JP6651323B2

JP6651323B2 - 流量調整装置

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Publication number: JP6651323B2
Application number: JP2015196749A
Authority: JP
Inventors: 五十嵐　裕規; 裕規五十嵐
Original assignee: Surpass Industry Co Ltd
Current assignee: Surpass Industry Co Ltd
Priority date: 2015-10-02
Filing date: 2015-10-02
Publication date: 2020-02-19
Anticipated expiration: 2035-10-02
Also published as: KR20170040092A; US20170097646A1; EP3150975A1; JP2017068786A; EP3150975B1; US9977436B2; KR102493650B1

Description

本発明は、流体の流量を計測する流量調整装置に関する。

従来、流体回路に流通される流体の流量を制御する流量制御モジュールが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示される流量制御モジュールは、ハウジング本体の内部に形成される流路を流通する流体の流量を制御弁で制御するとともに圧力センサが検出する流体の圧力に基づいて流体の流量を計測するものである。

特開２００１−２４２９４０号公報

しかしながら、特許文献１に開示される流量制御モジュールは、流路が内部に形成されるハウジング本体が一体の部材により形成されているため、流量を計測するセンサ部が装置内の他の部分（例えば、制御弁を動作させるドライバ）から伝達される熱により計測誤差が発生する可能性がある。
また、内部に形成される流体の流路が、流入口から流出口に至るまで直線状に形成されているため、流路の長さ以上の設置面積が必要となる。そのため、流量制御モジュールを設置面に設置する際の設置面積が大きくなってしまう。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、流量調整機構から流量計測機構への熱伝達を抑制し、かつ設置面に設置する際の設置面積を小さくした流量調整装置を提供することを目的とする。

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の第１態様にかかる流量調整装置は、設置面に取り付けられる流量計測機構と、該流量計測機構に分離可能に取り付けられる流量調整機構とを備え、前記流量計測機構は、第１流路を流通する流体の流量を計測する流量計測部と、該流量計測部を内部に収容するとともに前記設置面に取り付け可能な第１ケーシング部とを有し、前記流量調整機構は、前記設置面に交差する軸線に沿って弁体部を移動させる駆動部と、該駆動部による前記弁体部の移動を制御する制御部と、前記弁体部を収容する弁室と、前記弁体部が挿入される弁孔と連通する前記軸線に沿って延びる第２流路と、外部流路に接続される第３流路とが形成された弁本体と、前記駆動部および前記制御部を内部に収容するとともに前記設置面に対して前記弁本体の上部に取り付けられた第２ケーシング部とを有し、前記流量調整機構が、前記設置面に対して前記第１流路よりも上方に配置される前記第１ケーシング部の上面と前記弁本体の下面との間に外部と連通した隙間を設けた状態で前記流量計測機構に取り付けられており、前記流量計測部が、前記軸線に沿って延びる前記第２流路と前記第１流路とを連結する連結部を有する。

本発明の第１態様にかかる流量調整装置によれば、流量計測機構が有する第１ケーシング部と流量調整機構が有する弁本体との間に設けられる隙間が外部と連通している。そのため、流量調整機構が有する駆動部が弁体部を移動させる際に発生する熱が弁本体から第１ケーシング部に伝達されることが抑制される。これにより、流量調整機構から流量計測機構への熱伝達によって流量計測部に計測誤差が発生することが抑制される。

また、本発明の第１態様にかかる流量調整装置によれば、弁本体に形成される第２流路と、流量計測部に形成される第１流路とが連結部によって連結される構造となっている。この第２流路は流量計測機構が設置される設置面に交差する軸線に沿って形成されているため、流入口から流出口に至るまでの流路は直線状とはならず蛇行した形状となる。そのため、設置面に設置された流量調整装置の流入口から流出口に至るまでの距離が流路長よりも短くなる。これにより、流量調整装置を設置面に設置する際の設置面積（フットプリント）を小さくすることができる。
このように、本発明の第１態様にかかる流量調整装置によれば、流量調整機構から流量計測機構への熱伝達を抑制し、かつ設置面に設置する際の設置面積を小さくすることができる。

本発明の第２態様にかかる流量調整装置は、設置面に取り付けられる流量計測機構と、該流量計測機構に分離可能に取り付けられる流量調整機構とを備え、前記流量計測機構は、第１流路を流通する流体の流量を計測する流量計測部と、該流量計測部を内部に収容するとともに前記設置面に取り付け可能な第１ケーシング部とを有し、前記流量調整機構は、前記設置面に交差する軸線に沿って弁体部を移動させる駆動部と、該駆動部による前記弁体部の移動を制御する制御部と、前記弁体部を収容する弁室と、前記弁体部が挿入される弁孔と連通する第２流路と、外部流路に接続される第３流路とが形成された弁本体と、前記駆動部および前記制御部を内部に収容するとともに前記弁本体に取り付けられた第２ケーシング部とを有し、前記流量調整機構が、前記第１ケーシング部と前記弁本体との間に外部と連通した隙間を設けた状態で前記流量計測機構に取り付けられており、前記流量計測部が、前記軸線に沿って延びる前記第２流路と前記第１流路とを連結する連結部を有し、前記弁本体には、前記第２流路が内部に形成されるとともに前記設置面に向けて突出する突出部が形成されており、前記第１ケーシング部には、前記突出部が挿入される挿入穴が形成されており、前記連結部は、前記挿入穴に挿入された前記突出部に形成される前記第２流路と前記第１流路とを連結する構成である。
このようにすることで、弁本体に形成される突出部を第１ケーシング部の挿入穴に挿入することにより、第２流路と第１流路とを連結することができる。

上記構成にかかる流量調整装置において、前記連結部には、前記突出部の先端が挿入される凹所が形成されており、前記突出部の外周面には、前記凹所の内周面に接触する円環状の第１シール部材と前記挿入穴の内周面に接触する円環状の第２シール部材とが取り付けられていてもよい。
このようにすることで、凹所の内周面と突出部の外周面との間に配置される第１シール部材と、挿入穴の内周面と突出部の外周面との間に配置される第２シール部材とにより、二重に流体の流出を抑制することができる。

本発明の第１態様または第２態様にかかる流量調整装置において、前記流量計測部は、前記第１流路の上流側で加熱された流体の温度を下流側で計測することにより流体の流量を測定するものであってもよい。
このようにすることで、第１流路の上流側で加熱された流体の温度を下流側で計測して流量を測定する熱式流量計測を行う流量計測部を用いた場合であっても、流量調整機構から流量計測機構への熱伝達を抑制して計測誤差を抑制することができる。

本発明の第１態様または第２態様にかかる流量調整装置において、前記制御部は板状に形成されるとともに前記軸線と平行に配置される制御基板であり、前記流量計測部が配置される前記設置面における領域と、前記制御基板が配置される前記設置面における領域とが重複しているものであってもよい。
このようにすることで、弁体部が移動する軸線と平行に制御基板を配置するとともに制御基板を設置面における流量計測部と重複する領域に配置し、制御基板を内部に収容しても設置面積が拡大しないように抑制することができる。

本発明によれば、流量調整機構から流量計測機構への熱伝達を抑制し、かつ設置面に設置する際の設置面積を小さくした流量調整装置を提供することができる。

流量調整装置の一実施形態を示す正面図である。図１に示す流量調整装置の平面図である。図２に示す流量調整装置のＡ−Ａ矢視部分縦断面図である。流量計測機構と流量調整機構とを分離した状態を示す部分縦断面図である。図４に示す流量計測機構の縦断面図である。図５に示す流量計測機構の平面図である。

以下、本発明の一実施形態の流量調整装置１００について図面を参照して説明する。
図１に示す本実施形態の流量調整装置１００は、流入口１０３から流入して流出口１０４から流出する流体（例えば、純水、半導体製造装置に用いられる薬液等の液体）の流量を調整する装置である。
図１の正面図に示すように、本実施形態の流量調整装置１００は、設置面Ｓに取り付けられる流量計測機構１０１と、流量計測機構１０１に分離可能に取り付けられる流量調整機構１０２とを備える。

次に、流量計測機構１０１について説明する。
図２の平面図に示すように、流量計測機構１０１は、４本の締結ボルト８０を設置面Ｓに設けられた締結穴（図示略）に締結することにより、設置面Ｓに取り付けられている。
図３および図４は、図２に示す流量調整装置１００のＡ−Ａ矢視部分縦断面図である。図３は流量計測機構１０１に流量調整機構１０２が取り付けられた状態を示し、図４は流量計測機構１０１と流量調整機構１０２とを分離した状態を示す。

図３および図４に示すように、流量計測機構１０１は、第１流路１００ａを流通する流体の流量を計測する熱式流量計（流量計測部）１０と、熱式流量計１０を内部に収容する下部ケーシング（第１ケーシング部）２０とを有する。下部ケーシング２０は、設置面Ｓに取り付け可能であるとともに熱式流量計１０を内部に収容する本体部２０ａと、本体部２０ａの下方に配置されるとともに熱式流量計１０が上面に取り付けられる底部２０ｂとを有する。

下部ケーシング２０は、本体部２０ａと底部２０ｂのそれぞれに形成される挿入穴に締結ボルト８１を挿入し、流量調整機構１０２の上部ケーシング６０に形成される締結穴６１に締結することにより、流量調整機構１０２に取り付けられる。
図３は図２に示す流量調整装置１００のＡ−Ａ矢視部分断面を示すものであるが、図３に示す締結穴６１は図２に示す流量調整装置１００のＢ−Ｂ矢視断面を示すものである。また、図３には、締結穴６１が１箇所にのみ図示されているが、図２平面図に示す流量調整機構１０２の四隅に四ヶ所の締結穴６１が設けられているものとする。

図５に示すように、熱式流量計１０は、本体部２０ａと底部２０ｂとの間に配置される連結部１１と、本体部２０ａと底部２０ｂとの間に配置される接続部１２と、連結部１１および接続部１２に挿入される測定管１３と、測定管１３に貼り付けられるセンサ基板１４と、測定管１３一端を連結部１１に固定するナット１５と、測定管１３の他端を接続部１２に固定するナット１６とを備える。
熱式流量計１０は、センサ基板１４に形成される加熱用抵抗線（図示略）に電流を通電させて測定管１３の上流側を流通する流体を加熱し、センサ基板１４に形成される温度検出用抵抗線（図示略）により加熱された流体の温度を検出することにより、流体の流量を計測する。

図５に示すように、連結部１１は、軸線Ｘに沿った延びる第２流路１００ｂと第１流路１００ａとを連結する部材である。連結部１１が下部ケーシング２０の本体部２０ａの内周面と接触する面には、凹所１１ａが形成されている。本体部２０ａの凹所１１ａと対向する位置には、挿入穴２１が形成されている。挿入穴２１と凹所１１ａには、流量計測機構１０１に流量調整機構１０２が取り付けられた際に、弁本体５０に形成される突出部５３の先端が挿入される。

図５に示すように、熱式流量計１０を内部に収容する本体部２０ａには、貫通穴２２が形成されている。貫通穴２２は、本体部２０ａの他の部分よりも流量調整機構１０２側へ突出するように円筒状に形成されている。貫通穴２２が円筒状に形成されているのは、流量調整機構１０２に取り付けられた際に、貫通穴２２の上端が弁本体５０に接触した状態とし、貫通穴２２の内部が外部空間と連通しないようにするためである。貫通穴２２は、熱式流量計１０の信号線（図示略）と制御基板４０の信号線とを接続するケーブル１８を通すために設けられている。

ケーブル１８の先端にはコネクタ１７が取り付けられており、コネクタ１７を制御基板４０のコネクタ４１に接続することにより、熱式流量計１０の信号線と制御基板４０の信号線とが電気的に接続される。
図４に示すように、コネクタ１７を貫通穴２２の上方へ引き出すことが可能となっているため、流量調整機構１０２を流量計測機構１０１に取り付ける前に、流量計測機構１０１のコネクタ１７を流量調整機構１０２のコネクタ４１に容易に接続することができる。

また、図４に示すように、流量調整機構１０２の制御基板４０は、下端が弁本体５０を貫通するように配置され、下端にコネクタ４１が取り付けられている。図３に示すように、制御基板４０の下端は、流量調整機構１０２が流量計測機構１０１に取り付けられた状態で、貫通穴２２に挿入された状態となる。そのため、流量計測機構１０１のコネクタ１７と流量調整機構１０２のコネクタ４１とを接続するためのケーブル１８の長さを短くし、ノイズの発生を抑制することができる。

また、図４に示すコネクタ４１の上方には、制御基板４０が配置された上方の空間とコネクタ４１が配置された下方の空間との間を熱的に遮断する充填材４２が配置されている。充填材４２を配置することにより、貫通穴２２を介して流量計測機構１０１から流量調整機構１０２に流体の熱等が伝達される不具合を抑制することができる。充填材４２の材料としては、例えばウレタンを用いることができる。

図５に示すように、下部ケーシング２０の流量調整機構１０２と対向する側の面には、円筒状に延びる一対の突起部２３，２４が形成されている。一対の突起部２３，２４は、流量調整機構１０２の弁本体５０に形成される一対の位置決め穴５４，５５へ挿入可能となっている。流量調整機構１０２を流量計測機構１０１へ取り付ける際に、一対の突起部２３，２４を一対の位置決め穴５４，５５へ挿入することにより、流量調整機構１０２が流量計測機構１０１に対して位置決めされる。

次に、流量調整機構１０２について説明する。
図３に示すように、流量調整機構１０２は、設置面Ｓに交差する軸線Ｘに沿って弁体部３１を移動させる電動駆動機構（駆動部）３０と、電動駆動機構３０による弁体部３１の移動を制御する制御基板（制御部）４０と、弁本体５０と、電動駆動機構３０および制御基板４０を内部に収容する上部ケーシング（第２ケーシング部）６０とを有する。

電動駆動機構３０は、例えば、ステッピングモータにより駆動軸を軸線Ｘ回りに回転させ減速機により駆動軸の回転を減速しつつ軸線Ｘに沿った方向に動力を変換して弁体部３１を移動させる機構である。
制御基板４０は、ケーブル９０（図１参照）を介して外部制御装置（図示略）から電源供給を受けるとともに各種の制御信号を受信する。また、制御基板４０は、熱式流量計１０が計測する流体の流量を受信するとともに受信した流量が目標流量（例えば、外部制御装置から受信した制御信号に含まれる目標流量）と一致するように電動駆動機構３０による弁体部３１の移動を制御する。

図３に示すように板状に形成される制御基板４０は、軸線Ｘと平行に配置されている。また、熱式流量計１０が配置される設置面Ｓにおける領域と、制御基板４０が配置される設置面Ｓにおける領域とが重複している。そのため、これらの領域を重複させない場合に比べ、流量調整装置１００の設置面Ｓにおける設置面積を小さくすることができる。

弁本体５０は、弁体部３１を収容する弁室５１と、弁体部３１の先端が挿入される弁孔５２と連通する第２流路１００ｂと流出口１０４と連結した外部流路に接続される第３流路１００ｃとが形成された部材である。弁本体５０は、フッ素樹脂材料により形成される単一の部材である。

弁本体５０の第２流路１００ｂは、流量計測機構１０１の第１流路１００ａと連通しており、流入口１０３から第１流路１００ａへ導かれた流体が下端側から流入する。第２流路１００ｂの下端側へ流入した流体は、下方から上方へ導かれて弁孔５２から弁室５１へ流入する。すり鉢状に形成される弁室５１の下端から流入した流体は、弁室５１の上端近傍に形成された流出孔５１ａから第３流路１００ｃへ流入し、流出口１０４から排出される。
このように、本実施形態の流量調整装置１００は、弁室５１の下端から流入した流体が弁室５１の上端近傍に形成された流出孔５１ａから弁室５１の外部へ流出するため、弁室５１の上端近傍に置換されない流体が滞留することが抑制され、流体の置換性が良好である。

図４に示すように、弁本体５０には、第２流路１００ｂが内部に形成されるとともに設置面Ｓに向けて突出する突出部５３が形成されている。突出部５３の外周面には、連結部１１の凹所１１ａの内周面に接触する円環状のＯリング７０（第１シール部材）と下部ケーシング２０の挿入穴２１の内周面に接触するＯリング７１（第２シール部材）とが取り付けられている。

上部ケーシング６０は、弁本体５０に取り付けられる本体部６０ａと、本体部６０ａに取り付けられて電動駆動機構３０と制御基板４０が収容される閉空間を形成する蓋部６０ｂとを有する。弁本体５０に本体部６０ａを取り付け、更に本体部６０ａに蓋部６０ｂを取り付けることにより、電動駆動機構３０と制御基板４０が内部に収容された流量調整機構１０２として一体化される。

次に、流量計測機構１０１に流量調整機構１０２を取り付けた際に、これらの間に形成される隙間ＣＬについて説明する。
図４に示すように、流量計測機構１０１と流量調整機構１０２とは、分離可能となっている。図４に示す分離した状態では、流量計測機構１０１が有する第１流路１００ａと流量調整機構１０２が有する第２流路１００ｂとが連結されていない。

流量計測機構１０１と流量調整機構１０２とは、下部ケーシング２０の底部２０ｂ側から複数の締結ボルト８１を挿入し、上部ケーシング６０に形成される締結穴６１に締結することにより、一体に連結された状態となる。流量計測機構１０１と流量調整機構１０２とを連結する際には、弁本体５０に形成される突出部５３が流量計測機構１０１の挿入穴２１および凹所１１ａに挿入され、下部ケーシング２０に形成される一対の突起部２３，２４が弁本体５０の一対の位置決め穴５４，５５に位置決めされる。

図１および図３に示すように、流量調整機構１０２は、下部ケーシング２０と弁本体５０との間に外部に連通した隙間ＣＬを設けた状態で流量計測機構１０１に取り付けられている。この隙間ＣＬは、流量調整機構１０２から流量計測機構１０１への熱伝達を抑制するために設けられる空間である。
流量調整機構１０２と流量計測機構１０１との間に外部と連通した隙間ＣＬを設けることにより、流量調整機構１０２と流量計測機構１０１との接触面積が小さくなる。また、隙間ＣＬに外部から空気が導かれて流通することにより、流量調整機構１０２の熱を空気に伝達して外部へ放出することができる。これらにより、流量調整機構１０２から流量計測機構１０１への熱伝達量を小さくすることができる。そのため、流量計測機構１０１の熱式流量計１０に熱が伝達されて流体の流量の計測誤差が発生することが抑制される。

図６に示す下部ケーシング２０の本体部２０ａの上面において、弁本体５０の下面と接触する部分は、突起部２３，２４の上面と、接触部２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆである。本体部２０ａの上面のその他の部分は、弁本体５０の下面と接触せずに隙間ＣＬを形成する部分である。
図６に示すように、本体部２０ａの上面の大部分が隙間ＣＬを形成する部分となっており、本体部２０ａの上面の一部のみが弁本体５０の下面と接触しているため、流量調整機構１０２から流量計測機構１０１への熱伝達量を小さくすることができる。
なお、図６に示すように、制御基板４０の下端とコネクタ４１は、流量調整機構１０２が流量計測機構１０１に取り付けられた状態で、貫通穴２２に挿入された状態となる。

以上説明した本実施形態の流量調整装置１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の流量調整装置１００によれば、流量計測機構１０１が有する下部ケーシング２０と流量調整機構１０２が有する弁本体５０との間に設けられる隙間ＣＬが外部と連通している。そのため、流量調整機構１０２が有する電動駆動機構３０が弁体部３１を移動させる際に発生する熱が弁本体５０から下部ケーシング２０に伝達されることが抑制される。これにより、流量調整機構１０２から流量計測機構１０１への熱伝達によって熱式流量計１０に計測誤差が発生することが抑制される。

また、本実施形態の流量調整装置１００によれば、弁本体５０に形成される第２流路１００ｂと、熱式流量計１０に形成される第１流路１００ａとが連結部１１によって連結される構造となっている。この第２流路１００ｂは流量計測機構１０１が設置される設置面Ｓに交差する軸線Ｘに沿って形成されているため、流入口１０３から流出口１０４に至るまでの流路は直線状とはならず蛇行した形状となる。そのため、設置面Ｓに設置された流量調整装置１００の流入口１０３から流出口１０４に至るまでの距離が流路長よりも短くなる。これにより、流量調整装置１００を設置面Ｓに設置する際の設置面積（フットプリント）を小さくすることができる。
このように、本実施形態の流量調整装置１００によれば、流量調整機構１０２から流量計測機構１０１への熱伝達を抑制し、かつ設置面Ｓに設置する際の設置面積を小さくすることができる。

本実施形態の流量調整装置１００において、弁本体５０には、第２流路１０２ｂが内部に形成されるとともに設置面Ｓに向けて突出する突出部５３が形成されており、下部ケーシング２０には、突出部５３が挿入される挿入穴２１が形成されており、連結部１１は、挿入穴２１に挿入された突出部５３に形成される第２流路１００ｂと第１流路１００ａとを連結する。
このようにすることで、弁本体５０に形成される突出部５３を下部ケーシング２０の挿入穴２１に挿入することにより、第２流路１００ｂと第１流路１００ａとを連結することができる。

本実施形態の流量調整装置１００において、連結部１１には、突出部５３の先端が挿入される凹所１１ａが形成されており、突出部５３の外周面には、凹所１１ａの内周面に接触するＯリング７０と挿入穴２１の内周面に接触するＯリング７１とが取り付けられている。
このようにすることで、凹所１１ａの内周面と突出部５３の外周面との間に配置されるＯリング７０と、挿入穴２１の内周面と突出部５３の外周面との間に配置されるＯリング７１とにより、二重に流体の流出を抑制することができる。

本実施形態の流量調整装置１００において、熱式流量計１０は、第１流路１００ａの上流側で加熱された流体の温度を下流側で計測することにより流体の流量を測定するものである。
このようにすることで、第１流路１００ａの上流側で加熱された流体の温度を下流側で計測して流量を測定する熱式流量計測を行う熱式流量計１０を用いた場合であっても、流量調整機構１０２から流量計測機構１０１への熱伝達を抑制して計測誤差を抑制することができる。

本実施形態の流量調整装置１００において、制御基板４０は板状に形成されるとともに軸線Ｘと平行に配置され、熱式流量計１０が配置される設置面Ｓにおける領域と、制御基板４０が配置される設置面Ｓにおける領域とが重複している。
このようにすることで、弁体部３１が移動する軸線Ｘと平行に制御基板４０を配置するとともに制御基板４０を設置面Ｓにおける熱式流量計１０と重複する領域に配置し、制御基板４０を内部に収容しても設置面積が拡大しないように抑制することができる。

１０熱式流量計（流量計測部）
１１連結部
１１ａ凹所
２０下部ケーシング（第１ケーシング部）
２１挿入穴
３０電動駆動機構（駆動部）
３１弁体部
４０制御基板（制御部）
５０弁本体
５１弁室
５２弁孔
５３突出部
６０上部ケーシング（第２ケーシング部）
７０Ｏリング（第１シール部材）
７１Ｏリング（第２シール部材）
１００流量調整装置
１００ａ第１流路
１００ｂ第２流路
１００ｃ第３流路
１０１流量計測機構
１０２流量調整機構
ＣＬ隙間
Ｓ設置面
Ｘ軸線

Claims

設置面に取り付けられる流量計測機構と、
該流量計測機構に分離可能に取り付けられる流量調整機構とを備え、
前記流量計測機構は、
第１流路を流通する流体の流量を計測する流量計測部と、
該流量計測部を内部に収容するとともに前記設置面に取り付け可能な第１ケーシング部とを有し、
前記流量調整機構は、
前記設置面に交差する軸線に沿って弁体部を移動させる駆動部と、
該駆動部による前記弁体部の移動を制御する制御部と、
前記弁体部を収容する弁室と、前記弁体部が挿入される弁孔と連通するとともに前記軸線に沿って延びる第２流路と、外部流路に接続される第３流路とが形成された弁本体と、
前記駆動部および前記制御部を内部に収容するとともに前記設置面に対して前記弁本体の上部に取り付けられた第２ケーシング部とを有し、
前記流量調整機構が、前記設置面に対して前記第１流路よりも上方に配置される前記第１ケーシング部の上面と前記弁本体の下面との間に外部と連通した隙間を設けた状態で前記流量計測機構に取り付けられており、
前記流量計測部が、前記軸線に沿って延びる前記第２流路と前記第１流路とを連結する連結部を有する流量調整装置。
設置面に取り付けられる流量計測機構と、
該流量計測機構に分離可能に取り付けられる流量調整機構とを備え、
前記流量計測機構は、
第１流路を流通する流体の流量を計測する流量計測部と、
該流量計測部を内部に収容するとともに前記設置面に取り付け可能な第１ケーシング部とを有し、
前記流量調整機構は、
前記設置面に交差する軸線に沿って弁体部を移動させる駆動部と、
該駆動部による前記弁体部の移動を制御する制御部と、
前記弁体部を収容する弁室と、前記弁体部が挿入される弁孔と連通する第２流路と、外部流路に接続される第３流路とが形成された弁本体と、
前記駆動部および前記制御部を内部に収容するとともに前記弁本体に取り付けられた第２ケーシング部とを有し、
前記流量調整機構が、前記第１ケーシング部と前記弁本体との間に外部と連通した隙間を設けた状態で前記流量計測機構に取り付けられており、
前記流量計測部が、前記軸線に沿って延びる前記第２流路と前記第１流路とを連結する連結部を有し、
前記弁本体には、前記第２流路が内部に形成されるとともに前記設置面に向けて突出する突出部が形成されており、
前記第１ケーシング部には、前記突出部が挿入される挿入穴が形成されており、
前記連結部は、前記挿入穴に挿入された前記突出部に形成される前記第２流路と前記第１流路とを連結する流量調整装置。
前記連結部には、前記突出部の先端が挿入される凹所が形成されており、
前記突出部の外周面には、前記凹所の内周面に接触する円環状の第１シール部材と前記挿入穴の内周面に接触する円環状の第２シール部材とが取り付けられている請求項２に記載の流量調整装置。
前記流量計測部は、前記第１流路の上流側で加熱された流体の温度を下流側で計測することにより流体の流量を測定する請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流量調整装置。
前記制御部は板状に形成されるとともに前記軸線と平行に配置される制御基板であり、
前記流量計測部が配置される前記設置面における領域と、前記制御基板が配置される前記設置面における領域とが重複している請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の流量調整装置。