KR101912681B1 - 외력 보상이 가능한 차압식 유량계 및 차압식 질량 유량 조절계 - Google Patents

외력 보상이 가능한 차압식 유량계 및 차압식 질량 유량 조절계 Download PDF

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Abstract

외력 보상이 가능한 차압식 유량계가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계는, 차압식 유량계에 있어서, 외부로부터 유체를 획득하고, 획득한 상기 유체를 외부로 배출하기 위한 유로를 포함하는 몸체부; 및 상기 유로로부터 유체를 획득하여 차압 센서를 통해 상기 유체의 압력을 측정하는 외력 보상 측정부;를 포함하며, 상기 외력 보상 측정부는, 회전 부재를 이용하여 상기 몸체부와 결합하고, 상기 차압 센서의 방향을 상기 회전 부재의 회전을 통해 변경한다.

Description

외력 보상이 가능한 차압식 유량계 및 차압식 질량 유량 조절계{Differential pressure Mass Flow Meter and Mass Flow Controller which can compensation external force}

본 발명은 외력 보상이 가능한 차압식 유량계에 관한 것으로, 특히, 차압식 유량계를 사용할 때 외력이 작용함으로써 발생할 수 있는 오차를 보상할 수 있는 구성을 가지는 차압식 유량계에 대한 것이다.

일반적으로 차압식 유량계는, 유체가 흐르는 관과 연결되어 외부로부터 유체를 전달 받아 유체의 압력 차를 측정하여 유량을 계산한다. 이를 위해 차압식 유량계는, 내부에 구비된 유량 제한기를 기준으로 전단(압력 강하 전)의 유체의 압력과 후단(압력 강하 후)의 유체의 압력의 차이를 획득할 수 있다.

여기서, 차압식 유량계는, 전단 및 후단의 압력을 두 개의 압력 센서를 이용하여 측정할 수도 있고, 차압 센서를 이용하여 양 단의 압력을 동시에 획득할 수도 있다.

한편, 차압 센서를 이용하는 차압식 유량계가 유체의 유량을 측정하기 위해 임의의 장소에 설치되는 경우 차압식 유량계에는 중력과 같은 외력이 작용할 수 있다. 이때, 외력의 방향이 차압식 유량계와 수직인 경우, 다시 말해 외력의 방향이 차압 센서의 측정 면과 평행한 경우에는 유량 측정 결과에 외력에 의한 오차가 존재하지 않는다.

하지만, 외력의 방향이 차압식 유량계와 수평인 경우, 다시 말해 외력의 방향이 차압 센서의 측정 면과 수직인 경우에는 유체에 작용하는 외력이나 차압 센서의 측정 면에 작용하는 외력에 의해 측정되는 압력의 크기가 변하기 때문에 유량 측정 결과에 외력에 의한 오차가 발생할 수 있는 문제점이 존재한다.

KR 2015-0098586 A

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예는 차압식 유량계가 설치되는 위치에 따라 발생하는 외력으로 인한 측정 오차를 보상할 수 있는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계를 제공하고자 한다.

위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 외력 보상이 가능한 차압식 유량계가 제공된다. 상기 외력 보상이 가능한 차압식 유량계는, 차압식 유량계에 있어서, 외부로부터 유체를 획득하고, 획득한 상기 유체를 외부로 배출하기 위한 유로를 포함하는 몸체부; 및 상기 유로로부터 유체를 획득하여 차압 센서를 통해 상기 유체의 압력을 측정하는 외력 보상 측정부;를 포함하며, 상기 외력 보상 측정부는, 회전 부재를 이용하여 상기 몸체부와 결합하고, 상기 차압 센서의 방향을 상기 회전 부재의 회전을 통해 변경한다.

상기 몸체부는 상기 유로와 연결되는 유량 제한기를 더 포함하며, 상기 유량 제한기의 전단의 유로와 일 단이 연결되는 제 1 보조 유로 및 상기 유량 제한기의 후단의 유로와 일 단이 연결되는 제 2 보조 유로를 더 포함할 수 있다.

상기 제 1 및 제 2 보조 유로는 각각 상기 차압 센서로 상기 유체를 공급하도록 형성될 수 있다.

상기 제 1 및 제 2 보조 유로는, 외경이 상기 회전 부재의 지름보다 작으며, 각각 180도 미만의 호 형태로 형성될 수 있다.

상기 회전 부재는, 일 면이 상기 차압 센서와 결합하며, 타 면이 상기 몸체부와 결합할 수 있다.

상기 회전 부재는, 밀폐 부재와 더 연결되며, 상기 밀폐 부재는 상기 몸체부와 상기 회전 부재 사이에 결합될 수 있다.

상기 회전 부재는, 180도 미만의 회전 반경을 가질 수 있다.

상기 외력 보상 측정부를 상기 몸체부에 고정시키기 위한 고정 부재를 더 포함할 수 있다.

상기 유로의 외벽에 구비되어 상기 유체의 온도를 측정하는 온도 센서; 및 상기 외력 보상 측정부에 포함되며, 상기 차압 센서에 공급되는 유체의 절대압을 측정하는 압력 센서;를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계가 제공된다. 상기 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계는, 차압식 질량 유량 조절계에 있어서, 외부로부터 유체를 획득하고, 획득한 상기 유체를 외부로 배출하기 위한 유로를 포함하는 몸체부; 및 상기 유로로부터 유체를 획득하여 차압 센서를 통해 상기 유체의 압력을 측정하는 외력 보상 측정부;를 포함하며, 상기 몸체부는, 상기 유체의 유량을 제어하는 제어벨브를 포함하고, 상기 외력 보상 측정부는, 회전 부재를 이용하여 상기 몸체부와 결합하고, 상기 차압 센서의 방향을 상기 회전 부재의 회전을 통해 변경한다.

상기 몸체부는 상기 유로와 연결되는 유량 제한기를 더 포함하며, 상기 유량 제한기의 전단의 유로와 일 단이 연결되는 제 1 보조 유로 및 상기 유량 제한기의 후단의 유로와 일 단이 연결되는 제 2 보조 유로를 더 포함할 수 있다.

상기 회전 부재는, 일 면이 상기 차압 센서와 결합하며, 타 면이 상기 몸체부와 결합할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계는, 임의의 기울기를 가지도록 구비될 때 외력에 의해 발생할 수 있는 오차를 보정함으로써 보다 높은 신뢰도의 유량 측정이 가능한 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 a) 평지에 설치된 간략도 및 b) 도 1a의 외력 보상이 가능한 차압식 유량계를 경사면에 설치하고 회전 부재를 90도 회전한 간략도이다.
도 2는 a) 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 몸체부의 평면도 및 b) 본 발명의 다른 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 몸체부의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계가 평지에 설치된 간략도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙였다.

도 1에는 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 a) 평지에 설치된 간략도, b) 경사면에 설치된 간략도가 도시되고 있다. 이하에서는 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계를 보다 상세히 설명하도록 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는, 도 1a에 도시된 바와 같이, 몸체부(10) 및 외력 보상 측정부(20)를 포함한다.

몸체부(10)는, 외력 보상 측정부(20)와 결합하며, 외부에는 제어부(11)를 구비하며 내부에는 유로(30)가 형성된다.

제어부(11)는 전자 보드를 포함하며, 전자 보드는 차압식 유량계(1)를 구성하는 각 부품에 전원을 공급하고 측정된 데이터를 처리하여 차압식 유량계(1)의 응답 특성을 제어할 수 있다.

유로(30)는 유체가 몸체부(10)를 통과하도록 형성된다. 이때, 유로(30)는 바람직하게는 유체가 유량 제한기(35) 및 외력 보상 측정부(20)에 제공될 수 있도록 형성될 수 있다.

외력 보상 측정부(20)는, 몸체부(10)의 일 측과 결합하도록 형성된다. 외력 보상 측정부(20)는 유량 제한기(35)의 전단 및 후단으로부터 유체를 각각 획득하여 유체의 압력차를 측정할 수 있다. 이때, 외력 보상 측정부(20)는, 차압 센서(21) 및 회전 부재(23)를 포함한다.

차압 센서(21)는 양 단에 구비된 측정부(22)를 통해 유체의 압력을 측정한다. 차압 센서(21)의 일 단은 유량 제한기(35)의 전단의 유로와 연결되며, 타 단은 유량 제한기(35)의 후단의 유로와 연결된다. 이를 통해 차압 센서(21)는, 유량 제한기(35)를 통과하지 않은 유체의 압력과 유량 제한기(35)를 통과한 유체의 압력을 각각 획득하여 압력차를 측정할 수 있다.

회전 부재(23)는 일 면에는 차압 센서(21)를 구비하며, 타 면은 몸체부(10)와 결합한다. 회전 부재(23)는, 기 설정된 각도로 회전할 수 있으며, 이를 통해 차압 센서(21)와 몸체부(10)의 결합 각도를 변경할 수 있다. 또한, 회전 부재(23)의 내부에는 차압 센서(21)의 측정부(22)로 유체를 전달할 수 있는 유로(30)가 형성됨으로써 유량 제한기(35)의 전단 및 후단에 흐르는 유체가 차압 센서(21)로 전달될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는 도 1a에 도시된 바와 같이 평지에 배치될 수도 있고, 도 1b와 같이 경사면에 배치될 수도 있다. 이때, 외부로부터 인위적인 힘이 작용하지 않는다고 가정하면, 도 1a 및 도 1b의 차압식 유량계(1)에는 지구 중심 방향으로의 중력만이 작용한다.

도 1a의 경우, 차압식 유량계(1)에는 측정부(22)와 평행한 방향으로 중력이 작용한다. 따라서, 중력에 의한 측정부(22)의 모양 변화 또는 유체 압력의 변화가 나타나지 않는다. 하지만, 이러한 차압식 유량계(1)가 차압 센서(21)의 방향 변화 없이 도 1b와 동일한 기울기를 가지는 경사면에 배치되는 경우, 중력은 측정부(22)와 평행하지 않은 방향으로 작용하게 되고, 이로 인해 측정부(22)의 모양이 변화할 수도 있다.

또, 측정부(22)에 가해지는 유체의 압력 또한 중력에 의한 차이가 발생할 수도 있다. 일 예로, 도 1b와 같은 경사면에서는, 유량 제한기(35)의 전단에서 측정부(22)로 공급되는 유체의 경우에는 중력에 의해 측정부(22)에 가하는 압력이 증가할 수 있고, 유량 제한기(35)의 후단에서 측정부(22)로 공급되는 유체의 경우에는 중력에 의해 측정부(22)에 가하는 압력이 감소할 수 있다. 따라서, 차압 센서(21)를 통해 획득되는 유체 압력 차이는 경사면에 배치되는 경우, 동일한 조건에서 평지에 배치되는 경우에 비해 큰 오차를 가지게 될 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는, 도 1b에 도시된 바와 같이 회전 부재(23)를 이용하여 외력 보상 측정부(20)를 회전시킴으로써 양 단의 측정부(22)에 작용하는 외력의 방향을 동일하게 하고, 이를 통해 차압식 유량계(1)가 평지에 설치된 것과 동일한 결과를 출력 할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)의 외력 보상 측정부(20)를 회전시키기 위해서는, 유로(30)의 형태가 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같은 형태로 형성되어야 한다. 도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 몸체부의 평면도이고, 도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 몸체부의 평면도이다.

도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계의 몸체부(10)는, 종래의 차압식 유량계와 달리 유로(30) 및 유량 제한기(35) 외에 보조 유로(31', 31”)를 더 포함한다.

보조 유로(31, 31”)는, 일 단이 유로(30)와 연결되며, 바람직하게는 일 단이 유량 제한기(35)의 전단의 유로(30)와 연결되는 제 1 보조 유로(31') 및 일 단이 유량 제한기(35)의 후단의 유로(30)와 연결되는 제 2 보조 유로(31”)를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는, 도 1a와 같이 평지에 배치되는 경우, 차압 센서(21)는 도 2a의 A와 B에서 각각 몸체부(10)의 유로(30)와 연결되어 유체의 압력을 측정한다. 하지만, 차압식 유량계(1)가 도 1b와 같이 경사면에 배치되는 경우, 중력 등의 외력에 의해 발생할 수 있는 차압 센서(21)의 오차를 보정하기 위해 외력 보상 측정부(20)를 회전시켜 도 2a의 A' 및 B'을 통해 차압 센서(21)가 유로(30)로부터 유체를 전달 받아 압력을 측정할 수 있도록 할 수 있다.

또한, 보조 유로(31', 31”)는 외경 및 내경을 각각 가지며, 바람직하게는 보조 유로(31', 31”)의 외경은 회전 부재(23)보다 작게 설정될 수 있고, 내경은 차압 센서(21)의 측정부(22) 사이의 거리보다 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 차압 센서(21)가 보조 유로(31', 31”)를 통해 유체를 획득하여 압력을 측정하기 위한 유로가 형성되어야 하기 때문이다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)의 몸체부(10)에 형성되는 유로(30)는 도 2b에 도시된 바와 같이, 보조 유로(31', 31”)의 타 단을 통해 유량 제한기(35)와 연결되도록 형성될 수도 있다. 이러한 유로의 형태는 도 2a 및 도 2b에 한정되는 것은 아니며, 유로가 단절되지 않는 임의의 형태로 형성될 수도 있다.

다시 말해, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)의 유로(30)는, 보조 유로(31')의 A 지점과 A' 지점 사이에 일 단이 연결될 수 있고, 보조 유로(31”)의 B 지점과 B' 지점 사이에 타 단이 연결되며, 그 사이에 유량 제한기(35)를 구비하는 형태로 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는 몸체부(10)와 외력 보상 측정부(20)가 결합하는 결합 부위로 유체가 새어 나오는 경우, 측정 값에 오차가 발생할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에서는 보조 유로(31', 31”)와 외력 보상 측정부(20) 사이에 밀폐 부재(도면 미도시)가 사용됨으로써 유체가 새어 나오는 것을 방지할 수 있다. 이때, 밀폐 부재는 오링(O-Ring), 고무 패킹과 같이 유연성 또는 탄성이 있으며 공간의 밀폐가 가능한 부재일 수 있다.

또, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는, 외력 보상 측정부(20)를 고정시키기 위한 고정 부재(도면 미도시)를 더 포함할 수도 있다. 고정 부재는, 외력 보상 측정부(20)가 몸체부(10)에서 외력에 의해 이탈하지 않도록 외력 보상 측정부(20)에 형성되어 몸체부(10)에 고정되거나, 몸체부(10)에 형성되어 외력 보상 측정부(20)에 고정될 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 차압식 유량계(1)는, 바람직하게는 사용자의 필요에 따라 사용자가 외력 보상 측정부(20)의 회전 부재(23)를 이용하여 차압 센서(21)의 방향을 전환하면, 고정 부재를 이용하여 외력 보상 측정부(20)를 고정함으로써 외력 보상 측정부(20)의 외력에 의한 위치 변화를 방지하고, 이를 통해 보다 정밀한 측정값을 획득할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)는, 온도 센서 및 압력 센서를 더 포함하며, 이를 이용하여 유체의 온도 및 압력을 더 측정할 수 있다. 이때, 차압식 유량계(1)는, 유체의 온도 및 압력의 측정값을 이용하여 유량을 보정함으로써 높은 정밀도로 유량을 계산할 수 있다.

따라서 이를 위한 압력 센서는, 절대압을 측정하는 압력 센서일 수 있고, 제 1 보조 유로(31') 또는 제 2 보조 유로(31'')와 차압 센서(21) 사이에 구비되어 유체의 압력을 측정하며, 바람직하게는 외력 보상 측정부(20)에 포함될 수 있다.

또, 온도 센서는 유체의 온도를 측정하며, 외부 환경으로 인한 고장을 방지하기 위해 유로(30)와 근접하는 위치에 매립되어 설치될 수도 있다.

한편, 차압식 유량계(MFM)는, 유로에 유입되는 유체의 양을 조절하기 위한 제어 벨브를 더 포함하여 차압식 질량 유량 조절계(MFC)를 형성할 수 있다. 이때, 도 3을 참조하면, 제어 벨브를 더 포함하는 본 발명의 차압식 유량계로 형성될 수 있는 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계(2)는, 도 1의 외력 보상이 가능한 차압식 유량계(1)와 유사한 구성을 가지며, 몸체부(10)의 일 면에 제어 벨브(13)를 더 포함할 수 있다.

제어 벨브(13)는 유체의 유량을 제어한다. 제어 벨브(13)는 몸체부(10)에 형성된 유로(30) 중 유량 제한기(35)의 전단과 연결되어 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계(2)에 유입되어 유로(30)에 흐르는 유체의 유량을 제어함으로써 유체의 총 유량이 기 설정된 특정 목표 값을 유지하도록 할 수 있다. 이를 통해, 제어 벨브(13)는 유량계의 응답 특성에 관여할 수 있다.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계(2)는, 제어부(11)의 전자 보드를 이용하여 차압식 질량 유량 조절계(2)를 구성하는 각 부품에 전원을 공급하고 측정된 데이터를 처리하며, 제어 벨브(13)를 이용하여 유체의 총 유량이 기 설정된 특정 목표 값을 유지하도록 함으로써 차압식 질량 유량 조절계(2)의 응답 특성 및 정밀도를 제어할 수 있다.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.

1: 외력 보상이 가능한 차압식 유량계
2: 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계
10: 몸체부 11: 제어부
13: 제어 벨브 20: 외력 보상 측정부
21: 차압 센서 22: 측정부
23: 회전 부재 30: 유로
31', 31”: 보조 유로 35: 유량 제한기

Claims (12)

  1. 차압식 유량계에 있어서,
    외부로부터 유체를 획득하고, 획득한 상기 유체를 외부로 배출하기 위한 유로를 포함하는 몸체부; 및
    상기 유로로부터 유체를 획득하여 차압 센서를 통해 상기 유체의 압력을 측정하는 외력 보상 측정부;를 포함하며,
    상기 몸체부는,
    상기 유로와 연결되는 유량 제한기;를 더 포함하며,
    상기 유량 제한기의 전단의 유로와 일 단이 연결되는 제 1 보조 유로; 및 상기 유량 제한기의 후단의 유로와 일 단이 연결되는 제 2 보조 유로;를 더 포함하고,
    상기 외력 보상 측정부는,
    회전 부재를 이용하여 상기 몸체부와 결합하고, 상기 차압 센서의 방향을 상기 회전 부재의 회전을 통해 변경하며,
    상기 제 1 및 제 2 보조 유로는, 외경이 상기 회전 부재의 지름보다 작으며, 각각 180도 미만의 호 형태로 형성되는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 보조 유로는 각각 상기 차압 센서로 상기 유체를 공급하도록 형성되는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 회전 부재는, 일 면이 상기 차압 센서와 결합하며, 타 면이 상기 몸체부와 결합하는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 회전 부재는, 밀폐 부재와 더 연결되며, 상기 밀폐 부재는 상기 몸체부와 상기 회전 부재 사이에 결합되는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 회전 부재는, 180도 미만의 회전 반경을 가지는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 외력 보상 측정부를 상기 몸체부에 고정시키기 위한 고정 부재를 더 포함하는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 유로의 외벽에 구비되어 상기 유체의 온도를 측정하는 온도 센서; 및
    상기 외력 보상 측정부에 포함되며, 상기 차압 센서에 공급되는 유체의 절대압을 측정하는 압력 센서;를 더 포함하는 외력 보상이 가능한 차압식 유량계.
  10. 차압식 질량 유량 조절계에 있어서,
    외부로부터 유체를 획득하고, 획득한 상기 유체를 외부로 배출하기 위한 유로를 포함하는 몸체부; 및
    상기 유로로부터 유체를 획득하여 차압 센서를 통해 상기 유체의 압력을 측정하는 외력 보상 측정부;를 포함하며,
    상기 몸체부는,
    상기 유체의 유량을 제어하는 제어벨브; 및
    상기 유로와 연결되는 유량 제한기;를 더 포함하며,
    상기 유량 제한기의 전단의 유로와 일 단이 연결되는 제 1 보조 유로; 및 상기 유량 제한기의 후단의 유로와 일 단이 연결되는 제 2 보조 유로;를 더 포함하며,
    상기 외력 보상 측정부는,
    회전 부재를 이용하여 상기 몸체부와 결합하고, 상기 차압 센서의 방향을 상기 회전 부재의 회전을 통해 변경하며,
    상기 제 1 및 제 2 보조 유로는, 외경이 상기 회전 부재의 지름보다 작으며, 각각 180도 미만의 호 형태로 형성되는 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계.
  11. 삭제
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 회전 부재는, 일 면이 상기 차압 센서와 결합하며, 타 면이 상기 몸체부와 결합하는 외력 보상이 가능한 차압식 질량 유량 조절계.
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