JPH0353124A - 複合流量計 - Google Patents
複合流量計Info
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- JPH0353124A JPH0353124A JP18609089A JP18609089A JPH0353124A JP H0353124 A JPH0353124 A JP H0353124A JP 18609089 A JP18609089 A JP 18609089A JP 18609089 A JP18609089 A JP 18609089A JP H0353124 A JPH0353124 A JP H0353124A
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
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- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、マイクロブリッジを使用した流量計に関し、
特に低流量まで測定するフルイディック流量計に関する
ものである。
特に低流量まで測定するフルイディック流量計に関する
ものである。
フルイデインク流量計において低流量を測定するために
マイクロブリフジを使用することが考えられるが、被測
定対象の流体の中にはダストやξストを含む場合がある
。
マイクロブリフジを使用することが考えられるが、被測
定対象の流体の中にはダストやξストを含む場合がある
。
従来の流量計においては、被測定対象の流体の中にダス
トやミストを含んでいる場合、これらがマイクロブリッ
ジチップに当たり、流速センサとしてのマイクロブリッ
ジの出力信号がドリフトするという問題があった。
トやミストを含んでいる場合、これらがマイクロブリッ
ジチップに当たり、流速センサとしてのマイクロブリッ
ジの出力信号がドリフトするという問題があった。
また、一iにノズル内への流速センサ基板の取付けは難
しく、取付けが容易な流量計が要望されていた. 〔課題を解決するための手段〕 このような課題を解決するために本発明の第1の発明は
、圧力取出孔とバイパス流路とセンサ基板取付溝とを有
するフルイディック流量計の蓋と、バイパス流路に配設
されバイパス流路より狭い流路を有するフローハウジン
グと、狭い流路の流速を検出するマイクロブリフジのチ
ップと外部接続のためのピンとを有するセンサ基板と、
流体の外部への漏れを防止するガスケソトと、流体のピ
ンへの漏れを防止するシーリング材と、ガスケントをフ
ルイデインク流量計の蓋へ固定するためのバイパス流路
用蓋とを設け、圧力取出孔における差圧によりバイパス
流路へ流れてくる微少な流量をマイクロブリッジで測定
することにより主流路の流量を測定するようにしたもの
である。
しく、取付けが容易な流量計が要望されていた. 〔課題を解決するための手段〕 このような課題を解決するために本発明の第1の発明は
、圧力取出孔とバイパス流路とセンサ基板取付溝とを有
するフルイディック流量計の蓋と、バイパス流路に配設
されバイパス流路より狭い流路を有するフローハウジン
グと、狭い流路の流速を検出するマイクロブリフジのチ
ップと外部接続のためのピンとを有するセンサ基板と、
流体の外部への漏れを防止するガスケソトと、流体のピ
ンへの漏れを防止するシーリング材と、ガスケントをフ
ルイデインク流量計の蓋へ固定するためのバイパス流路
用蓋とを設け、圧力取出孔における差圧によりバイパス
流路へ流れてくる微少な流量をマイクロブリッジで測定
することにより主流路の流量を測定するようにしたもの
である。
また、第2の発明として、上記発明において、フローハ
ウジングの狭い流路の断面積は出入口で大きく、中央部
で出入口側より小さくなるようにしたものである。
ウジングの狭い流路の断面積は出入口で大きく、中央部
で出入口側より小さくなるようにしたものである。
〔作用〕
本発明による流量計においては、マイクロブリッジチッ
プに当たるダスト、ミストの量が非常に少なく、センサ
基板の取付も容易である。
プに当たるダスト、ミストの量が非常に少なく、センサ
基板の取付も容易である。
第3図は一般的なフルイデインク流量計を示す断面図で
あり、同図において、1はフルイディック流量計、Fは
流体の流れる方向を示す矢印である。
あり、同図において、1はフルイディック流量計、Fは
流体の流れる方向を示す矢印である。
第1図は本発明の原理を説明するための説明図であり、
第3図におけるI−1線断面を示す。第1図において、
2はマイクロブリッジチップ、3はノズル、4は主流路
、5はバイパス流路、6はフルイディック流量計の蓋、
Fは流体の流れる方向を示す矢印である.本発明による
流量計は、バイパス流路5における流体流速が主流路に
おける圧力P1とノズル3における圧力P2との差圧P
1−P2に対応することを利用するものであり、間接的
にノズル3を通過する流量を測定するものである. 第2図はフルイデインク本体にバイパス流路5を設けた
場合であり、原理的には第1図と同様である. 第4図〜第7図は本発明による流量計の第1の実施例の
構或を示す構戒図である。第4図〜第7図において、2
は流速を検出するマイクロブリッジチップ、7はセンサ
基板(例えばセラミックの厚膜配線基板やプリント基板
〉、7aはピン、8はフローハウジング、9は流路、1
0は圧力取出孔、11はセンサ基板取付溝、12はねし
穴、13はバイパス流路用蓋、14はゴム板・コルク等
から成るガスケット、15はグリス・エポキシ等のシー
リング材、16はねじ、17はピン用溝である。第5図
はセンサ基板7とフローハウジング8とを一体にしたセ
ンサユニットを示し、第6図はフルイディック流量計の
蓋を示す.本実施例は、第5図のセンサユニットを第6
図の蓋に第7図に示すように組み込むことにより作製さ
れる。すなわち、まず第5図のセンサユニットをバイパ
ス流路5に取り付け、ピン7a側に流体が漏れないよう
にピン7aの近くをシーリング材15で覆う。
第3図におけるI−1線断面を示す。第1図において、
2はマイクロブリッジチップ、3はノズル、4は主流路
、5はバイパス流路、6はフルイディック流量計の蓋、
Fは流体の流れる方向を示す矢印である.本発明による
流量計は、バイパス流路5における流体流速が主流路に
おける圧力P1とノズル3における圧力P2との差圧P
1−P2に対応することを利用するものであり、間接的
にノズル3を通過する流量を測定するものである. 第2図はフルイデインク本体にバイパス流路5を設けた
場合であり、原理的には第1図と同様である. 第4図〜第7図は本発明による流量計の第1の実施例の
構或を示す構戒図である。第4図〜第7図において、2
は流速を検出するマイクロブリッジチップ、7はセンサ
基板(例えばセラミックの厚膜配線基板やプリント基板
〉、7aはピン、8はフローハウジング、9は流路、1
0は圧力取出孔、11はセンサ基板取付溝、12はねし
穴、13はバイパス流路用蓋、14はゴム板・コルク等
から成るガスケット、15はグリス・エポキシ等のシー
リング材、16はねじ、17はピン用溝である。第5図
はセンサ基板7とフローハウジング8とを一体にしたセ
ンサユニットを示し、第6図はフルイディック流量計の
蓋を示す.本実施例は、第5図のセンサユニットを第6
図の蓋に第7図に示すように組み込むことにより作製さ
れる。すなわち、まず第5図のセンサユニットをバイパ
ス流路5に取り付け、ピン7a側に流体が漏れないよう
にピン7aの近くをシーリング材15で覆う。
次に、ガスケット14を所定位置に配設し、バイパス流
路用蓋13によりガスケット14を蓋6に固定する。
路用蓋13によりガスケット14を蓋6に固定する。
第8図〜第12図は本発明の第2の実施例を示す構威図
である。第8図〜第10図はセンサユニットの例を示す
.第8図,第9図はフローハウジング8側にピン7aを
立てた例を示し、第lO図はセンサ基板7側にピン7a
を立てた場合を示す。
である。第8図〜第10図はセンサユニットの例を示す
.第8図,第9図はフローハウジング8側にピン7aを
立てた例を示し、第lO図はセンサ基板7側にピン7a
を立てた場合を示す。
第11図は第8図〜第10図のセンサユニットに応じた
lI6を示す.第6図と異なる点はピン溝l7が無い点
および開口部18が有る点である。開口部18はピン7
aを外部のコネクタ等と接続するためのものである。
lI6を示す.第6図と異なる点はピン溝l7が無い点
および開口部18が有る点である。開口部18はピン7
aを外部のコネクタ等と接続するためのものである。
第1.3図に示すようにフローハウジング8を流れ方向
に短くしたり、第14図(al〜(C)に示すようにマ
イクロブリッジチップ付近だけを絞った形状にすると、
バイパス流路の圧損が小さくなり、分流してくる流量が
多くなり、しかもマイクロブリッジチップ部分の流速は
速くなってくるので、センサユニットからの出力信号は
高レベルとなる。
に短くしたり、第14図(al〜(C)に示すようにマ
イクロブリッジチップ付近だけを絞った形状にすると、
バイパス流路の圧損が小さくなり、分流してくる流量が
多くなり、しかもマイクロブリッジチップ部分の流速は
速くなってくるので、センサユニットからの出力信号は
高レベルとなる。
なお、第15図に示すように、フルイデインク流量計の
蓋6にフローハウジングを作り込み、それにセンサ基F
i7を取り付けてもよい.また、リード線の取出しは、
第16図に示すようにコネクタ19を使用したり、第1
7図に示すように直接回路基板20に取り付けることも
できる。
蓋6にフローハウジングを作り込み、それにセンサ基F
i7を取り付けてもよい.また、リード線の取出しは、
第16図に示すようにコネクタ19を使用したり、第1
7図に示すように直接回路基板20に取り付けることも
できる。
さらに、第18図に示すようにフルイデインク流量計の
蓋6を加工すれば、第5図に示すようにセンサ基板のピ
ン7aを曲げなくてもよい.以上の実施例においてはセ
ンサユニットをフルイデインク流量計の蓋6に組み込ん
だ場合を示したが、第19図と第20図に示すように、
チューブ22と継手23あるいはジョイント24により
流体をバイパス流路5に導くようにしてもよい。
蓋6を加工すれば、第5図に示すようにセンサ基板のピ
ン7aを曲げなくてもよい.以上の実施例においてはセ
ンサユニットをフルイデインク流量計の蓋6に組み込ん
だ場合を示したが、第19図と第20図に示すように、
チューブ22と継手23あるいはジョイント24により
流体をバイパス流路5に導くようにしてもよい。
以上説明したように本発明は、ノズルの上流側とノズル
内もしくはノズルの下流側との間に生じる差圧をバイパ
ス流路のマイクロブリッジチップで測定して流量を測定
するようにしたことにより、マイクロブリッジチップに
当たるダストやミストの量を非常に少なくすることがで
きるので、長期的な安定性が向上する効果がある. また、センサ基板をノズル内に取り付ける必要がなくな
るので、センサ基板の取付けが容易になるという効果が
ある。
内もしくはノズルの下流側との間に生じる差圧をバイパ
ス流路のマイクロブリッジチップで測定して流量を測定
するようにしたことにより、マイクロブリッジチップに
当たるダストやミストの量を非常に少なくすることがで
きるので、長期的な安定性が向上する効果がある. また、センサ基板をノズル内に取り付ける必要がなくな
るので、センサ基板の取付けが容易になるという効果が
ある。
第1図および第2図は本発明の原理を説明するための説
明図、第3図は一般的なフルイディソク流量計を示す断
面図、第4図〜第7図は本発明による流量計の第1の実
施例の構威を示す構或図、第8図〜第12図は本発明の
第2の実施例を示す構威図、第13図および第14図は
センサユニソトの例を示す構或図、第15図〜第18図
は他の実施例を示す構或図、第19図および第20図は
外部にバイパス流路を設けた場合を示す構或図である. 2・・・マイクロブリッジチップ、3・・・ノズル、4
・・・主流路、5・・・バイパス流路、6・・・フルイ
ディック流量計の蓋、7・・・センサ基板、7a・・・
ピン、8・・・フローハウジング、9・・・流路、10
・・・圧力取出孔、11・・・センサ基板取付溝、12
・・・ねじ穴、13・・・バイパス流路用蓋、14・・
・ガスケット、15・・・シーリング材、16・・・ね
じ、17・・・ピン用溝。
明図、第3図は一般的なフルイディソク流量計を示す断
面図、第4図〜第7図は本発明による流量計の第1の実
施例の構威を示す構或図、第8図〜第12図は本発明の
第2の実施例を示す構威図、第13図および第14図は
センサユニソトの例を示す構或図、第15図〜第18図
は他の実施例を示す構或図、第19図および第20図は
外部にバイパス流路を設けた場合を示す構或図である. 2・・・マイクロブリッジチップ、3・・・ノズル、4
・・・主流路、5・・・バイパス流路、6・・・フルイ
ディック流量計の蓋、7・・・センサ基板、7a・・・
ピン、8・・・フローハウジング、9・・・流路、10
・・・圧力取出孔、11・・・センサ基板取付溝、12
・・・ねじ穴、13・・・バイパス流路用蓋、14・・
・ガスケット、15・・・シーリング材、16・・・ね
じ、17・・・ピン用溝。
Claims (2)
- (1)圧力取出孔とバイパス流路とセンサ基板取付溝と
を有するフルイディック流量計の蓋と、前記バイパス流
路に配設され前記バイパス流路より狭い流路を有するフ
ローハウジングと、前記狭い流路の流速を検出するマイ
クロブリッジのチップ等の熱型流速センサと外部接続の
ためのピンとを有するセンサ基板と、流体の外部への漏
れを防止するガスケットと、流体の前記ピン部分への漏
れを防止するシーリング材と、前記ガスケットを前記フ
ルイディック流量計の蓋へ固定するためのバイパス流路
用蓋とを備え、前記圧力取出孔における差圧により流量
を測定する流量計。 - (2)請求項1において、フローハウジングの狭い流路
の断面積は出入口で大きく、中央部で出入口側より小さ
い流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1186090A JP2517401B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 複合流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1186090A JP2517401B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 複合流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0353124A true JPH0353124A (ja) | 1991-03-07 |
JP2517401B2 JP2517401B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=16182193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1186090A Expired - Lifetime JP2517401B2 (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 複合流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2517401B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5406664A (en) * | 1991-04-22 | 1995-04-18 | Hukuba; Hiroshi | Toothbrush |
JP2005300365A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
FR3092911A1 (fr) * | 2019-02-20 | 2020-08-21 | L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Dispositif de mesure de débit autonome en énergie |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5361147B2 (ja) | 2007-06-25 | 2013-12-04 | アズビル株式会社 | 流量計の調整方法、流量計測装置及び調整データ管理システム |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1186090A patent/JP2517401B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5406664A (en) * | 1991-04-22 | 1995-04-18 | Hukuba; Hiroshi | Toothbrush |
JP2005300365A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
FR3092911A1 (fr) * | 2019-02-20 | 2020-08-21 | L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude | Dispositif de mesure de débit autonome en énergie |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2517401B2 (ja) | 1996-07-24 |
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