JP2007078383A - 差圧式流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オリフィス部材11を挟んで形成される流路の両側にベース部材14に固定した第1及び第2圧力センサ12A,12Bを配設し、オリフィス部材11の上流側及び下流側に生じる圧力差を圧力センサが測定して流量計測を行う差圧式流量計において、 前記圧力検出手段内に設置された圧力検出部の近傍に各々配設した個別制御基板と、前記ベース部材に形成した基板設置空間内に配設した主制御基板とを備え、前記個別制御基板と前記主制御基板との間を前記圧力検出手段のハウジング内に設けた複数の配線通路を通した配線により接続するとともに、前記個別制御基板及び前記主制御基板のいずれかひとつに外部配線を接続した。
【選択図】図1
Description
この場合、たとえば図20(b)に示すように、配管Pの途中に設置された差圧式流量計1は、オリフィス部材2の上流側及び下流側の2箇所に圧力センサ3A,3Bが必要となる。各圧力センサ3A,3Bの内部には制御用の回路基板が収納設置されているため、コントローラCRと一対の圧力センサ3A,3Bとの間は、圧力センサ毎に配線して接続する必要があった。さらに、差圧式流量計1で測定した流量の検出値を半導体製造装置等の運転制御に使用するためには、1台の差圧式流量計1毎に1台必要となるコントローラCRと、半導体製造装置等の各種運転制御を行う装置制御シーケンサCUとの間にも、流量の検出値を出力するための配線が必要となる。(たとえば、特許文献1参照)
なお、半導体製造装置等においては、たとえば図20(a)に示すように、多数の差圧式流量計1が並列に配設して使用される場合が多い。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、全体を小型化するとともに配線を低減できる差圧式流量計を提供することにある。
本発明の差圧式流量計は、オリフィス部材を挟んだ流路の両側にベース部材に固定した一対の圧力検出手段を配設し、前記オリフィス部材の上流側及び下流側に生じる圧力差を前記圧力検出手段が測定して流量計測を行う差圧式流量計において、前記圧力検出手段内に設置された圧力検出部の近傍に各々配設した個別制御基板と、前記ベース部材に形成した基板設置空間内に配設した主制御基板とを備え、前記個別制御基板と前記主制御基板との間を前記圧力検出手段のハウジング内に設けた配線通路を通した配線により接続するとともに、前記個別制御基板及び前記主制御基板のいずれかひとつに外部配線を接続したことを特徴とするものである。
本実施形態における差圧式流量計10は、たとえば図6に示すように、化学工場、半導体製造、食品、バイオ等の各種産業分野における流体輸送配管(流路)P上に設けられ、この流体輸送配管Pの一部を構成するとともに、この流体輸送配管P内で背圧によって上流側から下流側に供給される流体流量の調整を行う流量調整装置5に用いられるものである。
本実施形態では、流量調整装置5は、圧力印加や送液ポンプによる圧送、位置エネルギーを付与するなどの手段によって、50k〜500k[Pa]程度の背圧で液体を輸送する流体輸送配管に用いられるものとする。
差圧式流量計10は、オリフィス部材11と、該オリフィス部材11の上流側に接続され、同接続位置での流体の圧力を測定する圧力測定装置となる第1圧力センサ(圧力検出手段)12Aと、オリフィス部材11の下流側に接続され、同接続位置での流体の圧力を測定する第2圧力センサ(圧力検出手段)12Bとが一体化された構成とされる。
また、本実施形態では、第1圧力センサ12Aの上流側に、第1圧力センサ12Aに供給される流体の圧力変動を抑制して所定圧力に保つ圧力調整弁8が設けられている。従って、たとえば流量の調整対象となる流体輸送配管Pに並列に接続された他の配管系からくる外乱等によって流量調整装置5に供給される流体に圧力変動が生じても、第1及び第2圧力センサ12A,12Bの測定精度に影響が生じにくい。
この差圧式流量計10は、第1及び第2圧力センサ12A,12Bの内部に設置した圧力センサ素子(圧力検出部)15A,15Bの近傍に各々配設されてセンサアンプを構成する個別制御基板16A,16Bと、ベース部材14に形成した基板設置空間17内に配設した主制御基板18とを備えている。個別制御基板16A,16Bと主制御基板18との間は、第1及び第2圧力センサ12A,12Bのハウジング19A,19B内に各々設けた配線通路20を通した配線21(図4参照)により接続するとともに、個別制御基板16A,16B及び主制御基板18のいずれかひとつに外部配線22が接続されている。図示の構成例では、図4に示すように、電源供給ライン22a及び流量信号出力ライン22bよりなる外部配線22が主制御基板18に接続されている。なお、図1においては、第2圧力測定装置12B側の配線通路20が破線で表示され、第1圧力測定装置12A側の配線通路は図示が省略されている。
電源回路部18aは、電源供給ライン22aを介し外部から電源の供給を受け、主制御基板18、個別制御基板16A,16B及び圧力センサ素子15A,15Bに電源を供給する回路である。
差圧検出部18bは、圧力センサ素子15A,15Bからそれぞれ圧力検出値の入力を受け、オリフィス部材11を挟んで発生した差圧を算出する。
流量換算部18cは、差圧検出部18bで算出した差圧を演算処理し、流路13を流れた流体の流量に換算する。
信号出力部18dは、流量換算部18cから入力された流量値を流量信号出力ライン22bを介して装置制御シーケンサCUに出力する。なお、装置制御シーケンサCUは、たとえば上述した流量調整装置5における制御部7に相当する。
ここで、圧力センサ素子15A,15Bは、たとえばダイヤフラム式の歪みゲージが使用される。このような圧力センサ素子15A,15Bが出力する圧力検出値は微小信号であるから、この微小信号を増幅するセンサアンプ機能を持たせた個別制御基板16A,16Bについては、主制御基板18から分離して圧力センサ素子とできるだけ近い位置に配置してある。
第1圧力センサ12Aは、流路13が形成されたハウジング19Aの上部にキャップ24Aを被せて圧力センサ素子15A及び個別制御基板16Aの収納設置空間25Aを形成している。ハウジング19Aとキャップ24Aとの嵌合部にはOリング26が設置され、さらに、圧力センサ素子15Aの流路13側にもOリング26を介在させて、収納設置空間25A内が液密となるようシールしている。
また、収納設置空間25A内には、圧力センサ素子15Aの調整用としてトリマTRが設置されている。このため、キャップ24AにはトリマTRの調整操作用として、シールキャップ27を取り付けて液密とした貫通孔が設けられている。
また、キャップ24Aには、上述した外部配線22を接続するケーブルナット28が取り付けられている。このケーブルナット28には、外部配線22を液密にして通すケーブルパッキン29が設けられている。
一方、第2圧力センサ12Bについては、外部配線22の接続がないこと以外、上述した第1圧力センサ12Aと同様に構成された液密構造となる。なお、図中の符号24Bはキャップ、25Bは収納設置空間である。
同様に、第1圧力センサ12A及び第2圧力センサ12Bとオリフィス部材11との接続部も、オリフィス用袋ナット31を締め付けることにより、ハウジング19A、19Bとオリフィス部材11との間が液密に連結固定される。
また、ベース部材14の下面には、ベース部材14をくりぬいて形成した基板設置空間17を開閉するため、蓋部材33がネジ34により着脱自在に取り付けられている。この蓋部材33は、ベース部材14との接合部に図示しないシール材を塗布して液密に取り付けられる。さらに、蓋部材33を取り付けるネジ34の頭部周辺についても、ゴムキャップ35等を被せて液密とする。
このような構成により、電気部品である主制御御基板18が設置された基板設置空間17内は、液密状態にシールされて液体の侵入を防ぐことができる。また、ベース部材14に熱伝導性の低い素材(たとえば、フッ素樹脂等)を使用すれば、主制御基板18が流路13を流れる流体から断熱されるので、流体温度に影響されることはない。
Q=k√(P1−P2) …(1)
なお、式(1)に示す比例係数kは、オリフィスの形状や穴径によって定まる定数であり、実測によって求められる。
さらに、配線通路20を複数に分割して設けたので、各配線通路20の断面積を小さくするとともに数を増すことにより、必要な配線通路20の断面積を確保している。このため、ハウジング19A,19Bを形成する部材の肉厚を有効利用して小径の小さな配線通路20を複数設けることで、差圧式流量計10の小型化に貢献できる。
換言すれば、差圧流量計10自体が小型化されただけでなく、別体のコントローラCRが主制御基板18に集約されて不要となるので、差圧流量計10を半導体製造装置等の装置類に設置する際には、設置スペースが小さくなるため装置類を小型化でき、さらに、部品点数の減少及び配線作業の減少等により設置作業の工程を低減することができる。
図1に示した構成例では、オリフィス本体11に係止された一対のオリフィス用袋ナット31を用いて、第1及び第2圧力センサ12A,12Bの間に着脱可能に連結され、流路13と同軸に小径に絞られたオリフィス流路を形成している。この場合のオリフィス部材11は、内部の流路を流通する流体に汚染が生じにくく、また流体により侵されにくい材質、たとえばPFA(四フッ化エチレンとパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体)によって構成されていることが好ましい。
また、オリフィス部材11は、小径に絞られたオリフィス流路の両端が傾斜面とされ、流体がスムーズにオリフィス流路に導かれるとともに、オリフィス流路を通過した流体が滞りなく下流側に押し出されるので、第1及び第2圧力センサ12A,12Bとの境界における流体の滞留が生じにくい。
<第1の実施形態>
図7及び図8に示す第1の実施形態のオリフィス部材11Aは、一端が第1圧力センサ12Aに接続され、他端が第2圧力センサ12Bに接続されて、内部が第1及び第2圧力センサ12A,12B間を接続する流路を構成するチューブ部41と、このチューブ部41内に設けられるオリフィス42とが、一体に形成された構成とされる。
図示の例において、オリフィス部材11Aは、チューブ部41の長手方向の中央部41aのみが中実となった略円筒形状をなしており、長手方向の中央部41aには、長手方向の一端側から他端側まで通じるオリフィス流路の細孔41bが、チューブ部41の軸線と同心にして形成されており、この長手方向の中央部41aによってオリフィス42が構成されている。
このため、このオリフィス部材11Aでは、流路に流通させる流体を切替えた際に、流路内に残留している流体が、新たに流路内に供給した流体によって確実に押し出されることとなり、流路内の流体を速やかに置換することができる。
また、このオリフィス部材11Aでは、チューブ部41とオリフィス42とが一体に形成されているので、部品点数が少なくて済み、製造が容易であるとともに、流路内にOリング等のコンタミネーションの要因となる部材を配置しなくてすむ。
ここで、このようなオリフィス部材11Aは、成形型を用いて射出成形等によって作成するほか、機械加工(削り出し等)によって作成することができる。
オリフィス用袋ナット31は、内周面にメネジ部31aが形成され、メネジ部31aよりもチューブ部41の長手方向の中央部41a側には、オリフィス用袋ナット部31の径方向内側に突出して拡径部41dと係合する係合突部31bが設けられている。この変形例では、係合突部31bは、オリフィス用袋ナット31の内周全周にわたって形成される内フランジとされている。
スリーブ36においてチューブ部41の端部から突出される端部(以下「突出端」とする)は、第1及び第2圧力センサ12A,12Bの接続端と係合する形状をなす係合部37とされている。この場合、係合部37は、スリーブ36の流路の開口端を取り囲んで第1及び第2圧力センサ12A,12Bの接続端の端面と面接触する略円環状の当接面37aと、当接面37aよりも突出した状態にして設けられて当接面37aの周囲を囲う円筒部37bとを有している。
また、スリーブ36においてチューブ部41内に挿入される端部には、チューブ部41を径方向外側に押し拡げる拡径部36aが形成されている。
ハウジング19Bは、その内部の流路の、オリフィス部材11Aとの接続端に、流路の開口端を取り囲んでオリフィス部材11Aのスリーブ36の当接面37aと面接触する略円環状の当接面38aと、当接面37aよりも突出した状態にして設けられて当接面37aの周囲を囲う円筒部38bと、当接面37aと円筒部37bとの間に設けられてオリフィス部材11Aの円筒部37bが挿入される円環状の凹部38cとを有している。
円筒部37bの外周面には、オリフィス部材11Aのオリフィス用袋ナット31のメネジ部31aが螺合されるオネジ部38dが形成されている。
オリフィス部材11Aと第1圧力センサ12Aとの接続操作及び分離操作も、上記したオリフィス部材11Aと第2圧力測定装置12Bとの接続操作、分離操作と同様である。
すなわち、この差圧式流量計10において、オリフィス部材11Aは、オリフィス用袋ナット31を操作することで、両側の圧力センサとの接続及び分離を容易に行うことができる。
この場合には、チューブ部41の端部によって係合部37が構成される(但し、円筒部37bはなくなり、チューブ部41の端部が当接面37aとして機能する)。また、第1圧力測定装置12及び第2圧力測定装置13は、前記のハウジング31の代わりに、ハウジング31から凹部31cを削除した構成のハウジング19Bを有する構成とされる。
上述したオリフィス部材11の第2実施形態を、図11及び図12を用いて説明する。
図11に示すように、本実施形態におけるオリフィス部材11Cは、第1及び第2圧力センサ12A,12Bとの接続構造が異なっている。なお、上述した実施形態と同様または同一の部材については同じ符号を用いて示し、その詳細な説明を省略する。
図12に示すように、オリフィス部材11Cは、第1の実施形態で示したオリフィス部材11Aにおいて、チューブ部41及びスリーブ27の代わりに、オリフィス用袋ナット31に挿通される各端部が、柔軟性を有しかつ他の部分よりも拡径されて内部に第1圧力センサ12Aまたは第2圧力センサ12Bの後述する接続端を受け入れる拡径部43とされ、オリフィス用袋ナット31の係合突部31bが、この拡径部43に係合する構成とされたチューブ部41Aを用いたことを主たる特徴とするものである。
第1圧力センサ12Aは、第1の実施形態に示した当接面38a及び凹部38cをなくし、円筒部38bの先端に、チューブ部41Aの拡径部43内に挿入される挿入部38eを設けたことを主たる特徴とするものである。また、第2圧力センサ12Bについても、第1圧力センサ12Aと同様の構成となる。
このように拡径部43に挿入部38eを挿入した状態で、チューブ部41Aが挿通されたオリフィス用袋ナット31を第1圧力センサ12A及び第2圧力センサ12Bの円筒部38bに形成されたオネジ部38dに係合させて、オリフィス用袋ナット31を締め付けていくことで、チューブ部41Aの拡径部43がオリフィス用袋ナット31とともに円筒部38bに相対的に近接させられる。このオリフィス用袋ナット31を十分に締め付けた状態では、チューブ部41Aの拡径部43と挿入部38eとが、気密、液密に係合した状態で固定される。
すなわち、このオリフィス部材11Cでは、オリフィス用袋ナット31を操作することで、各圧力センサ12A,12Bとの接続と分離とを容易に行うことができる。
本発明に係るオリフィス部材11の第3の実施形態を、図13及び図14を用いて説明する。
本実施形態におけるオリフィス部材11Dは、第1の実施形態で示したオリフィス部材11と、第1、第2圧力センサ12A,12Bとの接続構造が異なっている。以下、第1実の施形態と同様または同一の部材については同じ符号を用いて示し、詳細な説明を省略する。
また、チューブ部41Bの端部には、第1の実施形態で示したスリーブ36と同様に、係合部37を構成する当接面37a及び円筒部37bが一体的に設けられている。
本実施形態では、チューブ部41Bの拡径部44は、チューブ部41Bの端部側が、端部に向うにつれて漸次縮径され、チューブ部41Bの長手方向中央側では軸線に対して略直交する面をなす形状とされている。
また、オリフィス用袋ナット31の係合突部31bは、オリフィス用袋ナット31の軸線方向のメネジ部31a側が軸線に対して略直交する面をなし、オリフィス用袋ナット31の軸線方向のメネジ部31aとは反対の側がメネジ部31aから軸線方向に離間するにつれて漸次縮径する形状とする。
この場合には、第1、第2圧力センサ12A、12Bのそれぞれのハウジング19a、19Bは、図16に示すように凹部38cを削除した構成とすることができる。
本発明に係る流量調整装置の第4の実施形態を、図17を用いて説明する。
本実施形態におけるオリフィス部材11Fは、第1及び第2圧力センサ12A,12Bとの接続構造が異なるものである。
オリフィス部材11Fは、第1の実施形態で示したオリフィス部材11と第1及び第2圧力測定装置12A,12Bとの接続部の構造を、互いに入れ替えたことを主たる特徴とするものである。具体的には、オリフィス部材11Fは、第1の実施形態で示したオリフィス部材11において、オリフィス用袋ナット31及びスリーブ36をなくし、チューブ部41の代わりに、図17に示す構成のチューブ部41Dを用いたことを主たる特徴とするものである。
ここで、スリーブ36Bには、第1の実施形態と同様、スリーブ36Bの流路の開口端を取り囲んで第1及び第2圧力センサ12A,12Bの接続端の端面と面接触する略円環状の当接面37aと、当接面37aよりも突出した状態にして設けられて当接面37aの周囲を囲う円筒部37bとからなる係合部37が設けられている。
このように構成されるオリフィス部材11Fは、第1圧力センサ12A及び第2圧力センサ12Bと、第1の実施形態と同様の接続方法により接続される(ただし、接続構造のオスメスが逆転している)。
この場合には、第1及び第2圧力センサ12A,12Bでは、係合部37を有さないリング状のスリーブ36Aがチューブ部41Fの端部よりも奥方まで挿入されて、これによってチューブ部41Fに拡径部39aが形成される。また、チューブ部39の端部によって係合部37構成される(ただし、円筒部37bは無くなり、チューブ部96の端部が当接面28aとして機能する)。
この場合、第1及び第2圧力センサ12A,12Bでは、スリーブ36Bをなくし、その端部が、柔軟性を有しかつ他の部分よりも拡径されて、内部にオリフィス部材11Gのチューブ部41Eの後述する接続端を受け入れる拡径部39aとされたチューブ部39Aが用いられ、オリフィス用袋ナット31の係合突部31bが、この拡径部39aに係合する構成とされる。
ここで、チューブ部39Aの端部は柔軟性を有していて変形可能であるので、容易にオリフィス用袋ナット31に挿通することができる。
また、上述した差圧式流量計10は、差圧を換算した流量測定値を出力してもよいが、第1及び第2圧力センサ12A,12Bで検出した圧力の検出値をそのまま出力することも可能である。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
11,11A〜11F オリフィス部材
12A 第1圧力センサ(圧力検出手段)
12B 第2圧力センサ(圧力検出手段)
13 流路
14 ベース部材
15A,15B 圧力センサ素子(圧力検出部)
16A,16B 個別制御基板
17 基板設置空間
18 主制御基板
19A,19B ハウジング
20 配線通路
21,23 配線
22 外部配線
24A,24B キャップ
25A,25B 収納設置空間
26 Oリング
27 シールキャップ
28 ケーブルナット
29 ケーブルパッキン
30 袋ナット
31 オリフィス用袋ナット
31a メネジ部
31b 係合突部
32,34 ネジ
33 蓋部材
35 ゴムキャップ
36,36A,36B スリーブ
37 係合部
37a 当接面
37b 円筒部
38a 当接面
38b 円筒部
38c 凹部
38d オネジ部
38e 挿入部
39 チューブ部
39a 拡径部
41,41A〜41E チューブ部
41a 中央部
41b 細孔
41c テーパー面
41d 拡径部
42 オリフィス
43,44 拡径部
P 液体輸送配管(流路)
CU 装置制御シーケンサ
TR トリマ
Claims (3)
- オリフィス部材を挟んだ流路の両側にベース部材に固定した一対の圧力検出手段を配設し、前記オリフィス部材の上流側及び下流側に生じる圧力差を前記圧力検出手段が測定して流量計測を行う差圧式流量計において、
前記圧力検出手段内に設置された圧力検出部の近傍に各々配設した個別制御基板と、前記ベース部材に形成した基板設置空間内に配設した主制御基板とを備え、前記個別制御基板と前記主制御基板との間を前記圧力検出手段のハウジング内に設けた複数の配線通路を通した配線により接続するとともに、前記個別制御基板及び前記主制御基板のいずれかひとつに外部配線を接続したことを特徴とする差圧式流量計。 - 前記基板設置空間を前記ベース部材の下面に配置して液密とし、かつ、前記ベース部材の上面に前記配線通路と外部との間を液密にして前記圧力検出手段を結合したことを特徴とする請求項1に記載の差圧式流量計。
- 前記配線通路が複数に分割して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の差圧式流量計。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7698950B2 (en) * | 2008-04-04 | 2010-04-20 | Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg | Pressure sensor assembly for measuring absolute pressure |
WO2011040268A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 株式会社堀場エステック | 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート |
KR20140077105A (ko) | 2012-12-13 | 2014-06-23 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 증폭기 내장형 압력 센서 |
JPWO2020208697A1 (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-15 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4824949B2 (ja) | 2005-06-03 | 2011-11-30 | サーパス工業株式会社 | オリフィス部材、及びこれを用いた差圧流量計、流量調整装置 |
RU2431821C2 (ru) * | 2007-03-14 | 2011-10-20 | Майкро Моушн, Инк. | Измеритель вибрирующего потока и способ для определения вязкости материала потока |
JP4253026B2 (ja) * | 2007-08-23 | 2009-04-08 | 日本ピラー工業株式会社 | 樹脂製管継手およびその製造方法 |
JP5408916B2 (ja) * | 2008-07-08 | 2014-02-05 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計及び流量コントローラ |
JP5209524B2 (ja) * | 2009-02-05 | 2013-06-12 | サーパス工業株式会社 | 流量計および流量コントローラ |
JP5220642B2 (ja) * | 2009-02-05 | 2013-06-26 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計および流量コントローラ |
JP5808537B2 (ja) * | 2009-10-01 | 2015-11-10 | 株式会社堀場エステック | 流量測定機構及びマスフローコントローラ |
KR101336268B1 (ko) * | 2012-07-18 | 2013-12-03 | 김중구 | 대기 오염 측정용 차압식 유량 제어기 |
GB2528422B (en) * | 2013-05-04 | 2021-04-07 | Steven Richard | Flow metering |
EP3088850A1 (en) | 2015-04-27 | 2016-11-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Subsea flow meter assembly |
KR101708806B1 (ko) * | 2015-07-17 | 2017-03-08 | 주식회사 신성에프에이 | 풉 퍼징 모듈용 유량계 |
JP2017079544A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 住友電装株式会社 | 被覆電線の中間スプライス部防水構造 |
US10132664B2 (en) * | 2016-10-27 | 2018-11-20 | Daniel Measurement And Control, Inc. | Adjustable flow meter system |
US10581090B2 (en) * | 2017-11-03 | 2020-03-03 | Bloom Energy Corporation | Fuel cell system containing humidity sensor and method of operating thereof |
WO2019116212A2 (en) | 2017-12-11 | 2019-06-20 | Feelit Technologies Ltd. | Sensing using nanoparticle based strain sensors |
WO2020060957A1 (en) | 2018-09-18 | 2020-03-26 | Swagelok Company | Fluid monitoring module arrangements |
US10883865B2 (en) | 2018-09-19 | 2021-01-05 | Swagelok Company | Flow restricting fluid component |
EP3948173A4 (en) * | 2019-04-01 | 2022-12-14 | Feelit Technologies Ltd. | METHODS AND DEVICES FOR DETERMINING DIFFERENTIAL PARAMETERS ASSOCIATED WITH FLUID FLOW INSIDE A CONDUIT |
WO2021184131A1 (es) * | 2020-03-17 | 2021-09-23 | New Tech Copper Spa | Dispositivo periférico de flujómetro con sensor de temperatura en electrolito |
DE102021130134A1 (de) * | 2021-11-18 | 2023-05-25 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Vorrichtung zur Fluidbegrenzung und Vorrichtung zum Messen einer Eigenschaft eines Prozessfluids |
CN116929469B (zh) * | 2023-09-18 | 2024-01-30 | 四川蜀谷仪表科技有限公司 | 一种差压流量计高低压转换方法和差压计测量流量的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0453520U (ja) * | 1990-09-10 | 1992-05-07 | ||
JPH0579871A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-03-30 | Hitachi Ltd | 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム |
JPH0862004A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Yokogawa Electric Corp | 流量計 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0453520A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 食器洗浄機 |
US5174158A (en) * | 1991-06-07 | 1992-12-29 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
JPH06213694A (ja) | 1993-01-14 | 1994-08-05 | Tokyo Gas Co Ltd | 絞り流量計における温度計設置機構 |
US5596147A (en) * | 1995-11-17 | 1997-01-21 | Wilda; Douglas W. | Coplanar pressure sensor mounting for remote sensor |
US5868159A (en) * | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
DE10001165C2 (de) | 2000-01-13 | 2003-02-06 | Liebherr Aerospace Gmbh | Durchsatzregelventil mit intelligentem Durchflußmeßsystem |
US6672171B2 (en) * | 2001-07-16 | 2004-01-06 | Mks Instruments, Inc. | Combination differential and absolute pressure transducer for load lock control |
-
2005
- 2005-09-12 JP JP2005263338A patent/JP4700448B2/ja active Active
-
2006
- 2006-07-26 EP EP06781634.8A patent/EP1944583B1/en active Active
- 2006-07-26 US US12/066,138 patent/US7891256B2/en active Active
- 2006-07-26 WO PCT/JP2006/314722 patent/WO2007032150A1/ja active Application Filing
-
2008
- 2008-03-04 KR KR1020087005405A patent/KR101261992B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0453520U (ja) * | 1990-09-10 | 1992-05-07 | ||
JPH0579871A (ja) * | 1991-09-20 | 1993-03-30 | Hitachi Ltd | 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム |
JPH0862004A (ja) * | 1994-08-22 | 1996-03-08 | Yokogawa Electric Corp | 流量計 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7698950B2 (en) * | 2008-04-04 | 2010-04-20 | Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg | Pressure sensor assembly for measuring absolute pressure |
WO2011040268A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 株式会社堀場エステック | 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート |
JP5669583B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2015-02-12 | 株式会社堀場エステック | 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート |
KR20140077105A (ko) | 2012-12-13 | 2014-06-23 | 사파스고교 가부시키가이샤 | 증폭기 내장형 압력 센서 |
US9360386B2 (en) | 2012-12-13 | 2016-06-07 | Surpass Industry Co., Ltd. | Amplifier-embedded pressure sensor |
EP3800447A1 (en) | 2012-12-13 | 2021-04-07 | Surpass Industry Co., Ltd. | Amplifier-embedded pressure sensor |
JPWO2020208697A1 (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-15 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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