KR101635219B1 - 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러 - Google Patents

차압식 유량계 및 유량 컨트롤러 Download PDF

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Abstract

한쪽의 압력센서의 환경온도와 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있고, 정확하고 안정한 압력측정을 할 수가 있는 차압식 유량계를 제공함과 동시에, 이 차압식 유량계를 이용한 유량 컨트롤러를 제공하는 것,
압력측정을 하는 유체가 흐르는 유체주유로가 형성된 바디와, 상기 유체 주유로에 대하여 직렬로 배치됨과 동시에, 상기 바디에 지지되는 2개의 압력센서를 구비하고, 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 상기 바디에 형성된 오목부내에 열전도성이 우수한 재료로 이루어지는 온도 밸런서가 수용되어 있다.

Description

차압식 유량계 및 유량 컨트롤러{Differential-pressure flowmeter and flow-rate controller}
본 발명은 예를 들면, 화학공장, 반도체제조, 식품, 바이오 등의 각종산업분야에 있어서 유체수송배관중에 이용되는 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러에 관한 것이다.
화학공장, 반도체제조, 식품, 바이오 등의 각종산업분야에 있어서 유체수송배관중에 이용되는 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러로서는 예를들면 일본국 특개2009-2901호 공보에 개시되어 있는 것이 알려져 있다.
상기 특개2009-2901호 공보에 개시된 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러를 구성하는 2개의 압력센서는 각각 환경온도(주위의 온도)가 변하면 지시치가 변하는 특성, 즉, 환경온도가 높게 되면 지시치가 높게 되는 특성을 가지고 있다.
따라서 한쪽의 압력센서의 환경온도만이 변하고, 한쪽의 압력센서의 환경온도와 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 사이에 온도차가 생기면 압력센서에 의한 압력측정이 불안정하게 되고, 오작동의 원인이 되는 일이 있다.
본 발명은, 상기의 사정을 감안한 것으로서, 그 목적으로 하는 바는, 한쪽의 압력센서의 환경온도와 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있고, 정확하고 안정한 압력측정을 할 수가 있는 차압식 유량계를 제공함과 동시에, 이 차압식 유량계를 이용한 유량 컨트롤러를 제공하는데 있다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위하여 이하의 수단을 채용하였다.
본 발명의 제1 실시예와 관련된 차압식 유량계는, 압력측정을 하는 유체가 흐르는 유체주유로가 형성된 바디와, 상기 유체 주유로에 대하여 직렬로 배치됨과 동시에, 상기 바디에 지지되는 2개의 압력센서를 구비하고, 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 상기 바디에 형성된 오목부내에 열전도성이 우수한 재료로 이루어지는 온도 밸런서가 수용되어 있다.
본 발명의 제1 실시예와 관련된 차압식 유량계에 의하면, 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디에 열전도성이 우수한 재료(예를 들면, 알루미늄 합금 A5052)로 이루어지는 온도 밸런서가 매립되어(끼움조립되어) 있으므로, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬수 (없앨 수)가 있고, 정확하고 안정한 압력측정을 할 수가 있다.
본 발명의 제2 실시예와 관련된 유량 컨트롤러는 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬수(없앨수) 있고, 정확하고 안정된 압력측정을 할 수가 있는 차압식 유량계를 구비하고 있다.
본 발명의 제2 실시예와 관련된 유량 컨트롤러에 의하면, 유량 측정치(측정 유량)의 정밀도와 안정성이 향상됨으로써 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 콘트롤러 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
본 발명의 제3 실시예와 관련된 유량 컨트롤러는 상기 유량조정밸브의 밸브체를 상하방향으로 이동시키는 모터 및 상기 유량 조정밸브의 개도제어를 하는 제어기판의 아래쪽에 위치하는 바디와, 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디가 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디의 폭보다도 좁고, 또한 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디의 높이 보다도 낮도록 형성된 목부를 개재하여 연결되고 있다.
본 발명의 제3 실시예와 관련된 유량 컨트롤러에 의하면, 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디와, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 바디가 목부를 개재하여 연결되어 있으므로, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 바디로부터, 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디로의 열전도를 억제할 수가 있고, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
상기 유량 컨트롤러에 있어서, 상기 바디와 설치면과의 사이에 배치되고, 체결부재를 개재하여 상기 바디에 고정되는 베이스 부재를 구비하고, 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재와, 상기 모터 및 상기 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재와의 사이에 위치하는 베이스 부재에 판두께 방향으로 관통하는 적어도 1개의 슬릿이 형성되어 있으면 더욱 바람직하다.
이와 같은 유량 컨트롤러에 의하면, 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재와, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재와의 사이에 위치하는 베이스 부재에 적어도 1개(예를 들면 7개)의 슬릿이 형성되어 있으므로, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재로부터 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재로의 열전도를 억제할 수가 있고, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
상기 유량 컨트롤러에 있어서, 상기 모터 및 상기 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 윗면에, 정면과 배면을 연통하는 적어도 1개의 냉각용 홈이 형성되어 있으면 더욱 바람직하다.
이와 같은 유량 컨트롤러에 의하면, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 윗면에 적어도 1개(예를들면 2개)의 냉각용 홈이 형성되어 있고, 이 냉각용 홈 내를 통과하는 공기에 의해, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 바디 및 베이스 부재의 열이 빼앗겨지므로, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 바디 및 베이스 부재로부터 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 바디 및 베이스 부재로의 열전도를 억제할 수가 있고, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
상기 유량 컨트롤러에 있어서, 상기 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 아랫면에, 정면과 배면을 연통하는 적어도 1개의 홈이 형성되어 있으면 더욱 바람직하다.
이와 같은 유량 컨트롤러에 의하면, 열원이 되는 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 아랫면에 적어도 1개(예를들면 1개)의 홈이 형성되어 있으므로, 설치면으로부터 베이스 부재로의 입열을 방지할 수가 있고, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
상기 유량 컨트롤러에 있어서, 상기 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 아랫면에, 정면과 배면을 연통하는 적어도 1개의 홈이 형성되어 있으면 더욱 바람직하다.
이와 같은 유량 컨트롤러에 의하면, 2개의 압력센서의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 아랫면에, 적어도 1개(예를 들면 1개)의 홈이 형성되어 있으므로, 설치면으로부터 베이스 부재로의 입열을 방지할 수가 있고, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
본 발명에 관련된 차압식 유량계에 의하면, 한쪽의 압력센서의 환경온도와, 다른 쪽의 압력센서의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 정확하고 안정한 압력측정을 할 수가 있는 효과를 얻을 수가 있다.
또한, 본 발명에 관련된 차압식 유량계의 측정치를 사용하여 유량조절밸브의 개도제어를 행하는 유량 컨트롤러에 의하면, 유량측정치(측정유량)의 정밀도나 안정성이 향상됨으로써 유체주유로를 흐르는 측정유량의 유체유량 컨트롤러 정밀도를 향상시킬 수가 있는 효과를 얻을 수가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예와 관련된 유량 컨트롤러의 정면도이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3은 도 2의 A-A 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 4는 도 2의 B-B 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 일실시예와 관련된 차압식 유량계에 조립된 온도 밸런서를 나타내는 평면도이다.
도 5b는 본 발명의 일실시예와 관련된 차압식 유량계에 조립된 온도 밸런서를 나타내는 정면도이다.
도 5c는 본 발명의 일실시예와 관련된 차압식 유량계에 조립된 온도 밸런서를 나타내는 측면도이다.
이하, 본 발명에 관련된 차압식 유량계 및 유량 컨트롤러의 일실시예에 대해서 도 1 부터 도 5c를 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 실시예에 관련된 유량 컨트롤러의 정면도, 도 2는 도 1의 평면도, 도 3은 도 2의 A-A 화살표 방향에서 본 단면도, 도 4는 도 2의 B-B 화살표 방향에서 본 단면도, 도 5a는 본 실시예와 관련된 차압식 유량계에 조립된 온도 밸런서를 나타내는 평면도, 도 5b는 그 정면도, 도 5c는 그 측면도이다.
유량 컨트롤러(10)는, 후술하는 유체주유로(12)와 연통하는 배관(11)에 조립되고, 동 유로내를 흐르는 액체(약액 등)의 유체유량을 일정하게 유지하는 유량 제어장치이며, 실제의 유체유량을 측정하기 위한 차압식 유량계(20)와, 밸브체의 개도 제어가 가능한 유량조절밸브(60)를 주된 요소로서 구성되어 있다.
또한, 차압식 유량계(20)는 유체주유로(12)내를 흐르는 유체의 흐름방향에 있어서 유량조정밸브(60)의 상류측에 배치되어 있다.
차압식 유량계(20)는 한쌍의 압력센서(21A, 21B)가 오리피스 유니트(40)를 개재하여 직렬로 배치된 구성으로 되어 있다. 즉, 차압식 유량계(20)에서는, 오리피스 유니트(40)를 통과하는 것으로 압력차를 밸생시키는 유체압력이 양 압력센서(21A, 21B)에 의해 각각 검출되고, 이와 같은 2개의 압력치는 각각 전기신호로 변환되어 제어부(도시되지 않음)로 입력된다. 이와 같이 압력치의 신호입력을 받은 제어부는, 2개의 압력치로부터 얻어지는 차압을 유량으로 환산함으로써 유체주유로(12)를 흐르는 유체의 유량측정을 할 수가 있다. 이하의 설명에서는, 오리피스 유니트(40)보다 상류측에 배치된 압력센서(21A)를 제1 센서로 부르고, 하류측에 배치된 압력센서(21B)를 제2 센서로 불러서 구별한다.
그리고, 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 구성은 기본적으로 같기 때문에 이하에서는 상류측에 배치된 제1 센서(21A)에 대해서 설명한다.
제1 센서(21A)는 예를들면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 압력측정을 행하는 유체가 흐르는 유체주유로(12)로부터 위쪽으로 T자형으로 분기되는 압력도입유로(22)에 배치된 센서본체(압력검출부)(23)를 구비하고 있다. 본 실시예에서는 바디(24)를 관통하여 형성된 유체주유로(12)와 대략 직교하도록 하여 위쪽의 센서 수납공간(25)으로 연통하는 압력도입로(22)가 설치되어 있다. 압력도입로(22)는 유체흐름방향 하류측이 되는 벽면에 유체의 입구측 개구면적을 넓히는 방향의 경사면(26)을 구비하고 있다. 이 경사면(26)은 압력도입유로(22)의 하류측 반을 대략 원추대 형상으로 하여 측벽면에 경사를 설치한 것으로, 압력도입유로(22)는 유체주유로(12)에 연통하여 유체입구측이 되는 아래쪽의 유로 단면적이 센서 수납공간(25)에 연통하는 유체출구측보다 크게 되어 있다.
센서 본체(23)는 유체압력을 검출할 수 있으면 특히 한정되지는 않지만, 예를 들면, 피에조식 압력센서나 정전용량식 센서, 변형 게이지식 센서가 바람직하고, 본 실시예에서는 센서본체(23)서 변형 게이지식 압력센서를 사용하고 있다.
바디(24)는 예를 들면, 폴리테트라플루오르에틸렌(Polytetrafluorethylene, PTFE)을 사용하여 일체적으로 형성되어 있다. 또한, 제1 센서(21A) 및 제2 압력(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)의 아랫면에는 도 5에 나타나는 온도 밸런서(27)를 수용하는 오목부(28) (도 4 참조)가 형성되어 있다.
도 5a에서 도 5c에 나타낸 바와 같이, 온도 밸런서(27)는 평면에서 볼 때 사각형상, 측면에서 볼 때 ㄷ자형상을 갖는 박판형상 부재로서, 예를 들면, 알루미늄 합금 A5052를 사용하여 일체적으로 형성되어 있다. 또한, 온도 밸런서(27)의 중앙부에는 평면에서 볼 때 사각형상을 갖는 관통공(27a)이 형성되어 있다.
제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)와, 후술하는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)는, 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)의 폭(도 2에 있어서 상하방향의 길이)보다도 좁게, 또한 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)의 높이(도 1 및 도 3에 있어서 상하방향의 길이) 보다도 낮도록 형성된 연결부(목부)(24A)를 개재하여 연결되어 있고, 이 연결부(24A)의 내측에는 유체주유로(12)가 형성되어 있다.
또한, 바디(24)의 상부에는 센서본체(23)의 관련부품을 덮도록 하여 커버(29)가 취부되어 있다. 그리고, 바디(24)는 나사(13) 등의 연결부재를 개재하여 베이스부재(14)상에 고정지지되어 있고, 바디(24)에는 계수구조의 자루너트(15)를 개재하여 유체주유로(12)와 연통하는 배관(11)이 연결(접속)되어 있다.
베이스부재(14)는 예를들면, 폴리프로필렌(polypropylene, PP)을 사용하여 일체적으로 형성되어 있다. 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)와, 후술하는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 사이에 위치하는 베이스 부재(14)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 폭방향(도 2에 있어서 상하방향)을 따라 배열된 적어도 1개(본 실시예에서는 7개)의 슬릿(14a)이 형성되어 있다. 슬릿(14a)은 각각, 판두께 방향으로 관통된 관통구멍으로, 길이방향(도 2에 있어서 좌우방향)을 따라 긴구멍형상으로 형성되어 있다.
또한, 후술하는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 윗면에는 도 1에 나타낸 바와 같이, 길이방향(도 1에 있어서 좌우방향)을 따라 배열된 적어도 1개(본 실시예에서는 2개)의 냉각용 홈(제1 홈)(14b)이 형성되어 있다. 냉각용 홈(14a)은 정면과 배면을 연통하는 정면에서 볼 때 사각형상을 갖는 홈으로서, 폭방향(도 1에 있어서 지면에 수직한 방향)을 따라서 형성되어 있다.
한편, 후술하는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 아랫면에는, 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 폭방향(도 3에 있어서 지면에 수직한 방향)을 따라 적어도 1개(본 실시예에서는 1개)의 홈(제2 홈)(14c)가 형성되어 있다. 상기한 홈(14c)은 정면과 배면을 연통하는, 정면에서 볼 때 대략 사각형상을 갖는 홈이다.
또한, 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 아랫면에는, 도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 폭방향(도 1 및 도 3에 있어서 지면에 수직한 방향)을 따라 적어도 1개(본 실시예에서는 1개)의 홈(제3 홈)(14d)가 형성되어 있다. 홈(14d)은 정면과 배면을 연통하는, 정면에서 볼 때 사각형상을 갖는 홈이다.
오리피스 유니트(40)는 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 사이에 설치되는 오리피스 본체(41)를 구비하고 있다. 이 오리피스 본체(41)에는 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 바디(24)에 형성된 유체주유로(12)보다 유로단면적을 좁힌 오리피스유로(42)가 형성되어 있다. 도시된 예에서는, 유체주유로(12)부터 최소경의 오리피스 유로(42)까지 단계적으로 유로 단면적이 좁아지고 있다.
오리피스 본체(41)는 오리피스 유로(42)를 갖는 일단부(도 3에 있어서 하측의 단부)가 바디(24)내에 삽입되어 있다.
제2 센서(21B)의 하류측이 되는 유체 주유로(12)에는 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)와 공통의 바디(24)에 유량조정밸브(60)가 설치되어 있다. 이 유량조정밸브(60)는 차압식 유량계(20)의 유량측정치와 미리 설정한 설정유량과의 차가 소정의 범위내에 들도록 개도제어를 행하는 것이다.
유량조정밸브(60)는 스텝핑 모터 등의 모터(61)를 구비한 구동기구에 의해 니들(밸브체)(62)을 상하방향으로 이동시켜서 밸브좌(63)에 대해서 니들(62)이 소정의 개도위치가 되도록 개폐동작시키는 구성을 구비하고 있다. 그러나, 유량조정밸브(60)에 대해서는 니들(62)의 개도조정이 가능한 것이면, 그 구동기구나 밸브체 구조 등 특별히 한정되는 것은 아니다.
또한, 도면중의 부호 64는 모터(61) 등을 덮는 커버, 부호 65는 커버(64)의 일단(도 3에 있어서 상단)에 형성된 개구를 덮는 덮개체, 부호 66은 제어기판이다.
이와 같이 구성된 유량 컨트롤러(10)는 운전개시전에 있어서, 제어부에 대해 일정하게 유지하고 싶은 소정의 유체유량(이하 "설정유량"이라 칭한다) (Qr)을 입력하여 기억시킨다. 제어부는 입력된 설정유량(Qr)에 대응하는 밸브개도가 되도록, 유량조정밸브(60)의 니들(62)을 동작시켜서 초기개도를 설정한다. 그리고, 유량 컨트롤러(10)에 유체가 흐르면, 차압식 유량계(20)가 실제로 흐르는 유체유량(이하 "측정유량"이라 칭한다) (Qf)을 측정하여 제어부로 입력하므로, 제어부 내부에서는 측정유랑(Qf)과 설정유량(Qr)의 유량차(ΔQ, ΔQ=Qr-Qf)를 구하여 비교한다.
상술한 유량차(ΔQ)는 미리 설정된 허용범위(q)와 비교된다. 그리고, 유량차(ΔQ)의 절대치가 하용범위(q)보다 작은 경우(ΔQ<q)에는, 소정의 설정유량(Qr)이 흐르고 있다고 판단하여 유량조정밸브(60)를 초기 개도 그대로 유지한다.
한편, 상술한 유량차(ΔQ)가 정의 값(Qr>Qf)이 되고, 또한 유량차(ΔQ)의 절대치가 허용범위(q) 이상으로 큰 경우(ΔQ≥q)에는 측정유량(Qf)이 소정의 설정유량(Qr)을 만족하지 않는 소량측의 상태로 판단할 수 있다. 그래서, 유량조정밸브(60)의 니들(62)은 측정유량(Qf)을 증가시키기 위하여, 초기개도보다 개도가 크게 되는 방향으로 동작시킨다.
더우기, 상술한 유량차(ΔQ)가 음의 값(Qr<Qf)이 되고, 또한 유량차(ΔQ)의 절대치가 허용범위(q) 이상으로 큰 경우(ΔQ≥q)에는 측정유량(Qf)이 소정의 설정유량(Qr)을 만족하지 않는 다량측의 상태로 판단할 수 있다. 그래서, 유량조정밸브(60)의 니들(62)은 측정유량(Qf)을 감소시키기 위하여, 초기개도보다 개도가 작게 되는 방향으로 동작시킨다.
이와 같이 하여, 유량 컨트롤러(10)는 차압식 유량계(20)로부터 입력되는 측정유량(Qf)에 기초하여 설정유량(Qr)과의 비교에 의해 얻어지는 유량차(ΔQ)의 절대치가 소정의 허용범위(q)를 만족하도록 피드백 제어를 하고, 유체 주유로를 흐르는 유체유량을 일정하게 유지할 수가 있다.
본 실시예와 관련된 차압식 유량계(20)에 의하면, 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)에 열전도성이 우수한 재료(본 실시예에서는 알루미늄 합금 A5052)로 이루어지는 온도 밸런서(27)가 매립되어(끼움조립되어) 있으므로, 제1 센서(21A)의 환경온도와 제2 센서(21B)의 환경온도의 차를 저감시킬 수(없앨 수)가 있어서 정확하고 안정한 압력 측정을 할 수가 있다.
또한, 본 실시예에 관련된 차압식 유량계(20)의 측정을 이용하여 유량조정밸브(60)의 개도제어를 행하는 유량 컨트롤러(10)에 의하면, 유량 측정치인 측정유량(Qf)의 정밀도나 안정성이 향상됨으로써 유체주유로(12)를 흐르는 측정유량(Qf)의 유체유량 컨트롤 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
본 실시예에 관련된 유량 컨트롤러(10)에 의하면, 제1 센서(21A)및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)와, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)가 연결부(24A)를 개재하여 연결되어 있으므로, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)로부터 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24)로의 열전도를 억제할 수가 있고, 제1 센서(21A)의 환경온도와 제2 센서(21B)의 환경온도의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로(12)를 흐르는 측정유량(Qf)의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
또한, 본 실시예에 관련된 유량 컨트롤러(10)에 의하면, 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)와, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)와의 사이에 위치하는 베이스 부재(14)에 적어도 1개(본 실시예에서는 7개)의 슬릿(14a)이 형성되어 있으므로, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)로부터 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)로의 열전도를 억제할 수가 있고, 제1 센서(21A)의 환경온도와 제2 센서(21B)의 환경온도의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로(12)를 흐르는 측정유량(Qf)의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
또한, 본 실시예와 관련된 유량 컨트롤러(10)에 의하면, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 윗면에 적어도 1개(본 실시예에서는 2개)의 냉각용 홈(14b)이 형성되어 있고, 이 냉각용 홈(14b)내를 통과하는 공기에 의해, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 바디(24) 및 베이스 부재(14)의 열이 빼앗겨지므로, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 바디(24) 및 베이스 부재(14)로부터 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아래쪽에 위치하는 바디(24) 및 베이스 부재(14)로의 열전도를 억제할 수가 있고, 제1 센서(21A)의 환경온도와, 제2 센서(21B)의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로(12)를 흐르는 측정유량(Qf)의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
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더우기 또한, 본 실시예와 관련된 유량 컨트롤러(10)에 의하면, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 아랫면에 적어도 1개(본 실시예에서는 1개)의 홈(14c)이 형성되고, 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아랫면에 위치하는 베이스 부재(14)의 아랫면에 적어도 1개(본 실시예에서는 1개)의 홈(14d)이 형성되어 있으므로, 설치면(도시되지 않음)으로부터 베이스 부재(14)로의 입열을 방지할 수가 있고, 제1 센서(21A)의 환경온도와, 제2 센서(21B)의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로(12)를 흐르는 측정유량(Qf)의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
더우기 또한, 본 실시예와 관련된 유량 컨트롤러(10)에 의하면, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 아랫면에 적어도 1개(본 실시예에서는 1개)의 홈(14c)이 형성되고, 이 홈(14c)내를 통과하는 공기에 의해, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)의 열이 빼앗기게 되므로, 열원이 되는 모터(61) 및 제어기판(66)의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재(14)로부터 제1 센서(21A) 및 제2 센서(21B)의 아랫면에 위치하는 베이스 부재(14)로의 열전달을 억제할 수가 있고, 제1 센서(21A)의 환경온도와, 제2 센서(21B)의 환경온도와의 차를 저감시킬 수(없앨수)가 있어서, 유체주유로(12)를 흐르는 측정유량(Qf)의 유체유량 컨트롤 정밀도를 더욱 향상시킬 수가 있다.
또한, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경, 변형이 가능하다.
10 : 유량 컨트롤러 11 : 배관
12 : 유체주유로 20 : 차압식 유량계
21A, 21B : 압력센서 27 : 온도밸런서
40 : 오리피스 유니트 60 : 유량조정밸브
61 : 모터 66 : 제어기판

Claims (8)

  1. 압력 측정을 하는 유체가 흐르는 유체 주유로가 형성된 바디와,
    상기 유체 주유로에 대하여 직렬로 배치됨과 동시에, 상기 바디에 지지되는 2개의 압력 센서를 구비하고,
    상기 2개의 압력 센서의 아래쪽에 위치하는 상기 바디에 형성된 오목부 내에 열전도성을 갖는 재료로 이루어진 온도 밸런서가 수용되어 있는 차압식 유량계.
  2. 제1항에 있어서, 온도 밸런서는 알루미늄 합금으로 이루어진 차압식 유량계.
  3. 청구항 1에 기재된 차압식 유량계의 측정치를 이용하여 유량 조정 밸브의 개도 제어를 하는 유량 컨트롤러.
  4. 청구항 1에 기재된 차압식 유량계의 측정치를 이용하여 유량 조정 밸브의 개도 제어를 하는 유량 컨트롤러에 있어서,
    상기 유량 조정 밸브의 밸브체를 상하 방향으로 이동시키는 모터 및 상기 유량 조정 밸브의 개도 제어를 하는 제어기판의 아래쪽에 위치하는 바디와, 상기 2개의 압력 센서의 아래쪽에 위치하는 바디가 상기 2개의 압력 센서의 아래쪽에 위치하는 바디의 폭보다도 좁고, 또한 상기 2개의 압력 센서의 아래쪽에 위치하는 바디의 높이 보다도 낮도록 형성된 목부를 개재하여 연결되어 있는 유량 컨트롤러.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 바디와 설치면과의 사이에 배치되고, 체결 부재를 개재하여 상기 바디에 고정되는 베이스 부재를 구비하고,
    상기 2개의 압력 센서의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재와,
    상기 모터 및 상기 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재와의 사이에 위치하는 베이스 부재에 판 두께 방향으로 관통하는 적어도 1개의 슬릿이 형성되어 있는 유량 컨트롤러.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 윗면에, 정면과 배면을 연통하는 적어도 1개의 냉각용 홈이 형성되어 있는 유량 컨트롤러.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 모터 및 제어기판의 아래쪽에 위치하는 베이스 부재의 아랫면에, 정면과 배면을 연통하는 적어도 1개의 홈이 형성되어 있는 유량 컨트롤러.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 2개의 압력 센서의 아래 쪽에 위치하는 베이스 부재의 아랫면에 정면과 배면을 연통하는 적어도 1개의 홈이 형성되어 있는 유량 컨트롤러.
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