JP5220642B2 - 差圧式流量計および流量コントローラ - Google Patents
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Description
本発明は、例えば、化学工場、半導体製造、食品、バイオ等の各種産業分野における流体輸送配管中に用いられる差圧式流量計および流量コントローラに関するものである。
化学工場、半導体製造、食品、バイオ等の各種産業分野における流体輸送配管中に用いられる差圧式流量計および流量コントローラとしては、例えば、特許文献１に開示されたものが知られている。
上記特許文献１に開示された差圧式流量計および流量コントローラを構成する２つの圧力センサはそれぞれ、環境温度（周囲の温度）が変わると指示値が変化するという特性、すなわち、環境温度が高くなると指示値が高くなるという特性を有している。
したがって、一方の圧力センサの環境温度のみが変わり、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との間に温度差が生じると、圧力センサによる圧力測定が不安定なものとなり、誤作動の原因となることがある。
したがって、一方の圧力センサの環境温度のみが変わり、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との間に温度差が生じると、圧力センサによる圧力測定が不安定なものとなり、誤作動の原因となることがある。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供することにある。
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
本発明に係る差圧式流量計は、圧力測定を行う流体が流れる流体主流路が形成されたボディと、前記流体主流路に対して直列に配置されるとともに、前記ボディに保持される２つの圧力センサとを備え、前記２つの圧力センサの下方に位置する前記ボディの下面を連通するようにして形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料を用いて一体的に形成された温度バランサーが収容されている。
本発明に係る差圧式流量計は、圧力測定を行う流体が流れる流体主流路が形成されたボディと、前記流体主流路に対して直列に配置されるとともに、前記ボディに保持される２つの圧力センサとを備え、前記２つの圧力センサの下方に位置する前記ボディの下面を連通するようにして形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料を用いて一体的に形成された温度バランサーが収容されている。
本発明に係る差圧式流量計によれば、２つの圧力センサの下方に位置するボディに、熱伝導性に優れた材料（例えば、アルミニウム合金Ａ５０５２）からなる温度バランサーが埋め込まれて（嵌め込まれて）いるので、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる。
本発明に係る流量コントローラは、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を備えている。
本発明に係る流量コントローラによれば、流量測定値（測定流量）の精度や安定性が向上することにより、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度を向上させることができる。
本発明に係る流量コントローラは、前記流量調整弁の弁体を上下方向に移動させるモータ、および前記流量調整弁の開度制御を行う制御基板の下方に位置するボディと、前記２つの圧力センサの下方に位置するボディとが、前記２つの圧力センサの下方に位置するボディの幅よりも狭く、かつ、前記２つの圧力センサの下方に位置するボディの高さよりも低くなるように形成されたくびれ部を介して連結されている。
本発明に係る流量コントローラによれば、２つの圧力センサの下方に位置するボディと、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するボディとが、くびれ部を介して連結されているので、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するボディから、２つの圧力センサの下方に位置するボディへの熱伝導を抑制することができ、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
上記流量コントローラにおいて、前記ボディと設置面との間に配置され、締結部材を介して前記ボディに固定されるベース部材を備え、前記２つの圧力センサの下方に位置するベース部材と、前記モータおよび前記制御基板の下方に位置するベース部材との間に位置するベース部材に、板厚方向に貫通する少なくとも１つのスリットが形成されているとさらに好適である。
このような流量コントローラによれば、２つの圧力センサの下方に位置するベース部材と、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するベース部材との間に位置するベース部材に、少なくとも１つ（例えば、７つ）のスリットが形成されているので、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するベース部材から、２つの圧力センサの下方に位置するベース部材への熱伝導を抑制することができ、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
上記流量コントローラにおいて、前記モータおよび前記制御基板の下方に位置するベース部材の上面に、正面と背面とを連通する少なくとも１つの冷却用溝が形成されているとさらに好適である。
このような流量コントローラによれば、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するベース部材の上面に、少なくとも１つ（例えば、２つ）の冷却用溝が形成されており、この冷却用溝内を通過する空気によって、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するボディおよびベース部材の熱が奪い去られることとなるので、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するボディおよびベース部材から、２つの圧力センサの下方に位置するボディおよびベース部材への熱伝導を抑制することができ、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
上記流量コントローラにおいて、前記モータおよび前記制御基板の下方に位置するベース部材の下面に、正面と背面とを連通する少なくとも１つの溝が形成されているとさらに好適である。
このような流量コントローラによれば、熱源となるモータおよび制御基板の下方に位置するベース部材の下面に、少なくとも１つ（例えば、１つ）の溝が形成されているので、設置面からベース部材への入熱を防止することができ、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
上記流量コントローラにおいて、前記２つの圧力センサの下方に位置するベース部材の下面に、正面と背面とを連通する少なくとも１つの溝が形成されているとさらに好適である。
このような流量コントローラによれば、２つの圧力センサの下方に位置するベース部材の下面に、少なくとも１つ（例えば、１つ）の溝が形成されているので、設置面からベース部材への入熱を防止することができ、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
本発明に係る差圧式流量計によれば、一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができるという効果を奏する。
また、本発明に係る差圧式流量計の測定値を用いて流量調整弁の開度制御を行う流量コントローラによれば、流量測定値（測定流量）の精度や安定性が向上することにより、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度を向上させることができるという効果を奏する。
また、本発明に係る差圧式流量計の測定値を用いて流量調整弁の開度制御を行う流量コントローラによれば、流量測定値（測定流量）の精度や安定性が向上することにより、流体主流路を流れる測定流量の流体流量コントロール精度を向上させることができるという効果を奏する。
以下、本発明に係る差圧式流量計および流量コントローラの一実施形態について、図１から図５を参照しながら説明する。
図１は本実施形態に係る流量コントローラの正面図、図２は図１の平面図、図３は図２のＡ−Ａ矢視断面図、図４は図２のＢ−Ｂ矢視断面図、図５は本実施形態に係る差圧式流量計に組み込まれた温度バランサーを示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。
図１は本実施形態に係る流量コントローラの正面図、図２は図１の平面図、図３は図２のＡ−Ａ矢視断面図、図４は図２のＢ−Ｂ矢視断面図、図５は本実施形態に係る差圧式流量計に組み込まれた温度バランサーを示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図である。
流量コントローラ１０は、後述する流体主流路１２と連通する配管１１に組み込まれ、同流路内を流れる液体（薬液等）の流体流量を一定に保つ流量制御装置であり、実際の流体流量を測定するための差圧式流量計２０と、弁体の開度制御が可能な流量調整弁６０とを主たる要素として構成されている。
なお、差圧式流量計２０は、流体主流路１２内を流れる流体の流れ方向において、流量調整弁６０の上流側に配置されている。
なお、差圧式流量計２０は、流体主流路１２内を流れる流体の流れ方向において、流量調整弁６０の上流側に配置されている。
差圧式流量計２０は、一対の圧力センサ２１Ａ，２１Ｂがオリフィスユニット４０を介して直列に配置された構成とされている。すなわち、差圧式流量計２０では、オリフィスユニット４０を通過することで圧力差を生じた流体圧力が両圧力センサ２１Ａ，２１Ｂによって各々検出され、これら二つの圧力値は各々電気信号に変換されて制御部（図示せず）に入力される。こうして圧力値の信号入力を受けた制御部は、二つの圧力値から得られる差圧を流量に換算することにより、流体主流路１２を流れる流体の流量測定を行うことができる。以下の説明では、オリフィスユニット４０より上流側に配置した圧力センサ２１Ａを第１センサと呼び、下流側に配置した圧力センサ２１Ｂを第２センサと呼んで区別する。
なお、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの構成は基本的に同じであるから、以下では上流側に配置された第１センサ２１Ａについて説明する。
なお、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの構成は基本的に同じであるから、以下では上流側に配置された第１センサ２１Ａについて説明する。
第１センサ２１Ａは、例えば、図３に示すように、圧力測定を行う流体が流れる流体主流路１２から上方へＴ字状に分岐する圧力導入流路２２に配置されたセンサ本体（圧力検出部）２３を備えている。本実施形態では、ボディ２４を貫通して形成された流体主流路１２と略直交するようにして、上方のセンサ収納空間２５へ連通する圧力導入路２２が設けられている。圧力導入流路２２は、流体流れ方向下流側となる壁面に、流体の入口側開口面積を広げる方向の傾斜面２６を備えている。この傾斜面２６は、圧力導入流路２２の下流側半分を略円錐台形状にして側壁面に傾斜を設けたものであり、圧力導入流路２２は、流体主流路１２に連通して流体入口側となる下方の流路断面積がセンサ収納空間２５に連通する流体出口側より大きくなっている。
センサ本体２３は、流体圧力を検出できれば特に限定されることはないが、例えば、ピエゾ式圧力センサや静電容量式圧力センサ、ひずみゲージ式圧力センサが好ましく、本実施形態では、センサ本体２３として、ひずみゲージ式圧力センサを用いている。
ボディ２４は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroethylene：ＰＴＦＥ）を用いて一体的に形成されている。また、第１センサ２１Ａおよび第２圧力２１Ｂの下方に位置するボディ２４の下面には、図５に示す温度バランサー２７を収容する凹所２８（図４参照）が形成されている。
図５に示すように、温度バランサー２７は、平面視矩形状、側面視コ字形状を呈する薄板状の部材であり、例えば、アルミニウム合金Ａ５０５２を用いて一体的に形成されている。また、温度バランサー２７の中央部には、平面視矩形状を呈する貫通穴２７ａが形成されている。
ボディ２４は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroethylene：ＰＴＦＥ）を用いて一体的に形成されている。また、第１センサ２１Ａおよび第２圧力２１Ｂの下方に位置するボディ２４の下面には、図５に示す温度バランサー２７を収容する凹所２８（図４参照）が形成されている。
図５に示すように、温度バランサー２７は、平面視矩形状、側面視コ字形状を呈する薄板状の部材であり、例えば、アルミニウム合金Ａ５０５２を用いて一体的に形成されている。また、温度バランサー２７の中央部には、平面視矩形状を呈する貫通穴２７ａが形成されている。
第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４と、後述するモータ６１および制御基板６６の下方に位置するボディ２４とは、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４の幅（図２における上下方向の長さ）よりも狭く、かつ、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４の高さ（図１および図３における上下方向の長さ）よりも低くなるように形成された連結部（くびれ部）２４Ａを介して連結されており、この連結部２４Ａの内側には、流体主流路１２が形成されている。
また、ボディ２４の上部には、センサ本体２３の関連部品を覆うようにしてカバー２９が取り付けられている。そして、ボディ２４は、ねじ１３等の締結部材を介してベース部材１４上に固定支持されており、ボディ２４には、継手構造の袋ナット１５を介して流体主流路１２と連通する配管１１が連結（接続）されている。
また、ボディ２４の上部には、センサ本体２３の関連部品を覆うようにしてカバー２９が取り付けられている。そして、ボディ２４は、ねじ１３等の締結部材を介してベース部材１４上に固定支持されており、ボディ２４には、継手構造の袋ナット１５を介して流体主流路１２と連通する配管１１が連結（接続）されている。
ベース部材１４は、例えば、ポリプロピレン（polypropylene：ＰＰ）を用いて一体的に形成されている。第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４と、後述するモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４との間に位置するベース部材１４には、図２に示すように、幅方向（図２において上下方向）に沿って配列された少なくとも１つ（本実施形態では７つ）のスリット１４ａが形成されている。スリット１４ａはそれぞれ、板厚方向に貫通された貫通穴であり、長手方向（図２において左右方向）に沿って長穴形状に形成されている。
また、後述するモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の上面には、図１に示すように、長手方向（図１において左右方向）に沿って配列された少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の冷却用溝（第１の溝）１４ｂが形成されている。冷却用溝１４ｂは、正面と背面とを連通する正面視矩形状を呈する溝であり、幅方向（図１において紙面に垂直な方向）に沿って形成されている。
また、後述するモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の上面には、図１に示すように、長手方向（図１において左右方向）に沿って配列された少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の冷却用溝（第１の溝）１４ｂが形成されている。冷却用溝１４ｂは、正面と背面とを連通する正面視矩形状を呈する溝であり、幅方向（図１において紙面に垂直な方向）に沿って形成されている。
一方、後述するモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の下面には、図１および図３に示すように、幅方向（図１および図３において紙面に垂直な方向）に沿って少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の溝（第２の溝）１４ｃが形成されている。溝１４ｃは、正面と背面とを連通する正面視略矩形状を呈する溝である。
また、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４の下面には、図１および図３に示すように、幅方向（図１および図３において紙面に垂直な方向）に沿って少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の溝（第３の溝）１４ｄが形成されている。溝１４ｄは、正面と背面とを連通する正面視略矩形状を呈する溝である。
また、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４の下面には、図１および図３に示すように、幅方向（図１および図３において紙面に垂直な方向）に沿って少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の溝（第３の溝）１４ｄが形成されている。溝１４ｄは、正面と背面とを連通する正面視略矩形状を呈する溝である。
オリフィスユニット４０は、第１センサ２１Ａと第２センサ２１Ｂとの間に設置されるオリフィス本体４１を備えている。このオリフィス本体４１には、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂのボディ２４に形成された流体主流路１２より流路断面積を絞ったオリフィス流路４２が形成されている。図示の例では、流体主流路１２から最小径のオリフィス流路４２まで、段階的に流路断面積が狭められている。
オリフィス本体４１は、オリフィス流路４２を有する一端部（図３において下側の端部）がボディ２４内に挿入されている。
オリフィス本体４１は、オリフィス流路４２を有する一端部（図３において下側の端部）がボディ２４内に挿入されている。
第２センサ２１Ｂの下流側となる流体主流路１２には、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂと共通のボディ２４に流量調整弁６０が設置されている。この流量調整弁６０は、差圧式流量計２０の流量測定値と予め定めた設定流量との差が所定の範囲内に入るよう開度制御を行うものである。
流量調整弁６０は、ステッピングモータ等のモータ６１を備えた駆動機構によりニードル（弁体）６２を上下方向に移動させ、弁座６３に対してニードル６２が所望の開度位置となるように開閉動作させる構成を備えている。しかし、流量調整弁６０については、ニードル６２の開度調整が可能なものであれば、その駆動機構や弁体構造など特に限定されることはない。
なお、図中の符号６４はモータ６１等を覆うカバー、符号６５はカバー６４の一端（図３において上端）に形成された開口を覆う蓋体、符号６６は制御基板である。
流量調整弁６０は、ステッピングモータ等のモータ６１を備えた駆動機構によりニードル（弁体）６２を上下方向に移動させ、弁座６３に対してニードル６２が所望の開度位置となるように開閉動作させる構成を備えている。しかし、流量調整弁６０については、ニードル６２の開度調整が可能なものであれば、その駆動機構や弁体構造など特に限定されることはない。
なお、図中の符号６４はモータ６１等を覆うカバー、符号６５はカバー６４の一端（図３において上端）に形成された開口を覆う蓋体、符号６６は制御基板である。
このように構成された流量コントローラ１０は、運転開始前において、制御部に対し一定に保ちたい所望の流体流量（以下、「設定流量」と呼ぶ。）Ｑｒを入力して記憶させる。制御部は、入力された設定流量Ｑｒに対応する弁開度となるように、流量調整弁６０のニードル６２を動作させて初期開度を設定する。そして、流量コントローラ１０に流体を流すと、差圧式流量計２０が実際に流れる流体流量（以下、「測定流量」と呼ぶ。）Ｑｆを測定して制御部へ入力するので、制御部の内部では、測定流量Ｑｆと設定流量Ｑｒとの流量差ΔＱ（ΔＱ＝Ｑｒ−Ｑｆ）を求めて比較する。
上述した流量差ΔＱは、予め設定された許容範囲ｑと比較される。そして、流量差ΔＱの絶対値が許容範囲ｑより小さい（ΔＱ＜ｑ）場合には、所望の設定流量Ｑｒが流れていると判断して流量調整弁６０を初期開度のまま維持する。
一方、上述した流量差ΔＱが正の値（Ｑｒ＞Ｑｆ）となり、かつ、流量差ΔＱの絶対値が許容範囲ｑ以上に大きい（ΔＱ≧ｑ）場合には、測定流量Ｑｆが所望の設定流量Ｑｒを満足しない少量側の状態と判断できる。そこで、流量調整弁６０のニードル６２は、測定流量Ｑｆを増加させるため、初期開度より開度が大きくなる方向へ動作させる。
一方、上述した流量差ΔＱが正の値（Ｑｒ＞Ｑｆ）となり、かつ、流量差ΔＱの絶対値が許容範囲ｑ以上に大きい（ΔＱ≧ｑ）場合には、測定流量Ｑｆが所望の設定流量Ｑｒを満足しない少量側の状態と判断できる。そこで、流量調整弁６０のニードル６２は、測定流量Ｑｆを増加させるため、初期開度より開度が大きくなる方向へ動作させる。
さらに、上述した流量差ΔＱが負の値（Ｑｒ＜Ｑｆ）となり、かつ、流量差ΔＱの絶対値が許容範囲ｑ以上に大きい（ΔＱ≧ｑ）場合には、測定流量Ｑｆが所望の設定流量Ｑｒを満足しない多量側の状態と判断できる。そこで、流量調整弁６０のニードル６２は、測定流量Ｑｆを減少させるため、初期開度より開度が小さくなる方向へ動作させる。
このようにして、流体コントローラ１０は、差圧式流量計２０から入力される測定流量Ｑｆに基づいて、設定流量Ｑｒとの比較により得られる流量差ΔＱの絶対値が所定の許容範囲ｑを満足するようにフィードバック制御を行って、流体主流路１２を流れる流体流量を一定に保つことができる。
このようにして、流体コントローラ１０は、差圧式流量計２０から入力される測定流量Ｑｆに基づいて、設定流量Ｑｒとの比較により得られる流量差ΔＱの絶対値が所定の許容範囲ｑを満足するようにフィードバック制御を行って、流体主流路１２を流れる流体流量を一定に保つことができる。
本実施形態に係る差圧式流量計２０によれば、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４に、熱伝導性に優れた材料（本実施形態ではアルミニウム合金Ａ５０５２）からなる温度バランサー２７が埋め込まれて（嵌め込まれて）いるので、第１センサ２１Ａの環境温度と、第２センサ２１Ｂの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる。
また、本実施形態に係る差圧式流量計２０の測定値を用いて流量調整弁６０の開度制御を行う流量コントローラ１０によれば、流量測定値（測定流量Ｑｆ）の精度や安定性が向上することにより、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度を向上させることができる。
また、本実施形態に係る差圧式流量計２０の測定値を用いて流量調整弁６０の開度制御を行う流量コントローラ１０によれば、流量測定値（測定流量Ｑｆ）の精度や安定性が向上することにより、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度を向上させることができる。
本実施形態に係る流量コントローラ１０によれば、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４と、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するボディ２４とが、連結部２４Ａを介して連結されているので、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するボディ２４から、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４への熱伝導を抑制することができ、第１センサ２１Ａの環境温度と、第２センサ２１Ｂの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
また、本実施形態に係る流量コントローラ１０によれば、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４と、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４との間に位置するベース部材１４に、少なくとも１つ（本実施形態では７つ）のスリット１４ａが形成されているので、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４から、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４への熱伝導を抑制することができ、第１センサ２１Ａの環境温度と、第２センサ２１Ｂの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
さらに、本実施形態に係る流量コントローラ１０によれば、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の上面に、少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の冷却用溝１４ｂが形成されており、この冷却用溝１４ｂ内を通過する空気によって、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するボディ２４およびベース部材１４の熱が奪い去られることとなるので、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するボディ２４およびベース部材１４から、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するボディ２４およびベース部材１４への熱伝導を抑制することができ、第１センサ２１Ａの環境温度と、第２センサ２１Ｂの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
さらにまた、本実施形態に係る流量コントローラ１０によれば、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の下面に、少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の溝１４ｃが形成され、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４の下面に、少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の溝１４ｄが形成されているので、設置面（図示せず）からベース部材１４への入熱を防止することができ、第１センサ２１Ａの環境温度と、第２センサ２１Ｂの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
さらにまた、本実施形態に係る流量コントローラ１０によれば、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の下面に、少なくとも１つ（本実施形態では１つ）の溝１４ｃが形成されており、この溝１４ｃ内を通過する空気によって、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４の熱が奪い去られることとなるので、熱源となるモータ６１および制御基板６６の下方に位置するベース部材１４から、第１センサ２１Ａおよび第２センサ２１Ｂの下方に位置するベース部材１４への熱伝導を抑制することができ、第１センサ２１Ａの環境温度と、第２センサ２１Ｂの環境温度との差を低減させる（なくす）ことができて、流体主流路１２を流れる測定流量Ｑｆの流体流量コントロール精度をさらに向上させることができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で各種変更・変形が可能である。
１０ 流量コントローラ
１２ 流体主流路
１３ ねじ（締結部材）
１４ ベース部材
１４ａ スリット
１４ｂ 冷却用溝
１４ｃ 溝
１４ｄ 溝
２０ 差圧式流量計
２１Ａ 第１センサ（圧力センサ）
２１Ｂ 第２センサ（圧力センサ）
２４ ボディ
２４Ａ 連結部（くびれ部）
２７ 温度バランサー
２８ 凹所
６０ 流量調整弁
６１ モータ
６２ ニードル（弁体）
６６ 制御基板
１２ 流体主流路
１３ ねじ（締結部材）
１４ ベース部材
１４ａ スリット
１４ｂ 冷却用溝
１４ｃ 溝
１４ｄ 溝
２０ 差圧式流量計
２１Ａ 第１センサ（圧力センサ）
２１Ｂ 第２センサ（圧力センサ）
２４ ボディ
２４Ａ 連結部（くびれ部）
２７ 温度バランサー
２８ 凹所
６０ 流量調整弁
６１ モータ
６２ ニードル（弁体）
６６ 制御基板
Claims (7)
- 圧力測定を行う流体が流れる流体主流路が形成されたボディと、
前記流体主流路に対して直列に配置されるとともに、前記ボディに保持される２つの圧力センサとを備え、
前記２つの圧力センサの下方に位置する前記ボディの下面を連通するようにして形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料を用いて一体的に形成された温度バランサーが収容されていることを特徴とする差圧式流量計。 - 請求項１に記載の差圧式流量計の測定値を用いて流量調整弁の開度制御を行うことを特徴とする流量コントローラ。
- 請求項１に記載の差圧式流量計の測定値を用いて流量調整弁の開度制御を行う流量コントローラであって、
前記流量調整弁の弁体を上下方向に移動させるモータ、および前記流量調整弁の開度制御を行う制御基板の下方に位置するボディと、前記２つの圧力センサの下方に位置するボディとが、前記２つの圧力センサの下方に位置するボディの幅よりも狭く、かつ、前記２つの圧力センサの下方に位置するボディの高さよりも低くなるように形成されたくびれ部を介して連結されていることを特徴とする流量コントローラ。 - 前記ボディと設置面との間に配置され、締結部材を介して前記ボディに固定されるベース部材を備え、
前記２つの圧力センサの下方に位置するベース部材と、前記モータおよび前記制御基板の下方に位置するベース部材との間に位置するベース部材に、板厚方向に貫通する少なくとも１つのスリットが形成されていることを特徴とする請求項３に記載の流量コントローラ。 - 前記モータおよび前記制御基板の下方に位置するベース部材の上面に、正面と背面とを連通する少なくとも１つの冷却用溝が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の流量コントローラ。
- 前記モータおよび前記制御基板の下方に位置するベース部材の下面に、正面と背面とを連通する少なくとも１つの溝が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の流量コントローラ。
- 前記２つの圧力センサの下方に位置するベース部材の下面に、正面と背面とを連通する少なくとも１つの溝が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の流量コントローラ。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2910908A1 (en) | 2014-02-20 | 2015-08-26 | Surpass Industry Co., Ltd. | Differential pressure type flowmeter and flow controller provided with the same |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8947242B2 (en) | 2011-12-15 | 2015-02-03 | Honeywell International Inc. | Gas valve with valve leakage test |
| US9851103B2 (en) | 2011-12-15 | 2017-12-26 | Honeywell International Inc. | Gas valve with overpressure diagnostics |
| US8899264B2 (en) | 2011-12-15 | 2014-12-02 | Honeywell International Inc. | Gas valve with electronic proof of closure system |
| US9557059B2 (en) | 2011-12-15 | 2017-01-31 | Honeywell International Inc | Gas valve with communication link |
| US8839815B2 (en) | 2011-12-15 | 2014-09-23 | Honeywell International Inc. | Gas valve with electronic cycle counter |
| US9835265B2 (en) | 2011-12-15 | 2017-12-05 | Honeywell International Inc. | Valve with actuator diagnostics |
| US9846440B2 (en) | 2011-12-15 | 2017-12-19 | Honeywell International Inc. | Valve controller configured to estimate fuel comsumption |
| US8905063B2 (en) * | 2011-12-15 | 2014-12-09 | Honeywell International Inc. | Gas valve with fuel rate monitor |
| US9074770B2 (en) | 2011-12-15 | 2015-07-07 | Honeywell International Inc. | Gas valve with electronic valve proving system |
| US9995486B2 (en) | 2011-12-15 | 2018-06-12 | Honeywell International Inc. | Gas valve with high/low gas pressure detection |
| US10422531B2 (en) | 2012-09-15 | 2019-09-24 | Honeywell International Inc. | System and approach for controlling a combustion chamber |
| US9234661B2 (en) | 2012-09-15 | 2016-01-12 | Honeywell International Inc. | Burner control system |
| EP2868970B1 (en) | 2013-10-29 | 2020-04-22 | Honeywell Technologies Sarl | Regulating device |
| US10024439B2 (en) | 2013-12-16 | 2018-07-17 | Honeywell International Inc. | Valve over-travel mechanism |
| JP6416529B2 (ja) * | 2014-07-23 | 2018-10-31 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
| US9841122B2 (en) | 2014-09-09 | 2017-12-12 | Honeywell International Inc. | Gas valve with electronic valve proving system |
| US9645584B2 (en) | 2014-09-17 | 2017-05-09 | Honeywell International Inc. | Gas valve with electronic health monitoring |
| JP6651323B2 (ja) * | 2015-10-02 | 2020-02-19 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
| US10503181B2 (en) | 2016-01-13 | 2019-12-10 | Honeywell International Inc. | Pressure regulator |
| JP6632901B2 (ja) | 2016-02-03 | 2020-01-22 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
| US11433211B2 (en) | 2016-03-17 | 2022-09-06 | Zoll Medical Corporation | Flow sensor for ventilation |
| US10564062B2 (en) | 2016-10-19 | 2020-02-18 | Honeywell International Inc. | Human-machine interface for gas valve |
| US11073281B2 (en) | 2017-12-29 | 2021-07-27 | Honeywell International Inc. | Closed-loop programming and control of a combustion appliance |
| US10697815B2 (en) | 2018-06-09 | 2020-06-30 | Honeywell International Inc. | System and methods for mitigating condensation in a sensor module |
| CN113389927A (zh) * | 2020-03-13 | 2021-09-14 | 杭州三花研究院有限公司 | 电动阀以及热管理系统 |
| DE102021130134A1 (de) * | 2021-11-18 | 2023-05-25 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Vorrichtung zur Fluidbegrenzung und Vorrichtung zum Messen einer Eigenschaft eines Prozessfluids |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE421349B (sv) | 1977-12-16 | 1981-12-14 | Graende Per Olof | Flodesmetare for registrering av verkligt forlopp hos pulserade vetskefloden |
| JPH02248817A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-04 | Seiko Instr Inc | 差圧型流量制御装置 |
| US5524084A (en) | 1994-12-30 | 1996-06-04 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for improved flow and pressure measurement and control |
| US5672832A (en) * | 1996-02-15 | 1997-09-30 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body |
| US5868159A (en) * | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
| US6578435B2 (en) * | 1999-11-23 | 2003-06-17 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow control with non-contaminating body |
| US6539968B1 (en) * | 2000-09-20 | 2003-04-01 | Fugasity Corporation | Fluid flow controller and method of operation |
| US6668642B2 (en) * | 2001-12-21 | 2003-12-30 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for thermal isolation of thermal mass flow sensor |
| US6712084B2 (en) * | 2002-06-24 | 2004-03-30 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for pressure fluctuation insensitive mass flow control |
| EP1411355A1 (en) * | 2002-10-18 | 2004-04-21 | Emerson Electric Co. | Method and device for determining a characteristic value that is representative of the condition of a gas |
| US6843139B2 (en) * | 2003-03-12 | 2005-01-18 | Rosemount Inc. | Flow instrument with multisensors |
| JP4204400B2 (ja) * | 2003-07-03 | 2009-01-07 | 忠弘 大見 | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 |
| US7131451B2 (en) * | 2003-09-04 | 2006-11-07 | Rivatek Incorporated | Apparatus for controlling and metering fluid flow |
| US7740024B2 (en) * | 2004-02-12 | 2010-06-22 | Entegris, Inc. | System and method for flow monitoring and control |
| US7334413B2 (en) * | 2004-05-07 | 2008-02-26 | Rosemount Aerospace Inc. | Apparatus, system and method for observing combustion conditions in a gas turbine engine |
| JP4395186B2 (ja) | 2004-07-07 | 2010-01-06 | パーカー・ハニフィン・コーポレーション | 流量制御装置および体積の内部等温制御により流量検証を行うための方法 |
| US7866337B2 (en) * | 2005-07-08 | 2011-01-11 | Entegris, Inc. | Chemically inert flow controller with non-contaminating body |
| JP4700448B2 (ja) | 2005-09-12 | 2011-06-15 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計 |
| WO2007103486A2 (en) * | 2006-03-09 | 2007-09-13 | Entegris, Inc. | Fluid handling device with isolating chamber |
| JP5079401B2 (ja) | 2007-06-25 | 2012-11-21 | サーパス工業株式会社 | 圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ |
| JP5408916B2 (ja) * | 2008-07-08 | 2014-02-05 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計及び流量コントローラ |
| US7775126B2 (en) * | 2008-10-22 | 2010-08-17 | Honeywell International Inc. | Fluid flow monitor |
-
2009
- 2009-02-05 JP JP2009024714A patent/JP5220642B2/ja active Active
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2010
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2910908A1 (en) | 2014-02-20 | 2015-08-26 | Surpass Industry Co., Ltd. | Differential pressure type flowmeter and flow controller provided with the same |
| JP2015155845A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラ |
| US9500503B2 (en) | 2014-02-20 | 2016-11-22 | Surpass Industry Co., Ltd. | Differential pressure type flowmeter and flow controller provided with the same |
Also Published As
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|---|---|
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