JPH1114412A - 渦流量計 - Google Patents
渦流量計Info
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- JPH1114412A JPH1114412A JP9169995A JP16999597A JPH1114412A JP H1114412 A JPH1114412 A JP H1114412A JP 9169995 A JP9169995 A JP 9169995A JP 16999597 A JP16999597 A JP 16999597A JP H1114412 A JPH1114412 A JP H1114412A
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- vortex
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量計を提供する。
【解決手段】 測定管路に直交して設けられた柱状の渦
発生体と、圧電素子が埋設され該渦発生体の下流に設け
られた柱状の受力体とを具備し、カルマン渦により受力
体に作用する交番力を検出して流量を測定する渦流量計
において、柱状の本体部と該本体部に一端が接続され前
記測定流体に接する板状体部とを備える受力体と、前記
測定管路の管壁に設けられ前記受力体の本体部が挿入さ
れる座ぐり穴と、該座ぐり穴の底部に設けられ前記測定
管路内に貫通し前記受力体の前記板状体部が挿入される
貫通孔とを具備したことを特徴とする渦流量計である。
発生体と、圧電素子が埋設され該渦発生体の下流に設け
られた柱状の受力体とを具備し、カルマン渦により受力
体に作用する交番力を検出して流量を測定する渦流量計
において、柱状の本体部と該本体部に一端が接続され前
記測定流体に接する板状体部とを備える受力体と、前記
測定管路の管壁に設けられ前記受力体の本体部が挿入さ
れる座ぐり穴と、該座ぐり穴の底部に設けられ前記測定
管路内に貫通し前記受力体の前記板状体部が挿入される
貫通孔とを具備したことを特徴とする渦流量計である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｓ／Ｎ比が向上さ
れた渦流量計に関するものである。
れた渦流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、実開平２−０４８８１
８号（実願昭６３−１２７０５３号）に示されている。
図において、
従来例の構成説明図で、例えば、実開平２−０４８８１
８号（実願昭６３−１２７０５３号）に示されている。
図において、
【０００３】１は、測定流体２が流れる測定管路であ
る。３は，測定管路１に挿入された渦発生体である。４
は、渦発生体３の下流の管路１に挿入された受力体であ
る。５は、受力体４に設けられた穴である。
る。３は，測定管路１に挿入された渦発生体である。４
は、渦発生体３の下流の管路１に挿入された受力体であ
る。５は、受力体４に設けられた穴である。
【０００４】６は、穴５に挿入され、熱硬化性の弾性エ
ポキシ樹脂７で、穴５に包埋固定された圧電素子であ
る。なお、圧電素子６は、受力体４の形成時に同時に密
封包埋してもよい。
ポキシ樹脂７で、穴５に包埋固定された圧電素子であ
る。なお、圧電素子６は、受力体４の形成時に同時に密
封包埋してもよい。
【０００５】以上の構成において、管路１に測定流体２
が流されると、渦発生体３によりカルマン渦が発生し、
このカルマン渦により受力体４に作用する交番力を検出
して流量を測定する事ができる。
が流されると、渦発生体３によりカルマン渦が発生し、
このカルマン渦により受力体４に作用する交番力を検出
して流量を測定する事ができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な従来の装置においては、受力体４が柱状の本体部と本
体部に一端が接続され測定流体に接する板状体部とを備
える場合において、その受力体４の取付け方法は、測定
流路に貫通する貫通孔を測定管路１に設けて、液漏れ防
止用のパッキングを介して受力体を、測定管路１にネジ
止めしている。
な従来の装置においては、受力体４が柱状の本体部と本
体部に一端が接続され測定流体に接する板状体部とを備
える場合において、その受力体４の取付け方法は、測定
流路に貫通する貫通孔を測定管路１に設けて、液漏れ防
止用のパッキングを介して受力体を、測定管路１にネジ
止めしている。
【０００７】この場合、（ａ）主に受力体４の寸法誤差
の関係で、測定管路１の流路壁面と、その壁面に面する
受力体４の柱状の本体部の端面とが、同一面とならない
ことが多い。（ｂ）また、本質的に、測定管路１の曲面
と、受力体４の柱状の本体部の底部の平面との交差する
部分であるので、如何しても、凹凸が生ずる。
の関係で、測定管路１の流路壁面と、その壁面に面する
受力体４の柱状の本体部の端面とが、同一面とならない
ことが多い。（ｂ）また、本質的に、測定管路１の曲面
と、受力体４の柱状の本体部の底部の平面との交差する
部分であるので、如何しても、凹凸が生ずる。
【０００８】その結果、受力体４の柱状の本体部の突出
に起因する、二次的な渦が発生する。また、流路壁面抵
抗が増大する。
に起因する、二次的な渦が発生する。また、流路壁面抵
抗が増大する。
【０００９】（ｂ）受力体４とその取付け用貫通穴との
隙間に測定流体２が進入して、滞留が生じ、測定流体２
の腐敗やバクテリヤが発生する危険性が有る。滞留は、
半導体洗浄装置関係や食品関係では絶対に認められな
い。
隙間に測定流体２が進入して、滞留が生じ、測定流体２
の腐敗やバクテリヤが発生する危険性が有る。滞留は、
半導体洗浄装置関係や食品関係では絶対に認められな
い。
【００１０】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量計を
提供するにある。
る。本発明の目的は、Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量計を
提供するにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）測定管路に直交して設けられた柱状の渦発生体
と、圧電素子が埋設され該渦発生体の下流に設けられた
柱状の受力体とを具備し、カルマン渦により受力体に作
用する交番力を検出して流量を測定する渦流量計におい
て、柱状の本体部と該本体部に一端が接続され前記測定
流体に接する板状体部とを備える受力体と、前記測定管
路の管壁に設けられ前記受力体の本体部が挿入される座
ぐり穴と、該座ぐり穴の底部に設けられ前記測定管路内
に貫通し前記受力体の前記板状体部が挿入される貫通孔
とを具備したことを特徴とする渦流量計。 （２）前記座ぐり穴の底部に設けられ前記測定管路と前
記受力体とをシールするシール体を具備したことを特徴
とする請求項１記載の渦流量計。 （３）Ｏリングよりなるシール体を具備したことを特徴
とする請求項２記載の渦流量計。 を構成したものである。
に、本発明は、 （１）測定管路に直交して設けられた柱状の渦発生体
と、圧電素子が埋設され該渦発生体の下流に設けられた
柱状の受力体とを具備し、カルマン渦により受力体に作
用する交番力を検出して流量を測定する渦流量計におい
て、柱状の本体部と該本体部に一端が接続され前記測定
流体に接する板状体部とを備える受力体と、前記測定管
路の管壁に設けられ前記受力体の本体部が挿入される座
ぐり穴と、該座ぐり穴の底部に設けられ前記測定管路内
に貫通し前記受力体の前記板状体部が挿入される貫通孔
とを具備したことを特徴とする渦流量計。 （２）前記座ぐり穴の底部に設けられ前記測定管路と前
記受力体とをシールするシール体を具備したことを特徴
とする請求項１記載の渦流量計。 （３）Ｏリングよりなるシール体を具備したことを特徴
とする請求項２記載の渦流量計。 を構成したものである。
【００１２】
【作用】以上の構成において、管路に測定流体が流れる
と、渦発生体によりカルマン渦が発生し、このカルマン
渦により受力体に作用する交番力を検出して流量を測定
する事ができる。以下、実施例に基づき詳細に説明す
る。
と、渦発生体によりカルマン渦が発生し、このカルマン
渦により受力体に作用する交番力を検出して流量を測定
する事ができる。以下、実施例に基づき詳細に説明す
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の要部構
成説明図、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ
−Ｂ断面図である。図において、図８と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図８と相違部分のみ説明す
る。
成説明図、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は図１のＢ
−Ｂ断面図である。図において、図８と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図８と相違部分のみ説明す
る。
【００１４】図において、１１は、測定流体１２が流れ
る測定管路である。１３は，測定管路１１に挿入された
柱状の渦発生体である。この場合は、渦発生体１３は管
路１１と、始めから一体に作られている。具体的には、
インジェクションモールドにより作られている。
る測定管路である。１３は，測定管路１１に挿入された
柱状の渦発生体である。この場合は、渦発生体１３は管
路１１と、始めから一体に作られている。具体的には、
インジェクションモールドにより作られている。
【００１５】測定管路１１の断面は、流路壁面抵抗の影
響が少なくなるように、断面積が渦発生体１３の軸方向
より渦発生体１３の軸に直角方向の寸法が長い横長断面
形状を有し、横長断面形状の短辺の形状が測定流体が円
滑に流れる様に曲面形状である。この場合は、測定管路
１１の断面は、陸上競技場のトラックのような形状をな
している。
響が少なくなるように、断面積が渦発生体１３の軸方向
より渦発生体１３の軸に直角方向の寸法が長い横長断面
形状を有し、横長断面形状の短辺の形状が測定流体が円
滑に流れる様に曲面形状である。この場合は、測定管路
１１の断面は、陸上競技場のトラックのような形状をな
している。
【００１６】しかして、図１に示す如く、測定流体１２
が流れる方向における、測定管路１１の形状はベンチュ
リ管形状とし、所定長さのスロート部１１１に、渦発生
体１３と受力体１４とが配置されている。
が流れる方向における、測定管路１１の形状はベンチュ
リ管形状とし、所定長さのスロート部１１１に、渦発生
体１３と受力体１４とが配置されている。
【００１７】受力体１４は、図４の正面図、図５の側面
図、図６の平面図に示す如く、測定管路１１にねじ止め
されるフランジ部１４１と、フランジ部１４１に一端が
接続された柱状の本体部１４２と、本体部１４２に一端
が接続され測定管路１１内に配置されて、測定流体１２
に接する板状体部１４３とよりなる。
図、図６の平面図に示す如く、測定管路１１にねじ止め
されるフランジ部１４１と、フランジ部１４１に一端が
接続された柱状の本体部１４２と、本体部１４２に一端
が接続され測定管路１１内に配置されて、測定流体１２
に接する板状体部１４３とよりなる。
【００１８】この場合は、ＰＰＳ（ポニフェニレンサル
ファイド）樹脂のガラス繊維無充填の弾力性に優れ、且
つ機械的強度、耐薬品性に優れた樹脂が用いられてい
る。而して、図１に示す如く、短冊型の圧電素子１４４
が内封されている。
ファイド）樹脂のガラス繊維無充填の弾力性に優れ、且
つ機械的強度、耐薬品性に優れた樹脂が用いられてい
る。而して、図１に示す如く、短冊型の圧電素子１４４
が内封されている。
【００１９】受力体１４の本体部１４２は、測定管路１
１の管壁に設けられた座ぐり穴１５に挿入され、Ｏリン
グ１６を介してシール固定される。受力体１４の板状体
部１４３は、座ぐり穴１５の底部に設けられ測定管路１
１内に貫通する貫通孔１７に挿入される。しかして、測
定管路１１の内径部には、板状体部１４３のみ存在する
ように構成されている。
１の管壁に設けられた座ぐり穴１５に挿入され、Ｏリン
グ１６を介してシール固定される。受力体１４の板状体
部１４３は、座ぐり穴１５の底部に設けられ測定管路１
１内に貫通する貫通孔１７に挿入される。しかして、測
定管路１１の内径部には、板状体部１４３のみ存在する
ように構成されている。
【００２０】板状体部１４３は、板面が測定流体１２の
流れ方向に平行に配置され、測定流体１２に直面する縁
部分１４５が、二次的な渦を発生しない様な曲面形状を
有する。この場合は、半円形の曲面を有する。
流れ方向に平行に配置され、測定流体１２に直面する縁
部分１４５が、二次的な渦を発生しない様な曲面形状を
有する。この場合は、半円形の曲面を有する。
【００２１】１８は、レイノルズ数が小さくストロハル
数が一定とならない領域において、非直線誤差を補正す
るリニアライズ回路１９を含む回路基板である。２１
は、回路基板１８を覆って設けられたカバーである。
数が一定とならない領域において、非直線誤差を補正す
るリニアライズ回路１９を含む回路基板である。２１
は、回路基板１８を覆って設けられたカバーである。
【００２２】以上の構成において、測定管路１１に測定
流体１２が流されると、渦発生体１３によりカルマン渦
が発生し、このカルマン渦により受力体１４に作用する
交番力を検出して流量を測定する事ができる。
流体１２が流されると、渦発生体１３によりカルマン渦
が発生し、このカルマン渦により受力体１４に作用する
交番力を検出して流量を測定する事ができる。
【００２３】この結果、 （１）測定管路１１の管壁に設けられ、受力体１４の本
体部１４２が、挿入される座ぐり穴１５と、座ぐり穴１
５の底部に設けられ、測定管路１１内に貫通し、受力体
１４の板状体部１４３が挿入される貫通孔１７とが設け
られた。
体部１４２が、挿入される座ぐり穴１５と、座ぐり穴１
５の底部に設けられ、測定管路１１内に貫通し、受力体
１４の板状体部１４３が挿入される貫通孔１７とが設け
られた。
【００２４】従って、受力体１４の柱状の本体部１４２
が、測定管路１１の流路に突出する恐れがないので、受
力体１４の柱状の本体部１４２の突出に起因する二次的
な渦の発生の恐れがなく、Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量
計が得られる。特に、微小流量領域のＳ／Ｎ比特性の向
上が顕著な渦流量計が得られる。
が、測定管路１１の流路に突出する恐れがないので、受
力体１４の柱状の本体部１４２の突出に起因する二次的
な渦の発生の恐れがなく、Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量
計が得られる。特に、微小流量領域のＳ／Ｎ比特性の向
上が顕著な渦流量計が得られる。
【００２５】（２）座ぐり穴１５は、測定管路１１の測
定流路近くまで設ける事が出来、座ぐり穴１５の底部に
シール体が設けられたので、測定管路１１と受力体１４
と隙間に侵入する測定流体１２の量を低減出来る。
定流路近くまで設ける事が出来、座ぐり穴１５の底部に
シール体が設けられたので、測定管路１１と受力体１４
と隙間に侵入する測定流体１２の量を低減出来る。
【００２６】すなわち、測定流体１２の滞留を少なく出
来、測定流体１２の腐敗やバクテリヤの発生を防止する
ことが出来るので、半導体洗浄装置関係や食品関係に使
用して好適な渦流量計が得られる。
来、測定流体１２の腐敗やバクテリヤの発生を防止する
ことが出来るので、半導体洗浄装置関係や食品関係に使
用して好適な渦流量計が得られる。
【００２７】（３）シール体として、Ｏリングよりなる
シール体１６が使用されたので、取付けの作業性が容易
な渦流量計が得られる。
シール体１６が使用されたので、取付けの作業性が容易
な渦流量計が得られる。
【００２８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１の
発明によれば、測定管路の管壁に設けられ、受力体の本
体部が、挿入される座ぐり穴と、座ぐり穴の底部に設け
られ、測定管路内に貫通し、受力体の板状体部が挿入さ
れる貫通孔とが設けられた。
発明によれば、測定管路の管壁に設けられ、受力体の本
体部が、挿入される座ぐり穴と、座ぐり穴の底部に設け
られ、測定管路内に貫通し、受力体の板状体部が挿入さ
れる貫通孔とが設けられた。
【００２９】従って、受力体の柱状の本体部が、測定管
路の流路に突出する恐れがないので、受力体の柱状の本
体部の突出に起因する二次的な渦の発生の恐れがなく、
Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量計が得られる。特に、微小
流量領域のＳ／Ｎ比特性の向上が顕著な渦流量計が得ら
れる。
路の流路に突出する恐れがないので、受力体の柱状の本
体部の突出に起因する二次的な渦の発生の恐れがなく、
Ｓ／Ｎ比が向上された渦流量計が得られる。特に、微小
流量領域のＳ／Ｎ比特性の向上が顕著な渦流量計が得ら
れる。
【００３０】請求項２の発明によれば、座ぐり穴は、測
定管路の測定流路近くまで設ける事が出来、座ぐり穴の
底部にシール体が設けられたので、測定管路と受力体と
隙間に侵入する測定流体の量を低減出来る。
定管路の測定流路近くまで設ける事が出来、座ぐり穴の
底部にシール体が設けられたので、測定管路と受力体と
隙間に侵入する測定流体の量を低減出来る。
【００３１】すなわち、測定流体の滞留を少なく出来、
測定流体の腐敗やバクテリヤの発生を防止することが出
来るので、半導体洗浄装置関係や食品関係に使用して好
適な渦流量計が得られる。
測定流体の腐敗やバクテリヤの発生を防止することが出
来るので、半導体洗浄装置関係や食品関係に使用して好
適な渦流量計が得られる。
【００３２】請求項３の発明によれば、シール体とし
て、Ｏリングよりなるシール体１６が使用されたので、
取付けの作業性が容易な渦流量計が得られる。
て、Ｏリングよりなるシール体１６が使用されたので、
取付けの作業性が容易な渦流量計が得られる。
【００３３】従って、本発明によれば、Ｓ／Ｎ比が向上
された渦流量計を実現することが出来る。
された渦流量計を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】受力体１３の要部構成説明図である。
【図５】図４の側面図である。
【図６】図４の平面図である。
【図７】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【符号の説明】 １１ 測定管路 １１１ スロート部 １２ 測定流体 １３ 渦発生体 １４ 受力体 １４１ フランジ部 １４２ 本体部 １４３ 板状体部 １４４ 圧電素子 １４５ 縁部分 １５ 座ぐり穴 １６ Ｏリング １７ 貫通孔１７ １８ 回路基板 １９ リニアライズ回路 ２１ カバー
Claims (3)
- 【請求項１】測定管路に直交して設けられた柱状の渦発
生体と、 圧電素子が埋設され該渦発生体の下流に設けられた柱状
の受力体とを具備し、 カルマン渦により受力体に作用する交番力を検出して流
量を測定する渦流量計において、 柱状の本体部と該本体部に一端が接続され前記測定流体
に接する板状体部とを備える受力体と、 前記測定管路の管壁に設けられ前記受力体の本体部が挿
入される座ぐり穴と、 該座ぐり穴の底部に設けられ前記測定管路内に貫通し前
記受力体の前記板状体部が挿入される貫通孔とを具備し
たことを特徴とする渦流量計。 - 【請求項２】前記座ぐり穴の底部に設けられ前記測定管
路と前記受力体とをシールするシール体を具備したこと
を特徴とする請求項１記載の渦流量計。 - 【請求項３】Ｏリングよりなるシール体を具備したこと
を特徴とする請求項２記載の渦流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9169995A JPH1114412A (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 渦流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9169995A JPH1114412A (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 渦流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114412A true JPH1114412A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15896648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9169995A Pending JPH1114412A (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 渦流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114412A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061986A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Yokogawa Electric Corp | 渦流量計 |
| DE102014112795A1 (de) | 2013-09-11 | 2015-03-12 | Smc Corporation | Vortexdurchflussmesser |
-
1997
- 1997-06-26 JP JP9169995A patent/JPH1114412A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061986A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Yokogawa Electric Corp | 渦流量計 |
| DE102014112795A1 (de) | 2013-09-11 | 2015-03-12 | Smc Corporation | Vortexdurchflussmesser |
| KR20150030166A (ko) | 2013-09-11 | 2015-03-19 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 와류 유량계 |
| US9360354B2 (en) | 2013-09-11 | 2016-06-07 | Smc Corporation | Vortex flowmeter |
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Legal Events
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