CN1128988C - 带流量调节阀的流量检测器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了带流量调节阀的流量检测器，适用于半导体制造装置等洁净环境，可在一体化的装置中，进行有效的流量计测和流量调节。它备有流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2，在该流体流路上配设着流量传感器10的检测部11；输入部件3和输出部件5具有与上述流量检测器本体1内的流体流路2连通的输入输出流路4、6。在输出部件5中设有流量调节阀21。通过密封部件将流路2、4、6接合，在离开上述流路的位置，用螺栓20将流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5固定连接。

Description

带流量调节阀的流量检测器
本发明涉及在半导体制造装置等洁净环境中使用的带流量调节阀的流量检测器。
通常，检测流路中流体流量的流量传感器，组装在各种流体机器内或者作为独立的装置使用。后者作为独立装置的流量传感器具有通用性，该流量传感器，通常要在输入侧和输出侧连接配管，并且将流量调节阀串联连接来进行使用，在严格地不允许异物混入的半导体制造设备等中，在这些配管的连接和更换等时，必须采用不产生微细异物的连接措施，例如，在管端上螺纹连接设置螺栓时，在螺栓的装卸过程中，螺纹部很可能会产生微粉，因此不能采用。
另外，上述流量传感器中，为了提高流量检测精度，要求配设着流量传感器检测部的流体流路不复杂化，包括该检测部的前后要求平滑化，使上述检测部附近的流体的流动更顺畅，另外，对于安装该流量传感器的其它机器，也要求流路顺畅，安装容易。
本发明是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种带流量调节阀的流量检测器。本发明的流量检测器，作为具有通用性的流量传感器，通过预先组装着流量调节阀，可在一体化的装置中进行流量计测和流量调节，并且可节省空间地、容易地安装在各种机器上。
本发明的另一目的，是提供这样的带流量调节阀的流量检测器，即，把内装有流量检测器和流量调节阀的部件预先形成为一体，使流体流路结构平滑化，由此，流体的流动顺畅，流量检测精度得到提高。
本发明的另一目的，是提供这样的带流量调节阀的流量检测器，即，在组装流量检测器时或更换部件时，随着螺丝的装卸产生的微粉不会残留在流路内。
为了实现上述目的，本发明的带流量调节阀的流量检测器，其特征在于，备有流量检测器本体、输入部件及输出部件、流量调节阀；流量检测器本体具有贯通内部的流体流路，在该流体流路上配设着流量传感器的检测部；输入部件及输出部件具有与上述流量检测器本体内的流体流路连通的输入输出流路，安装在流量检测器本体的流体流路的输入侧和输出侧；流量调节阀设置在上述输入部件和输出部件中的任一方上或双方上，用于调节流动在它们的流路中的流体的流量。
上述带流量调节阀的流量检测器中，通过密封部件接合设置在流量检测器本体和输入输出部件上的流路，在离开上述流路的位置，用连接装置将流量检测器本体和输入输出部件固定连接。另外，贯通流量检测器本体内的流体流路、以及与该流量检测器本体接合部的输入部件和输出部件的输入输出流路，其断面形状基本相同并呈直线，使上述输入部件和输出部件的输入输出流路开口，将输入、输出部件安装到其它机器上的安装面，是与流量检测器本体内流体流路的轴线平行的面。
具有上述构造的本发明带流量调节阀的流量检测器，将输入部件的输入流路与流体供给源连接，将输出部件的输出流路与该接受该流体的部分连通，用流量传感器的检测部检测从输入流路进来的流体流量，用设在输入部件或输出部件上的流量调节阀调节流量后，从输出流路输出。
在该带流量调节阀的流量检测器中，在流量检测器的输入侧及输出侧，一体化地安装输入部件和输出部件，由于在该输入部件及输出部件的一方或双方设置流量调节阀，所以，可在一体化的小型装置中进行流量计测和流量调节，而且，使上述输入部件和输出部件的流路向外侧开口的、往其它机器上安装的安装面，是与流量检测器本体的直线流体流路轴线平行的面，所以，通过在各种机器的安装面上设置与输入部件及输出部件的输入输出流路对应的开口，可以节省空间且容易地安装使用，因此，作为具有通用性的流量检测器是很有效的。
另外，将流量检测器本体与输入输出部件预先结合成一体，通过密封部件将设在它们上的流路接合，而且，贯通流量检测器本体内的流体流路、以及与该流量检测器本体接合的接合部的输入部件及输出部件的输入输出流路，其断面形状基本相同，流路且呈直线，所以，流体的流路构造平滑，流体的流动顺畅，可提高流量的检测精度。另外，通过密封部件将设在流量检测器本体和输入输出部件上的流路接合，在离开该流路的位置，用连接装置将流量检测器本体和输入、输出部件固定地连接，所以，在组装流量检测器时或更换零件时，不会产生随着螺丝的装卸产生的微粉残留在流路内的问题。
图1是本发明带流量调节阀的流量检测器实施例的断面图。
图2是图1所示流量检测器的分解立体图。
下面，参照附图说明本发明的实施例。
图1和图2表示本发明带流量调节阀的流量检测器的实施例。
该带流量调节阀的流量检测器，基本上由流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5构成。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2。输入部件3安装在该流量检测器本体1的流体流路2的输入侧，内部具有输入流路4。输出部件5安装在上述流体流路2的输出侧，内部具有输出流路6。
上述流量检测器本体1，备有流量传感器10，其检测部11配设在内部流体流路2中。该检测部11通过印刷电路基板12与电气接头13配线连接，该电气接头13用于与流量计测装置连接。这里，上述流量传感器10，是在检测部11检测流体流路2中流动的流体的热而求出流量的型式，但也可以采用涡式等的流量传感器。
安装在上述流量检测器本体1上的输入部件3和输出部件5中的上述输入输出流路4、6，分别与流量检测器本体1中的流体流路2的输入侧及输出侧连通。在把上述输入部件3和输出部件5连接到流量检测器本体1上的连接部，在流量检测器本体1的流体流路2的输入侧端部，分别用压紧环15a、15b固定安装着过滤器14a、14b，并且，在其周围配设着密封部件16a。在流体流路2的输出侧端部，也用压紧环15c固定安装着过滤器14c，并在其周围配设着密封部件16c。
这样，流量检测器本体1的流体流路2与输入部件3及输出部件5的输入输出流路4、6，通过该密封部件16a、16c接合，在从这些流路2、4、6离开的输入输出部件3、5的周边位置，流量检测器本体1与输入部件3及输出部件5通过螺丝20连接。作为上述流量检测器本体1与输入部件3及输出部件5连接的连接方式，不限于上述的螺丝20，也可以在离开流路2、4、6的位置，采用将它们固定连接的任意方式。
上述输出部件5上设有流量调节阀21，用于调节流经其输出流路6的流体流量。图1中，该流量调节阀21是节流阀，备有针22，该针22的前端与输出流路6的阀座23相对，通过密封部件24螺插在输出部件5上，由锁定螺母25固定该针22。但流量调节阀21也可以采用其它构造。另外，图1中是表示把该流量调节阀21设置在输出部件5上的情形，但也可以将其设置在输入部件3上，或者设置在输入部件3及输出部件5二者上。
为了使流体在上述流量检测本体1中的流体流路2内流动顺畅，提高流量检测精度，上述流量检测器本体1中的流体流路2，其断面形状基本上相同并呈直线状，另外，与流量检测器本体1接合的接合部的输入部件3及输出部件5的流路4、6，其断面形状与流体流路2基本上相同，并呈直线状。流量检测器以安装面27、28安装在其它机器上，但是该安装面27、28是与流量检测器本体1的流体流路2的轴线平行的面。为了容易处置，输入输出流路4、6在输入输出部件3、5内必须弯成直角。为此，在未安装流量调节阀21的输入部件3中，使输入流路4圆滑地弯曲，使其端部在安装面27开口。在安装着流量调节阀21的输出部件5中，不使流路6复杂化，使流量调节阀21的输出侧在安装面28开口。
由上述流量检测器本体1和输入输出部件3、5构成的带流量调节阀的流量检测器，用与流量检测器本体1的流体流路2轴线平行的安装面27、28，安装在其它机器上，在安装该流量检测器的机器上，设有与流路4、6对应的开口，输入输出部件3、5，只要用螺栓将设在其上的安装座29、30(图2)安装到机器上，就可同时完成流量检测器的安装和配管。
为了连设若干个带流量调节阀的流量检测器，图1中表示把输入输出部件的安装面27、28通过密封部件38安装在连通器35上的状态。该连通器35备有与开设在安装面27、28上的输入输出流路4、6对应的输入开口36和输出开口37。该连通器35，借助于其连通输入开口36的输入共通路39，使垂直于纸面方向并列设置的若干个歧管35中的输入开口36连通，使得与共通流体供给源连通。另外，连通器35的输出开口37，由各自的带流量调节阀的流量检测器检测各自的流量，同时，输出被调节了流量的流体。
图中，40是使输出开口37与所需部分连通的管接头，41是将若干个歧管35相互连接用的结合螺栓用孔。
具有上述构造的带流量调节阀的流量检测器中，在流量检测器本体1的输入侧和输出侧，安装着输入部件3和输出部件5，将它们一体化，在输出部件5上设置了流量调节阀21，所以，可在一体小型化的装置中进行流量计测和流量调节，而且，在上述输入部件3和输出部件5中，由于流路4、6开口的安装面27、28是与流量检测器本体1的直线流体流路2轴线平行的面，所以，在各种机器或歧管的安装面上，设置与上述输入部件3和输出部件5的流路4、6对应的开口，就可以节省空间并且容易安装，进行流量计测和流量调节。
另外，将流量检测器本体1和输入输出部件3、5预先一体化，通过密封部件16a、16c接合设在其上的流路2、4、6，而且，贯通流量检测器本体1内的流体流路2、以及与该流量检测器本体1接合的接合部的输入部件3和输出部件5的流路4、6，其断面形状基本一致并呈直线，所以，与分别地配管连接流量传感器和流量调节阀的情形相比，可以使流体的流路构造更圆滑，这样，可使流体的流动更顺畅，可提高流量的检测精度。另外，通过密封部件16a、16c将设在输入输出部件3、5上的流路4、6接合，在离开该流路2、4、6的位置，用连接装置将流量检测器本体1和输入输出部件3、5固定连接，所以，在组装流量检测器时或更换部件时，不会有随着螺栓的装卸产生的微粉不会残留在流路内的问题。
根据上述本发明的带流量调节阀的流量检测器，作为在半导体制造装置等洁净环境中使用的、具有通用性的流量检测器，通过预先组装流量调节阀，可在一体化的装置中进行流量计测和流量调节，节省空间且检测精度高，可容易地安装在各种机器上使用。

Claims (2)

1.带流量调节阀的流量检测器，其特征在于，备有流量检测器本体(1)、输入部件(3)及输出部件(5)、流量调节阀(21)；流量检测器本体(1)具有贯通内部的流体流路(2)，在该流体流路(2)上配设着流量传感器(13)的检测部(11)，由此直接检测出流体流路(2)内的流体流量；输入部件(3)及输出部件(5)分别具有与上述流量检测器本体(1)的流体流路(2)连通的输入流路(4)及输出流路(6)，分别安装在流量检测器本体(1)的流体流路(2)的输入侧和输出侧；流量调节阀(21)设置在上述输入部件(3)和输出部件(5)中的任一方上或双方上，用于调节流动在它们流路中的流体的流量，
上述流量检测器本体(1)内的流体流路(2)与上述输入部件(3)内的输入流路(4)和输出部件(5)内的输出流路(6)中的与上述流体流路(2)直接相连的部分的断面形状基本相同并且其流路呈直线状，上述输入部件(3)和输出部件(5)下面的上述输入流路(4)及输出流路(6)所开口的安装面(27、28)是与流量检测器本体(1)内的流体流路(2)轴线平行的面。
2.如权利要求1所述的带流量调节阀的流量检测器，其特征在于，通过密封构件(16a、16c)接合流量检测器本体(1)、输入部件(3)及输出部件(5)，该密封构件(16a、16c)密封流量检测器本体(1)、输入部件(3)及输出部件(5)的流路，在离开上述流路的位置，用连接装置(2)将流量检测器本体(1)、输入部件(3)及输出部件(5)固定连接。
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