KR20080042112A - 차압식 유량계 - Google Patents

Abstract

전체를 소형화함과 동시에 배선을 저감시킬 수 있는 차압식 유량계를 제공한다. 오리피스부재(11)를 사이에 끼고 형성되는 유로의 양측에 베이스부재(14)에 고정한 제1 및 제2압력센서(12A,12B)를 배치하고, 오리피스부재(11)의 상류측 및 하류측에서 발생하는 압력차를 압력센서가 측정하여 유량을 계측하는 차압식 유량계에 있어서, 압력검출수단 내에 설치된 압력검출부의 근방에 각각 설치한 개별제어기판과, 베이스부재에 형성한 기판설치공간 내에 주제어기판을 배치하여, 개별제어기판과 주제어기판과의 사이를 압력검출수단의 하우징 내에 형성한 복수의 배선통로를 통과하는 배선에 의해 접속함과 동시에, 개별제어기판 및 주제어기판 중 어느 하나에 외부배선을 접속시킨다.

차압식 유량계, 제어기판, 유량조정장치, 압력검출수단

Description

차압식 유량계{DIFFERENTIAL PRESSURE TYPE FLOWMETER}

본 발명은, 유체의 수송경로상, 예를 들면, 화학공장, 반도체의 제조, 식품, 바이오 등의 각종 산업분야에 있어서의 유체의 수송배관에 사용되는 외부에 부착되는 오리피스부재, 및 이것을 사용한 차압식 유량계, 유량조정장치에 관한 것이다.

차압식 유량계는, 오리피스부재의 전·후에서 발생하는 유체의 압력차를 유량으로 환산하여 유량을 측정하는 장치이다. 이와 같은 차압식 유량계에 있어서는, 예를 들면, 압력에 따라서 변화하는 다이어프램의 변형을 측정하고, 그 전기적 신호를 외부의 컨트롤러로 출력하도록 구성된 압력센서가 사용되고 있다.

이와 같은 경우, 예를 들면, 도 20(b)에 나타내는 바와 같이, 배관(P)의 중간에 설치된 차압식 유량계(1)는, 오리피스부재(2)의 상류측 및 하류측의 2군데에 압력센서(3A,3B)가 각각 필요하게 된다. 각 압력센서(3A,3B)의 내부에는 제어용 회로기판이 수납·설치되어 있기 때문에, 컨트롤러(CR)와 상기 한쌍의 압력센서(3A,3B)와의 사이는, 각각의 압력센서마다 배선하여 접속시킬 필요가 있었다. 또한, 차압식 유량계(1)로 측정한 유량의 검출값을 반도체 제조장치 등의 운전제어에 사용하기 위해서는, 1대의 차압식 유량계(1)마다에 1대가 필요하게 되는 컨트롤러(CR)와, 반도체 제조장치 등의 각종 운전제어를 실시하는 장치제어 시퀀서(CU)와 의 사이에도, 유량의 검출값을 출력하기 위한 배선이 필요하다.(예를 들면, 특허문헌1 참조)

또한, 반도체 제조장치 등에 있어서는, 예를 들면, 도 20(a)에 나타내는 바와 같이, 다수의 차압식 유량계(1)가 병렬로 배치되어 사용되는 경우가 많다.

특허문헌1 : 일본국 특개평6-213694호 공보

그러나, 상술한 구성의 차압식 유량계(1)를 다수 병렬로 배치하여 사용하면, 차압식 유량계(1) 자체의 설치스페이스의 확보는 물론이고, 복수의 컨트롤러(CR)의 설치스페이스의 확보도 문제가 된다. 또한, 차압식 유량계(1)와 컨트롤러(CR)의 사이를 접속시키는 배선이 1대당 2개나 되어 많고, 게다가 다수의 차압식 유량계(1)를 병렬로 배치하게 되기 때문에 복잡해지고, 그 배치 스페이스의 확보나 배선작업의 관점에서도 개선이 요구되고 있다.

이 때문에, 차압식 유량계 및 컨트롤러를 소형화하는 것과 동시에, 배선을 최소한으로 줄일 수가 있는 차압식 유량계의 개발이 요망되고 있다.

본 발명은, 상기의 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 전체를 소형화함과 동시에 배선을 저감시킬 수 있는 차압식 유량계를 제공하는 것이다.

본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위하여, 다음과 같은 수단을 채용하였다.

즉, 본 발명의 차압식 유량계는, 오리피스부재를 사이에 끼고 유로의 양측에 베이스부재에 고정시킨 한쌍의 압력검출수단을 배치하고, 상기 오리피스부재의 상류측 및 하류측에서 발생하는 압력차를 상기 압력검출수단이 측정하여 유량계측을 실시하는 차압식 유량계에 있어서, 상기 압력검출수단 내에 설치된 압력검출부의 근방에 각각 배치한 개별제어기판과, 상기 베이스부재에 형성한 기판설치공간 내에 주제어기판을 설치하여, 상기 개별제어기판과 상기 주제어기판과의 사이를 상기 압력검출수단의 하우징 내에 형성한 복수의 배선통로를 통과하는 배선에 의해 접속시키는 것과 동시에, 상기 개별제어기판 및 상기 주제어기판 중 어느 하나에 외부배선을 접속시키는 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같은 본 발명의 차압식 유량계에 의하면, 압력검출수단 내에 설치된 압력검출부의 근방에 각각 배치한 개별제어기판과, 베이스부재에 형성한 기판설치공간 내에 주제어기판을 설치하여, 개별제어기판과 주제어기판과의 사이를 압력검출수단의 하우징 내에 형성한 배선통로를 통하는 배선에 의해 접속시키는 것과 동시에, 개별제어기판 및 상기 주제어기판 중 어느 하나에 외부배선을 접속시키는 것에 의하여, 종래 컨트롤러에 설정되었던 제어기능과, 한쌍의 압력검출수단에 공통되는 제어기능을 주제어기판에 통합하여 설정하고, 각 압력검출수단마다에 필요로 하는 최소한의 제어기능만을 개별제어기판에 설정할 수가 있다. 이 때문에, 종래 별개체였던 컨트롤러가 주제어기판에 집약되므로써 불필요하게 되고, 또, 주제어기판을 베이스부재에 기판설치공간을 형성하여 설치하였기 때문에, 차압식 유량계 자체의 소형화가 가능해진다.

상기의 차압식 유량계에 있어서는, 상기 기판설치공간을 상기 베이스부재의 하부면에 배치하여 액밀상태로 하고, 또한, 상기 베이스부재의 상부면에 상기 배선통로와 외부와의 사이를 액밀상태로 하여 상기 압력검출수단을 결합하는 것이 바람직하며, 이에 의해, 주제어기판을 설치한 기판설치공간의 내부는, 물 등의 액체가 침입하지 못하는 액밀구조가 된다.

상기의 차압식 유량계에 있어서는, 상기 배선통로를 복수로 분할하여 형성되는 것이 바람직하고, 이에 의해, 각 배선통로의 단면적을 작게 함과 동시에 그 수를 증가시키는 것에 의해 필요로 하는 배선통로의 단면적을 확보할 수가 있다. 이에 의해, 하우징을 형성하는 부재의 두께를 유효하게 이용하여 작은 배선통로를 복수로 형성하는 것에 의해 차압식 유량계의 소형화를 가능하게 할 수가 있다.

본 발명의 차압식 유량계에 의하면, 압력검출부의 근방에 각각 배치한 개별제어기판 및 기판설치공간 내에 주제어기판을 배치하고, 양 제어기판이 배선통로를 통과하는 배선에 의해 접속됨과 동시에, 제어기판 중 어느 하나에 외부배선을 접속시키는 구성으로 하였기 때문에, 종래에 필요로 했던 컨트롤러의 제어기능을 주제어기판에 설정하는 것에 의해 별개체의 컨트롤러 제어기능을 일체화하고, 다시, 한쌍의 압력검출수단에 공통되는 제어기능을 주제어기판에 통합시키는 것에 의해, 각 압력검출수단마다에 필요하였던 최소한의 제어기능만을 개별제어기판에 설정할 수가 있게 되어, 차압식 유량계를 소형화하여 설치스페이스의 확보를 용이하게 한다는 현저한 효과를 얻을 수가 있다. 즉, 차압식 유량계 자체가 소형화되는 것뿐 아니라, 별개체의 컨트롤러가 주제어기판에 집약되어 불필요하게 되기 때문에, 차압식 유량계를 반도체 제조장치 등의 장치류에 설치할 때에는, 설치 스페이스가 작아지므로, 장치류를 소형화할 수가 있고, 또, 부품점수의 감소 및 배선작업의 삭감 등에 의해 설치작업의 공정을 단축시킬 수가 있다는 현저한 효과를 얻을 수가 있다.

도 1은, 본 발명의 차압식 유량계의 한 실시형태를 나타내는 단면도.

도 2는, 도 1에 나타낸 차압식 유량계의 저면을 나타내는 부분 단면도.

도 3은, 도 1에 나타낸 하우징의 평면도.

도 4는, 도 1에 나타낸 차압식 유량계의 구성예를 나타내는 블록도.

도 5는, 본 발명의 차압식 유량계를 다수개 배치하여 장치에 사용한 경우의 구성예를 나타내는 평면도.

도 6은, 본 발명의 차압식 유량계를 장치에 사용한 유량조정장치의 구성예를 나타내는 블록도.

도 7은, 오리피스부재의 구성예에 있어서의 제1실시형태를 나타내는 세로단면도.

도 8은, 도 7의 오리피스부재가 압력센서와 접속된 상태를 나타내는 요부의 세로단면도.

도 9는, 도 7에 나타낸 오리피스부재의 제1변형예를 나타내는 세로단면도.

도 10은, 도 9의 오리피스부재가 압력센서와 접속된 상태를 나타내는 요부의 세로단면도.

도 11은, 오리피스부재의 구성예에 있어서의 제2실시형태로서, 압력센서와 접속된 상태를 나타내는 세로단면도.

도 12는, 도 11의 오리피스부재를 나타내는 세로단면도.

도 13은, 오리피스부재의 구성예에 있어서의 제3실시형태로서, 압력센서와 접속된 상태를 나타내는 세로단면도.

도 14는, 도 13의 오리피스부재를 나타내는 세로단면도.

도 15는, 도 13에 나타낸 오리피스부재의 제1변형예를 나타내는 세로단면도.

도 16은, 도 15에 나타낸 제1변형예의 오리피스부재가 압력센서와 접속된 상태를 나타내는 세로단면도.

도 17은, 오리피스부재의 구성예에 있어서의 제4실시형태로서, 압력센서와 접속된 상태를 나타내는 세로단면도.

도 18은, 도 17에 나타낸 오리피스부재의 제1변형예를 나타내는 세로단면도.

도 19는, 도 17에 나타낸 오리피스부재의 제2변형예를 나타내는 세로단면도.

도 20은, 종래기술을 나타내는 도면으로서, (a)는 종래의 차압식 유량계를 다수 배치하여 장치에 사용한 경우의 구성예를 나타내는 평면도, (b)는 종래의 차압식 유량계의 구성을 나타내는 블록도.

이하, 본 발명에 의한 차압식 유량계의 한 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.

본 실시형태에 있어서의 차압식 유량계(10)는, 예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 화학공장, 반도체 제조, 식품, 바이오 등 각종 산업분야에 있어서의 유체의 수송배관(유로)(P) 상에 설치되어, 이 유체수송배관(P)의 일부를 구성함과 동 시에, 이 유체수송배관(P) 내에서 배압에 의해 상류측으로부터 하류측으로 공급되는 유체의 유량을 조정하는 유량조정장치(5)에 사용되는 것이다.

본 실시형태에서는, 유량조정장치(5)는, 압력의 인가(印加)나 송액펌프에 의한 압송, 위치에너지를 부여하는 등의 수단에 의해, 50k~500k[Pa] 정도의 배압으로 액체를 수송하는 유체수송배관에 사용되는 것으로 한다.

유량조정장치(5)는, 차압식 유량계(10)와, 차압식 유량계(10)의 상류측 또는 하류측에 접속되어 상류측으로부터 공급된 유체의 하류측으로의 유통량을 제어하는 유량조정밸브(6)를 가지고 있다.

차압식 유량계(10)는, 오리피스부재(11)와, 상기 오리피스부재(11)의 상류측에 접속되며, 동일한 접속위치에서의 유체의 압력을 측정하는 압력측정장치가 되는 제1압력센서(압력검출수단)(12A)와, 오리피스부재(11)의 하류측에 접속되며, 동일한 접속위치에서의 유체의 압력을 측정하는 제2압력센서(압력검출수단)(12B)가 일체화된 구성으로 이루어진다.

본 실시형태의 유량조정밸브(6)는, 제2압력센서(12A)의 하류측에 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)에 각각 충분한 크기의 배압을 부여하고, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 특성을 안정시킬 수가 있으며, 또, 유량조정장치(5)에 공급되는 유체에 압력변동이 발생하여도, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 측정 정밀도에 영향을 주기 어렵다. 또한, 유량조정밸브(6)는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)와 함께 제어부(7)에 접속되어 있다.

또, 본 실시형태에서는, 제1압력센서(12A)의 상류측에, 제1압력센서(12A)에 공급되는 유체의 압력변동을 억제하여 소정의 압력으로 유지하는 압력조정밸브(8)가 설치되어 있다. 따라서, 예를 들면, 유량의 조정대상이 되는 유체수송배관(P)에 병렬로 접속된 다른 배관계로부터 오는 외란(外亂) 등에 의해 유량조정장치(5)에 공급되는 유체에 압력변동이 발생하여도, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 측정 정밀도에 영향을 주기 어렵다.

상술한 차압식 유량계(10)는, 도 1 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 오리피스부재(11)를 사이에 두고 유로(13)의 양측에 베이스부재(14)에 고정한 한쌍의 제1 및 제2압력센서(12A,12B)를 배치하고, 오리피스부재(11)의 상류측 및 하류측에서 발생하는 압력차를 제1 및 제2압력센서(12A,12B)가 측정하여 유량계측을 실시하는 유량계이다.

상기 차압식 유량계(10)는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 내부에 장착한 압력센서소자(압력검출부)(15A,15B)의 근방에 각각 배치되어 센서앰프를 구성하는 개별제어기판(16A,16B)과, 베이스부재(14)에 형성한 기판설치공간(17) 내에 주제어기판(18)을 배치하고 있다. 개별제어기판(16A,16B)과 주제어기판(18)의 사이는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 하우징(19A,19B) 내에 각각 형성한 배선통로(20)를 통과하는 배선(21)(도 4 참조)에 의해 접속됨과 동시에, 개별제어기판(16A,16B) 및 주제어기판(18) 중 어느 하나에 외부배선(22)이 접속되어 있다. 도시한 구성예에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 전원공급라인(22a) 및 유량신호 출력라인(22b)으로 이루어지는 외부배선(22)이 주제어기판(18)에 접속되어 있다. 또한, 도 1에 있어서는, 제2압력측정장치(12B) 측의 배선통로(20)가 파선으로 표시되며, 제1압력측 정장치(12A) 측의 배선통로는 도시가 생략되어 있다.

주제어기판(18)은, 전원회로부(18a)와, 차압검출부(18b)와, 유량환산부(18c)와, 신호출력부(18d)로 구성된다.

전원회로부(18a)는, 전원공급라인(22a)을 통해 외부로부터 전원의 공급을 받아, 주제어기판(18), 개별제어기판(16A,16B) 및 압력센서소자(15A,15B)에 전원을 공급하는 회로이다.

차압검출부(18b)는, 압력센서소자(15A,15B)로부터 각각 압력검출값의 입력을 받아서, 오리피스부재(11)를 사이에 두고 발생한 차압을 산출한다.

유량환산부(18c)는, 차압검출부(18b)에서 산출한 차압을 연산처리하여, 유로(13)를 흐른 유체의 유량으로 환산한다.

신호출력부(18d)는, 유량환산부(18c)로부터 입력된 유량값을 유량신호 출력라인(22b)을 통해 장치제어시퀀서(CU)로 출력한다. 또한, 장치제어시퀀서(CU)는, 예를 들면, 상술한 유량조정장치(5)에 있어서의 제어부(7)에 상당한다.

개별제어기판(16A,16B)은, 전원회로(18a)와 배선(21)을 통해서 전기적으로 접속되어 전원의 공급을 받는다. 또, 개별제어기판(16A,16B)은, 압력센서소자(15A,15B)와도 배선(23)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 따라서, 압력센서소자(15A,15B)는, 개별제어기판(16A,16B)에 의해 전원회로부(18a)로부터 전원의 공급을 받는 것과 동시에, 검출된 압력값의 미소신호를 개별제어기판(16A,16B)에 입력한다. 이 압력검출값은, 개별제어기판(16A,16B)의 센서앰프기능에 의해 증폭되며, 배선(21)을 통해서 차압검출부(18b)에 입력된다.

여기서, 압력센서소자(15A,15B)는, 예를 들면, 다이어프램식의 변형게이지가 사용된다. 이와 같은 압력센서소자(15A,15B)가 출력하는 압력검출값은 미소신호이기때문에, 이 미소신호를 증폭시키는 센서앰프기능을 부여한 개별제어기판(16A,16B)에 대해서는, 주제어기판(18)으로부터 분리하여 압력센서소자와 가능한 한 가까운 위치에 배치하고 있다.

여기서, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 구성을 간단히 설명한다.

제1압력센서(12A)는, 유로(13)가 형성된 하우징(19A)의 상부에 캡(24A)을 씌워서 압력센서소자(15A) 및 개별제어기판(16A)의 수납설치공간(25A)을 형성하고 있다. 하우징(19A)과 캡(24A)의 결합부에는 O링(26)이 설치되고, 또, 압력센서소자(15A)의 유로(13) 측에도 O링(26)을 끼워 장착시켜서, 수납설치공간(25A)의 내부가 액밀상태가 되도록 밀폐하고 있다.

또, 수납설치공간(25A) 내에는, 압력센서소자(15A)의 조정용으로서 트리머 TR이 설치되어 있다. 이 때문에, 캡(24A)에는 트리머 TR의 조정조작용으로서, 시일캡(seal cap)(27)을 부착하여 액밀상태로 한 관통홀이 형성되어 있다.

또, 캡(24A)에는, 상술한 외부배선(22)을 접속하는 케이블너트(28)가 부착되어 있다. 이 케이블너트(28)에는, 외부배선(22)을 액밀로 하여 통과시키는 케이블패킹(29)이 설치되어 있다.

이와 같은 구성에 의해, 개별제어기판(16A) 등의 전기부품이 설치된 수납설치공간(25A)의 내부는, 액밀 상태로 밀폐되어 액체의 침입을 방지할 수가 있다.

한편, 제2압력센서(12B)에 대해서는, 외부배선(22)의 접속이 없는 것 외에 는, 상술한 제1압력센서(12A)와 동일하게 구성된 액밀구조가 된다. 또한, 도면 중의 부호 24B는 캡, 25B는 수납설치공간이다.

제1압력센서(12A) 및 제2압력센서(12B)와 액체수송배관(P)과의 접속부는, 캡너트(30)를 조이는 것에 의해, 배관단부가 외측으로부터 하우징(19A,19B)으로 압박되어 액밀상태로 연결 고정된다.

마찬가지로, 제1압력센서(12A) 및 제2압력센서(12B)와 오리피스부재(11)와의 접속부도, 오리피스용 캡너트(31)를 조이는 것에 의해, 하우징(19A,19B)과 오리피스부재(11)의 사이가 액밀상태로 연결 고정된다.

오리피스부재(11)를 사이에 끼고 연결되어 일체화된 제1 및 제2압력센서(12A,12B)는, 예를 들면, 나사(32)에 의해 베이스부재(14) 상에 고정된다. 이 결과, 제1 및 제2압력센서(12A,12B) 측으로부터 베이스부재(14)의 기판설치공간(17)에 연이어 통하는 배선통로(20)가 형성된다. 이 배선통로(20)를 액밀상태로 하기 위하여, 하우징(19A,19B)의 하부면과 베이스(14)와의 접합부에는, O링(26)이 배치되어 있다. 배선통로(20)는, 필요한 배선(21)을 분할하여 통과하도록, 하우징(19A,19B)마다에 각각 4개씩 설치하고 있다. 이 결과, 각 배선통로(20)의 지름을 작게할 수가 있기 때문에, 하우징(19A,19B)의 형상을 유효하게 이용할 수가 있으며, 배선통로를 형성하기 위하여 하우징을 대형화할 필요가 없다.

또, 베이스부재(14)의 하부면에는, 베이스부재(14)를 도려내서 형성한 기판설치공간(17)을 개폐하기 위하여, 뚜껑부재(33)가 나사(34)에 의해 착탈이 자유롭게 설치되어 있다. 이 뚜껑부재(33)는, 베이스부재(14)와의 접합부에 도시하지 않 는 시일재를 도포하여 액밀상태로 설치된다. 또한, 뚜껑부재(33)를 설치하는 나사(34)의 머리부 주변에 대해서도, 고무캡(35) 등을 씌워서 액밀상태로 한다.

이와 같은 구성에 의해, 전기부품인 주제어기판(18)이 설치된 기판설치공간(17)의 내부는, 액밀상태로 밀폐되어 액체의 침입을 방지할 수가 있다. 또, 베이스부재(14)에 열전도성이 낮은 소재(예를 들면, 불소수지 등)를 사용하면, 주제어기판(18)이 유로(13)를 흐르는 유체로부터 단열되기 때문에, 유체의 온도에 영향을 받지 않는다.

여기서, 차압식 유량계(1)에 있어서, 오리피스부재(11)의 상류측에 있어서의 유체의 압력을 P1, 오리피스부재(11)의 하류측에 있어서의 유체의 압력을 P2로 하고, 오리피스부재(11)에 공급되는 유체의 유량을 Q로 할 때, 다음 식(1)로 나타내는 관계가 성립된다. 따라서, 상술한 유량환산부(18c)에 있어서는, 이 식에 기초하여 차압의 유량환산이 실시된다.

…(1)

또한, 식(1)에 나타내는 비례계수(k)는, 오리피스의 형상이나 홀 지름에 의해 정해지는 정수(定數)이며, 실측에 의해 얻어진다.

이와 같이 구성된 차압식 유량계(10)는, 종래기술에서는 컨트롤러(CR)에 설정되어 있던 제어기능과, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)에 공통되는 제어기능을 주제어기판(18)에 통합하여 설정하고, 제1 및 제2압력센서(12A,12B) 마다에 필요한 최소한의 제어기능, 즉 미소신호를 증폭시키는 앰프기능만을 근방의 개별제어기 판(16A,16B)에 설정할 수가 있다. 이 때문에, 종래에는 별개체였던 컨트롤러(CR)가 주제어기판(18)에 집약되므로 불필요해지고, 또, 주제어기판(18)을 베이스부재(14)에 기판설치공간(17)을 형성하여 설치하였기 때문에, 차압식 유량계(10)의 전체 구성이 소형화된다.

또, 기판설치공간(17)을 베이스부재(14)의 하부면에 배치하여 액밀상태로 하고, 또, 베이스부재(14)의 상부면에 배선통로(20)와 외부와의 사이를 액밀상태로 하여 제1 및 제2압력센서(12A,12B)를 결합시켰기 때문에, 전기부품인 주제어기판(18)을 설치한 기판설치공간(17)의 내부는 물 등의 액체가 침입하지 못하는 액밀구조가 된다.

또한, 배선통로(20)를 복수로 분할하여 형성하였기 때문에, 각 배선통로(20)의 단면적을 작게 함과 동시에 그 수를 증가시키는 것에 의해, 필요로 하는 배선통로(20)의 단면적을 확보하고 있다. 이 때문에, 하우징(19A,19B)을 형성하는 부재의 두께를 유효하게 이용하여 작은 지름의 작은 배선통로(20)를 복수로 형성하는 것에 의해, 차압식 유량계(10)의 소형화를 실현할 수가 있다.

또, 상술한 차압식 유량계(10)는, 예를 들면, 도 5에 나타내는 바와 같이, 다수(도시예에서는 5개)를 병렬로 배치하여 사용하는 반도체 제조장치 등에 있어서, 차압식 유량계(10) 자체의 소형화에 의한 설치스페이스의 삭감뿐 아니라, 종래에 필요로 했던 컨트롤러(CR)의 설치스페이스도 불필요하게 되므로, 설치스페이스의 확보가 용이해져서 레이아웃의 자유도가 증가하고, 장치의 전체를 소형화할 수도 있게 된다.

즉, 본 발명의 차압식 유량계(10)와 같이, 압력센서소자(15A,15B)의 근방에 각각 배치한 개별제어기판(16A,16B) 및 기판설치공간(17) 내에 주제어기판(18)을 배치하고, 양 제어기판(16A,16B 및 18)이 배선통로(20)를 통과하는 배선에 의해 접속됨과 동시에, 제어기판(16A,16B,18) 중 어느 하나에 외부배선(22)을 접속시키는 구성으로 하였기 때문에, 종래에 필요로 했던 컨트롤러(CR)의 제어기능을 주제어기판(18)에 설정하는 것에 의해 별개체의 컨트롤러 제어기능을 일체화하고, 또, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)에 공통되는 제어기능을 주제어기판(18)에 통합시키는 것에 의해, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)마다에 필요한 최소한의 제어기능만을 개별제어기판(16A,16B)에 갖게 할 수가 있게 되어, 차압식 유량계(10)를 소형화하여 설치스페이스의 확보를 용이하게 할 수가 있다.

환언하면, 차압식 유량계(10) 자체가 소형화되는 것 뿐 아니라, 별개체의 컨트롤러(CR)가 주제어기판(18)으로 집약되므로 불필요해지기 때문에, 차압식 유량계(10)를 반도체 제조장치 등의 장치류에 설치할 때에는, 설치스페이스가 작아지기 때문에 장치류를 소형화할 수가 있으며, 또한, 부품점수의 감소 및 배선작업의 감소 등에 의해 설치작업의 공정을 삭감시킬 수가 있다.

또한, 상술한 오리피스부재(11)는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 사이에 교환가능하게 설치된다.

도 1에 나타낸 구성예에서는, 오리피스본체(11)에 고정된 한쌍의 오리피스용 캡너트(31)를 사용하여, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 사이에 착탈이 가능하게 연결되며, 유로(13)와 동일축으로 작은 지름으로 축소된 오리피스유로를 형성하고 있다. 이 경우의 오리피스부재(11)는, 내부의 유로를 유통하는 유체에 오염이 발생하기 어렵고, 또 유체에 의해 침해되기 어려운 재질, 예를 들면, PFA(4불화에틸렌과 퍼플루오로알콕시에틸렌과의 공중합체)에 의해 구성되는 것이 바람직하다.

또, 오리피스부재(11)는, 작은 지름으로 축소된 오리피스유로의 양단이 경사면으로 되어, 유체가 원활하게 오리피스유로에 유도됨과 동시에, 오리피스유로를 통과한 유체가 체류하지 않고 하류측으로 밀려 나가기 때문에, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)와의 경계에 있어서의 유체의 체류가 발생하기 어렵다.

또, 상술한 교환가능한 오리피스부재(11)에 대해서는, 도 1에 나타낸 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 이하에 설명하는 여러가지 실시형태 및 변형예가 있다.

<제1실시형태>

도 7 및 도 8에 나타내는 제1실시형태의 오리피스부재(11A)는, 일단이 제1압력센서(12A)에 접속되고, 타단이 제2압력센서(12B)에 접속되어, 내부가 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 사이를 접속하는 유로를 구성하는 튜브부(41)와, 이 튜브부(41) 내에 설치되는 오리피스(42)가 일체적으로 형성된 구성으로 된다.

도시하는 예에 있어서, 오리피스부재(11A)는, 튜브부(41)의 길이방향의 중앙부(41a)만이 중실(속이 찬)로 된 대략 원통형상을 하고 있으며, 길이방향의 중앙부(41a)에는, 길이방향의 일단측으로부터 타단측까지 관통하는 오리피스유로의 가는 홀(41b)이, 튜브부(41)의 축선과 동일 중심으로 형성되어 있으며, 이 길이방향의 중앙부(41a)에 의해 오리피스(42)가 구성되어 있다.

즉, 상기 오리피스부재(11A)는, 튜브부(41)와 오리피스(42)가 하나의 부재로 되어 있고, 튜브부(41)와 오리피스(42)의 사이에, 유체가 체류하는 요인이 되는 이음매가 없다.

이 때문에, 상기 오리피스부재(11A)에서는, 유로에 유통시키는 유체를 교체할 때에, 유로 내에 잔류하고 있는 유체가, 새롭게 유로 내로 공급되는 유체에 의해 확실하게 밀려나오게 되어, 유로 내의 유체를 신속하게 치환시킬 수가 있다.

또, 상기 오리피스부재(11A)에서는, 튜브부(41)와 오리피스(42)가 일체적으로 형성되어 있기 때문에, 부품점수가 적어지고, 제조가 용이함과 동시에, 유로 내에 O링 등의 오염의 요인이 되는 부재를 배치하지 않아도 된다.

여기서, 이와 같은 오리피스부재(11A)는, 성형형틀을 사용하여 사출성형 등에 의해 제작하는 방법 외에, 기계가공(절삭 등)에 의해 제작할 수가 있다.

튜브부(41)의 내면과 가는 홀(41b)의 내면과의 사이는, 튜브부(41)의 길이방향의 단부로부터 길이방향의 중앙으로 오면서 축경되는 테이퍼면(41c)에 의해 접속되어 있다. 즉, 튜브부(41)의 내면과 가는 홀(41b)의 내면과의 사이는, 튜브부(41) 내의 유체의 흐름에 따른 경사면으로 되어 있기 때문에, 튜브부(41) 내에서 길이방향의 중앙부(41a)에 도달한 유체가 원활하게 가는 홀(41b)로 유도됨과 동시에, 가는 홀(41b)을 통과한 유체가 체류하지 않고 하류측으로 밀려나가기 때문에, 오리피스(42)와 튜브부(41)와의 경계에 있어서의 유체의 체류가 발생하기 어렵다.

튜브부(41)의 각 단부에는, 튜브부(41)의 단부가 삽입 관통되는 오리피스용 캡너트(31)와, 튜브부(41)의 단부 내에 삽입되어 튜브부(41)의 단부 근방 부분을 지름방향의 바깥으로 넓혀서 튜브부(41)의 단부에 확경부(41d)를 형성하는 슬리브(36)가 형성되어 있다.

오리피스용 캡너트(31)는, 내주면에 암나사부(31a)가 형성되고, 암나사부(31a)보다도 튜브부(41)의 길이방향의 중앙부(41a)측에는, 오리피스용 캡너트부(31)의 지름방향 내측으로 돌출하여 확경부(41d)와 결합하는 결합돌부(31b)가 형성되어 있다. 본 변형예에서는, 결합돌부(31b)는, 오리피스용 캡너트(31)의 내주 전체 둘레에 걸쳐서 형성되는 내부플랜지로 되어 있다.

슬리브(36)는, 내부가 유로를 구성하는 대략 원통형상의 부재이며, 일단을 튜브부(41)의 단부로부터 돌출시킨 상태로 하여 튜브부(41)에 삽입되어 있다.

슬리브(36)에 있어서 튜브부(41)의 단부로부터 돌출되는 단부(이하「돌출단」이라고 한다)는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 접속단과 결합하는 형상을 이루는 결합부(37)로 되어 있다. 이 경우, 결합부(37)는, 슬리브(36)의 유로의 개구단을 둘러싸고 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 접속단의 단면과 면접촉하는 대략 원환형상의 맞접하는 면(37a)과, 맞접하는 면(37a)보다 돌출된 상태로 형성된 맞접하는 면(37a)의 주위를 둘러싸는 원통부(37b)를 가지고 있다.

또, 슬리브(36)에 있어서 튜브부(41) 내에 삽입되는 단부에는, 튜브부(41)를 지름방향의 바깥측으로 넓히는 확경부(36a)가 형성되어 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 제2압력센서(12B)는, 내부가 유체수송배관(P)과 오리피스부재(11A)를 접속시키는 유로를 구성하는 하우징(19B)과, 이 하우징(19B) 내의 유체의 압력을 측정하는 압력센서소자(도시하지 않음)를 가지고 있다.

하우징(19B)은, 그 내부의 유로의 오리피스부재(11A)와의 접속단에, 유로의 개구단을 둘러싸고 오리피스부재(11A)의 슬리브(36)의 맞접하는 면(37a)과 면접촉하는 대략 원환형상의 맞접하는 면(38a)과, 맞접하는 면(37a)보다 돌출한 상태로 형성되어 맞접하는 면(37a)의 주위를 둘러싸는 원통부(38b)와, 맞접하는 면(37a)과 원통부(37b)와의 사이에 형성되어 오리피스부재(11A)의 원통부(37b)가 삽입되는 원환형상의 오목부(38c)를 가지고 있다.

원통부(37b)의 외주면에는, 오리피스부재(11A)의 오리피스용 캡너트(31)의 암나사부(31a)가 나사결합되는 수나사부(38d)가 형성되어 있다.

이와 같이 구성되는 오리피스부재(11A)는, 튜브부(41)의 길이 방향의 한쪽 단부를 제2압력센서(12B)의 유로의 접속단에 대향시킨 상태로, 이 단부가 삽입 관통된 오리피스용 캡너트(31)를 제2압력센서(12B)의 하우징(19B)의 원통부(38b)에 형성된 수나사부(38d)에 결합시켜서, 오리피스용 캡너트(31)를 조여가는 것에 의해, 이 단부로부터 돌출된 슬리브(36)의 결합부(37)가, 오리피스용 캡너트(31)와 함께 하우징(19B)에 상대적으로 근접하게 된다. 이 오리피스용 캡너트(31)를 충분히 조인 상태에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 슬리브(36)의 결합부(38)를 구성하는 맞접하는 면(37a)과 하우징(19B)의 맞접하는 면(38a)이 면접촉한 상태로 압박되고, 슬리브(36)의 결합부(37)를 구성하는 원통부(37b)가 하우징(19B)의 오목부(38c)내에 삽입되며, 이에 의해 결합부(37)와 하우징(19B)이 기밀, 액밀상태로 결합한 상태가 되어 고정된다.

한편, 오리피스용 캡너트(31)를 헐겁게 풀면, 결합부(37)와 하우징(19B)과의 고정은 해제된다.

오리피스부재(11A)와 제1압력센서(12A)와의 접속조작 및 분리조작도, 상기한 오리피스부재(11A)와 제2압력측정장치(12B)와의 접속조작, 분리조작과 동일하다.

즉, 이 차압식 유량계(10)에 있어서, 오리피스부재(11A)는, 오리피스용 캡너트(31)를 조작하는 것에 의해, 양측의 압력센서와의 접속 및 분리를 용이하게 실시할 수가 있다.

여기서 설명한 제1실시형태에 있어서는, 슬리브(36)가 결합부(37)를 가지고 있는 구성으로 하였으나, 예를 들면, 도 9 및 도 10에 나타내는 제1변형예의 오리피스부재(11B)와 같이, 슬리브(36) 대신에, 결합부(37)를 갖지 않는 링형상의 슬리브(36A)를 튜브부(41)의 단부보다 안쪽까지 삽입하고, 이에 의해 튜브부(41)에 확경부(41d)를 형성하여도 좋다.

이 경우에는, 튜브부(41)의 단부에 의해 결합부(37)가 구성된다(단, 원통부(37b)는 없어지고, 튜브부(41)의 단부가 맞접하는 면(37a)으로서 기능한다). 또, 제1압력측정장치(12) 및 제2압력측정장치(13)는, 상기의 하우징(31) 대신에, 하우징(31)으로부터 오목부(31c)를 삭제한 구성의 하우징(19B)을 갖는 구성으로 된다.

<제2실시형태>

상술한 오리피스부재(11)의 제2실시형태를, 도 11 및 도 12를 참조하여 설명한다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 오리피스부재(11C)는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)와의 접속구조가 다르다. 또한, 상술한 실시형태와 동 일하거나 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 나타내고, 그 상세한 설명을 생략한다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 오리피스부재(11C)는, 제1실시형태에 나타낸 오리피스부재(11A)에 있어서, 튜브부(41) 및 슬리브(27) 대신에, 오리피스용 캡너트(31)에 삽입 관통되는 각 단부가, 유연성을 가지며 또한 다른 부분보다 확경되어 내부에 제1압력센서(12A) 또는 제2압력센서(12B)의 후술하는 접속단을 수용하는 확경부(43)가 되며, 오리피스용 캡너트(31)의 결합돌부(31b)가, 이 확경부(43)에 결합하는 구성으로 된 튜브부(41A)를 사용한 것을 주된 특징으로 하는 것이다.

여기서, 튜브부(41A)의 단부는, 유연성을 가지고 있어서 변형이 가능하기 때문에, 오리피스용 캡너트(31)에 용이하게 삽입 관통할 수가 있다.

제1압력센서(12A)는, 제1실시형태에 나타낸 맞접하는 면(38a) 및 오목부(38c)를 없애고, 원통부(38b)의 선단에, 튜브부(41A)의 확경부(43) 내에 삽입되는 삽입부(38e)를 형성한 것을 주된 특징으로 하는 것이다. 또, 제2압력센서(12B)에 대해서도, 제1압력센서(12A)와 동일한 구성으로 한다.

이와 같이 구성되는 차압식 유량계(10)는, 오리피스부재(11C)의 튜브부(41A)의 각 단부를 각각 제1압력센서(12A), 제2압력센서(12B)의 삽입부(38e)에 대향시키고, 이들 삽입부(38e)를 튜브부(41A)의 확경부(43) 내에 삽입한다. 확경부(43)는, 이와 같이 내부에 삽입부(38e)를 수용하는 것에 의해, 그 변형이 규제되어, 오리피스용 캡너트(31)의 내주면에 형성된 결합돌부(31b)와 결합하도록 되어 있다.

이와 같이 확경부(43)에 삽입부(38e)를 삽입한 상태에서, 튜브부(41A)가 삽 입 관통된 오리피스용 캡너트(31)를 제1압력센서(12A) 및 제2압력센서(12B)의 원통부(38b)에 형성된 수나사부(38d)에 결합시켜서, 오리피스용 캡너트(31)를 조여서, 튜브부(41A)의 확경부(43)가 오리피스용 캡너트(31)와 함께 원통부(38b)에 상대적으로 근접하게 된다. 이 오리피스용 캡너트(31)를 충분히 조인 상태에서는, 튜브부(41A)의 확경부(43)와 삽입부(38e)가, 기밀, 액밀상태로 결합한 상태가 되어 고정된다.

한편, 오리피스용 캡너트(31)를 헐겁게 풀어서, 튜브부(41A)의 단부와 각 압력센서(12A,12B)의 접속단과의 고정이 해제된다.

즉, 이 오리피스부재(11C)에서는, 오리피스용 캡너트(31)를 조작하는 것에 의해, 각 압력센서(12A,12B)와의 접속과 분리를 용이하게 실시할 수가 있다.

<제3실시형태>

본 발명에 있어서의 오리피스부재(11)의 제3실시형태를, 도 13 및 도 14를 참조하여 설명한다.

본 실시형태에 있어서의 오리피스부재(11D)는, 제1실시형태에서 나타낸 오리피스부재(11)와, 제1, 제2압력센서(12A,12B)와의 접속구조가 다르게 되어 있다. 이하, 제1실시형태와 동일하거나 또는 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 나타내고, 상세한 설명을 생략한다.

오리피스부재(11D)는, 제1실시형태에서 나타낸 오리피스부재(11)에 있어서, 튜브부(41) 및 슬리브(36) 대신에, 오리피스용 캡너트(31)에 삽입 관통되는 각 단부가, 강성(剛性)을 갖는 것과 동시에 그 외주면에 확경부(44)가 형성되며, 오리피 스용 캡너트(31)의 결합돌부(31b)가, 이 확경부(44)에 결합하는 구성으로 한 튜브부(41B)를 사용한 것을 주된 특징으로 하는 것이다.

또, 튜브부(41B)의 단부에는, 제1실시형태에서 나타낸 슬리브(36)와 마찬가지로, 결합부(37)를 구성하는 맞접하는 면(37a) 및 원통부(37b)가 일체적으로 형성되어 있다.

여기서, 이 오리피스부재(11D)에서는, 튜브부(41B)의 확경부(44)의 형상과 오리피스용 캡너트(31)의 결합돌부(31b)의 형상 중 적어도 어느 한쪽을, 오리피스용 캡너트(31)에 튜브부(41B)의 단부를 삽입할 때에, 오리피스용 캡너트(31)가 확경부(44)를 넘어가기 쉽고, 또 오리피스용 캡너트(31)의 체결력이 확실하게 확경부(44)에 전달되도록 하는 형상으로 하는 것이 바람직하다.

본 실시형태에서는, 튜브부(41B)의 확경부(44)는, 튜브부(41B)의 단부측이, 단부를 향함에 따라서 점차 축경되고, 튜브부(41B)의 길이방향 중앙측에서는 축선에 대하여 대략 직교하는 면을 이루는 형상으로 되어 있다.

또, 오리피스용 캡너트(31)의 결합돌부(31b)는, 오리피스용 캡너트(31)의 축선방향의 암나사부(31a)측이 축선에 대하여 대략 직교하는 면을 이루며, 오리피스용 캡너트(31)의 축선방향의 암나사부(31a)와는 반대의 측이 암나사부(31a)로부터 축선방향으로 이간함에 따라서 점차 축경하는 형상으로 한다.

이와 같이 구성되는 오리피스부재(11D)는, 제1실시형태에서 나타낸 오리피스부재(11)와 동일한 수순으로, 제1, 제2압력센서(12A,12B)에 접속된다. 또, 상기 오리피스부재(11D)와 제1, 제2압력센서(12A,12B)와의 접속구조는, 제1실시형태에서 나타내는 오리피스부재(11)와 제1, 제2압력센서(12A,12B)와의 접속구조가 동일하다.

여기서, 본 실시형태에서는, 단부에 원통부(37b)가 일체적으로 형성된 튜브부(41B)를 사용한 예를 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 도 15 및 도 16에 나타내는 제1변형예와 같이, 원통부(37b)를 가지고 있지 않는 튜브부(41C)를 사용하여도 좋다.

이 경우에는, 제1, 제2압력센서(12A,12B)의 각각의 하우징(19a,19B)은, 도 16에 나타내는 바와 같이 오목부(38c)를 삭제한 구성으로 할 수가 있다.

<제4실시형태>

본 발명에 있어서의 유량조정장치의 제4실시형태를 도 17을 참조하여 설명한다.

본 실시형태에 있어서의 오리피스부재(11F)는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)와의 접속구조가 다르게 되어 있는 것이다.

오리피스부재(11F)는, 제1실시형태에서 나타낸 오리피스부재(11)와 제1 및 제2압력측정장치(12A,12B)와의 접속부의 구조를, 서로 교체한 것을 주된 특징으로 하는 것이다. 구체적으로 설명하면, 오리피스부재(11F)는, 제1실시형태에서 나타낸 오리피스부재(11)에 있어서, 오리피스용 캡너트(31) 및 슬리브(36)를 없애고, 튜브부(41) 대신에, 도 17에 나타내는 구성의 튜브부(41D)를 사용한 것을 주된 특징으로 하는 것이다.

튜브부(41D)는, 제1실시형태에 나타낸 튜브부(41)에 있어서, 양단이 강성을 갖는 구성으로 되고, 또, 각 단부가, 각각 유로의 개구단을 둘러싸는 대략 원환형상의 맞접하는 면(38a)과, 맞접하는 면(38a)보다 축선방향으로 돌출한 상태로 형성되어 맞접하는 면(38a)의 주위를 둘러싸는 원통부(38b)와, 맞접하는 면(38a)과 원통부(38b)와의 사이에 형성되는 원환형상의 오목부(38c)를 갖는 구성으로 한 것이다. 여기서, 원통부(38b)의 외주면에는, 수나사부(38d)가 형성되어 있다.

제1압력센서(12A) 및 제2압력센서(12B) 측에서는, 제1실시형태에 나타낸 맞접하는 면(38a), 원통부(38b), 오목부(38c), 및 수나사부(38d)를 설치하는 대신에, 하우징(19A,19B)으로부터 인출되는 튜브부(39)와, 이 튜브부(39)의 단부가 삽입 관통되는 오리피스용 캡너트(31)와, 튜브부(39)의 단부 내에 삽입되어 튜브부(39)의 단부 근방 부분을 지름 방향의 바깥측으로 넓혀서 튜브부(39)의 단부에 확경부(39a)를 형성하는 슬리브(36B)를 형성한 구성으로 되어 있다.

여기서, 슬리브(36B)에는, 제1실시형태와 마찬가지로, 슬리브(36B)의 유로의 개구단을 둘러싸고 제1 및 제2압력센서(12A,12B)의 접속단의 단면과 면접촉하는 대략 원환형상의 맞접하는 면(37a)과, 맞접하는 면(37a)보다 돌출한 상태로 형성되어 맞접하는 면(37a)의 주위를 둘러싸는 원통부(37b)로 이루어지는 결합부(37)가 형성되어 있다.

이와 같이 구성되는 오리피스부재(11F)는, 제1압력센서(12A) 및 제2압력센서(12B)와, 제1실시형태와 동일한 접속방법에 의해 접속된다(단, 접속구조의 암·수가 역전되어 있다).

여기서, 본 실시형태에 있어서, 오리피스부재(11F)는, 튜브부(41D) 대신에, 도 18에 나타내는 제1변형예와 같이, 튜브부(41F)로부터 오목부(38c)를 삭제한 구성의 튜브부(41E)를 갖는 구성으로 하여도 좋다.

이 경우에는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)에서는, 결합부(37)를 갖지 않는 링형상의 슬리브(36A)가 튜브부(41F)의 단부보다 안쪽까지 삽입되고, 이에 의해 튜브부(41F)에 확경부(39a)가 형성된다. 또, 튜브부(39)의 단부에 의해 결합부(37)가 구성된다(단, 원통부(37b)는 없어지고, 튜브부(96)의 단부가 맞접하는 면(28a)으로서 기능한다).

또, 본 실시형태에 있어서, 오리피스부재(11G)는, 튜브부(41D) 대신에, 도 19에 나타내는 제2변형예와 같이, 튜브부(41D)에 있어서 맞접하는 면(38a) 및 오목부(38c)를 없애고, 원통부(38b)의 선단에 튜브부(39)의 확경부(39a) 내에 삽입되는 삽입부(38e)를 형성한 구성의 튜브부(11G)를 갖는 구성으로 하여도 좋다.

이 경우에는, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)에서는, 슬리브(36B)를 없애고, 그 단부가 유연성을 가지며, 또한, 다른 부분보다 확경되어, 내부에 오리피스부재(11G)의 튜브부(41E)의 후술하는 접속단을 수용하는 확경부(39a)로 된 튜브부(39A)가 사용되며, 오리피스용 캡너트(31)의 결합돌부(31b)가, 상기 확경부(39a)에 결합하는 구성으로 된다.

여기서, 튜브부(39A)의 단부는 유연성을 가지고 있어서 변형이 가능하므로, 용이하게 오리피스용 캡너트(31)에 삽입 관통할 수가 있다.

여기서, 상기 각 실시형태에서는, 오리피스부재의 양단의 접속구조가 각각 웅성(雄性)인 경우와 자성(雌性)인 경우를 나타내었으나, 이들에 한정되는 것은 아 니며, 오리피스부재의 일단의 접속구조를 웅성으로 하고, 타단의 접속구조를 자성으로 하여도 좋다.

또, 상술한 차압식 유량계(10)는, 차압을 환산한 유량측정값을 출력하여도 좋으나, 제1 및 제2압력센서(12A,12B)에서 검출한 압력의 검출값을 그대로 출력할 수도 있다.

또한, 본 발명은 상술한 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적당히 변경할 수가 있다.

본 발명에 의하면, 전체를 소형화함과 동시에 배선을 저감시킬 수 있는 차압식 유량계를 제공할 수가 있다.

Claims (3)

1. 오리피스부재를 사이에 끼고 유로의 양측에 베이스부재에 고정시킨 한쌍의 압력검출수단을 배치하고, 상기 오리피스부재의 상류측 및 하류측에서 발생하는 압력차를 상기 압력검출수단이 측정하여 유량계측을 실시하는 차압식 유량계에 있어서,

   상기 압력검출수단 내에 설치된 압력검출부의 근방에 각각 배치한 개별제어기판과, 상기 베이스부재에 형성한 기판설치공간 내에 주제어기판을 설치하여, 상기 개별제어기판과 상기 주제어기판과의 사이를 상기 압력검출수단의 하우징 내에 형성한 복수의 배선통로를 통과하는 배선에 의해 접속시키는 것과 동시에, 상기 개별제어기판 및 상기 주제어기판 중 어느 하나에 외부배선을 접속시키는 것을 특징으로 하는 차압식 유량계.
2. 제1항에 있어서,

   상기 기판설치공간을 상기 베이스부재의 하부면에 배치하여 액밀상태로 하고, 또한, 상기 베이스부재의 상부면에 상기 배선통로와 외부와의 사이를 액밀상태로 하여 상기 압력검출수단을 결합하는 것을 특징으로 하는 차압식 유량계.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 배선통로를 복수로 분할하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 차압식 유량계.

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