KR100310026B1

KR100310026B1 - 유량조절밸브부착유량검출기

Info

Publication number: KR100310026B1
Application number: KR1019980054552A
Authority: KR
Inventors: 신지 미야조에
Original assignee: 다까다 요시유끼; 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 1997-12-11
Filing date: 1998-12-11
Publication date: 2002-04-24
Also published as: DE69832460D1; TW370191U; CN1225446A; DE69832460T2; EP0922940B1; US6076551A; JPH11173883A; KR19990063011A; EP0922940A1; JP4042190B2; CN1128988C

Abstract

반도체제조장치 등의 깨끗한 환경으로서 사용하기에 효과적인 유량계측과 유량조절을 일체화한 기기에 있어서 행하도록 한 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공한다. 내부를 관통하는 유체유로(2)를 가지고, 상기 유체유로에 유량센서(10)의 검출부(11)를 배치하여 설치한 유량검출기본체(1)와 상기 유량검출기본체(1)에 있어서의 유체유로(2)에 연달아 통하는 입출력유로(4,6)를 가지는 입력블록(3) 및 출력블록(5)을 구비한다. 출력블록(5)에는 유량조절밸브(21)를 설치한다. 유량검출기본체(1)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)은 그들에 설치한 유로(2,4,6)를 시일부재(16a,16c)를 통해서 접합하고, 상기 유로로부터 밖으로 된 위치에 있어서, 나사(20)에 의해 고정적으로 연결된다.

Description

유량조절밸브부착 유량검출기

본 발명은 반도체 제조장치 등의 깨끗한 환경에 있어서 사용하기에 효과적인 유량조절밸브부착 유량검출기에 관한 것이다.

일반적으로 유로를 흐르는 유체의 유량을 검출하기 위한 유량센서는 각종 유체기기 내에 장착되어 있고, 각각 독립된 기기로서 제공된다. 범용성이 있는 독립된 기기로서 제공된 유량센서는 일반적으로 입력측 및 출력측에 배관을 접속할 필요가 있고, 또 유량조절밸브를 직렬 연결하여 사용하지만, 이물질의 유입을 방지해야만 하는 반도체제조설비 등에 있어서는 이들 배관의 접속이나 교환시 미세한 이물질이 발생하지 않도록 하는 접속수단을 사용할 필요가 있는바, 예를 들면, 관 끝에 나사를 설치하여 나사를 접속할 경우에는 나사를 조이거나 풀 때 미세한 분말이 발생할 가능성이 높아 사용할 수 없다.

또한, 상기 유량센서에서는 유량의 검출 정밀도를 향상시키기 위해 유량센서의 검출부를 배치한 유체유로를 복잡하게 하지 않으면서도 검출부 전후를 매끄럽게하여 검출부 부근의 유체의 흐름을 원활하게 할 필요가 있음은 물론, 유량센서를 장착해야만 하는 다른 기기에 대해서도 매끄러운 유로에 용이하게 장착될 수 있어야만 한다.

본 발명의 기술적과제는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 범용성이 있는 유량센서로서 미리 유량조절밸브를 장착하여 일체화 된 기기로 유량계측과 유량조절을 실시하면서도 좁은 공간에서 각종 기기에 용이하게 부착되어 사용될 수 있는 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 기술적 과제는, 유량검출기 본체와 유량조절밸브를 내장한 블록을 미리 일체화하여, 유체의 유로를 매끄럽게 한 것으로서, 이들에 의해 유체의 흐름이 원활하게 하여 유량 검출 정밀도의 향상을 도모하도록 한 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 기술적 과제는, 유량검출기를 조립하여 부품교환시에도 나사의 착탈 시 발생하는 미분이 유로내에 잔류하지 않는 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 유량조절밸브 부착 유량검출기는 내부를 관통하는 유체유로를 가지고, 상기 유로에 유량센서의 검출부를 배설한 유량검출기본체와 상기 유량검출기본체에 있어서의 유체유로에 연달아 통하는 입출력유로를 가지고, 유량검출기본체에 대해서 그 유체유로의 입력측 및 출력측에 부착된 입력블록 및 출력블록과 상기 입력블록 및 출력블록의 각각이 한쪽 또는 양쪽으로 설치되고, 이들의 유로를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량조절밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 유량조절밸브부착 유량검출기에 있어서는 유량검출기 본체와 입력블록 및 출력블록의 유로들을 시일부재를 통해 접합하고, 상기 유로의 외부에서 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록을 연결수단으로 연결하는 것이 효과적이다. 또, 유량검출기본체 내를 관통하는 유체유로 및 상기 유량검출기 본체의 접합부에서 입력블록과 출력블록의 입출력 유로를 단면이 일치되는 직선형으로 형성하고, 상기 입력블록과 출력블록의 입출력 유로가 개방되어 있고 다른 기기에 부착하기 위한 부착면을 상기 유량검출기기 본체의 유체유료의 축선에 평행한 면으로 형성하는 것이 효과적이다.

이와 같은 구성의 본 발명의 유량조절밸브부착 유량검출기에 의하면, 입력블록에 입력유로를 유체공급원으로 접속하고, 출력블록의 출력유로를 상기 유체의 공급을 받은 부분에 연통하게 하여, 입력유로로부터의 유체의 유량을 유량센서의 검출부에서 검출하고, 입력블록 또는 출력블록에 설치한 유량조절밸브에서 유량이 조절되어 출력유로로 출력된다.

그리고, 이 유량조절밸브부착 유량검출기에 있어서는 유량검출기본체의 입력측 및 출력측에 입력블록 및 출력블록을 부착하여 일체화하고, 상기 입력블록 및 출력블록의 한쪽 또는 양쪽에 유량조절밸브을 설치함으로써, 유량계측과 유량조절을 콤팩트한 일체화한 기기로 행할 수 있고, 또, 입력블록과 출력블록의 유로를 외측으로 개방하여 다른 기기에 장착하기 위한 부착면을 유량검출기 본체의 직선 유체유로의 축선에 평행한 면으로 하여, 각종 기기의 부착면에 상기 입력블록과 출력 블록의 입출력유로에 대응하는 개구를 형성하기만 하면 좁은 공간에서 용이하게 부착하여 사용할 수 있으므로, 범용성이 있는 유량검출기로서 효과적이다.

또한, 유량검출기 본체와 입출력블록을 미리 일체화하고, 이들에 형성된 유로를 시일부재를 통해 접합하며, 유량검출기 본체 내를 관통하는 유체유로 및 상기 유량검출기본체의 접합부에 있어서의 입력블록과 출력블록의 입출력유로를 단면형상이 일치되는 직선형으로 되므로, 유체의 유로가 매끄럽게 되어, 유체의 흐름이 원활해지므로, 유량검출의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 유량검출기 본체와 입력출력블록의 유로들를 시일부재를 통해 접합하고, 상기 유로의 외부에서 연결수단으로 연결되므로, 유량검출기를 조립하거나 부품교환할 때에도, 나사의 착탈 등에 따라서 발생하는 미세 분말이 유로 내에 잔류하지 않게 된다.

도 1은 본 발명에 관한 유량조절밸브부착 유량검출기의 실시예를 나타내는 단면도이다.

도 2는 동분해투시도이다.

- 부호의 설명 -

1 … 유량검출기본체 2 … 유체유로

3 … 입력블록 4 … 입력유로

5 … 입력블록 6 … 출력유로

10 … 유량센서 11 … 검출부

16a,16c… 시일부재 21 … 유량조절밸브

27,28 … 부착면

도1 및 도2는 본 발명에 관한 유량조절밸브 부착 유량검출기의 실시예를 나타낸다.

이 유량조절밸브부착 유량검출기는 기본적으로는 내부를 관통하는 유체유로(2)를 갖는 유량검출기 본체(1), 본체내의 유체유로(2)의 입력측에 부착되고 내부에 입력유로(4)를 가지는 입력블록(3), 및 유체유로(2)의 출력측에 부착되어 내부에 출력유로(6)를 구비한 출력블록(5)으로 구성된다.

상기 유량검출기 본체(1)는 유량센서(10)를 구비하고, 검출부(11)를 내부의 유체유로(2) 중에 배치한 것으로, 상기 검출부(11)는 프린트기판(12)을 통해 유량계측장치에 접속하도록 전기커넥터(13)에 접속된다. 본 실시예에서는 상기 유량센서(10)로서 검출부(11)에서 유체유로(2)를 흐르는 유체의 열을 검출하여 유량을 구하는 타입인 것을 사용하지만, 와류형 유량센서를 사용할 수도 있다.

상기 유량검출기 본체(1)에 부착된 입력블록(3) 및 출력블록(5)의 상기 입출력유로(4,6)는 각각 유량검출기본체(1)의 유체유로(2)의 입력측 및 출력측에 연결된다. 유량검출기 본체(1)에 입력블록(3) 및 출력블록(5)을 연결하는 연결부에는, 유량검출기 본체(1)에 유체유로(2)의 입력측 단부에 필터(14a,14b)를 각각 삽입한 링(15a,15b)을 부착함과 동시에 그 주위에 시일부재(16a)를 배치하고, 또 유체유로(2)의 출력측 단부에도 필터(14c)를 삽입한 링(15c)을 부착함과 동시에 그 주위에 시일부재(16c)를 배치한다.

그 결과, 유량검출기 본체(1)의 유체유로(2)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)의 입출력유로(4,6)는 상기 시일부재(16a,16c)를 통해 연결되고, 이들 유로(2,4,6)의 외부에서 입출력블록(3,5)을 유량검출기본체(1)에 나사(20)로 연결한다. 또, 상기 유량검출기본체(1)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)를 연결하는 연결수단으로서는 상기 나사(20)에 한정되지 않고, 유로(2,4,6) 외부에서 이들을 연결하는 임의의 수단을 사용할 수도 있다.

상기 출력블록(5)에는 출력유로(6)를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량조절밸브(21)를 설치한다. 도1에 도시된 바와 같이, 유량조절밸브(21)로는 선단이 출력유로(6)의 밸브자리(23)에 대향되고 시일부재(24)를 통해 출력블록(5)에 나사 결합한 니들(22)과 이 니들(22)을 록너트(25)로 고정한 교축밸브를 사용하고 있지만, 다른 구조를 채용할 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는 출력블록(5)에 유량조절밸브(21)를 설치한 경우에 대해 설명하고 있지만, 입력블록(3)에 설치하거나 입력블록(3) 및 출력블록(5)의 양쪽에 설치할 수도 있다.

상기 유량검출기본체(1) 내의 유체유로(2)에서 유체의 흐름을 원활하게 하여 유량의 검출 정밀도의 향상을 도모하기 때문에 상기 유량검출기본체(1)의 접합부에 서의 유체유로(2)는 단면형상이 직선형으로 되고, 또한, 유량검출기본체(1)의 접합부에서의 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)도 단면형상이 유체유로(2)와 일치되면서 직선으로 된다. 단, 상기 입력블록(3)과 출력블록(5)의 입출력유로(4,6)는 유량검출기본체(1)의 유체유로(2)의 축선에 평행한 부착면(27,28)에서 다른 기기에 부착되어 그 취급이 용이하도록 하기 위해, 입출력블록(3,5) 내에서 유로(4,6)를 직각으로 굴곡시킬 필요가 있다. 이 때문에, 유량조절밸브(21)를 장착하지 않은 입력블록(3)의 입력유로(4)를 원할하게 만곡시켜서 그 단부를 부착면(27)에서 개방하는 한편, 유량조절밸브(21)를 부착한 출력블록(5)의 유로(6)는 복잡하게 하지 않고 유량조절밸브(21)의 출력측을 부착면(28)에서 개방시킨다.

상기 유량검출기 본체(1) 및 출력블록(3,5)으로 이루어진 유량조절밸브부착 유량검출기는 본체(1)의 유체유로(2)의 축선으로 평행한 부착면(27,28)을 다른 기기에 부착하여 사용하고, 상기 유량검출기를 부착하는 기기에는 유로(4,6)에 대응하는 개구를 설치하고, 출력블록(3,5)에 부착된 체결구(29,30)(도2)를 나사로 대상 기기에 부착하면 되고, 이렇게 하면 유량검출기의 부착과 배관을 동시에 완료할 수 있다.

또한, 도1에서는 복수의 유량조절밸브부착 유량검출기를 연달아 설치하기 위해, 입출력블록의 부착면(27,28)을 입출력유로(4,6)에 대응하는 입력개구(36) 및 출력개구(37)를 구비한 매니폴드블록(35)에 시일부재(38)를 통해 부착한 상태를 나타내고 있다. 이 매니폴드블록(35)은 입력개구(36)에 연결된 입력공통로(39)에 의해 저면의 직교방향으로 병설된 복수의 매니폴드블록(35)의 입력개구(36)와 연통하여 공통의 유체공급원에 연달되며, 또 매니폴드블록(35)의 출력개구(37)는 각각의 유량조절밸브부착 유량검출기에 의해 개별적으로 유량을 검출함과 동시에 유량조절된 유체를 출력한다.

도면 중, 참조부호 40은 출력개구(37)를 원하는 부분에 연결하기 위한 관이 음매, 참조부호 41은 복수의 매니폴드블록(35)을 상호 연결하기 위한 볼트용 구멍이다.

상기 구성을 가지는 유량조절밸브부착 유량검출기에 있어서는 유량검출기본체(1)의 입력측 및 출력측에 입력블록(3) 및 출력블록(5)를 부착하여 이들을 일체화하고, 출력블록(5)에 유량조절밸브(21)를 설치하므로, 유량계측과 유량조절을 콤팩트하게 일체화한 기기로 행할 수 있으며, 또한, 상기 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)를 개방시킨 부착면(27,28)을 유량검출기본체(1)의 직선 유로(2)의 축선에 평행하게 하여, 각종 기기나 매니폴드블록의 부착면에 상기 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)에 대응하는 개구를 형성함으로써 좁은 공간에서 용이하게 부착되면서 유량계측과 유량조절을 실현할 수 있다.

또, 유량검출기 본체(1)와 입출력블록(3,5)을 미리 일체화하고 유로(2,4,6)를 시일부재(16a,16c)를 통해 접합하여, 본체(1) 내를 관통하는 유체유로(2) 및 본체(1) 접합부의 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)를 단면이 일치되는 직선형으로 하여, 별도로 유량센서나 유량조절밸브를 배관접속하는 경우에 비해 유체의 유로구성이 매끄럽게 되며, 이에 따라 유체의 흐름이 원활하게 되고, 유량의 검출정밀도의 향상을 도모할 수 있다. 또, 유량검출기 본체(1)와 입출력블록(3,5)의 유로(4,6)를 시일부재(16a,16c)를 통해 접합하고, 상기 유로(2,4,6) 외부에서 연결수단에 의해 고정함으로써, 유량검출기의 부품을 교환할 때에도 나사의 착탈 등에 따라서 발생하는 미세 가루가 유로 내에 남아있지 않다.

이상에서 상술한 본 발명의 유량조절밸브부착 유량검출기에 의하면, 반도체 제조장치 등의 깨끗한 환경에서 사용하기에 효과적인 범용성이 있는 유량검출기로서, 미리 유량조절밸브를 장착함으로써 일체화 된 기기로 유량계측과 유량조절을 실시함은 물론, 좁은 공간에서 높은 검출 정밀도로 각종 기기에 용이하게 부착하여 사용할 수 있는 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공할 수 있다.

Claims

내부를 관통하는 유체유로를 가지고, 상기 유체유로에 유량센서의 검출부를 배치하여 설치한 유량검출기본체와, 상기 유량검출기본체에 있어서의 유체유로에 연달아 통하는 입출력유로를 가지고, 유량검출기본체에 대하여, 그 유체유로의 입력측 및 출력측에 부착된 입력블록 및 출력블록과, 상기 입력블록 및 출력블록의 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치되고, 그들의 유로를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량조절밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량조절밸브부착 유량검출기.
제1항에 있어서, 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록의 유로들을 시일부재를 통해서 접합하고, 상기 유로들의 외부에서 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록을 연결수단으로 연결한 것을 특징으로 하는 유량조절밸브부착 유량검출기.
제1항 또는 제2항에 있어서, 유량검출기본체 내를 관통하는 유체유로 및 상기 유량검출기본체의 접합부에에서 입력블록과 출력블록의 입출력유로를 단면이 일치되게 직선형으로 형상하고, 상기 입력블록과 출력블록의 입출력유로가 개방되어 있고 다른 기기에 부착하기 위한 부착면을 상기 유량검출기 본체의 유체유로의 축선에 평행한 면으로 형성한 것을 특징으로 하는 유량조절밸브부착 유량검출기.