JPH11190642A - 流体振動形流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各圧力導入経路の圧力を導くためのパイプや
継手などの圧力伝達手段を容易に取り付けることのでき
る流体振動形流量計を提供することを課題としている。 【解決手段】 ノズル流路２１０から下流側流路２２０
に噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出するよ
うに構成した流体振動形流量計であって、前記下流側流
路２２０を構成する壁部（底壁部）１１には、この壁部
１１を貫通し、前記噴流の一方及び他方の側にそれぞれ
達する圧力導入経路４を設け、前記壁部１１の外面１１
ａには、各圧力導入経路４にそれぞれ連通する圧力中継
孔９１ｃを有する圧力取出し用補助部材９１を設けてな
り、この圧力取出し用補助部材９１における各圧力中継
孔９１ｃは、その互いの間隔が前記壁部１１の外面１１
ａとは反対側の部材外面９１ｈに向かうにしたがって広
がるように形成されていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、２次元流路のノ
ズル流路出口部付近の位置に生じる噴流の流体振動から
流量を検出する流体振動形流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、例
えば図１９に示すものが知られている。この図に示す流
体振動形流量計ＦＭは、カバー５で閉じられるハウジン
グ１内に一対のノズル部材２、２を設けることにより、
同ハウジング１内にノズル流路２１０を構成すると共
に、このノズル流路２１０の上流側及び下流側にそれぞ
れ上流側流路２００及び下流側流路２２０を構成する構
造になっている。下流側流路２２０には、ノズル流路２
１０の延長線上（中心線Ｃ上）にターゲット３が設けら
れている。そして、ノズル流路２１０を通って噴出する
ガス（流体）がターゲット３に衝突することによって流
体振動が発生し、この流体振動に基づいて流量を検出す
る原理になっている。

【０００３】上記ハウジング１は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝１ａによって構成されている。そして、溝
１ａの表面をカバー５で覆うことによって、上流側流路
２００、ノズル流路２１０及び下流側流路２２０からな
る２次元流路を構成している。すなわち、上流側流路２
００、ノズル流路２１０及び下流側流路２２０は、溝１
ａの底面である基準面（内面）１０からの高さ（図１９
の紙面に直交する方向の厚さ方向の寸法）が一定で、中
心線Ｃを介して左右対称の２次元流路を構成している。

【０００４】さらに、ハウジング１は、流入口１ｂ及び
流出口１ｃを介して他の流路に接続できるように構成さ
れている。また、ハウジング１には、カバー５を固定す
るためのねじ穴１ｅが形成されていると共に、ノズル部
材２を固定するためのねじ穴（図示せず）が形成されて
いる。ねじ穴１ｅには、カバー５を固定するためのボル
ト６がねじ込まれるようになっている。そして、ノズル
部材２には、上記ボルト６の通る貫通孔２ａが形成され
ていると共に、ノズル部材２をハウジング１に固定する
ためのボルト７の貫通孔２ｂが形成されている。

【０００５】また、ハウジング１には、下流側流路２２
０に噴出する噴流の一方及び他方の側にあって、中心線
Ｃからの距離が等しい位置に圧力導入経路４が２つ設け
られている。これらの圧力導入経路４は、図１９〜図２
２に示すように、ハウジング１の底壁部（下流側流路２
２０を構成する壁部）１１を基準面１０に対して垂直に
貫通するように形成されている。

【０００６】上記各圧力導入経路４には、図２２に示す
ように、パイプ８１が溶接又は接着により固定されてい
る。これらのパイプ８１は、各圧力導入経路４を図示し
ない圧力センサ（圧力検出手段）に接続するようになっ
ている。また、パイプ８１によっては、このパイプ８１
及び圧力導入経路４に形成されたテーパネジによって、
圧力導入経路４に固定されるものもある。圧力センサ
は、２つの圧力導入経路４から取り出された圧力によっ
て、ノズル流路２１０から噴出する噴流の流体振動を検
出するようになっている。

【０００７】そして、流体振動形流量計ＦＭは、流体振
動の周波数と、ガス（流体）の流量あるいは流速が比例
関係にあることから、流量を測定する方式になってい
る。なお、上記流体振動形流量計ＦＭは、ＬＰガスの流
量を測定するものであり、ＬＰガスの流体振動を測定す
ることになる。ただし、上記構造の流体振動形流量計Ｆ
Ｍにあっては、ＬＰガス以外の他の気体や、液体の流量
を測定することも可能である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記流体振
動形流量計ＦＭにおいては、各圧力導入経路４が互いに
近接した状態になっているので、これらの各圧力導入経
路４にパイプ８１を溶接又は接着により固定したり、あ
るいはテーパネジにより固定したりするのが非常に面倒
で手間がかかるという問題がある。

【０００９】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、各圧力導入経路の圧力を導くためのパ
イプや継手などの圧力伝達手段を容易に取り付けること
のできる流体振動形流量計を提供することを課題として
いる。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、請求項１に係る発明は、ノズル流路（２１０）から
下流側流路（２２０）に噴出する噴流の流体振動に基づ
いて流量を検出するように構成した流体振動形流量計で
あって、前記下流側流路（２２０）を構成する壁部（１
１）には、この壁部（１１）を貫通し、前記噴流の一方
及び他方の側にそれぞれ達する圧力導入経路（４）を設
け、前記壁部（１１）の外面（１１ａ）には、各圧力導
入経路（４）にそれぞれ連通する圧力中継孔（９１ｃ）
を有する圧力取出し用補助部材（９１）を設けてなり、
この圧力取出し用補助部材（９１）における各圧力中継
孔（９１ｃ）は、その互いの間隔が前記壁部（１１）の
外面（１１ａ）とは反対側の部材外面（９１ｈ）に向か
うにしたがって広がるように形成されていることを特徴
としている。

【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明において、各圧力中継孔（９１ｃ）は、壁部（１１）
の外面（１１ａ）に接触する接触面（９１ｅ）から部材
外面（９１ｈ）に向かって互いに広がるように斜めに形
成された斜め中継部（９１ｉ）と、この斜め中継部（９
１ｉ）から部材外面（９１ｈ）に向けて垂直に形成され
た垂直中継部（９１ｊ）とを有しており、前記各垂直中
継部（９１ｊ）は、パイプや継手などの圧力伝達手段が
取り付け可能に構成されていることを特徴としている。

【００１２】請求項３に係る発明は、請求項１に係る発
明において、圧力取出し用補助部材（９１）における部
材外面（９１ｈ）には、各圧力中継孔（９１ｃ）にそれ
ぞれ連通する圧力検出孔（９２ｃ）を有する圧力検出手
段（９２）が設けられていることを特徴としている。

【００１３】請求項４に係る発明は、請求項３に係る発
明において、圧力検出手段（９２）は、各圧力検出孔
（９２ｃ）から導かれてきた噴流の一方の側及び他方の
側の圧力の差圧を検出するようになっていることを特徴
としている。

【００１４】そして、上記のように構成された請求項１
に係る発明においては、圧力取出し用補助部材（９１）
の各圧力中継孔（９１ｃ）の間隔が部材外面（９１ｈ）
に向かうにしたがって広がるように形成されているか
ら、圧力取出し用補助部材（９１）の部材外面（９１
ｈ）において、各圧力中継孔（９１ｃ）の間隔が十分に
広がった状態になる。このため、各圧力中継孔（９１
ｃ）にパイプや継手などの圧力伝達手段を容易に接続す
ることができる。すなわち、各圧力導入経路の圧力を導
くためのパイプや継手などの圧力伝達手段を容易に取り
付けることができる。

【００１５】請求項２に係る発明においては、各圧力中
継孔（９１ｃ）における垂直中継部（９１ｊ）を、パイ
プや継手などの圧力伝達手段が取り付け可能なように構
成しているから、圧力取出し用補助部材（９１）以外
に、圧力伝達手段を取り付けるための部品を必要とせ
ず、よって部品点数の増大及びコストの増加を最小限に
抑えることができる。

【００１６】請求項３に係る発明においては、圧力取出
し用補助部材（９１）に圧力検出手段（９２）が設けら
れているから、圧力取出し用補助部材（９１）と圧力検
出手段（９２）とを接続するための継手やパイプ等の圧
力伝達手段が不要になる。したがって、部品点数及びコ
ストの低減を図ることができる。

【００１７】請求項４に係る発明においては、圧力検出
手段（９２）によって噴流の一方の側及び他方の側の圧
力の差圧を検出することができるから、流体振動のノズ
ル成分を相殺除去することができると共に、噴流の流体
振動をより大きく振幅する圧力信号として検出すること
ができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図１〜図１８を参照して説明する。なお、
図１〜図５は第１実施例、図６は第２実施例、図７は第
３実施例、図８は第４実施例、図９〜図１３は第５実施
例、図１４〜図１８は第６実施例を示している。

【００１９】まず、図１〜図５を参照して第１実施例を
説明する。ただし、図１９〜図２２に示す従来例の構成
要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を
省略する。

【００２０】この実施例で示す流体振動形流量計ＦＭ
は、図１〜図５に示すように、ノズル流路２１０から下
流側流路２２０に噴出する噴流の流体振動に基づいて流
量を検出するように構成したものであって、前記下流側
流路２２０を構成する底壁部（壁部）１１には、この底
壁部１１を貫通し、前記噴流の一方及び他方の側にそれ
ぞれ達する圧力導入経路４を設け、前記底壁部１１の外
面１１ａには、各圧力導入経路４にそれぞれ連通する圧
力中継孔９１ｃを有する圧力取出し用補助部材９１を設
けてなり、この圧力取出し用補助部材９１における各圧
力中継孔９１ｃは、その互いの間隔が前記底壁部１１の
外面１１ａとは反対側の部材外面９１ｈに向かうにした
がって広がるように形成されている。

【００２１】上記各圧力中継孔９１ｃは、図３〜図５に
示すように、底壁部１１の外面１１ａに接触する接触面
９１ｅから部材外面９１ｈに向かって互いに広がるよう
に斜めに形成された斜め中継部９１ｉと、この斜め中継
部９１ｉから部材外面９１ｈに向けて垂直に形成された
垂直中継部９１ｊとを有しており、前記各垂直中継部９
１ｊは、パイプ（圧力伝達手段）８１が取り付け可能に
構成されている。

【００２２】以下、上記各構成についてさらに詳細に説
明する。すなわち、圧力取出し用補助部材９１は、直方
体状に形成されたものであり、その左右の端部にはボル
トＢＬによって底壁部１１に固定するためのフランジ９
１ａが形成されている。各フランジ９１ａには、ボルト
ＢＬを挿通するための孔９１ｂが２つ設けられている。
また、各圧力導入経路４に対応する位置には圧力中継孔
９１ｃが開口している。

【００２３】各圧力中継孔９１ｃは、その垂直中継部９
１ｊにパイプ８１を嵌合して溶接又は接着により固定す
るようになっている。各パイプ８１は、図示しない圧力
センサ（圧力検出手段）に接続されるようになってい
る。なお、この実施例では、各圧力導入経路４間のピッ
チが４ｍｍ、接触面９１ｅ側における各斜め中継部９１
ｉ間のピッチが４ｍｍ、各垂直中継部９１ｊ間のピッチ
が８ｍｍに形成されている。

【００２４】また、圧力取出し用補助部材９１には、上
記接触面９１ｅにＯリング溝９１ｆが形成されており、
このＯリング溝９１ｆにはＯリング９１１が設けられて
いる。なお、底壁部１１の外面１１ａは、圧力取出し用
補助部材９１の接触面９１ｅに接触する接触面になって
いる。

【００２５】Ｏリング溝９１ｆは、各圧力中継孔９１ｃ
のそれぞれを囲むように環状に形成されており、その結
果必然的に上記各圧力導入経路４のそれぞれを囲むよう
にもなっている。そして、Ｏリング溝９１ｆ及びＯリン
グ９１１は、上記外面１１ａ、接触面９１ｅの隙間部分
から外部へのガス（流体）の漏れを防止すると共に、各
圧力導入経路４に導かれた圧力が外面１１ａと接触面９
１ｅとの隙間部分を介して互いに影響し合うのを防止す
るようになっている。なお、図２において、１１ｂは、
ボルトＢＬが螺合するネジ穴である。

【００２６】上記のように構成された流体振動形流量計
においては、圧力取出し用補助部材９１の各圧力中継孔
９１ｃの間隔が部材外面９１ｈに向かうにしたがって広
がるように形成されているから、圧力取出し用補助部材
９１の部材外面９１ｈにおいて、各圧力中継孔９１ｃの
間隔が十分に広がった状態になる。このため、各圧力中
継孔９１ｃにパイプ８１を容易に接続することができ
る。すなわち、各圧力導入経路４の圧力を導くためのパ
イプ８１を容易に取り付けることができる。

【００２７】しかも、圧力中継孔９１ｃにおける垂直中
継部９１ｊはパイプ８１を嵌合した状態で、このパイプ
８１を溶接又は接着により固定するようになっているか
ら、圧力取出し用補助部材９１以外に、パイプ８１を取
り付けるための部品を必要とせず、よって部品点数の増
大及びコストの増加を最小限に抑えることができる。

【００２８】また、ハウジング（本体）１側において、
パイプ８１を取り付けるために、例えば圧力導入経路４
に拡径孔を加工したり、テーパネジを加工したりするこ
とが不要になる。したがって、その加工が少なくなった
分だけ、ハウジング１の加工が簡単になると共に、同ハ
ウジング１の不良率の低減を図ることができる。しか
も、より高価なハウジング１の不良率の低減を図ること
ができるから、結局、コストの低減を果たすことができ
る。

【００２９】また、圧力取出し用補助部材９１として
は、樹脂を用いた射出成形により一体的に成形すること
ができるから、Ｏリング溝９１ｆ等を形成することによ
って構造が複雑になっても、製造コストや不良率が増加
することがない。しかも、射出成形により、圧力取出し
用補助部材９１を大量にかつ安価に製造することができ
る利点がある。

【００３０】さらに、パイプ８１が圧力取出し用補助部
材９１に溶接又は接着により連結されるようになってい
るが、圧力取出し用補助部材９１が底壁部１１に対して
着脱可能になっているから、メンテナンス性の向上を図
ることができる。

【００３１】次に、この発明の第２実施例を図６を参照
して説明する。ただし、図１〜図５に示す第１実施例の
構成要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説
明を省略する。この第２実施例が第１実施例と異なる点
は、垂直中継部９１ｊにテーパ雌ネジ部９１ｇを形成し
ている点である。

【００３２】すなわち、垂直中継部９１ｊには、図６に
示すように、部材外面９１ｈ側の端部にテーパ雌ネジ部
９１ｇが形成され、パイプ８１の端部には、テーパ雌ネ
ジ部９１ｇに螺合するテーパ雄ネジ部８１ａが形成され
ている。これらのテーパ雌ネジ部９１ｇとテーパ雄ネジ
部８１ａとは、シールテープによって気密に接続される
ようになっている。

【００３３】上記のように構成された流体振動形流量計
ＦＭにおいては、テーパネジ９１ｇ、８１ａにより、パ
イプ８１を垂直中継部９１ｊに接続するようになってい
るから、溶接や接着によって接続する場合に比べて、パ
イプ８１を圧力中継孔９１ｃに簡単に接続することがで
きる。すなわち、各圧力導入経路４の圧力を導くための
パイプ８１をより簡単に取り付けることができる。ま
た、パイプ８１が垂直中継部９１ｊに対して着脱自在に
なるからメンテナンス性の向上を図ることができる。

【００３４】またさらに、圧力取出し用補助部材９１が
底壁部１１に対して着脱可能になっていることから、さ
らにメンテナンス性の向上を図ることができる。すなわ
ち、流体振動形流量計ＦＭの本体側の部分は、例えばガ
スメータとして、建物等に設置されている場合が多く、
その場合、流体振動形流量計ＦＭのハウジング１にパイ
プ８１をねじ込む作業は、パイプ８１が長いほど、また
曲がっているほど、大変な作業になる。これに対して、
本実施例では、圧力取出し用補助部材９１の部分に予め
パイプ８１をねじ込んで固定した後、その圧力取出し用
補助部材９１を流体振動形流量計ＦＭの本体、すなわち
ハウジング１の底壁部１１に固定すればよいから、パイ
プ８１の着脱が極めて簡単になる。その他、第１実施例
と同様の効果を奏する。

【００３５】次に、この発明の第３実施例を図７を参照
して説明する。ただし、図６に示す第２実施例の構成要
素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を省
略する。この第３実施例が第２実施例と異なる点は、継
手部材（圧力伝達手段）８２を介して、パイプ８１を垂
直中継部９１ｊに連結するように構成している点であ
る。

【００３６】すなわち、継手部材８２は、テーパ雌ネジ
部９１ｇに螺合により固定される第１の継手８２ａと、
この第１の継手８２ａに袋ナット等あるいは、そろばん
玉によってパイプ８１を固定する第２の継手８２ｂとを
備えたもので構成されている。

【００３７】上記のように構成された流体振動形流量計
ＦＭにおいては、継手部材８２を介してパイプ８１を垂
直中継部９１ｊに連結するようになっているから、第２
実施例のようにパイプ８１を回転させなくても、パイプ
８１を垂直中継部９１ｊに接続することができる。すな
わち、各圧力導入経路４の圧力を導くための継手部材８
２及びパイプ８１をさらに簡単に取り付けることができ
る。また、継手部材８２を用いる場合には、各圧力導入
経路４の間隔が広がっていることにより、特に、各圧力
中継孔９１ｃへの取り付けが簡単になる。その他、第１
実施例及び第２実施例と同様の効果を奏する。

【００３８】次に、この発明の第４実施例を図８を参照
して説明する。ただし、図７に示す第３実施例の構成要
素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を省
略する。この第４実施例が第３実施例と異なる点は、継
手部材８２に代えてタケノコ状の継手（圧力伝達手段）
８３を設けている点である。

【００３９】すなわち、継手８３は、その先端側のテー
パ雄ネジ部８３ａを介してテーパ雌ネジ部９１ｇに固定
されるようになっており、そのタケノコ状のパイプ部８
３ｂを介してホース（圧力伝達手段）（図示せず）を接
続するようになっている。ホースは図示しない圧力セン
サに接続されるようになっている。

【００４０】上記のように構成された流体振動形流量計
ＦＭにおいては、継手８３を介してホースを各圧力中継
孔９１ｃに簡単に接続することができる。すなわち、各
圧力導入経路４の圧力を導くための継手８３及びホース
をより簡単に取り付けることができる。その他、第１実
施例〜第３実施例と同様の効果を奏する。

【００４１】次に、この発明の第５実施例を図９〜図１
３を参照して説明する。ただし、図１〜図５に示す第１
実施例の構成要素と共通する要素には同一の符号を付
し、その説明を省略する。この第５実施例が第１実施例
と異なる点は、圧力取出し用補助部材９１に圧力センサ
（圧力検出手段）９２が直接設けられている点である。

【００４２】すなわち、圧力取出し用補助部材９１にお
ける部材外面９１ｈには、図９〜図１３に示すように、
各圧力中継孔９１ｃにそれぞれ連通する圧力検出孔９２
ｃを有する圧力センサ９２が設けられている。ただし、
各圧力中継孔９１ｃは、斜め中継部９１ｉのみによって
形成されている。圧力センサ９２は、各圧力検出孔９２
ｃから導かれてきた圧力の差圧を検出するようになって
いる。

【００４３】上記圧力センサ９２は、図９、図１２及び
図１３に示すように、直方体状に形成されたものであ
り、その左右の端部にはボルトＢＬによって圧力取出し
用補助部材９１の部材外面９１ｈに固定するためのフラ
ンジ９２ａが形成されている。各フランジ９２ａには、
ボルトＢＬを挿通するための孔９２ｂが２つ設けられて
いる。そして、各圧力検出孔９２ｃは、圧力取出し用補
助部材９１の各圧力中継孔９１ｃに対応する位置に開口
すると共に、圧力検知素子９３の一方の側及び他方の側
に導かれている。

【００４４】また、圧力センサ９２には、上記部材外面
９１ｈに接触する接触面９２ｅにＯリング溝９２ｆが形
成されており、このＯリング溝９２ｆにはＯリング９２
１が設けられている。なお、圧力取出し用補助部材９１
の部材外面９１ｈは、圧力センサ９２の接触面９２ｅに
接触する接触面になっている。

【００４５】Ｏリング溝９２ｆは、各圧力検出孔９２ｃ
のそれぞれを囲むように環状に形成されており、その結
果必然的に上記各圧力中継孔９１ｃのそれぞれを囲むよ
うにもなっている。そして、Ｏリング溝９２ｆ及びＯリ
ング９２１は、上記部材外面９１ｈ、接触面９２ｅの隙
間部分から外部へのガス（流体）の漏れを防止すると共
に、各圧力中継孔９１ｃに導かれた圧力が部材外面９１
ｈと接触面９２ｅとの隙間部分を介して互いに影響し合
うのを防止するようになっている。なお、図１０におい
て、９１ｋは、ボルトＢＬが螺合するネジ穴である。

【００４６】圧力検知素子９３は、噴流の左右の位置の
圧力をそれらの差圧として検出するようになっている。
また、圧力検知素子９３としては、例えば圧電膜セン
サ、静電容量型センサが用いられている。

【００４７】上記のように構成された流体振動形流量計
ＦＭにおいては、圧力取出し用補助部材９１に圧力セン
サ９２が直接設けられているから、圧力取出し用補助部
材９１と圧力センサ９２とを接続するための継手やパイ
プ等の圧力伝達手段が不要になる。したがって、部品点
数及びコストの低減を図ることができる。しかも、圧力
センサ９２によって、各圧力導入経路４、各圧力中継孔
９１ｃ及び各圧力検出孔９２ｃから導かれてきた圧力の
差圧を検出することができるから、噴流の流体振動をよ
り大きく振幅する圧力信号として検出することができる
という利点がある。また噴流のノイズ成分による圧力変
動を相殺し除去することができる。

【００４８】また、各圧力導入経路４間のピッチＬ１が
小さくても、各圧力検出孔９２ｃの開口部の間のピッチ
Ｌ２の大きな圧力センサ９２を取り付けることができ
る。そして、各圧力中継孔９１ｃが部材外面９１ｈに向
かって広がる角度αを変えることにより、上記ピッチＬ
１の異なるものや、上記ピッチＬ２の異なるものに簡単
に対応することができる。

【００４９】このため、各圧力導入経路４間のピッチＬ
１として最適なものを容易に得ることができ、測定精度
の優れた流体振動形流量計ＦＭを容易に得ることができ
る。しかも、各種のピッチＬ２を有する圧力センサ９２
を使用することができるという利点もある。また、圧力
中継孔９１ｃを有する圧力取出し用補助部材９１は、樹
脂を用いた射出成形により、一体的に容易に製造するこ
とができると共に、軽量化を図ることができる。その
他、第１実施例〜第４実施例と同様の効果を奏する。

【００５０】次に、この発明の第６実施例を図１４〜図
１８を参照して説明する。ただし、図９〜図１３に示す
第５実施例の構成要素と共通する要素には同一の符号を
付し、その説明を省略する。この第６実施例が第５実施
例と異なる点は、圧力取出し用補助部材９１と圧力セン
サ９２との間のシール用のＯリング９２１及びＯリング
溝９２ｆを圧力取出し用補助部材９１の部材外面９１ｈ
側に設けている点である。

【００５１】すなわち、Ｏリング溝９２ｆは、部材外面
９１ｈに設けられたものであって、各圧力中継孔９１ｃ
のそれぞれを囲むように環状に形成されており、その結
果必然的に圧力センサ９２の各圧力検出孔９２ｃのそれ
ぞれをも囲むようになっている。そして、Ｏリング溝９
２ｆ及びＯリング９２１は、部材外面９１ｈと接触面９
２ｅとの隙間部分から外部へのガス（流体）の漏れを防
止すると共に、各圧力中継孔９１ｃに導かれた圧力が部
材外面９１ｈと接触面９２ｅとの隙間部分を介して互い
に影響し合うのを防止するようになっている。

【００５２】上記のように構成された流体振動形流量計
ＦＭにおいては、圧力取出し用補助部材９１の接触面９
１ｅ及び部材外面９１ｈのそれぞれにＯリング溝９１ｆ
及びＯリング溝９２ｆが形成されたものとなるから、圧
力取出し用補助部材９１が複雑な形状のものとなる。し
かし、圧力取出し用補助部材９１は、構造が複雑でも樹
脂を用いて射出成形することにより、コストが増加する
ことがない。これに対して、圧力センサ９２にＯリング
溝９２ｆを加工する必要がなくなるから、圧力センサ９
２のコストを低減することができ、結局全体のコストの
低減を図ることができる。その他、第１実施例〜第５実
施例と同様の効果を奏する。

【００５３】なお、上記各実施例においては、圧力取出
し用補助部材９１の各フランジ９１ａに、ボルトＢＬを
挿通するための孔９１ｂを２つずつ設けるように構成し
たが、この孔９１ｂは、各フランジ９１ａの上下方向の
中心位置に１つずつ設けるように構成してもよい。同様
にして、圧力センサ９２においても、各フランジ９２ａ
の上下方向の中心位置に１つの孔９２を設けるように構
成してもよい。

【００５４】また、圧力取出し用補助部材９１について
は、下流側流路２２０を構成する底壁部１１に取り付け
るように構成したが、カバー（壁部）５に上記各圧力導
入経路４を設けると共に、このカバー５に圧力取出し用
補助部材９１を取り付けるように構成してもよい。

【００５５】さらに、圧力取出し用補助部材９１側に設
けたＯリング溝９１ｆ及びＯリング９１１については、
底壁部１１の外面１１ａ側に設けてもよいことはいうま
でもない。ただし、不良率及びコストの低減を図る上で
は、Ｏリング溝９１ｆ及びＯリング９１１を圧力取出し
用補助部材９１側に設けることが好ましい。

【００５６】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、圧力取
出し用補助部材の各圧力中継孔の間隔が部材外面に向か
うにしたがって広がるように形成されているから、圧力
取出し用補助部材の部材外面において、各圧力中継孔の
間隔が十分に広がった状態になる。このため、各圧力中
継孔にパイプや継手などの圧力伝達手段を容易に接続す
ることができる。すなわち、各圧力導入経路の圧力を導
くためのパイプや継手などの圧力伝達手段を容易に取り
付けることができる。

【００５７】請求項２に係る発明においては、各圧力中
継孔における垂直中継部を、パイプや継手などの圧力伝
達手段が取り付け可能なように構成しているから、圧力
取出し用補助部材以外に、圧力伝達手段を取り付けるた
めの部品を必要とせず、よって部品点数の増大及びコス
トの増加を最小限に抑えることができる。

【００５８】請求項３に係る発明においては、圧力取出
し用補助部材に圧力検出手段が設けられているから、圧
力取出し用補助部材と圧力検出手段とを接続するための
継手やパイプ等の圧力伝達手段が不要になる。したがっ
て、部品点数及びコストの低減を図ることができる。

【００５９】請求項４に係る発明においては、圧力検出
手段によって噴流の一方の側及び他方の側の圧力の差圧
を検出することができるから、噴流のノイズ成分による
圧力変動成分を除去、相殺することができると共に、噴
流の流体振動をより大きく振幅する圧力信号として検出
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例として示した流体振動形
流量計の断面図であって、図１９のXX−XX線に相当する
位置の断面図である。

【図２】同流体振動形流量計の背面図である。

【図３】同流体振動形流量計の要部断面図である。

【図４】同流体振動形流量計の圧力取出し用補助部材を
示す平面図である。

【図５】同流体振動形流量計の圧力取出し用補助部材を
示す底面図である。

【図６】この発明の第２実施例として示した流体振動形
流量計の要部断面図である。

【図７】この発明の第３実施例として示した流体振動形
流量計の要部断面図である。

【図８】この発明の第４実施例として示した流体振動形
流量計の要部断面図である。

【図９】この発明の第５実施例として示した流体振動形
流量計の要部断面図である。

【図１０】同流体振動形流量計の圧力取出し用補助部材
を示す平面図である。

【図１１】同流体振動形流量計の圧力取出し用補助部材
を示す底面図である。

【図１２】同流体振動形流量計の圧力センサを示す平面
図である。

【図１３】同流体振動形流量計の圧力センサを示す底面
図である。

【図１４】この発明の第６実施例として示した流体振動
形流量計の要部断面図である。

【図１５】同流体振動形流量計の圧力取出し用補助部材
を示す平面図である。

【図１６】同流体振動形流量計の圧力取出し用補助部材
を示す底面図である。

【図１７】同流体振動形流量計の圧力センサを示す平面
図である。

【図１８】同流体振動形流量計の圧力センサを示す底面
図である。

【図１９】従来例として示した流体振動形流量計の正面
図である。

【図２０】同流体振動形流量計を示す断面図であって、
図１９のXX−XX線に沿う断面である。

【図２１】同流体振動形流量計の背面図である。

【図２２】同流体振動形流量計の要部断面図である。

【符号の説明】

４ 圧力導入経路 １１ 壁部（底壁部） １１ａ 外面 ８１ 圧力伝達手段（パイプ） ８２ 圧力伝達手段（継手部材） ８３ 圧力伝達手段（タケノコ状の継手） ９１ 圧力取出し用補助部材 ９１ｃ 圧力中継孔 ９１ｅ 接触面 ９１ｈ 部材外面 ９１ｉ 斜め中継部 ９１ｊ 垂直中継部 ９２ 圧力検出手段（圧力センサ） ９２ｃ 圧力検出孔 ２１０ ノズル流路 ２２０ 下流側流路 ＦＭ 流体振動形流量計

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル流路から下流側流路に噴出する噴
   流の流体振動に基づいて流量を検出するように構成した
   流体振動形流量計であって、 前記下流側流路を構成する壁部には、この壁部を貫通
   し、前記噴流の一方及び他方の側に達する圧力導入経路
   を設け、 前記壁部の外面には、各圧力導入経路にそれぞれ連通す
   る圧力中継孔を有する圧力取出し用補助部材を設けてな
   り、 この圧力取出し用補助部材における各圧力中継孔は、そ
   の互いの間隔が前記壁部の外面とは反対側の部材外面に
   向かうにしたがって広がるように形成されていることを
   特徴とする流体振動形流量計。
2. 【請求項２】 各圧力中継孔は、壁部の外面に接触する
   接触面から部材外面に向かって互いに広がるように斜め
   に形成された斜め中継部と、この斜め中継部から部材外
   面に向けて垂直に形成された垂直中継部とを有してお
   り、 前記各垂直中継部は、パイプや継手などの圧力伝達手段
   が取り付け可能に構成されていることを特徴とする請求
   項１記載の流体振動形流量計。
3. 【請求項３】 圧力取出し用補助部材における部材外面
   には、各圧力中継孔にそれぞれ連通する圧力検出孔を有
   する圧力検出手段が設けられていることを特徴とする請
   求項１記載の流体振動形流量計。
4. 【請求項４】 圧力検出手段は、各圧力検出孔から導か
   れてきた噴流の一方の側及び他方の側の圧力の差圧を検
   出するようになっていることを特徴とする請求項３記載
   の流体振動形流量計。