changing block joint without significant modification of the fluid control device.
  • FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a purge line changing block joint and a fluid control device according to the present invention.
  • FIG. 2 is a side view in section of a passage portion showing one line of the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 3 is a flowchart showing the gas flow in the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing a conventional fluid control apparatus.
  • FIG. 5 is a side view showing a cross section of a passage portion showing one line of a conventional fluid control device.
  • FIG. 6 is a flowchart showing the gas flow in the conventional fluid control apparatus.
  • the fluid control device (1) is used in a semiconductor manufacturing device or the like, and has a plurality of lines (P1), (Q), and (P3) as shown in FIG. ing.
  • Each line (P1) (Q) (P3) has a plurality of fluid control devices (2) (3) (4) (5) arranged in the upper stage and a plurality of fluid control devices (2) arranged in the lower stage (3)
  • a plurality of joint members (6), (7), (8), and (9) for supporting (4) and (5) are provided.
  • Each fluid control device (2) (3) (4) (5) is fixed to the corresponding joint member (6) (7) (8) (9) by a bolt (10).
  • Each line (P1) (Q) (P3) has a plurality of joint members (6), (7), (8), and (9), and V-shaped passages (6a), (7a), and (8a) that open to the upper surface.
  • the first and third lines (P1) and (P3) have the same configuration as the line (P1) shown in FIG. 5, and a mass flow controller is provided as a plurality of fluid control devices (2), (3), and (4).
  • the second line (Q) is arranged as a plurality of fluid control devices (2), (4), and (5) on the upstream side of the mass flow controller (2) and the mass flow controller (2).
  • the purge line changing block joint (5) and the two-way valve (4) arranged immediately upstream of the purge line changing block joint (5) are provided. That is, in the second line (Q), the three-way valve (3) in the first and third lines (P1) (P3) is replaced with the purge line changing block joint (5) of the present invention. ing.
  • the mass flow controller (2), three-way valve (3), two-way valve (4), and block joints (6), (7), (8), and (9) arranged at the lower stage are the same as those shown in FIG. ing. That is, the two-way valve (4) is provided with a process gas gas inlet passage (4a) and a process gas gas outlet passage (4b) that open to the lower surface, respectively, and the three-way valve (3) (see FIG. 5) A process gas gas inlet passage (3a), a purge gas inlet passage (3b), and an outlet passage (3c) for both gases are provided on the lower surface.
  • the process gas inlet passage (3a) and the outlet passage (3c) are always in communication.By switching the position of the three-way valve (3), the purge gas inlet passage (3b) The outlet passage (3c) communicates with or is blocked.
  • the two-way valve (4) is supported by two block joints (6) (7), and the three-way valve (3) has two block joints (7) (8) and three lines (P1) ( Q) It is supported by a part of one manifold block joint (9) common to (P3).
  • the three-way valve (3) is supported by a total of three block joints (7), (8), and (9), and the process of opening to the upper surface by these block joints (7), (8), and (9), respectively.
  • a three-way valve passage portion including a gas inlet passage (7a), a purge gas inlet passage (9a), and an outlet passage (8a) shared by both gases is formed.
  • the purge line changing block joint (5) has a rectangular shape when viewed from the top (Fig. 1) and from the side (Fig. 2) when viewed from the front ( Figure). As shown in FIG. 1, the lower portions of both edges are attached to corresponding block joints (7), (8) and (9) by bolts (10).
  • the purge line changing block joint (5) includes a process gas inlet passage (5a) communicating with the process gas inlet passage (7a) of the three-way valve passage portion, and a process gas inlet passage. (5a) and the outlet passage (8a) for both gases communicating with the outlet passage (8a) of the three-way valve passage portion and the purge gas inlet passage (9a) of the three-way valve passage portion are closed without being communicated. And a new purge gas inlet passage (5d) that communicates with the outlet passage (5b) and opens at the upper surface.
  • the new purge gas inlet passage (5d) is provided with a cylindrical protrusion (5e) so that an external pipe can be connected.
  • the new purge gas inlet passage (5d) also communicates with the process gas inlet passage (5a), and the new purge gas inlet passage (5d), the process gas inlet passage (5a), and the outlet passage (5b) As seen from above, it has an inverted Y shape.
  • the two-way valve (4) to the three-way valve (3) are provided as in the prior art.
  • a purge gas for example, nitrogen N2 gas
  • a purge gas for example, nitrogen N2 gas
  • the passage from the purge gas inlet passage (9a) of the manifold block joint (9) to the mass flow controller (2) through the purge line change block joint (5) (similar to the first and third lines (P1) and (P3))
  • the purge line changing block joint (5) is provided with a passage closing portion (5c), and the passage closing portion (5c) closes the purge gas inlet passage (9a), so that the manifold The introduction of purge gas from the block joint (9) is stopped.
  • the purge line changing block joint (5) is provided with a new purge gas inlet passage (5d) that communicates with both gas common outlet passages (5b) and opens on the upper surface. Therefore, it is possible to introduce purge gas (in this case, argon Ar gas) in a system different from the manifold block joint (9), and Ar purge gas reaching the mass flow controller (2) via the purge line change block joint (5) A passage is formed.
  • the process gas and the purge gas are introduced into the mass flow controller (2) in all the lines (P1) (Q) (P3).
  • the purge gas the same purge gas is supplied to the two lines (P1) and (P3) via the manifold block joint (9), and different purge gases are supplied to the remaining one line (Q). Can be supplied. Therefore, according to the purge line changing block joint (5) of the present invention, the three-way valve (3) (provided in the line (P2) of FIG. 4) of any of the conventional fluid control devices is changed to this purge line.
  • the process gas can flow as usual, and the conventional purge gas supply passage (for example, a nitrogen gas supply passage) is closed to change the purge line block joint (5)
  • a purge gas supply passage for example, a nitrogen gas supply passage
  • Another kind of purge gas for example, argon gas
  • the work to be performed to change the type of purge gas is to remove the bolt (10), remove the three-way valve (3), and use the bolt (10) to place the purge line change block joint (5)
  • the purge gas type can be changed very easily without requiring a large remodeling of the fluid control device (1).
  • the three-way valve connected to the upper side of the lower joint member forming the three-way valve passage portion is replaced with the purge line changing block joint of the present invention, so that the fluid control device can be greatly modified. Since different types of purge gas can be introduced from the new purge gas inlet passage of the purge line change block joint, it is possible to improve the performance of a fluid control device formed by integrating multiple fluid control devices. it can.

Abstract

　流体制御装置の大幅な改造を行うことなく、ライン間で異なるパージガスの供給を可能とするためのパージライン変更用ブロック継手およびこのようなパージライン変更用ブロック継手を備えた流体制御装置を提供する。複数のラインのうちの少なくとも１つQにおいて、三方弁用通路部の上側にパージライン変更用ブロック継手5が接続されている。パージライン変更用ブロック継手5は、三方弁用通路部のプロセスガス用入口通路7aに連通するプロセスガス用入口通路5aと、プロセスガス用入口通路5aと三方弁用通路部の出口通路8aとを連通する出口通路5bと、三方弁用通路部のパージガス用入口通路9aに連通しないでこれを閉止する通路閉止部5cと、出口通路5bに連通し上面に開口する新規パージガス用入口通路5dとを有している。

Description

パージライン変更用ブロック継手および流体制御装置
　この発明は、複数の流体制御機器が集積化されて形成される流体制御装置で使用されるパージライン変更用ブロック継手およびこのようなパージライン変更用ブロック継手を備えた流体制御装置に関する。
　半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられたラインをベース部材上に並列状に設置することにより、パイプや継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる。特許文献１には、このような流体制御装置において、マニホールドブロック継手を使用することが開示されている。
　図４から図６までに、この発明の流体制御装置が対象とする従来の流体制御装置を示す。
　従来の流体制御装置は、図4に示すように、複数（図示は３つだけ）のライン(P1)(P2)(P3)を有している。
　各ライン(P1)(P2)(P3)は、図５に示すように、上段に配置された複数の流体制御機器(2)(3)(4)と、下段に配置されて複数の流体制御機器(2)(3)(4)を支持する複数の継手部材(6)(7)(8)(9)とを備えている。各ライン(P1)(P2)(P3)は、複数の継手部材(6)(7)(8)(9)として、それぞれ上面に開口するＶ字状通路(6a)(7a)(8a)を有する３つのブロック継手(6)(7)(8)と、上面に開口する複数のライン間接続用分岐通路(9a)を有するマニホールドブロック継手(9)とを備えている。
　各流体制御機器(2)(3)(4)は、対応する継手部材(6)(7)(8)(9)にボルト(10)によって固定されている。
　各ライン(P1)(P2)(P3)は、複数の流体制御機器(2)(3)(4)として、マスフローコントローラ(2)と、マスフローコントローラ(2)のすぐ上流側に配置された三方弁(3)と、三方弁(3)のすぐ上流側に配置された二方弁(4)とを備えている。
　二方弁(4)に、下面にそれぞれ開口するプロセスガス用ガス入口通路(4a)およびプロセスガス用ガス出口通路(4b)が設けられ、三方弁(3)に、下面にそれぞれ開口するプロセスガス用ガス入口通路(3a)、パージガス用入口通路(3b)および両ガス共用の出口通路(3c)が設けられている。
　三方弁(3)は、２つのブロック継手(7)(8)と、３つのライン(P1)(P2)(P3)に共通の１つのマニホールドブロック継手(9)の一部とによって支持されている。こうして、三方弁(3)は、計３つのブロック継手(7)(8)(9)によって支持されており、これらのブロック継手(7)(8)(9)によって、上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路(7a)、パージガス用入口通路(9a)および両ガス共用の出口通路(8a)からなる三方弁用通路部が形成されている。
　この流体制御装置の各ライン(P1)(P2)(P3)においては、図６に示すように、二方弁(4)から三方弁(3)を経てマスフローコントローラ(2)に至るプロセスガス通路と、マニホールドブロック継手(9)の各パージガス用入口通路(9a)から三方弁(3)を経てマスフローコントローラ(2)に至るパージガス（例えば窒素Ｎ２ガス）通路とが形成されている。
特開２００１－２５４９００号公報
　上記従来の流体制御装置によると、マニホールドブロック継手を使用することで、配管が簡素化されてメンテナンスが容易となる利点を有しているが、この場合、各ラインでパージガスとして使用するガス種を同じにすることが必要であり、例えば、あるラインについては、窒素ガスをパージガスとして供給し、別のラインについては、他のガス（例えばアルゴンガス）をパージガスとして供給することができないことになる。ライン間でパージガスを異なるものにするには、流体制御装置の大幅な改造が必要となるという問題がある。
  この発明の目的は、流体制御装置の大幅な改造を行うことなく、ライン間で異なるパージガスの供給を可能とするためのパージライン変更用ブロック継手およびこのようなパージライン変更用ブロック継手を備えた流体制御装置を提供することにある。
  この発明によるパージライン変更用ブロック継手は、上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路を形成する下段継手部材の上側に接続されるパージライン変更用ブロック継手であって、下段継手部材のプロセスガス用入口通路に連通するプロセスガス用入口通路と、プロセスガス用入口通路と下段継手部材の出口通路とを連通する出口通路と、下段継手部材のパージガス用入口通路に連通しないでこれを閉止する通路閉止部と、出口通路に連通する新規パージガス用入口通路とを有していることを特徴とするものである。
　下段継手部材は、特に限定されるものではないが、通常、複数のブロック継手からなるものとされ、例えば、プロセスガス用入口通路を有するブロック継手、パージガス用入口通路を有するブロック継手および両ガス共用の出口通路を有するブロック継手からなるものとされる。
  この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された流量制御器、二方弁および三方弁と、下段に配された複数の継手部材とを有し、複数のラインが並列状に配置されるとともに、下段に配されて複数のラインのうちの少なくとも２つを接続する継手部材としてのマニホールドブロック継手が設けられており、三方弁の下側に配置された複数の継手部材は、各ラインごとに設けられたブロック継手またはマニホールドブロック継手の一部によって、上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路からなる三方弁用通路部を形成しており、三方弁は、下面にそれぞれ開口するプロセスガス用ガス入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路を有し、三方弁によって、パージガスが流量制御器に送られるようになされている流体制御装置において、複数のラインのうちの少なくとも１つにおいては、三方弁用通路部の上側に三方弁が接続されており、複数のラインのうちの少なくとも１つにおいては、三方弁用通路部の上側にパージライン変更用ブロック継手が接続されており、パージライン変更用ブロック継手は、三方弁用通路部のプロセスガス用入口通路に連通するプロセスガス用入口通路と、プロセスガス用入口通路と三方弁用通路部の出口通路とを連通する出口通路と、三方弁用通路部のパージガス用入口通路に連通しないでこれを閉止する通路閉止部と、出口通路に連通する新規パージガス用入口通路とを有していることを特徴とするものである。
　この発明のパージライン変更用ブロック継手および流体制御装置によると、パージライン変更用ブロック継手は、下段継手部材（三方弁用通路部）のプロセスガス用入口通路に連通するプロセスガス用入口通路と、プロセスガス用入口通路と下段継手部材（三方弁用通路部）の出口通路とを連通する出口通路と、下段継手部材（三方弁用通路部）のパージガス用入口通路に連通しないでこれを閉止する通路閉止部と、出口通路に連通し上面に開口する新規パージガス用入口通路とを有しているので、上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路からなる三方弁用通路部を形成している下段継手部材の上側に接続することができる。したがって、三方弁用通路部を形成している下段継手部材の上側に接続されている三方弁をこのパージライン変更用ブロック継手に置き換えることにより、従来のパージガス通路がパージライン変更用ブロック継手の通路閉止部によって閉止されて、パージライン変更用ブロック継手の新規パージガス用入口通路から異なる種類のパージガスが導入可能となる。この異なる種類のパージガスの追加のために行う作業は、ボルトを外して三方弁を取り外し、取り外した場所に、ボルトでパージライン変更用ブロック継手を取り付けるだけでよく、流体制御装置の大幅な改造は不要である。
　流量制御器、二方弁および三方弁は、ラインを構成する流体制御機器の一部であり、各ラインには、流量制御器、二方弁および三方弁の他に、減圧弁、圧力および流量の測定および表示器、フィルタなどが必要に応じて適宜配置される。流量制御器としては、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御装置や圧力式流量制御装置などが使用される。
　なお、この明細書において、上下は図２の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。
　この発明のパージライン変更用ブロック継手および流体制御装置によると、三方弁用通路部を形成している下段継手部材の上側に接続されている三方弁をこのパージライン変更用ブロック継手に置き換えることにより、流体制御装置の大幅な改造を行うことなく、パージライン変更用ブロック継手の新規パージガス用入口通路から異なる種類のパージガスを導入することができる。
図１は、この発明によるパージライン変更用ブロック継手および流体制御装置の実施形態を示す平面図である。 図２は、この発明による流体制御装置の１つのラインを示す通路部分を断面にした側面図である。 図３は、この発明による流体制御装置におけるガスの流れを示すフロー図である。 図４は、従来の流体制御装置を示す平面図である。 図５は、従来の流体制御装置の１つのラインを示す通路部分を断面にした側面図である。 図６は、従来の流体制御装置におけるガスの流れを示すフロー図である。
(1)：流体制御装置、(2)：マスフローコントローラ（流量制御器）、(3)：三方弁、(3a)：プロセスガス用ガス入口通路、(3b)：パージガス用入口通路、(3c)：出口通路、(4)：二方弁、(5)：パージライン変更用ブロック継手、(5a)：プロセスガス用入口通路、(5b)：出口通路、(5c)：通路閉止部、(5d)：新規パージガス用入口通路、(7)(8)：ブロック継手（継手部材）、(9)：マニホールドブロック継手（継手部材）、(7a)：プロセスガス用入口通路、(8a)：出口通路、(9a)：パージガス用入口通路
  この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
　図１から図３までは、この発明の流体制御装置の要部を示している。流体制御装置(1) は、半導体製造装置等において用いられるもので、図１に示すように、複数（図示は第１から第３まで）のライン(P1)(Q)(P3)を有している。
　各ライン(P1)(Q)(P3)は、上段に配置された複数の流体制御機器(2)(3)(4)(5)と、下段に配置されて複数の流体制御機器(2)(3)(4)(5)を支持する複数の継手部材(6)(7)(8)(9)とを備えている。各流体制御機器(2)(3)(4)(5)は、対応する継手部材(6)(7)(8)(9)にボルト(10)によって固定されている。
　各ライン(P1)(Q)(P3)は、複数の継手部材(6)(7)(8)(9)として、それぞれ上面に開口するＶ字状通路(6a)(7a)(8a)を有する３つのブロック継手(6)(7)(8)と、上面に開口する複数のライン間接続用分岐通路(9a)を有するマニホールドブロック継手(9)とを備えている。
　第１および第３のライン(P1)(P3)は、図５に示したライン(P1)と同じ構成とされており、複数の流体制御機器(2)(3)(4)として、マスフローコントローラ（流量制御器）(2)と、マスフローコントローラ(2)のすぐ上流側に配置された三方弁(3)と、三方弁(3)のすぐ上流側に配置された二方弁(4)とを備えている。
　第２のライン(Q)は、図２に示すように、複数の流体制御機器(2)(4)(5)として、マスフローコントローラ(2)と、マスフローコントローラ(2)のすぐ上流側に配置されたパージライン変更用ブロック継手(5)と、パージライン変更用ブロック継手(5)のすぐ上流側に配置された二方弁(4)とを備えている。すなわち、第２のライン(Q)は、第１および第３のライン(P1)(P3)における三方弁(3)がこの発明のパージライン変更用ブロック継手(5)で置き換えられたものとなっている。
　マスフローコントローラ(2)、三方弁(3)、二方弁(4)および下段に配置されたブロック継手(6)(7)(8)(9)は、図５に示すものと同じものとされている。すなわち、二方弁(4)に、下面にそれぞれ開口するプロセスガス用ガス入口通路(4a)およびプロセスガス用ガス出口通路(4b)が設けられ、三方弁(3)（図５参照）に、下面にそれぞれ開口するプロセスガス用ガス入口通路(3a)、パージガス用入口通路(3b)および両ガス共用の出口通路(3c)が設けられている。三方弁(3)においては、プロセスガス用入口通路(3a)と出口通路(3c)とが常時連通しており、三方弁(3)の位置を切り換えることで、パージガス用入口通路(3b)と出口通路(3c)とが連通または遮断される。
　二方弁(4)は、２つのブロック継手(6)(7)によって支持されており、三方弁(3)は、２つのブロック継手(7)(8)と、３つのライン(P1)(Q)(P3)に共通の１つのマニホールドブロック継手(9)の一部とによって支持されている。こうして、三方弁(3)は、計３つのブロック継手(7)(8)(9)によって支持されており、これらのブロック継手(7)(8)(9)によって、上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路(7a)、パージガス用入口通路(9a)および両ガス共用の出口通路(8a)からなる三方弁用通路部が形成されている。
　パージライン変更用ブロック継手(5)は、平面から見て（図１）方形でかつ側面から見て（図２）略方形で正面から見て（図示略）中央部が凸のブロック状をなし、図１に示すように、その両縁の低くなっている部分がボルト(10)によって対応するブロック継手(7)(8)(9)に取り付けられている。
　パージライン変更用ブロック継手(5)は、図２に示すように、三方弁用通路部のプロセスガス用入口通路(7a)に連通するプロセスガス用入口通路(5a)と、プロセスガス用入口通路(5a)と三方弁用通路部の出口通路(8a)とを連通する両ガス共用の出口通路(5b)と、三方弁用通路部のパージガス用入口通路(9a)に連通しないでこれを閉止する通路閉止部(5c)と、出口通路(5b)に連通し上面に開口する新規パージガス用入口通路(5d)とを有している。新規パージガス用入口通路(5d)には、外部配管が接続可能なように円筒状の突出部(5e)が設けられている。新規パージガス用入口通路(5d)は、プロセスガス用入口通路(5a)とも連通しており、新規パージガス用入口通路(5d)、プロセスガス用入口通路(5a)および出口通路(5b)は、側面から見て逆Ｙ字状をなしている。
　この流体制御装置(1)においては、図３に示すように、第１および第３のライン(P1)(P3)では、従来と同様に、二方弁(4)から三方弁(3)を経てマスフローコントローラ(2)に至るプロセスガス通路と、マニホールドブロック継手(9)の各パージガス用入口通路(9a)から三方弁(3)を経てマスフローコントローラ(2)に至るパージガス（例えば窒素Ｎ２ガス）通路とが形成されている。
　パージライン変更用ブロック継手(5)を使用していることにより、第２のライン(Q)では、二方弁(4)からパージライン変更用ブロック継手(5)のプロセスガス用入口通路(5a)および出口通路(5b)を経てマスフローコントローラ(2)に至るプロセスガス通路が形成されている。マニホールドブロック継手(9)のパージガス用入口通路(9a)からパージライン変更用ブロック継手(5)を経てマスフローコントローラ(2)に至る通路（第１および第３のライン(P1)(P3)と同様のパージガス通路）については、パージライン変更用ブロック継手(5)に通路閉止部(5c)が設けられており、通路閉止部(5c)がパージガス用入口通路(9a)を閉止することによって、マニホールドブロック継手(9)からのパージガスの導入が止められる。そして、パージライン変更用ブロック継手(5)には、両ガス共用の出口通路(5b)に連通し上面に開口する新規パージガス用入口通路(5d)が設けられているので、これを使用することで、マニホールドブロック継手(9)とは異なる系統でパージガス（ここではアルゴンＡｒガス）が導入可能とされ、これにより、パージライン変更用ブロック継手(5)を経てマスフローコントローラ(2)に至るＡｒパージガス通路が形成されている。
　こうして、全てのライン(P1)(Q)(P3)において、プロセスガスとパージガスとがマスフローコントローラ(2)に導入される。そして、パージガスについては、マニホールドブロック継手(9)を介して、２つのライン(P1)(P3)に対して同じパージガスが供給されるとともに、残る１つのライン(Q)に対しては、異なるパージガスが供給可能とされている。したがって、この発明のパージライン変更用ブロック継手(5)によると、従来の流体制御装置のいずれかの（図４の(P2)のラインに設けられた）三方弁(3)をこのパージライン変更用ブロック継手(5)に置き換えることで、プロセスガスは、従来通りに流すことができて、従来のパージガス供給通路（例えば窒素ガス供給通路）を閉止して、パージライン変更用ブロック継手(5)の上方から他の種類のパージガス（例えばアルゴンガス）を供給することができる。ここで、このパージガスの種類の変更のために行う作業は、ボルト(10)を外して三方弁(3)を取り外し、取り外した場所に、ボルト(10)でパージライン変更用ブロック継手(5)を取り付けるだけでよく、流体制御装置(1)の大幅な改造を必要とせず、極めて容易に、パージガス種類の変更を行うことができる。
　なお、上記においては、３つのライン(P1)(Q)(P2)しか図示していないが４以上の複数のラインとしてももちろんよい。この場合、複数のラインのうちの少なくとも１つにおいて、三方弁用通路部の上側に三方弁が接続され、複数のラインのうちの少なくとも１つにおいて、三方弁用通路部の上側にパージライン変更用ブロック継手が接続される。また、パージライン変更用ブロック継手を取り付けた状態でプロセスガスを導入した場合、新規パージガス用入口流路(9a)部分は所謂デッドスペース（ガスだまり）となるので、例えば流路の長さを短くしたり、三方弁の機構を用いてプロセスガス用入口通路(5a)および出口通路(5b)を常時連通するような構造とし、デッドスペースを削減する方法を取ることもできる。
　この発明によると、三方弁用通路部を形成している下段継手部材の上側に接続されている三方弁をこの発明のパージライン変更用ブロック継手に置き換えることにより、流体制御装置の大幅な改造を行うことなく、パージライン変更用ブロック継手の新規パージガス用入口通路から異なる種類のパージガスを導入することができるので、複数の流体制御機器が集積化されて形成される流体制御装置の性能向上に寄与できる。

Claims (2)

  1. 　上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路を形成する下段継手部材の上側に接続されるパージライン変更用ブロック継手であって、下段継手部材のプロセスガス用入口通路に連通するプロセスガス用入口通路と、プロセスガス用入口通路と下段継手部材の出口通路とを連通する出口通路と、下段継手部材のパージガス用入口通路に連通しないでこれを閉止する通路閉止部と、出口通路に連通する新規パージガス用入口通路とを有していることを特徴とするパージライン変更用ブロック継手。
  2. 　１つのラインが、上段に配された流量制御器、二方弁および三方弁と、下段に配された複数の継手部材とを有し、複数のラインが並列状に配置されるとともに、下段に配されて複数のラインのうちの少なくとも２つを接続する継手部材としてのマニホールドブロック継手が設けられており、三方弁の下側に配置された複数の継手部材は、各ラインごとに設けられたブロック継手またはマニホールドブロック継手の一部によって、上面にそれぞれ開口するプロセスガス用入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路からなる三方弁用通路部を形成しており、三方弁は、下面にそれぞれ開口するプロセスガス用ガス入口通路、パージガス用入口通路および両ガス共用の出口通路を有し、三方弁によって、パージガスが流量制御器に送られるようになされている流体制御装置において、
    　複数のラインのうちの少なくとも１つにおいては、三方弁用通路部の上側に三方弁が接続されており、複数のラインのうちの少なくとも１つにおいては、三方弁用通路部の上側にパージライン変更用ブロック継手が接続されており、パージライン変更用ブロック継手は、三方弁用通路部のプロセスガス用入口通路に連通するプロセスガス用入口通路と、プロセスガス用入口通路と三方弁用通路部の出口通路とを連通する出口通路と、三方弁用通路部のパージガス用入口通路に連通しないでこれを閉止する通路閉止部と、出口通路に連通する新規パージガス用入口通路とを有していることを特徴とする流体制御装置。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
JP6147113B2 (ja) * 2013-06-27 2017-06-14 株式会社フジキン 流体制御装置用継手および流体制御装置
JP6186275B2 (ja) * 2013-12-27 2017-08-23 株式会社フジキン 流体制御装置
JP6486035B2 (ja) * 2014-08-28 2019-03-20 株式会社フジキン マニホールドバルブおよび流体制御装置
CN104962880B (zh) * 2015-07-31 2017-12-01 合肥京东方光电科技有限公司 一种气相沉积设备
US10983537B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
KR20190116372A (ko) * 2017-03-15 2019-10-14 가부시키가이샤 후지킨 조인트 및 유체 제어 장치
KR102411152B1 (ko) * 2017-05-02 2022-06-21 피코순 오와이 Ald 장치, 방법 및 밸브
JP7065531B2 (ja) 2017-05-31 2022-05-12 株式会社フジキン バルブ装置および流体制御装置
CN113994460A (zh) * 2019-04-15 2022-01-28 朗姆研究公司 用于气体输送的模块部件系统
JP2024512898A (ja) 2021-03-03 2024-03-21 アイコール・システムズ・インク マニホールドアセンブリを備える流体流れ制御システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1151226A (ja) * 1997-06-06 1999-02-26 Ckd Corp プロセスガス供給ユニット
JP2000320697A (ja) * 1999-05-12 2000-11-24 Benkan Corp ガス供給制御ライン用弁
JP2001254900A (ja) * 2000-03-10 2001-09-21 Toshiba Corp 流体制御装置
WO2007032147A1 (ja) * 2005-09-12 2007-03-22 Fujikin Incorporated 流体制御装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5992463A (en) * 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US6302141B1 (en) * 1996-12-03 2001-10-16 Insync Systems, Inc. Building blocks for integrated gas panel
US6152175A (en) 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
JP3780096B2 (ja) * 1998-04-27 2006-05-31 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
JP4146978B2 (ja) * 1999-01-06 2008-09-10 キヤノン株式会社 細孔を有する構造体の製造方法、該製造方法により製造された構造体
EP1132669B1 (en) 2000-03-10 2004-10-13 Tokyo Electron Limited Fluid control apparatus
DE10393800B3 (de) * 2002-11-26 2013-05-23 Swagelok Company Modulares Oberflächenmontage-Fluidsystem
JP2004183771A (ja) * 2002-12-03 2004-07-02 Fujikin Inc 流体制御装置
WO2007084493A2 (en) * 2006-01-19 2007-07-26 Asm America, Inc. High temperature ald inlet manifold
KR20100024925A (ko) * 2007-05-31 2010-03-08 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 유체 제어 장치
US7806143B2 (en) * 2007-06-11 2010-10-05 Lam Research Corporation Flexible manifold for integrated gas system gas panels
US8307854B1 (en) * 2009-05-14 2012-11-13 Vistadeltek, Inc. Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1151226A (ja) * 1997-06-06 1999-02-26 Ckd Corp プロセスガス供給ユニット
JP2000320697A (ja) * 1999-05-12 2000-11-24 Benkan Corp ガス供給制御ライン用弁
JP2001254900A (ja) * 2000-03-10 2001-09-21 Toshiba Corp 流体制御装置
WO2007032147A1 (ja) * 2005-09-12 2007-03-22 Fujikin Incorporated 流体制御装置

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