KR19990063011A

KR19990063011A - 유량조절밸브부착 유량검출기

Info

Publication number: KR19990063011A
Application number: KR1019980054552A
Authority: KR
Inventors: 신지 미야조에
Original assignee: 다까다 요시유끼; 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 1997-12-11
Filing date: 1998-12-11
Publication date: 1999-07-26
Also published as: TW370191U; CN1225446A; EP0922940B1; DE69832460T2; JPH11173883A; DE69832460D1; KR100310026B1; US6076551A; CN1128988C; JP4042190B2; EP0922940A1

Abstract

반도체제조장치 등의 깨끗한 환경으로서 사용하기에 효과적인 유량계측과 유량조절을 일체화한 기기에 있어서 행하도록 한 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공한다. 내부를 관통하는 유체유로(2)를 가지고, 상기 유체유로에 유량센서(10)의 검출부(11)를 배치하여 설치한 유량검출기본체(1)와 상기 유량검출기본체(1)에 있어서의 유체유로(2)에 연달아 통하는 입출력유로(4,6)를 가지는 입력블록(3) 및 출력블록(5)을 구비한다. 출력블록(5)에는 유량조절밸브(21)를 설치한다. 유량검출기본체(1)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)은 그들에 설치한 유로(2,4,6)를 시일부재(16a,16c)를 통해서 접합하고, 상기 유로로부터 밖으로 된 위치에 있어서, 나사(20)에 의해 고정적으로 연결된다.

Description

유량조절밸브부착 유량검출기

본 발명은 반도체 제조장치 등의 깨끗한 환경에 있어서 사용하기에 효과적인 유량조절밸브부착 유량검출기에 관한 것이다.

일반적으로 유로를 흐르는 유체의 유량을 검출하기 위한 유량센서는 각종 유체기기 내에 들어가 있고, 또한, 이들이 독립된 기기로서 제공되는 것이다. 범용성이 있는 후자의 기기로서 제공된 유량센서는 일반적으로 입력측 및 출력측에 배관을 접속하는 필요가 있고, 더욱이 유량조절밸브를 직렬적으로 연결하여 사용하지만, 극단으로 이물의 혼입을 피하고, 반도체제조설비 등에 있어서는 이들의 배관의 접속이나 교환에 따라서 미세한 이물이 발생하지 않도록 접속수단을 사용할 필요가 있고, 예를 들면, 관 끝에 나사를 설치하여 나사를 접속하는 것은 나사의 나사결합, 나사이탈에 따라서 나사부에 미세 분말이 발생하는 가능성이 높으므로 사용할 수 없다.

또한, 상기 유량센서에서는 유량의 검출정도를 향상시키기 위해 유량센서의 검출부를 배치하여 설치하는 유체유로를 복잡화하지 않고, 그 검출부의 전후를 함유하여 부드럽게 하고, 그들에 의해 상기 검출부 부근에 있어서 유체의 흐름을 원활화하는 것이 필요하고, 더욱이 이 유량센서를 장착해야만 하는 다른 기기에 대해서도 거침없는 유로에 용이하게 장착할 수 있는 것이 요구되어진다.

본 발명의 기술적과제는 상술한 과제에 대처하고, 범용성이 있는 유량센서로서 미리 유량조절밸브를 부착하는 것에 의해 유량계측과 유량조절을 일체화된 기기에 있어서 행하도록 하는 것과 함께 생략된 공간으로 각종 기기에 용이하게 부착되어 사용할 수 있도록 한 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 기술적 과제는 유량검출기본체와 유량조절밸브를 내장한 블록을 미리 일체화하여, 유체의 유로구성이 원활화된 것으로서 이들에 의해 유체의 흐름이 원활하게 되므로 유량의 검출정도의 향상을 도모하도록 한 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 기술적 과제는 유량검출기를 조립하고, 부품교환할 때에도, 나사의 착탈 등에 따라서 발생하는 미분이 유로내에 남아있지 않고, 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 유량조절밸브 부착 유량검출기는 내부를 관통하는 유체유로를 가지고, 상기 유로에 유량센서의 검출부를 배설한 유량검출기본체와 상기 유량검출기본체에 있어서의 유체유로에 연달아 통하는 입출력유로를 가지고, 유량검출기본체에 대해서 그 유체유로의 입력측 및 출력측에 부착된 입력블록 및 출력블록과 상기 입력블록 및 출력블록의 각각이 한쪽 또는 양쪽으로 설치되고, 이들의 유로를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량조절밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 유량조절밸브부착 유량검출기에 있어서는 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록을 이들에 설치한 유로를 시일부재를 통해서 접합하고, 상기 유로로부터 밖으로 된 위치에 있어서 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록을 연결수단에 의해 고정적으로 연결하는 것이 효과적이다. 또한, 유량검출기본체 내를 관통하는 유체유로 및 상기 유량검출기본체와 접합부에 있어서의 입력블록과 출력블록의 입출력 유로를 단면형상이 대략 한형태로 직선적인 것으로서 상기 입력블록과 출력블록의 입출력 유로를 개구시켜 이들을 다른 기기에 부착하는 부착면을 상기 유량검출기기 본체에 있어서 유체유로의 축선으로 평행한 면으로 한 것이 효과적이다.

상기 구성을 가지는 본 발명의 유량조절밸브부착 유량검출기는 입력블록에 있어서 입력유로를 유체공급원으로 접속하고, 출력블록의 출력유로를 상기 유체의 공급을 받은 부분에 연달아 통하게 하여, 입력유로로부터의 유체의 유량을 유량센서의 검출부에서 검출하고, 입력블록 또는 출력블록에 설치한 유량조절밸브에 있어서 유량조절로서 출력유로로부터 출력되어지는 것이다.

그리고, 이 유량조절밸브부착 유량검출기에 있어서는 유량검출기본체의 입력측 및 출력측에 입력블록 및 출력블록을 부착하여 일체화하고, 상기 입력블록 및 출력블록의 한쪽 또는 양쪽으로 유량조절을 설치하는 것으로 유량계측과 유량조절을 콤팩트로 일체화한 기기로서 행할 수 있고, 더욱이, 상기 입력블록과 출력블록에 있어서는 유로를 외측으로 개구시킨 다른 기기로의 부착면을 유량검출기본체에 있어서 직선적인 유체유로의 축선으로 평행한 면으로 하여, 각종 기기에 있어서의 부착면에 상기 입력블록과 출력블록의 입출력유로에 대응하는 개구를 설치하는 것에 의해 생략된 공간에서 용이하게 부착하여 사용할 수 있고, 따라서, 범용성이 있는 유량검출기로서 효과적인 것이다.

또한, 유량검출기본체와 입력 및 출력블록을 미리 일체화하여, 이들에 설치한 유로를 시일부재를 통해 접합하고, 더욱이, 유량검출기본체 내를 관통하는 유체유로 및 상기 유량검출기본체의 접합부에 있어서의 입력블록과 출력블록의 입출력유로를 단면형상이 대략 한 형태로 직선적인 것으로 되므로 유체의 유로구성이 원활화되는 것이고, 이들에 의해 유체의 흐름이 원활하게 되므로 유량의 검출정도의 향상을 도모할 수 있다. 더욱이, 유량검출기본체와 입력 및 출력블록을 이들에 설치한 유로를 시일부재를 통해 접합하고, 상기 유로로부터 밖으로 된 위치에 있어서 연결수단에 의해 고정적으로 연결하므로, 유량검출기를 조립하고 부품교환할 때에도, 나사의 착탈 등에 따라서 발생하는 미세 분말이 유로 내에 남아있지 않다.

도 1은 본 발명에 관한 유량조절밸브부착 유량검출기의 실시예를 나타내는 단면도이다.

도 2는 동분해투시도이다.

- 부호의 설명 -

1 … 유량검출기본체 2 … 유체유로

3 … 입력블록 4 … 입력유로

5 … 입력블록 6 … 출력유로

10 … 유량센서 11 … 검출부

16a,16c… 시일부재 21 … 유량조절밸브

27,28 … 부착면

도1 및 도2는 본 발명에 관한 유량조절밸브 부착 유량검출기의 실시예를 나타낸다.

이 유량조절밸브부착 유량검출기는 기본적으로는 내부를 관통하는 유체유로(2)를 가지는 유량검출기본체(1)와 상기 유량검출기본체(1)에 있어서 유체유로(2)의 입력측에 부착되어 내부에 입력유로(4)를 가지는 입력블록(3)과 상기 유체유로(2)의 출력측에 부착되어 내부에 출력유로(6)를 가지는 출력블록(5)에 의해 구성된다.

상기 유량검출기본체(1)는 유량센서(10)를 구비하고, 이 검출부(11)를 내부의 유체유로(2) 중에 배치하여 설치한 것으로, 상기 검출부(11)는 프린트기판(12)을 통하여, 유량계측장치에 접속하기 위해 전기커넥터(13)에 배선접속하고 있다. 상기 유량센서(10)로서는 여기서는 검출부(11)에 있어서 유체유로(2) 중을 흐르는 유체의 열을 검출하여 유량을 구하는 타입인 것을 나타내지만, 소용돌이식의 유량센서를 사용할 수도 있다.

상기 유량검출기본체(1)에 부착된 입력블록(3) 및 출력블록(5)에 있어서의 상기 입출력유로(4,6)는 각각 유량검출기본체(1)에 있어서의 유체유로(2)의 입력측 및 출력측에 연달아 통하는 것이다. 유량검출기본체(1)에 대해서 상기 입력블록(3) 및 출력블록(5)을 연결하는 연결부에 있어서는 유량검출기본체(1)에 있어서의 유체유로(2)의 입력측 단부에 필터(14a,14b)를 각각 삽입한 링(15a,15b)에서 고정시켜 부착함과 동시에, 그 주위에 시일부재(16a)를 배치하여 설치하고, 또한, 유체유로(2)의 출력측단부에도 필터(14c)를 삽입한 링(15c)으로 고정하여 부착함과 동시에, 이 주위에 시일부재(16c)를 배치하여 설치하고 있다.

그 결과, 유량검출기본체(1)의 유체유로(2)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)의 입출력유로(4,6)는 상기 시일부재(16a,16c)를 통해 접합하고, 그들의 유로(2,4,6)로부터 밖으로 된 입출력블록(3,5)의 주변위치에 있어서, 유량검출기본체(1)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)를 나사(20)에 의해 연결한다. 또한, 상기 유량검출기본체(1)와 입력블록(3) 및 출력블록(5)를 연결하는 연결수단으로서는 상술한 나사(20)에 한정되지 않고, 유로(2,4,6)로부터 밖으로 된 위치에 있어서 이들을 고정적으로 연결하는 임의의 수단을 사용할 수 있다.

상기 출력블록(5)에는 이 출력유로(6)를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량조절밸브(21)를 설치한다. 도1에 있어서, 이 유량조절밸브(21)로서는 선단을 출력유로(6)의 밸브자리(23)에 대향시켜, 시일부재(24)를 통해서 출력블록(5)에 나사 결합한 니들(22)을 구비하고, 이 니들(22)을 록너트(25)에 의해 고정되도록 한 교축밸브를 나타내지만, 다른 구조를 채용할 수도 있다. 또한, 여기서는 출력블록(5)에 상기 유량조절밸브(21)를 설치한 경우를 나타내지만, 입력블록(3)에 이들을 설치하고, 또한 입력블록(3) 및 출력블록(5)의 양쪽에 이들을 설치할 수도 있다.

상기 유량검출기본체(1) 내의 유체유로(2)에 있어서, 흐름을 원활하게 하여 유량의 검출정도의 향상을 도모하기 때문에 상기 유량검출기본체(1)의 접합부에 있어서의 유체유로(2)는 단면형상이 대략 한 형상으로 직선적인 것으로 되고, 또한, 유량검출기본체(1)의 접합부에 있어서의 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)도, 단면형상이 유체유로(2)와 대략 한형상으로 직선적인 것이다. 단, 상기 입력블록(3)과 출력블록(5)에 있어서의 입출력유로(4,6)는 유량검출기본체(1)에 있어서의 유체유로(2)의 축선으로 평행한 부착면(27,28)에 있어서의 다른 기기에 부착되도록 하여 그 취급을 용이하게 하기 때문에 입출력블록(3,5) 내에 있어서 직각으로 굴곡시킬 필요가 있다. 이 때문에, 유량조절밸브(21)를 부착하지 않은 입력블록(3)에 있어서는 입력유로(4)를 원할하게 원활하게 하여 만곡시켜서 그 단부를 부착면(27)으로 개구시키고, 한편, 유량조절밸브(21)를 부착한 출력블록(5)에 있어서는 특히 유로(6)를 복잡화하지 않고, 유량조절밸브(21)의 출력측을 부착면(28)에 개구시킨다.

상기 유량검출기본체(1) 및 출력블록(3,5)로 이루어진 유량조절밸브부착 유량검출기는 유량검출기본체(1)에 있어서의 유체유로(2)의 축선으로 평행한 부착면(27,28)을 다른 기기에 부착하여 사용하는 것이고, 상기 유량검출기를 부착하는 기기에는 유로(4,6)에 대응하는 개구를 설치하고, 출력블록(3,5)은 그들에 설치한 부착자리(29,30)(도2)를 나사로 대상 기기에 부착하면 좋고, 그들에 의해 유량검출기의 부착과 배관을 동시에 완료할 수 있다.

또한, 도1에서는 복수의 유량조절밸브부착 유량검출기를 연달아 설치하기 때문에 입출력블록의 부착면(27,28)을 거기에 개설한 입출력유로(4,6)에 대응하는 입력개구(36) 및 출력개구(37)를 구비한 매니폴드블록(35)에 대하여 시일부재(38)를 통해서 부착한 상태를 나타내고 있다. 이 매니폴드블록(35)은 입력개구(37)가 연달아 통하는 입력공통로(39)에 있어서, 저면에 직교하는 방향으로 병성한 복수의 매니폴드블록(35)에 있어서의 입출력구(36)를 연달아 통하게 하여, 공통의 유체공급원에 연달아 통과시키는 것이고, 또한, 매니폴드블록(35)의 출력개구(37)는 각각의 유량조절밸브부착 유량검출기에 의해 개별적으로 유량을 검출함과 동시에, 유량조절된 유체가 출력되어지는 것이다.

도면 중, 참조부호 40은 출력개구(37)를 원하는 부분에 연달아 통과시키기 위한 관이음매, 참조부호 41은 복수의 매니폴드블록(35)을 상호 연결하기 위한 결합볼트용 구멍을 나타낸다.

상기 구성을 가지는 유량조절밸브부착 유량검출기에 있어서는 유량검출기본체(1)의 입력측 및 출력측에 입력블록(3) 및 출력블록(5)를 부착하여 이들을 일체화하고, 출력블록(5)에 유량조절밸브(21)를 설치하므로, 유량계측과 유량조절을 콤팩트하게 일체화한 기기에 의해서 행할 수 있고, 또한, 상기 입력블록(3)과 출력블록(5)에 있어서 유로(4,6)를 개구시킨 부착면(27,28)을 유량검출기본체(1)에 있어서의 직선적인 유체유로(2)의 축선으로 평행한 면으로서 하여, 각족 기기나 매니폴드블록에 있어서의 부착면에 상기 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)에 대응하는 개구를 설치하는 것에 의해 생략된 스페이스로 용이하게 부착하여 유량계측과 유량조절에 이바지할 수 있는 것이다.

또한, 유량검출기본체(1)와 입력 및 출력블록(3,5)을 미리 일체화하여, 그들에 설치한 유로(2,4,6)를 시일부재(16a,16c)를 통하여 접합하고, 따라서, 유량검출기본체(1) 내를 관통하는 유체유로(2) 및 상기 유량검출기본체(1)의 접합부에 있어서의 입력블록(3)과 출력블록(5)의 유로(4,6)를 단면형상이 대략 한형상으로 직선적인 것으로 하여, 개별적으로 유량센서나 유량조절밸브를 배관접속하는 경우에 비해서 유체의 유로구성이 원활화한 것이고, 그들에 의해 유체의 흐름이 원활하게 되고, 유량의 검출정도의 향상을 도모할 수 있다. 더욱이, 유량검출기본체(1)와 입력 및 출력블록(3,5)을 그들에 설치한 유로(4,6)를 시일부재(16a,16c)를 통해서 접합하고, 상기 유로(2,4,6)으로부터 밖으로 된 위치에 있어서 연결수단에 의해 고정적으로 연결하므로서 유량검출기를 조립한 부품교환할 때에도, 나사의 착탈등에 따라서 발생하는 미세 가루가 유로 내에 남아있지 않다.

이상에서 상술한 본 발명의 유량조절밸브부착 유량검출기에 의하면, 반도체 제조장치 등의 깨끗한 환경에 있어서 사용하기에 효과적인 범용성이 있는 유량검출기로서, 미리 유량조절밸브를 부착하는 것에 의해 유량계측과 유량조절을 일체화된 기기에 있어서 행하도록 함과 함께, 생략된 공간에서 검출정도에 의해 각종 기기에 용이하게 부착하여 사용할 수 있도록 한 유량조절밸브부착 유량검출기를 제공할 수 있다.

Claims

내부를 관통하는 유체유로를 가지고, 상기 유체유로에 유량센서의 검출부를 배치하여 설치한 유량검출기본체와, 상기 유량검출기본체에 있어서의 유체유로에 연달아 통하는 입출력유로를 가지고, 유량검출기본체에 대하여, 그 유체유로의 입력측 및 출력측에 부착된 입력블록 및 출력블록과, 상기 입력블록 및 출력블록의 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치되고, 그들의 유로를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량조절밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량조절밸브부착 유량검출기.
제1항에 있어서, 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록을 그들에 설치한 유로를 시일부재를 통해서 접합하고, 상기 유로로부터 밖으로 된 위치에 있어서 유량검출기본체와 입력블록 및 출력블록을 연결수단에 의해 고정적으로 연결한 것을 특징으로 하는 유량조절밸브부착 유량검출기.
제1항 또는 제2항에 있어서, 유량검출기본체 내를 관통하는 유체유로 및 상기 유량검출기본체의 접합부에 있어서의 입력블록과 출력블록의 입출력유로를 단면형상이 대략 한가지 상으로 직선적인 것으로서 하고, 상기 입력블록과 출력블록의 입출력유로를 개구시켜서 그것을 다른 기기에 부착하는 부착면을 상기 유량검출기본체에 있어서의 유체유로의 축선으로 평행한 면으로 된 것을 특징으로 하는 유량조절밸브부착 유량검출기.