JPH0353124A

JPH0353124A - 複合流量計

Info

Publication number: JPH0353124A
Application number: JP18609089A
Authority: JP
Inventors: Katsuto Sakai; 克人酒井; Takeshi Abe; 健安部; Makoto Okabayashi; 岡林　誠; Hideki Hayakawa; 秀樹早川; Koichi Yasuda; 弘一安田; Shoji Jounten; 昭司上運天; Shigeru Aoshima; 滋青島; Koichi Ochiai; 耕一落合; Shosaku Maeda; 前田　昌作
Original assignee: Osaka Gas Co Ltd; Tokyo Gas Co Ltd; Azbil Corp; Toho Gas Co Ltd
Current assignee: Osaka Gas Co Ltd; Tokyo Gas Co Ltd; Azbil Corp; Toho Gas Co Ltd
Priority date: 1989-07-20
Filing date: 1989-07-20
Publication date: 1991-03-07
Anticipated expiration: 2011-07-24
Also published as: JP2517401B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、マイクロブリッジを使用した流量計に関し、
特に低流量まで測定するフルイディック流量計に関する
ものである。

〔従来の技術〕

フルイデインク流量計において低流量を測定するために
マイクロブリフジを使用することが考えられるが、被測
定対象の流体の中にはダストやξストを含む場合がある
。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の流量計においては、被測定対象の流体の中にダス
トやミストを含んでいる場合、これらがマイクロブリッ
ジチップに当たり、流速センサとしてのマイクロブリッ
ジの出力信号がドリフトするという問題があった。

また、一ｉにノズル内への流速センサ基板の取付けは難
しく、取付けが容易な流量計が要望されていた．〔課題を解決するための手段〕このような課題を解決するために本発明の第１の発明は
、圧力取出孔とバイパス流路とセンサ基板取付溝とを有
するフルイディック流量計の蓋と、バイパス流路に配設
されバイパス流路より狭い流路を有するフローハウジン
グと、狭い流路の流速を検出するマイクロブリフジのチ
ップと外部接続のためのピンとを有するセンサ基板と、
流体の外部への漏れを防止するガスケソトと、流体のピ
ンへの漏れを防止するシーリング材と、ガスケントをフ
ルイデインク流量計の蓋へ固定するためのバイパス流路
用蓋とを設け、圧力取出孔における差圧によりバイパス
流路へ流れてくる微少な流量をマイクロブリッジで測定
することにより主流路の流量を測定するようにしたもの
である。

また、第２の発明として、上記発明において、フローハ
ウジングの狭い流路の断面積は出入口で大きく、中央部
で出入口側より小さくなるようにしたものである。

〔作用〕本発明による流量計においては、マイクロブリッジチッ
プに当たるダスト、ミストの量が非常に少なく、センサ
基板の取付も容易である。

〔実施例〕

第３図は一般的なフルイデインク流量計を示す断面図で
あり、同図において、１はフルイディック流量計、Ｆは
流体の流れる方向を示す矢印である。

第１図は本発明の原理を説明するための説明図であり、
第３図におけるＩ−１線断面を示す。第１図において、
２はマイクロブリッジチップ、３はノズル、４は主流路
、５はバイパス流路、６はフルイディック流量計の蓋、
Ｆは流体の流れる方向を示す矢印である．本発明による
流量計は、バイパス流路５における流体流速が主流路に
おける圧力Ｐ１とノズル３における圧力Ｐ２との差圧Ｐ
１−Ｐ２に対応することを利用するものであり、間接的
にノズル３を通過する流量を測定するものである．第２図はフルイデインク本体にバイパス流路５を設けた
場合であり、原理的には第１図と同様である．第４図〜第７図は本発明による流量計の第１の実施例の
構或を示す構戒図である。第４図〜第７図において、２
は流速を検出するマイクロブリッジチップ、７はセンサ
基板（例えばセラミックの厚膜配線基板やプリント基板
〉、７ａはピン、８はフローハウジング、９は流路、１
０は圧力取出孔、１１はセンサ基板取付溝、１２はねし
穴、１３はバイパス流路用蓋、１４はゴム板・コルク等
から成るガスケット、１５はグリス・エポキシ等のシー
リング材、１６はねじ、１７はピン用溝である。第５図
はセンサ基板７とフローハウジング８とを一体にしたセ
ンサユニットを示し、第６図はフルイディック流量計の
蓋を示す．本実施例は、第５図のセンサユニットを第６
図の蓋に第７図に示すように組み込むことにより作製さ
れる。すなわち、まず第５図のセンサユニットをバイパ
ス流路５に取り付け、ピン７ａ側に流体が漏れないよう
にピン７ａの近くをシーリング材１５で覆う。

次に、ガスケット１４を所定位置に配設し、バイパス流
路用蓋１３によりガスケット１４を蓋６に固定する。

第８図〜第１２図は本発明の第２の実施例を示す構威図
である。第８図〜第１０図はセンサユニットの例を示す
．第８図，第９図はフローハウジング８側にピン７ａを
立てた例を示し、第ｌＯ図はセンサ基板７側にピン７ａ
を立てた場合を示す。

第１１図は第８図〜第１０図のセンサユニットに応じた
ｌＩ６を示す．第６図と異なる点はピン溝ｌ７が無い点
および開口部１８が有る点である。開口部１８はピン７
ａを外部のコネクタ等と接続するためのものである。

第１．３図に示すようにフローハウジング８を流れ方向
に短くしたり、第１４図（ａｌ〜（Ｃ）に示すようにマ
イクロブリッジチップ付近だけを絞った形状にすると、
バイパス流路の圧損が小さくなり、分流してくる流量が
多くなり、しかもマイクロブリッジチップ部分の流速は
速くなってくるので、センサユニットからの出力信号は
高レベルとなる。

なお、第１５図に示すように、フルイデインク流量計の
蓋６にフローハウジングを作り込み、それにセンサ基Ｆ
ｉ７を取り付けてもよい．また、リード線の取出しは、
第１６図に示すようにコネクタ１９を使用したり、第１
７図に示すように直接回路基板２０に取り付けることも
できる。

さらに、第１８図に示すようにフルイデインク流量計の
蓋６を加工すれば、第５図に示すようにセンサ基板のピ
ン７ａを曲げなくてもよい．以上の実施例においてはセ
ンサユニットをフルイデインク流量計の蓋６に組み込ん
だ場合を示したが、第１９図と第２０図に示すように、
チューブ２２と継手２３あるいはジョイント２４により
流体をバイパス流路５に導くようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ノズルの上流側とノズル
内もしくはノズルの下流側との間に生じる差圧をバイパ
ス流路のマイクロブリッジチップで測定して流量を測定
するようにしたことにより、マイクロブリッジチップに
当たるダストやミストの量を非常に少なくすることがで
きるので、長期的な安定性が向上する効果がある．また、センサ基板をノズル内に取り付ける必要がなくな
るので、センサ基板の取付けが容易になるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の原理を説明するための説
明図、第３図は一般的なフルイディソク流量計を示す断
面図、第４図〜第７図は本発明による流量計の第１の実
施例の構威を示す構或図、第８図〜第１２図は本発明の
第２の実施例を示す構威図、第１３図および第１４図は
センサユニソトの例を示す構或図、第１５図〜第１８図
は他の実施例を示す構或図、第１９図および第２０図は
外部にバイパス流路を設けた場合を示す構或図である．２・・・マイクロブリッジチップ、３・・・ノズル、４
・・・主流路、５・・・バイパス流路、６・・・フルイ
ディック流量計の蓋、７・・・センサ基板、７ａ・・・
ピン、８・・・フローハウジング、９・・・流路、１０
・・・圧力取出孔、１１・・・センサ基板取付溝、１２
・・・ねじ穴、１３・・・バイパス流路用蓋、１４・・
・ガスケット、１５・・・シーリング材、１６・・・ね
じ、１７・・・ピン用溝。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）圧力取出孔とバイパス流路とセンサ基板取付溝と
を有するフルイディック流量計の蓋と、前記バイパス流
路に配設され前記バイパス流路より狭い流路を有するフ
ローハウジングと、前記狭い流路の流速を検出するマイ
クロブリッジのチップ等の熱型流速センサと外部接続の
ためのピンとを有するセンサ基板と、流体の外部への漏
れを防止するガスケットと、流体の前記ピン部分への漏
れを防止するシーリング材と、前記ガスケットを前記フ
ルイディック流量計の蓋へ固定するためのバイパス流路
用蓋とを備え、前記圧力取出孔における差圧により流量
を測定する流量計。
（２）請求項１において、フローハウジングの狭い流路
の断面積は出入口で大きく、中央部で出入口側より小さ
い流量計。