JP2015155845A - 差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラ - Google Patents

Abstract

【課題】流体の温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制した差圧式流量計を提供する。
【解決手段】主流路１３と、主流路１３に設けられたオリフィスと、オリフィスの上流側の流体の圧力を検出する第１圧力センサ７と、オリフィスの下流側の流体の圧力を検出する第２圧力センサ８と、オリフィスの上流側の流体を第１圧力センサ７に導く第１圧力導入流路１４と、オリフィスの下流側の流体を第２圧力センサ８に導く第２圧力導入流路１５とを備え、第１圧力導入流路１４および第２圧力導入流路１５は、流路長Ｌと流路径Ｄ３とがそれぞれ一致しており、流路径Ｄ３に対する流路長Ｌの倍率が、２０倍以上かつ３０倍以下である差圧式流量計２０を提供する。
【選択図】図４

Description

本発明は、差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラに関する。

従来、半導体製造装置等で用いられる純水や薬液等の流体が流れる配管に設けられ、配管を流れる流体の流量を測定する流量計が知られている。流量計として各種の方式のものが知られているが、例えば、差圧式流量計が知られている。差圧式流量計は、流路上に設けられたオリフィスの上流側と下流側の流体の圧力を一対の圧力センサで検出し、それらが検出する圧力の差分（差圧）によって、流体の流量を計測する装置である（例えば、特許文献１参照。）。

特許第５２２０６４２号公報

特許文献１に開示された差圧式流量計は、一対の圧力センサの環境温度に温度差が生じることによる誤作動を回避するために、一対の圧力センサの下方に温度バランサーを設けて温度差を低減させるものである。特許文献１に開示された差圧式流量計によれば、一対の圧力センサの温度差に起因する誤作動を回避することができる。

しかしながら、一対の圧力センサの温度差が低減されたとしても、差圧式流量計に流入する流体の温度が急激に変化する場合には、その温度変化によって、一対の圧力センサが検出する検出値に計測誤差が生じる可能性がある。例えば、圧力センサ自体の温度が急激に変化して検出値に計測誤差が生じる可能性や、圧力センサ周辺の流路が温度差によって変形して圧力センサの検出値に計測誤差が生じる可能性がある。温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じてしまうと、正確な圧力を検出することができず、結果として正確な流量を計測することができなくなってしまう。

本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制した差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラを提供することを目的とする。

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係る差圧式流量計は、圧力測定を行う流体が流れる主流路と、前記主流路に設けられたオリフィスと、該オリフィスの上流側の流体の圧力を検出する上流側圧力センサと、前記オリフィスの下流側の流体の圧力を検出する下流側圧力センサと、前記主流路と連通し、前記オリフィスの上流側の流体を前記上流側圧力センサに導く第１流路と、前記主流路と連通し、前記オリフィスの下流側の流体を前記下流側圧力センサに導く第２流路とを備え、前記第１流路および前記第２流路は、流路長と流路径とがそれぞれ一致しており、前記流路径に対する前記流路長の倍率が、２０倍以上かつ３０倍以下である。

本発明に係る差圧式流量計によれば、オリフィスの上流側の流体を上流側圧力センサに導く第１流路と、オリフィスの下流側の流体を下流側圧力センサに導く第２流路とは、流路長と流路径とがそれぞれ一致している。そして、流路径に対する流路長の倍率が２０倍以上となっているため、流路内の流体の流通量に対する流路長が十分に確保される。したがって、例えば、差圧式流量計に流入する流体の温度が、環境温度と一致した温度から急激に変化した場合（例えば、２５℃の環境温度から８０℃に変化した場合）であっても、主流路から圧力センサに到達するまでに、流体の温度を環境温度に十分に近づけた温度（例えば、３５℃以下）とすることができる。よって、流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制することができる。

また、流路径に対する流路長の倍率が３０倍以下となっているため、流路内の流体の流通量に対する流路長が長くなりすぎ、あるいは流路長に対する流路径が小さくなりすぎて差圧式流量計を流通させる流体の種類を替える（例えば、純水から薬液に替える）のに要する時間がかかり過ぎる不具合を抑制し、流体の置換性を確保することができる。

このように、本発明に係る差圧式流量計によれば、流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制することができる。また、流体の置換性を確保することができる。

本発明の差圧式流量計においては、前記流路径に対する前記流路長の倍率が２５倍であることが好ましい。また、流路長が５０ｍｍであり、流路径が２ｍｍであることが更に好ましい。
このようにすることで、例えば、差圧式流量計が設置される環境の環境温度から所定温度まで流体の温度が急激に変化する場合（例えば、２５℃から８０℃に変化する場合）であっても、圧力センサの温度を、圧力センサの検出値に計測誤差が生じない温度（例えば、３５℃以下）とすることができる。

また、本発明の差圧式流量計においては、前記主流路と、前記第１流路と、前記第２流路とが、樹脂材料により形成されている本体部の内部に形成されていることが好ましい。
このようにすることで、主流路と、第１流路と、第２流路と樹脂材料により一体的に形成した本体部を備える差圧式流量計を提供することができる。

また、本発明の差圧式流量計においては、前記第１流路および前記第２流路を形成する前記本体部の外周面に、外気との接触面積を増加させた冷却構造が形成されている構成が好ましい。
このようにすることで、主流路と連通した第１流路および第２流路を介して、主流路から圧力センサまで流体が導かれる際に、冷却構造によって第１流路および第２流路を流通する流体を圧力センサに到達するまでに十分に冷却することができる。

上記構成においては、前記冷却構造が、前記第１流路および前記第２流路の流路方向に沿って環状凹部と環状凸部が交互に配置されるフィン構造であることが更に好ましい。
このようにすることで、フィン構造による冷却効果によって、第１流路および第２流路を流通する流体を圧力センサに到達するまでに十分に冷却することができる。

また、本発明の差圧式流量計においては、前記第１流路を介して前記上流側圧力センサに導かれた流体を外部に排出する第１排出口と、前記第２流路を介して前記下流側圧力センサに導かれた流体を外部に排出する第２排出口とを備える構成であってもよい。
このようにすることで、第１流路を介して上流側圧力センサに導かれた流体を再び第１流路を介して主流路に戻すことなく、容易に流体の置換を行うことができる。同様に、第２流路を介して下流側圧力センサに導かれた流体を再び第２流路を介して主流路に戻すことなく、容易に流体の置換を行うことができる。

本発明に係る流量コントローラは、上記のいずれかに記載の差圧式流量計と、該差圧式流量計の測定値を用いて、流出口から流出させる流体の流量を制御する制御部とを備える。
このようにすることで、流入する流体の温度が急激に変化する場合に温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制した流量コントローラを提供することができる。また、流体の置換性を確保するとともに、流量コントローラの大型化を避けることができる。

本発明によれば、流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制した差圧式流量計およびそれを備えた流量コントローラを提供することを提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る流量コントローラの正面図である。 図１に示す流量コントローラの平面図である。 図２のＢ−Ｂ矢視部分断面図である。 図３に示す差圧式流量計の部分拡大図である。 圧力導入流路径と圧力導入流路長に対する圧力センサ最高到達温度の値を示す実験データを示す図である。 圧力導入流路径に対する圧力導入流路長の倍率と、圧力センサ最高到達温度の関係を示すグラフである。 本発明の第２実施形態に係る流量コントローラの正面図である。 図７に示す流量コントローラのＣ−Ｃ矢視部分断面図である。

〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態の流量コントローラ１０について図面を参照して説明する。
本実施形態の流量コントローラ１０は、流路入口１１を介して上流側の配管（不図示）から流入する流体（純水、薬液等）の流量を計測し、計測した流量に応じて流路出口１２から流出する流体の流量を調整する装置である。

図１から図３に示すように、流量コントローラ１０は、流路入口１１側に設けられる差圧式流量計２０と、流路出口１２側に設けられる流量調整弁３０とを備える。
流量コントローラ１０は、設置面Ｇに取り付けられるベース４と、ベース４に取り付けられるとともにその内部に流路入口１１と流路出口１２との間で流体を流通させる主流路１３が形成されたボディ１（本体部）とを備えている。ベース４は、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）を用いて一体的に形成されている。
図３に示すように、ボディ１は、上流側ボディ１ａと、連結部１ｂと、下流側ボディ１ｃと、冷却部１ｄと、弁座１ｅとが一体的に形成された単一の部材となっている。ボディ１は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂材料により形成されている。

差圧式流量計２０は、流路入口１１から流入する流体の流量を計測する装置である。差圧式流量計２０は、上流側ボディ１ａと、冷却部１ｄと、オリフィス２と、第１圧力センサ７（上流側圧力センサ）と、第２圧力センサ８（下流側圧力センサ）とを備えている。上流側ボディ１ａは、流路入口１１と流路出口１２との間で流体を流通させる主流路１３の一部が内部に形成された部材である。

図３に示すように、上流側ボディ１ａの内部に形成された主流路１３には、オリフィス２が設けられている。オリフィス２は、主流路１３の流路径Ｄ１よりも径の小さい流路径Ｄ２を形成する部材である。オリフィス２を通過する際に流体の流速が増加し、それに伴ってオリフィス２の下流における流体の静圧が低下する。オリフィス２の上流側における流体の静圧と、オリフィス２の下流側における流体の静圧との差分（差圧）は、主流路１３を通過する流体の流量に応じた値となる。したがって、差圧式流量計２０は、オリフィス２の上流側の流体の静圧と、オリフィス２の下流側の流体の静圧との差圧を計測することにより、主流路１３を流通する流体の流量を計測することができる。

差圧式流量計２０は、オリフィス２の上流側の静圧を計測する第１圧力センサ７と、オリフィス２の下流側の静圧を計測する第２圧力センサ８とを備えている。
図４に示すように、第１圧力センサ７は、主流路１３から、ボディ１の一部を構成する冷却部１ｄの内部に形成される第１圧力導入流路１４（第１流路）を介して第１流体室７ｂに流入する流体の圧力を検出するセンサ本体７ａを備えている。第２圧力センサ８は、主流路１３から、冷却部１ｄの内部に形成される第２圧力導入流路１５（第２流路）を介して第２流体室８ｂに流入する流体の圧力を検出するセンサ本体８ａを備えている。

図４に示すように、第１流体室７ｂは、第１圧力導入流路１４の出口から遠ざかるに従って徐々に径が拡大する傾斜面を備えている。この傾斜面により、第１流体室７ｂの下方は、略円錐形の内面形状となっている。同様に、第２流体室８ｂは、第２圧力導入流路１５の出口から遠ざかるに従って徐々に径が拡大する傾斜面を備えている。この傾斜面により、第２流体室８ｂの下方は、略円錐形の内面形状となっている。このような形状とすることにより、第１流体室７ｂの外周縁部および第２流体室８ｂの外周縁部に、パーティクル等の残存物が滞留しにくいようになっている。

第１圧力センサ７のセンサ本体７ａが計測する第１圧力値と、第２圧力センサ８のセンサ本体８ａが計測する第２圧力値は、各々電気信号に変換されて流量制御弁３０が備える制御基板（図示略）に入力される。第１圧力値と第２圧力値との入力を受けた制御基板（制御部）は、第１圧力値と第２圧力値との差圧を流量に換算することにより、主流路１３を流れる流体の流量を計測する。
第１圧力センサ７および第２圧力センサ８として、流体の圧力を計測する各種のセンサを採用することが可能である。例えば、ひずみゲージ式圧力センサや、ピエゾ式圧力センサや、静電容量式圧力センサを採用することが可能である。

第１圧力導入流路１４は、主流路１３の軸線Ａに直交する直線上に延在する流路である。第２圧力導入流路１５は、主流路１３の軸線Ａに直交する直線上に延在する流路である。第１圧力導入流路１４が主流路１３と連通する位置と、第２圧力導入流路１５が主流路１３と連通する位置とは、オリフィス２により流路径がＤ２となる位置から軸線Ａに沿って等距離となっている。
このように、第１圧力導入流路１４は、主流路１３と連通し、オリフィス２の上流側の流体を第１圧力センサ７に導く流路となっている。また、第２圧力導入流路１５は、主流路１３と連通し、オリフィス２の上流側の流体を第２圧力センサ８に導く流路となっている。

次に、図３に示す流量調整弁３０について説明する。
流量調整弁３０は、差圧式流量計２０が計測した流量に応じて流路出口１２から流出する流体の流量を調整する装置である。
流量調整弁３０は、下流側ボディ１ｃと、ニードル３と、弁座１ｅと、モータを備えた駆動機構（不図示）と、駆動機構を制御する制御基板（不図示）と、駆動機構および制御基板を外部から保護するカバー５とを備えている。制御基板および駆動機構には、コネクタ６を介して接続されるケーブルを介して外部から電力がされる。また、制御基板は、ケーブルが備える制御信号線を介して、外部から流量の設定値の指示等の各種の指示を受け付ける。

流量調整弁３０は、駆動機構によりニードル３（弁体）を主流路１３の軸線Ａに直交する方向に移動させ、ニードル３と弁座１ｅとの距離を調整する。流量調整弁３０は、ニードル３と弁座１ｅとの距離を調整することにより、ニードル３と弁座１ｅとの間を通過する流体の流量を調整することができる。例えば、流量調整弁３０は、差圧式流量計２０が計測した流量が、外部からケーブルを介して指示を受けた流量の設定値と一致するように、流体の流量を調整する。
このように、流量調整弁３０が備える制御基板（制御部）は、差圧式流量計２０が計測した流体の流量(測定値）を用いて、流路出口から流出させる流体の流量を制御する。

次に、本実施形態の差圧式流量計２０の冷却部１ｄの近傍の構造について説明する。
図４に示すように、第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路１５は、流路長Ｌと流路径Ｄ３とがそれぞれ一致している。ここで、第１圧力導入流路１４の流路長Ｌとは、図４に示すように、主流路１３の外周面から第１流体室７ｂの入口までの長さをいう。また、第２圧力導入流路１５の流路長Ｌとは、図４に示すように、主流路１３の外周面から第２流体室８ｂの入口までの長さをいう。

前述したように、差圧式流量計２０に流入する流体の温度が急激に変化する場合には、その温度変化によって、一対の圧力センサ（第１圧力センサ７および第２圧力センサ８）が検出する検出値に計測誤差が生じる可能性がある。したがって、冷却部１ｄは、主流路１３の流体の温度が急激に変化した場合であっても、第１流体室７ｂおよび第２流体室８ｂの到達する流体の温度が急激に変化しないように十分に冷却できる構造とする必要がある。

発明者らは、前述した流路長Ｌと流路径Ｄ３とを変化させて実験を行い、図５に示す実験データを得た。この実験は、２５℃の純水を主流路１３に流通させている状態から、８０℃の純水を主流路１３に流通させる状態に切り換えた場合の実験データである。図５において、圧力センサ最高到達温度［℃］とは、８０℃の純水を主流路１３に流通させた後に圧力センサのセンサ本体（センサ本体７ａおよびセンサ本体８ａ）の温度を計測し、最も高い温度が計測された際の温度を示している。また、図５において、温度上昇幅ΔＴ［℃］とは、２５℃から圧力センサ最高到達温度［℃］までの差分の温度を示している。

そして、図５に示す実験データを含む複数の実験データに基づいて、流路径Ｄ３に対する流路長Ｌの倍率（以下、Ｌ／Ｄ３という。）と、圧力センサ最高到達温度の関係を示すグラフを作成したところ、図６に示すものとなった。
図６に示すように、Ｌ／Ｄ３の値が小さいほど圧力センサ最高到達温度が高くなり、Ｌ／Ｄ３の値が大きいほど圧力センサ最高到達温度が低くなる。これは、Ｌ／Ｄ３の値が大きいほど、流路長Ｌが長くて十分に冷却部１ｄの長さを確保できる、あるいは、流路径Ｄ３が小さくて圧力導入流路を流通する純水の流量が少ないことを意味している。

図５に示す実験データと図６に示すグラフを踏まえ、発明者らは、本実施形態の冷却部１ｄに形成される第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路１５の流路長Ｌと流路径Ｄ３を、以下の式（１）に示す関係となるように定めた。
２０≦Ｌ／Ｄ３≦３０ （１）
ここで、式（１）において２０≦Ｌ／Ｄ３としたのは、図６に示すように、圧力センサ最高到達温度を３５℃以下とするためである。このようにしたのは、圧力センサが常温（２５℃）よりも高すぎる温度となると、温度の影響により圧力センサの検出値に計測誤差が生じてしまうからである。

また、式（１）においてＬ／Ｄ３≦３０としたのは、流路長Ｌが長くなりすぎ、あるいは流路径Ｄ３が小さくなりすぎて流体の置換性が悪化することを避けるためである。
Ｌ／Ｄ３≦３０の条件を満たすようにすることにより、流路長Ｌの長さに対して流路径Ｄ３が小さくなりすぎることや、流路径Ｄ３の大きさに対して流路長Ｌが長くなりすぎることを避け、流体の置換性を確保することができる。

なお、流体の置換性が悪い場合とは、主流路１３を流通させる流体の種類を切り換えた場合（例えば、純水から薬液への切り換えた場合）に、第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路１５に存在する流体の種類が切り換わるまでに要する時間が長い場合をいう。流路長Ｌが長く、流路径Ｄ３が小さくなるほど、流体の置換性が悪くなる。

Ｌ／Ｄ３の値を、前述した式（１）の範囲とすることにより、流入する流体の温度が急激に変化する場合に温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制できるとともに、流体の置換性を確保することができる。また、更に以下の式（２）の条件とするのが好ましい。
Ｌ／Ｄ３＝２５ （２）
この式（２）の条件は、図５に示す実験データにおいては、（Ｌ，Ｄ３）が（２５．０ｍｍ，１．０ｍｍ）、（５０．０ｍｍ，２．０ｍｍ）、または（６２．５ｍｍ，２．５ｍｍ）となる条件である。
このようにすることで、実験データが示すように、差圧式流量計２０が設置される環境の環境温度である常温（実験データの例では２５℃）から８０℃まで流体の温度が急激に変化する場合であっても、圧力センサ最高到達温度が３５℃を超えないようにすることができる。

式（２）の条件においては、実験データに示すように（Ｌ，Ｄ３）を（５０．０ｍｍ，２．０ｍｍ）とするのが更に好ましい。このようにすることで、流路長Ｌを５０．０ｍｍとして流量コントローラ１０を大型化させず、かつ流体の置換性を悪化させずに、温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制することができる。

次に、本実施形態の冷却部１ｄの外周面の形状について説明する。
図１から図３に示すように、第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路１５を形成する冷却部１ｄの外周面は、外気との接触面積を増加させた冷却構造となっている。具体的には、第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路１５の流路方向に沿って、環状凹部１６と環状凸部１７とが交互に配置されるフィン構造となっている。
このようなフィン構造を採用することで、第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路１５を流通する流体を冷却する効果を高めることができる。

以上説明した本実施形態の流量コントローラ１０が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の差圧式流量計２０によれば、オリフィス２の上流側の流体を第１圧力センサ７に導く第１圧力導入流路１４と、オリフィス２の下流側の流体を第２圧力センサ８に導く第２圧力導入流路１５とは、流路長Ｌと流路径Ｄ３とがそれぞれ一致している。そして、流路径Ｄ３に対する流路長Ｌの倍率が２０倍以上となっているため、流路内の流体の流通量に対する流路長Ｌが十分に確保される。したがって、例えば、差圧式流量計２０に流入する流体の温度が、環境温度と一致した温度から急激に変化した場合（例えば、２５℃の環境温度から８０℃に変化した場合）であっても、主流路１３から圧力センサに到達するまでに、流体の温度を環境温度に十分に近づけた温度（例えば、３５℃以下）とすることができる。よって、流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても、温度変化によって第１圧力センサ７および第２圧力センサ８の検出値に計測誤差が生じることを抑制することができる。

また、流路径Ｄ３に対する流路長Ｌの倍率が３０倍以下となっているため、流路長Ｌが長くなりすぎ、あるいは流路径Ｄ３が小さくなりすぎて差圧式流量計２０を流通させる流体の種類を替える（例えば、純水から薬液に替える）のに要する時間がかかり過ぎる不具合を抑制し、流体の置換性を確保することができる。

このように、本実施形態の差圧式流量計２０によれば、流入する流体の温度が急激に変化する場合であっても温度変化によって圧力センサの検出値に計測誤差が生じることを抑制することができる。また、流体の置換性を確保することができる。

本実施形態の差圧式流量計２０は、流路径Ｄ３に対する流路長Ｌの倍率が２５倍であることが好ましい。また、流路長が５０ｍｍであり、流路径が２ｍｍであることが更に好ましい。
このようにすることで、例えば、差圧式流量計２０が設置される環境の環境温度（例えば、２５℃）から８０℃まで流体の温度が急激に変化する場合であっても、圧力センサの温度が３５℃を超えないようにすることができる。

また、本実施形態の差圧式流量計２０においては、主流路１３と、第１圧力導入流路１４と、第２圧力導入流路１５とが、樹脂材料により形成されているボディ１の冷却部１ｄの内部に形成されている。
このようにすることで、主流路１３と、第１圧力導入流路１４と、第２圧力導入流路１５と樹脂材料により一体的に形成したボディ１を備える差圧式流量計２０を提供することができる。

また、第１圧力導入流路１４と、第２圧力導入流路１５とがボディ１として一体的に形成されているので、第１圧力センサ７の周囲の温度と第２圧力センサ８の周囲の温度とが略均一となる。そのため、第１圧力センサ７と第２圧力センサ８の温度状態を均一化させ、安定した流量の計測が可能となる。本実施形態のボディ１は、冷却部１ｄに形成される第１圧力導入流路１４と第２圧力導入流路との間に貫通孔が設けられているが、貫通孔の上部のセンサ本体７ａとセンサ本体８ａの近傍はボディ１により連結されている。そのため、ボディ１で連結された部分でセンサ本体７ａとセンサ本体８ａの温度差がなくなるように温度伝達が行われる。

また、本実施形態の差圧式流量計２０には、第１圧力導入流路１４および第２圧力導入流路１５を形成する冷却部１ｄの外周面に、外気との接触面積を増加させた冷却構造が形成されている。この冷却構造は、第１圧力導入流路１４および第２圧力導入流路１５の流路方向に沿って環状凹部１６と環状凸部１７が交互に配置されるフィン構造となっている。
このようにすることで、主流路１３と連通した第１圧力導入流路１４および第２圧力導入流路１５を介して、主流路１３から圧力センサまで流体が導かれる際に、冷却構造によって第１圧力導入流路１４および第２圧力導入流路１５を流通する流体を圧力センサに到達するまでに十分に冷却することができる。

〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態の流量コントローラ１０’について図面を参照して説明する。
本実施形態は、第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとし、説明を省略する。

図７に示すように、第２実施形態の流量コントローラ１０’が備える差圧式流量計２０’は、第１圧力センサ７に導かれた流体を外部に排出する第１排出ポート７ｃ（第１排出口）と、第２圧力センサ８に導かれた流体を外部に排出する第２排出ポート８ｃ（第２排出口）とを備えている。

図８に示すように、第１排出ポート７ｃは第１流体室７ｂと連通している。この第１排出ポート７ｃには、通常の使用時は封止片（図示略）が挿入されており、第１流体室７ｂ内の流体が第１排出ポート７ｃから外部に排出されないようになっている。
図示を省略するが、第２排出ポート８ｃは第２流体室８ｂと連通している。この第２排出ポート８ｃには、通常の使用時は封止片（図示略）が挿入されており、第２流体室８ｂ内の流体が第２排出ポート８ｃから外部に排出されないようになっている。

第１排出ポート７ｃおよび第２排出ポート８ｃは、流量コントローラ１０’の主流路１３を流通させる流体の種類を入れ替える（例えば、純水から薬液に入れ替える）際に、封止片を除去し、流体を排出させる配管（不図示）が各ポートに連結される。
配管が各ポートに連結されると、第１流体室７ｂ内の流体が第１排出ポート７ｃから配管を介して外部に排出される。同様に、第２流体室８ｂ内の流体が第２排出ポート８ｃから配管を介して外部に排出される。

このように、本実施形態によれば、第１圧力導入流路１４を介して第１圧力センサ７に導かれた流体を再び第１圧力導入流路１４を介して主流路１３に戻すことなく、容易に流体の置換を行うことができる。同様に、第２圧力導入流路１５を介して第２圧力センサ８に導かれた流体を再び第２圧力導入流路１５を介して主流路１３に戻すことなく、容易に流体の置換を行うことができる。

〔他の実施形態〕
本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。

１ ボディ（本体部）
１ｄ 冷却部
２ オリフィス
７ 第１圧力センサ（上流側圧力センサ）
７ａ センサ本体
７ｂ 第１流体室
７ｃ 第１排出ポート（第１排出口）
８ 第２圧力センサ（下流側圧力センサ）
８ａ センサ本体
８ｂ 第２流体室
８ｃ 第２排出ポート（第２排出口）
１０，１０’ 流量コントローラ
１３ 主流路
１４ 第１圧力導入流路（第１流路）
１５ 第２圧力導入流路（第２流路）
２０，２０’ 差圧式流量計
３０ 流量調整弁
Ｄ３ 圧力導入流路の流路径
Ｌ 圧力導入流路の流路長

Claims (8)

1. 流体を流通させる主流路と、
   前記主流路に設けられたオリフィスと、
   該オリフィスの上流側の流体の圧力を検出する上流側圧力センサと、
   前記オリフィスの下流側の流体の圧力を検出する下流側圧力センサと、
   前記主流路と連通し、前記オリフィスの上流側の流体を前記上流側圧力センサに導く第１流路と、
   前記主流路と連通し、前記オリフィスの下流側の流体を前記下流側圧力センサに導く第２流路とを備え、
   前記第１流路および前記第２流路は、流路長と流路径とがそれぞれ一致しており、
   前記流路径に対する前記流路長の倍率が、２０倍以上かつ３０倍以下である差圧式流量計。
2. 前記流路径に対する前記流路長の倍率が２５倍である請求項１に記載の差圧式流量計。
3. 前記流路長が５０ｍｍであり、前記流路径が２ｍｍである請求項２に記載の差圧式流量計。
4. 前記主流路と、前記第１流路と、前記第２流路とは、樹脂材料により形成されている本体部の内部に形成されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の差圧式流量計。
5. 前記第１流路および前記第２流路を形成する前記本体部の外周面に、外気との接触面積を増加させた冷却構造が形成されている請求項４に記載の差圧式流量計。
6. 前記冷却構造は、前記第１流路および前記第２流路の流路方向に沿って環状凹部と環状凸部とが交互に配置されるフィン構造である請求項５に記載の差圧式流量計。
7. 前記第１流路を介して前記上流側圧力センサに導かれた流体を外部に排出する第１排出口と、
   前記第２流路を介して前記下流側圧力センサに導かれた流体を外部に排出する第２排出口とを備える請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の差圧式流量計。
8. 請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の差圧式流量計と、
   該差圧式流量計の測定値を用いて、流路出口から流出させる流体の流量を制御する制御部とを備える流量コントローラ。

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