JPH0862004A - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- JPH0862004A JPH0862004A JP19652694A JP19652694A JPH0862004A JP H0862004 A JPH0862004 A JP H0862004A JP 19652694 A JP19652694 A JP 19652694A JP 19652694 A JP19652694 A JP 19652694A JP H0862004 A JPH0862004 A JP H0862004A
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- pressure sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価で、保守が容易な流量計を提供する。
【構成】 前記測定管に設けられた切欠部と、該切欠部
を覆う様に設けられた基板と、該基板の前記流路側に設
けられ前記絞り部における前記測定流体の圧力を測定す
るシリコン半導体圧力センサよりなる第１圧力センサ
と、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外にお
ける前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力
センサよりなる第２圧力センサと、前記第１，第２圧力
センサの表面と前記基板の前記流路側表面とを覆うと共
に該基板と切欠部との隙間をシールする可撓性のシリコ
ン樹脂体と前記第１，第２圧力センサの信号より測定流
体の流量を演算する流量演算回路とを具備したことを特
徴とする流量計である。
を覆う様に設けられた基板と、該基板の前記流路側に設
けられ前記絞り部における前記測定流体の圧力を測定す
るシリコン半導体圧力センサよりなる第１圧力センサ
と、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外にお
ける前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力
センサよりなる第２圧力センサと、前記第１，第２圧力
センサの表面と前記基板の前記流路側表面とを覆うと共
に該基板と切欠部との隙間をシールする可撓性のシリコ
ン樹脂体と前記第１，第２圧力センサの信号より測定流
体の流量を演算する流量演算回路とを具備したことを特
徴とする流量計である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、安価で、保守が容易な
流量計に関するものである。
流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、特開平２−２５７２５
号に示されている。図において、１は測定流体の流れる
管路である。２は管路１に設けられたオリフィスであ
る。
従来例の構成説明図で、例えば、特開平２−２５７２５
号に示されている。図において、１は測定流体の流れる
管路である。２は管路１に設けられたオリフィスであ
る。
【０００３】３はオリフィス２の上流、或いは、下流の
管路１に取付られた導管である。４は導管３を開閉する
元弁である。５は導管３に接続された三方弁である。６
は三方弁５に設けられたストップ弁、７は均圧弁であ
る。８は三方弁５に接続された差圧測定装置である。
管路１に取付られた導管である。４は導管３を開閉する
元弁である。５は導管３に接続された三方弁である。６
は三方弁５に設けられたストップ弁、７は均圧弁であ
る。８は三方弁５に接続された差圧測定装置である。
【０００４】以上の構成において、測定管の管路１に測
定流体が流れると、オリフィス２の上流と下流との間に
流量の平方根に比例した差圧が生ずる。この差圧を差圧
測定装置８で測定することにより測定流体の流量を測定
する事ができる。
定流体が流れると、オリフィス２の上流と下流との間に
流量の平方根に比例した差圧が生ずる。この差圧を差圧
測定装置８で測定することにより測定流体の流量を測定
する事ができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、導管３、三方弁５と差圧測定装置８
が必要であり、安価にする事ができない。また、保守も
容易に出来ない。本発明は、この問題点を、解決するも
のである。本発明の目的は、安価で、保守が容易な流量
計を提供するにある。
な装置においては、導管３、三方弁５と差圧測定装置８
が必要であり、安価にする事ができない。また、保守も
容易に出来ない。本発明は、この問題点を、解決するも
のである。本発明の目的は、安価で、保守が容易な流量
計を提供するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、測定流体が流れる測定管の流路に設けら
れた絞り部と、前記測定管に設けられ該絞り部における
前記測定流体の圧力を測定する第１圧力センサと、前記
測定管に設けられ前記絞り部以外における前記測定流体
の圧力を測定する第２圧力センサとを具備する流量計に
おいて、前記測定管に設けられた切欠部と、該切欠部を
覆う様に設けられた基板と、該基板の前記流路側に設け
られ前記絞り部における前記測定流体の圧力を測定する
シリコン半導体圧力センサよりなる第１圧力センサと、
該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外における
前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力セン
サよりなる第２圧力センサと、前記第１，第２圧力セン
サの表面と前記基板の前記流路側表面とを覆うと共に該
基板と切欠部との隙間をシールする可撓性のシリコン樹
脂体と前記第１，第２圧力センサの信号より測定流体の
流量を演算する流量演算回路とを具備したことを特徴と
する流量計を構成したものである。
に、本発明は、測定流体が流れる測定管の流路に設けら
れた絞り部と、前記測定管に設けられ該絞り部における
前記測定流体の圧力を測定する第１圧力センサと、前記
測定管に設けられ前記絞り部以外における前記測定流体
の圧力を測定する第２圧力センサとを具備する流量計に
おいて、前記測定管に設けられた切欠部と、該切欠部を
覆う様に設けられた基板と、該基板の前記流路側に設け
られ前記絞り部における前記測定流体の圧力を測定する
シリコン半導体圧力センサよりなる第１圧力センサと、
該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外における
前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力セン
サよりなる第２圧力センサと、前記第１，第２圧力セン
サの表面と前記基板の前記流路側表面とを覆うと共に該
基板と切欠部との隙間をシールする可撓性のシリコン樹
脂体と前記第１，第２圧力センサの信号より測定流体の
流量を演算する流量演算回路とを具備したことを特徴と
する流量計を構成したものである。
【０００７】
【作用】以上の構成において、測定管の流路に測定流体
が流れると、第１，第２圧力センサはシリコン樹脂体を
介して圧力を検出する。そして、流量演算器は第１，第
２圧力センサの信号より測定流体の流量を演算する。以
下、実施例に基づき詳細に説明する。
が流れると、第１，第２圧力センサはシリコン樹脂体を
介して圧力を検出する。そして、流量演算器は第１，第
２圧力センサの信号より測定流体の流量を演算する。以
下、実施例に基づき詳細に説明する。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図２は図１の要部詳細図、図３は図１のＡ−Ａ側面図、
図４は図１の組み立て斜視図である。１１は測定流体１
２が流れる測定管である。１３は測定管１１の流路１４
に設けられた絞り部である。１５は測定管に設けられた
切欠部である。
図２は図１の要部詳細図、図３は図１のＡ−Ａ側面図、
図４は図１の組み立て斜視図である。１１は測定流体１
２が流れる測定管である。１３は測定管１１の流路１４
に設けられた絞り部である。１５は測定管に設けられた
切欠部である。
【０００９】１６は切欠部１５を覆う様に設けられた基
板である。１７は基板１６の流路１４側に設けられ、絞
り部１３における測定流体１２の圧力を測定する、シリ
コン半導体圧力センサよりなる第１圧力センサである。
１８は基板１６の流路１４側に設けられ、絞り部１３以
外における測定流体１２の圧力を測定する、シリコン半
導体圧力センサよりなる第２圧力センサである。
板である。１７は基板１６の流路１４側に設けられ、絞
り部１３における測定流体１２の圧力を測定する、シリ
コン半導体圧力センサよりなる第１圧力センサである。
１８は基板１６の流路１４側に設けられ、絞り部１３以
外における測定流体１２の圧力を測定する、シリコン半
導体圧力センサよりなる第２圧力センサである。
【００１０】１９は第１，第２圧力センサ１７，１８の
表面と、基板１６の流路１４側表面とを覆うと共に、基
板１６と切欠部１５との隙間をシールする可撓性のシリ
コン樹脂体である。この場合は、第２圧力センサ１８を
覆うシリコン樹脂体１９の部分ａは、図３に示す如く、
流路１４を乱さない様に、表面が測定管１１の管壁に沿
う様に形成されている。
表面と、基板１６の流路１４側表面とを覆うと共に、基
板１６と切欠部１５との隙間をシールする可撓性のシリ
コン樹脂体である。この場合は、第２圧力センサ１８を
覆うシリコン樹脂体１９の部分ａは、図３に示す如く、
流路１４を乱さない様に、表面が測定管１１の管壁に沿
う様に形成されている。
【００１１】第１圧力センサ１７を覆うシリコン樹脂体
１９の部分ｂは、上部が測定管１１の中心方向に凸状２
１を形成している。盛り上がりの量ｌは、測定管１１の
管直径Ｄに対して、ｌ／Ｄ＝０．１〜０．５程度に選ば
れている。２２は第１，第２圧力センサ１７，１８の信
号より、測定流体１２の流量を演算する流量演算回路で
ある。
１９の部分ｂは、上部が測定管１１の中心方向に凸状２
１を形成している。盛り上がりの量ｌは、測定管１１の
管直径Ｄに対して、ｌ／Ｄ＝０．１〜０．５程度に選ば
れている。２２は第１，第２圧力センサ１７，１８の信
号より、測定流体１２の流量を演算する流量演算回路で
ある。
【００１２】具体的には、第１，第２圧力センサ１７，
１８の出力差を求める演算、その平方根を求める演算等
を行う。３１は測定管１１の両端に設けられ、配管等に
接続するためのねじである。３２は、基板１６を測定管
１１に取付るための取付ねじである。
１８の出力差を求める演算、その平方根を求める演算等
を行う。３１は測定管１１の両端に設けられ、配管等に
接続するためのねじである。３２は、基板１６を測定管
１１に取付るための取付ねじである。
【００１３】以上の構成において、測定管１１の流路１
４に測定流体１２が流れると、第１，第２圧力センサ１
７，１８はシリコン樹脂体１９を介して圧力を検出す
る。この第１，第２圧力センサ１７，１８の信号に基づ
き、流量演算器２２は測定流体１２の流量を演算する。
４に測定流体１２が流れると、第１，第２圧力センサ１
７，１８はシリコン樹脂体１９を介して圧力を検出す
る。この第１，第２圧力センサ１７，１８の信号に基づ
き、流量演算器２２は測定流体１２の流量を演算する。
【００１４】ここで、図５に示す如く、第１，第２圧力
センサ１７，１８で検出される圧力は、大気圧Ｐaから
の差の圧力Ｐ1,Ｐ2である。Ｐ1の値は、第１圧力センサ
１７の部分の凸部のためにＰ2＞Ｐ1となる。
センサ１７，１８で検出される圧力は、大気圧Ｐaから
の差の圧力Ｐ1,Ｐ2である。Ｐ1の値は、第１圧力センサ
１７の部分の凸部のためにＰ2＞Ｐ1となる。
【００１５】そして、 ΔＰ＝Ｐ2−Ｐ1＝Ｋ1（１／２）ρＶ2 （１） Ｋ1：定数 ρ：密度 Ｖ：測定流体の流速 と表わせる。
【００１６】圧力Ｐ1に比例した第１圧力センサ１７の
電気出力をＥ1、圧力Ｐ2に比例した第２圧力センサ１８
の電気出力をＥ2、その差をΔＥとする。 Ｅ1＝Ｋ2（Ｐ1ーＰa） Ｅ2＝Ｋ2（Ｐ2ーＰa） Ｋ2：定数
電気出力をＥ1、圧力Ｐ2に比例した第２圧力センサ１８
の電気出力をＥ2、その差をΔＥとする。 Ｅ1＝Ｋ2（Ｐ1ーＰa） Ｅ2＝Ｋ2（Ｐ2ーＰa） Ｋ2：定数
【００１７】 ∴ΔＥ＝Ｅ2−Ｅ1＝Ｋ2（Ｐ2ーＰ1）＝Ｋ2ΔＰ ∴ΔＥ＝Ｋ1Ｋ2（１／２）ρＶ2＝Ｋ3ρＶ2 （２） Ｋ3：定数 ∴Ｖ＝（（ΔＥ）／（Ｋ3ρ））1/2 流体の密度ρは一定なので、次式より流量Ｑが求められ
る。
る。
【００１８】 ∴Ｑ＝Ｓ・Ｖ＝Ｋ4（ΔＥ）1/2 （３） Ｋ4：定数 Ｓ：測定管１１の断面積 （３）式より流量Ｑがもとめられる。凸部の形状、寸法
は、流量Ｑ、管直径Ｄ等から、適切なΔＰが得られるよ
うな値に選ぶ。
は、流量Ｑ、管直径Ｄ等から、適切なΔＰが得られるよ
うな値に選ぶ。
【００１９】この結果、 （１）簡単な構成で流量計が実現できる。 （２）安価な流量計が得られる。 （３）センサ部分が簡単に着脱出来るので、保守が容易
である。
である。
【００２０】図６は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、図１実施例の基板１６
の代わりに、第１，第２圧力センサ１７，１８を取付た
第１の基板４１と、電気回路がパターニング４２された
第２の基板４３とで構成したもので、第１の基板４１と
第２の基板４３とは互いに接着されている。
図である。本実施例においては、図１実施例の基板１６
の代わりに、第１，第２圧力センサ１７，１８を取付た
第１の基板４１と、電気回路がパターニング４２された
第２の基板４３とで構成したもので、第１の基板４１と
第２の基板４３とは互いに接着されている。
【００２１】図７は本発明の別の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、測定管１１に凸部５１
を設けて、絞り部５２を構成したものである。シリコン
樹脂体１９の表面は平面として、凸部２１は設けないよ
うにしたものである。
図である。本実施例においては、測定管１１に凸部５１
を設けて、絞り部５２を構成したものである。シリコン
樹脂体１９の表面は平面として、凸部２１は設けないよ
うにしたものである。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、測定流
体が流れる測定管の流路に設けられた絞り部と、前記測
定管に設けられ該絞り部における前記測定流体の圧力を
測定する第１圧力センサと、前記測定管に設けられ前記
絞り部以外における前記測定流体の圧力を測定する第２
圧力センサとを具備する流量計において、前記測定管に
設けられた切欠部と、該切欠部を覆う様に設けられた基
板と、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部におけ
る前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力セ
ンサよりなる第１圧力センサと、該基板の前記流路側に
設けられ前記絞り部以外における前記測定流体の圧力を
測定するシリコン半導体圧力センサよりなる第２圧力セ
ンサと、前記第１，第２圧力センサの表面と前記基板の
前記流路側表面とを覆うと共に該基板と切欠部との隙間
をシールする可撓性のシリコン樹脂体と前記第１，第２
圧力センサの信号より測定流体の流量を演算する流量演
算回路とを具備したことを特徴とする流量計を構成し
た。
体が流れる測定管の流路に設けられた絞り部と、前記測
定管に設けられ該絞り部における前記測定流体の圧力を
測定する第１圧力センサと、前記測定管に設けられ前記
絞り部以外における前記測定流体の圧力を測定する第２
圧力センサとを具備する流量計において、前記測定管に
設けられた切欠部と、該切欠部を覆う様に設けられた基
板と、該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部におけ
る前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力セ
ンサよりなる第１圧力センサと、該基板の前記流路側に
設けられ前記絞り部以外における前記測定流体の圧力を
測定するシリコン半導体圧力センサよりなる第２圧力セ
ンサと、前記第１，第２圧力センサの表面と前記基板の
前記流路側表面とを覆うと共に該基板と切欠部との隙間
をシールする可撓性のシリコン樹脂体と前記第１，第２
圧力センサの信号より測定流体の流量を演算する流量演
算回路とを具備したことを特徴とする流量計を構成し
た。
【００２３】この結果、 （１）簡単な構成で流量計が実現できる。 （２）安価な流量計が得られる。 （３）センサ部分が簡単に着脱出来るので、保守が容易
である。
である。
【００２４】従って、本発明によれば、安価で、保守が
容易な流量計が得られる。
容易な流量計が得られる。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部詳細図である。
【図３】図１のＡ−Ａ側面図である。
【図４】図１の組み立て斜視図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】本発明の別の実施例の要部構成説明図である。
【図８】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【符号の説明】 １１…測定管 １２…測定流体 １３…絞り部 １４…流路 １５…切欠部 １６…基板 ６４…接合部 ６５…第１のボディ １７…第１圧力センサ １８…第２圧力センサ １９…シリコン樹脂体 ２１…凸部 ２２…流量演算回路 ３１…ねじ ３２…取付ねじ ４１…第１の基板 ４２…パターン ４３…第２の基板 ５１…凸部 ５２…絞り部
Claims (1)
- 【請求項１】測定流体が流れる測定管の流路に設けられ
た絞り部と、前記測定管に設けられ該絞り部における前
記測定流体の圧力を測定する第１圧力センサと、前記測
定管に設けられ前記絞り部以外における前記測定流体の
圧力を測定する第２圧力センサとを具備する流量計にお
いて、 前記測定管に設けられた切欠部と、 該切欠部を覆う様に設けられた基板と、 該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部における前記
測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力センサよ
りなる第１圧力センサと、 該基板の前記流路側に設けられ前記絞り部以外における
前記測定流体の圧力を測定するシリコン半導体圧力セン
サよりなる第２圧力センサと、 前記第１，第２圧力センサの表面と前記基板の前記流路
側表面とを覆うと共に該基板と切欠部との隙間をシール
する可撓性のシリコン樹脂体と前記第１，第２圧力セン
サの信号より測定流体の流量を演算する流量演算回路と
を具備したことを特徴とする流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19652694A JP3171017B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19652694A JP3171017B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862004A true JPH0862004A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3171017B2 JP3171017B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=16359211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19652694A Expired - Fee Related JP3171017B2 (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3171017B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007032150A1 (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Surpass Industry Co., Ltd. | 差圧式流量計 |
| JP2011520572A (ja) * | 2008-05-23 | 2011-07-21 | ホスピラ・インコーポレイテツド | 薬剤投与を監視する差圧利用薬剤投与フローセンサ組立体用のカセットとその作製方法 |
| JP2017049125A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 流量計 |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP19652694A patent/JP3171017B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007032150A1 (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Surpass Industry Co., Ltd. | 差圧式流量計 |
| JP2007078383A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Surpass Kogyo Kk | 差圧式流量計 |
| US7891256B2 (en) | 2005-09-12 | 2011-02-22 | Surpass Industry Co., Ltd. | Differential-pressure flow meter having a main control board in a space in a base member |
| JP2011520572A (ja) * | 2008-05-23 | 2011-07-21 | ホスピラ・インコーポレイテツド | 薬剤投与を監視する差圧利用薬剤投与フローセンサ組立体用のカセットとその作製方法 |
| JP2017049125A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 流量計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3171017B2 (ja) | 2001-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |