JPH102769A - 渦流量計 - Google Patents
渦流量計Info
- Publication number
- JPH102769A JPH102769A JP8152195A JP15219596A JPH102769A JP H102769 A JPH102769 A JP H102769A JP 8152195 A JP8152195 A JP 8152195A JP 15219596 A JP15219596 A JP 15219596A JP H102769 A JPH102769 A JP H102769A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force receiving
- vortex
- piezoelectric element
- force
- shield
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低流速まで測定可能範囲が拡大でき、耐コモ
ンモード特性が良好な渦流量計を提供する。 【解決手段】 管路に設けられ渦発生体を兼ねる柱状の
受力体と、該受力体に埋設された圧電素子とを具備し、
カルマン渦により前記受力体に作用する交番力を検出し
て流量を測定する渦流量計において、前記受力体に設け
られ前記圧電素子をシールドするシールド体を具備した
ことを特徴とする渦流量計である。
ンモード特性が良好な渦流量計を提供する。 【解決手段】 管路に設けられ渦発生体を兼ねる柱状の
受力体と、該受力体に埋設された圧電素子とを具備し、
カルマン渦により前記受力体に作用する交番力を検出し
て流量を測定する渦流量計において、前記受力体に設け
られ前記圧電素子をシールドするシールド体を具備した
ことを特徴とする渦流量計である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、低流速まで測定可
能範囲が拡大でき、耐コモンモード特性が良好な渦流量
計に関するものである。
能範囲が拡大でき、耐コモンモード特性が良好な渦流量
計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、実開平２−０４８８１
８号（実願昭６３−１２７０５３号）に示されている。
図において、
従来例の構成説明図で、例えば、実開平２−０４８８１
８号（実願昭６３−１２７０５３号）に示されている。
図において、
【０００３】１は、測定流体２が流れる管路である。３
は，管路１に挿入された渦発生体である。４は、渦発生
体３の下流の管路１に挿入された受力体である。５は、
受力体４に設けられた穴である。
は，管路１に挿入された渦発生体である。４は、渦発生
体３の下流の管路１に挿入された受力体である。５は、
受力体４に設けられた穴である。
【０００４】６は、穴５に挿入され、熱硬化性の弾性エ
ポキシ樹脂７で、穴５に包埋固定された圧電素子であ
る。なお、圧電素子６は、受力体４の形成時に同時に密
封包埋してもよい。
ポキシ樹脂７で、穴５に包埋固定された圧電素子であ
る。なお、圧電素子６は、受力体４の形成時に同時に密
封包埋してもよい。
【０００５】以上の構成において、管路１に測定流体２
が流されると、渦発生体３によりカルマン渦が発生し、
このカルマン渦により受力体４に作用する交番力を検出
して流量を測定する事ができる。
が流されると、渦発生体３によりカルマン渦が発生し、
このカルマン渦により受力体４に作用する交番力を検出
して流量を測定する事ができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、商用電源によるコモンモードノイズ
の影響で、低流速の測定が困難であるという問題点があ
る。
な装置においては、商用電源によるコモンモードノイズ
の影響で、低流速の測定が困難であるという問題点があ
る。
【０００７】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、低流速まで測定可能範囲が拡大で
き、耐コモンモード特性が良好な渦流量計を提供するに
ある。
る。本発明の目的は、低流速まで測定可能範囲が拡大で
き、耐コモンモード特性が良好な渦流量計を提供するに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）管路に設けられ渦発生体を兼ねる柱状の受力体
と、該受力体に埋設された圧電素子とを具備し、カルマ
ン渦により前記受力体に作用する交番力を検出して流量
を測定する渦流量計において、前記受力体に設けられ前
記圧電素子をシールドするシールド体を具備したことを
特徴とする渦流量計。 （２）管路に設けられた柱状の受力体と、該受力体に埋
設された圧電素子と、前記受力体より上流側の前記管路
に設けられた渦発生体とを具備し、カルマン渦により前
記受力体に作用する交番力を検出して流量を測定する渦
流量計において、前記受力体に設けられ前記圧電素子を
シールドするシールド体を具備したことを特徴とする渦
流量計。を構成した。
に、本発明は、 （１）管路に設けられ渦発生体を兼ねる柱状の受力体
と、該受力体に埋設された圧電素子とを具備し、カルマ
ン渦により前記受力体に作用する交番力を検出して流量
を測定する渦流量計において、前記受力体に設けられ前
記圧電素子をシールドするシールド体を具備したことを
特徴とする渦流量計。 （２）管路に設けられた柱状の受力体と、該受力体に埋
設された圧電素子と、前記受力体より上流側の前記管路
に設けられた渦発生体とを具備し、カルマン渦により前
記受力体に作用する交番力を検出して流量を測定する渦
流量計において、前記受力体に設けられ前記圧電素子を
シールドするシールド体を具備したことを特徴とする渦
流量計。を構成した。
【０００９】
【作用】以上の構成において、管路に測定流体が流され
ると、渦発生体によりカルマン渦が発生し、このカルマ
ン渦により受力体に作用する交番力を検出して流量を測
定する事ができる。
ると、渦発生体によりカルマン渦が発生し、このカルマ
ン渦により受力体に作用する交番力を検出して流量を測
定する事ができる。
【００１０】而して、受力体に設けられ圧電素子をシー
ルドするシールド体が設けられたので、センサ部がシー
ルドされ、商用電源によるコモンモードノイズ等の外来
ノイズの影響が防止される。以下、実施例に基づき詳細
に説明する。
ルドするシールド体が設けられたので、センサ部がシー
ルドされ、商用電源によるコモンモードノイズ等の外来
ノイズの影響が防止される。以下、実施例に基づき詳細
に説明する。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図にお
いて、図３と同一記号の構成は同一機能を表わす。以
下、図３と相違部分のみ説明する。
構成説明図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図にお
いて、図３と同一記号の構成は同一機能を表わす。以
下、図３と相違部分のみ説明する。
【００１２】１１は、この場合は、管路１２と一体に形
成され、例えば、角柱状の外形を有する渦発生体であ
る。
成され、例えば、角柱状の外形を有する渦発生体であ
る。
【００１３】１３は、例えば、ポリカーボネイトの熱可
塑性樹脂からなる弾性絶縁性樹脂で形成された受力体で
ある。１４は、この場合は、バイモルフ型の圧電素子
で、弾性エポキシ樹脂７により、受力体１３に包埋固定
されている。
塑性樹脂からなる弾性絶縁性樹脂で形成された受力体で
ある。１４は、この場合は、バイモルフ型の圧電素子
で、弾性エポキシ樹脂７により、受力体１３に包埋固定
されている。
【００１４】なお、受力体１３は測定流体２に対する耐
食性と共に、弾性を有するものである事が必要である。
食性と共に、弾性を有するものである事が必要である。
【００１５】１５は、受力体１３に設けられ、圧電素子
１４をシールドするシールド体である。本例において
は、受力体１３の内側に、弾性エポキシ樹脂７を介し
て、圧電素子１４を囲むように形成されたメッキにより
シールド体が形成されている。シールド体１５は、導電
塗装、導電樹脂、或いは、蒸着により形成されても良
い。
１４をシールドするシールド体である。本例において
は、受力体１３の内側に、弾性エポキシ樹脂７を介し
て、圧電素子１４を囲むように形成されたメッキにより
シールド体が形成されている。シールド体１５は、導電
塗装、導電樹脂、或いは、蒸着により形成されても良
い。
【００１６】なお、本実施例においては、管路１２に設
けられる信号処理回路（図示せず）のための信号処理回
路のシールド体１６が、管路１２の外周面に、導電塗装
により形成され、シールド体１５と電気的に接続されて
いる。
けられる信号処理回路（図示せず）のための信号処理回
路のシールド体１６が、管路１２の外周面に、導電塗装
により形成され、シールド体１５と電気的に接続されて
いる。
【００１７】以上の構成において、管路１２に測定流体
２が流されると、渦発生体１１によりカルマン渦が発生
し、このカルマン渦により受力体１３に作用する交番力
を検出して流量を測定する事ができる。
２が流されると、渦発生体１１によりカルマン渦が発生
し、このカルマン渦により受力体１３に作用する交番力
を検出して流量を測定する事ができる。
【００１８】而して、シールド体１５が、受力体１３に
設けられ、圧電素子１４をシールドする様に構成された
ので、センサ部である圧電素子１４が、シールドされる
ので、商用電源によるコモンモードノイズ等の外来ノイ
ズの影響が防止される。
設けられ、圧電素子１４をシールドする様に構成された
ので、センサ部である圧電素子１４が、シールドされる
ので、商用電源によるコモンモードノイズ等の外来ノイ
ズの影響が防止される。
【００１９】この結果、商用電源によるコモンモードノ
イズ等の外来ノイズの影響を受け難くでき、信号レベル
が小さく、信号周波数が商用電源周波数（５０、６０Ｈ
ｚ）に近い低流量領域まで、測定が可能になる。
イズ等の外来ノイズの影響を受け難くでき、信号レベル
が小さく、信号周波数が商用電源周波数（５０、６０Ｈ
ｚ）に近い低流量領域まで、測定が可能になる。
【００２０】また、渦発生体１１、管路１２と受力体１
３を合成樹脂で構成すれば、安定した形状の渦流量計が
量産可能となり、製造コストを低下でき、安価な渦流量
計が得られる。
３を合成樹脂で構成すれば、安定した形状の渦流量計が
量産可能となり、製造コストを低下でき、安価な渦流量
計が得られる。
【００２１】なお、前述の実施例においては、渦発生体
１１と受力体１３とは、別体の例に付いて説明したが、
渦発生体１１と受力体１３とが一体の渦流量計でも良い
ことは勿論である。
１１と受力体１３とは、別体の例に付いて説明したが、
渦発生体１１と受力体１３とが一体の渦流量計でも良い
ことは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明は、
シールド体が、受力体に設けられ、圧電素子をシールド
する様に構成されたので、センサ部である圧電素子が、
シールドされるので、商用電源によるコモンモードノイ
ズ等の外来ノイズの影響が防止される。
シールド体が、受力体に設けられ、圧電素子をシールド
する様に構成されたので、センサ部である圧電素子が、
シールドされるので、商用電源によるコモンモードノイ
ズ等の外来ノイズの影響が防止される。
【００２３】この結果、商用電源によるコモンモードノ
イズ等の外来ノイズの影響を受け難くでき、信号レベル
が小さく、信号周波数が商用電源周波数（５０、６０Ｈ
ｚ）に近い低流量領域まで、測定が可能になる。また、
渦発生体、管路と受力体を合成樹脂で構成すれば、安定
した形状の渦流量計が量産可能となり、製造コストを低
下でき、安価な渦流量計が得られる。
イズ等の外来ノイズの影響を受け難くでき、信号レベル
が小さく、信号周波数が商用電源周波数（５０、６０Ｈ
ｚ）に近い低流量領域まで、測定が可能になる。また、
渦発生体、管路と受力体を合成樹脂で構成すれば、安定
した形状の渦流量計が量産可能となり、製造コストを低
下でき、安価な渦流量計が得られる。
【００２４】従って、本発明によれば、低流速まで測定
可能範囲が拡大でき、耐コモンモード特性が良好な渦流
量計を実現することが出来る。
可能範囲が拡大でき、耐コモンモード特性が良好な渦流
量計を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
１ 管路 ２ 測定流体 ３ 渦発生体 ４ 受力体 ５ 穴 ６ 圧電素子 ７ 弾性エポキシ樹脂 １１ 渦発生体 １２ 管路 １３ 受力体 １４ 圧電素子 １５ シールド体 １６ 信号処理回路のシールド体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松田 哲浩 長野県上伊那郡宮田村2061番地 横河アイ エムティー株式会社内 (72)発明者 丸山 登 長野県上伊那郡宮田村2061番地 横河アイ エムティー株式会社内 (72)発明者 小松 敏彦 長野県上伊那郡宮田村2061番地 横河アイ エムティー株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】管路に設けられ渦発生体を兼ねる柱状の受
力体と、 該受力体に埋設された圧電素子とを具備し、 カルマン渦により前記受力体に作用する交番力を検出し
て流量を測定する渦流量計において、 前記受力体に設けられ前記圧電素子をシールドするシー
ルド体を具備したことを特徴とする渦流量計。 - 【請求項２】管路に設けられた柱状の受力体と、 該受力体に埋設された圧電素子と、 前記受力体より上流側の前記管路に設けられた渦発生体
とを具備し、 カルマン渦により前記受力体に作用する交番力を検出し
て流量を測定する渦流量計において、 前記受力体に設けられ前記圧電素子をシールドするシー
ルド体を具備したことを特徴とする渦流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8152195A JPH102769A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 渦流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8152195A JPH102769A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 渦流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH102769A true JPH102769A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15535146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8152195A Pending JPH102769A (ja) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 渦流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH102769A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333352A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-22 | Yokogawa Electric Corp | 力検出器およびそれを用いた渦流量計 |
| CN103226031A (zh) * | 2012-01-26 | 2013-07-31 | Smc株式会社 | 流量传感器 |
| KR101431461B1 (ko) * | 2013-06-27 | 2014-08-22 | 한국원자력연구원 | 바이모프를 이용한 유량계 |
-
1996
- 1996-06-13 JP JP8152195A patent/JPH102769A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333352A (ja) * | 2001-05-07 | 2002-11-22 | Yokogawa Electric Corp | 力検出器およびそれを用いた渦流量計 |
| CN103226031A (zh) * | 2012-01-26 | 2013-07-31 | Smc株式会社 | 流量传感器 |
| KR101431461B1 (ko) * | 2013-06-27 | 2014-08-22 | 한국원자력연구원 | 바이모프를 이용한 유량계 |
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