JP5135137B2 - 流量計及び流量制御装置 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態に係る流量計は、図1に示すように、流路ブロック1を備える。流路ブロック1には、被測定流体が流入する流入口105と、被測定流体が流出する流出口205と、流入口105及び流出口205を連通する流路5が設けられている。流路5は、第1の屈曲部11及び第2の屈曲部12で屈曲する。また、第1及び第2の屈曲部11, 12の間で、流路5は直線的に設けられている。さらに第1の実施の形態に係る流量計は、流路5の第1の屈曲部11に、第1の屈曲部11前後の流路5の延伸方向に対して斜めに配置された第1の多孔板21、及び第1及び第2の屈曲部11, 12の間の流路5の内壁に配置され、流路5を流れる被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサ8を備える。
第2の実施の形態に係る流量計は、図9に示すように、第2の屈曲部12に、第2の屈曲部12前後の流路5の延伸方向に対して斜めに配置された第2の多孔板22をさらに備える。第2の多孔板22は、支持板30に斜めに接続されている。第1の多孔板21、支持板30、及び第2の多孔板22は一体化していてもよい。
第3の実施の形態に係る流量計は、図12に示すように、第2の屈曲部12で、第2の屈曲部12前後の流路5の延伸方向に対して斜めに配置された開口板33をさらに備える。開口板33は、支持板30に斜めに接続されている。第1の多孔板21、支持板30、及び開口板33は一体化していてもよい。
第4の実施の形態に係る流量計においては、図15に示すように、第1の屈曲部11及び第2の屈曲部12の間の流路5の底面に、凸部6が設けられており、支持板31に設けられた開口と凸部6が嵌合されている。
第5の実施の形態に係る流量制御装置は、図23に示すように、流量計10、及び流路5を流れる流量を制御する制御弁41を備える。流量計10は、第1の実施の形態で説明した構成要素に加えて、流れセンサ8が検出した流路5を流れる被測定流体の流速から、流路5を流れる被測定流体の流量を算出する算出モジュール141をさらに備える。
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。
5 流路
6 凸部
8 流れセンサ
10 流量計
11 第1の屈曲部
12 第2の屈曲部
15A, 15B 貫通孔
21 第1の多孔板
22 第2の多孔板
30, 31, 32, 132 支持板
33 開口板
35 蓋板
41 制御弁
42 弁座
43, 44 流路
45 弁室
46 弁体
47 プランジャ
48 ソレノイドコイル
50a, 50b, 50c, 50d, 51a, 51b, 51c, 51d, 51e, 51f 接触部材
60 基板
61 ヒータ
62 上流側測温抵抗素子
63 下流側測温抵抗素子
64 周囲温度センサ
65 絶縁膜
66 キャビティ
101 上面
102 枠
103 凹部
104 底面
105 流入口
131, 133 開口
141 算出モジュール
142 コントローラ
205 流出口
Claims (15)
- 被測定流体が流入する流入口と、前記被測定流体が流出する流出口と、前記流入口及び前記流出口を連通する流路が設けられ、前記流路が第1の屈曲部で屈曲する流量計において、
前記流路の第1の屈曲部に、前記第1の屈曲部前後の前記流路の延伸方向に対して斜めに配置された第1の多孔板と、
前記第1の多孔板に斜めに接続された支持板と、
前記第1の屈曲部より前記流出口側の前記流路の内壁に配置され、前記被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサと、
を備え、
前記支持板の側面の少なくとも一部が、前記流路の内壁に接していることを特徴とする流量計。 - 被測定流体が流入する流入口と、前記被測定流体が流出する流出口と、前記流入口及び前記流出口を連通する流路が設けられ、前記流路が第1の屈曲部で屈曲する流量計において、
前記流路の第1の屈曲部に、前記第1の屈曲部前後の前記流路の延伸方向に対して斜めに配置された第1の多孔板と、
前記第1の多孔板に斜めに接続された支持板と、
前記第1の屈曲部より前記流出口側の前記流路の内壁に配置され、前記被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサと、
を備え、
前記支持板の側面に、前記流路の内壁に接する接触部材が設けられていることを特徴とする流量計。 - 前記流路が第2の屈曲部で更に屈曲し、
前記第1及び第2の屈曲部の間で前記流路が直線的に設けられており、
前記流れセンサが、前記第1及び第2の屈曲部の間の前記流路の内壁に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の流量計。 - 前記流路の前記第2の屈曲部に、前記第2の屈曲部前後の前記流路の延伸方向に対して斜めに配置された第2の多孔板を更に備えることを特徴とする請求項3に記載の流量計。
- 前記流路の前記第2の屈曲部に、前記第2の屈曲部前後の前記流路の延伸方向に対して斜めに配置された開口板を更に備えることを特徴とする請求項3に記載の流量計。
- 前記支持板が、前記第1の多孔板及び前記第2の多孔板に斜めに接続されていることを特徴とする請求項4に記載の流量計。
- 前記支持板の対向する端部のそれぞれが楔形に屈折しており、前記屈折した端部のそれぞれに前記第1の多孔板及び前記第2の多孔板が接続されていることを特徴とする請求項6に記載の流量計。
- 前記支持板が、前記第1の多孔板及び前記開口板に斜めに接続されていることを特徴とする請求項5に記載の流量計。
- 前記支持板の対向する端部のそれぞれが楔形に屈折しており、前記屈折した端部のそれぞれに前記第1の多孔板及び前記開口板が接続されていることを特徴とする請求項8に記載の流量計。
- 前記流路の内壁が平坦であり、前記支持板が、前記流路の内壁上に配置されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の流量計。
- 前記支持板に開口が設けられ、前記流路の内壁に凸部が設けられており、
前記支持板の開口と前記凸部が嵌合されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の流量計。 - 前記第1の多孔板の側面が、前記流路の内壁に接していることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の流量計。
- 前記支持板の開口の内壁に、前記凸部に接する接触部材が設けられていることを特徴とする請求項11に記載の流量計。
- 被測定流体が流入する流入口と、前記被測定流体が流出する流出口と、前記流入口及び前記流出口を連通する流路が設けられ、前記流路が第1の屈曲部で屈曲する流量制御装置において、
前記流路の第1の屈曲部に、前記第1の屈曲部前後の前記流路の延伸方向に対して斜めに配置された第1の多孔板と、
前記第1の多孔板に斜めに接続された支持板と、
前記第1の屈曲部より前記流出口側の前記流路の内壁に配置された流れセンサと、
前記流れセンサが検出した前記流路を流れる被測定流体の流速から、前記流路を流れる被測定流体の流量を算出する算出モジュールと、
前記流路に設けられた制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を制御し、前記流量を調節するコントローラと、
を備え、
前記支持板の側面の少なくとも一部が、前記流路の内壁に接していることを特徴とする流量制御装置。 - 被測定流体が流入する流入口と、前記被測定流体が流出する流出口と、前記流入口及び前記流出口を連通する流路が設けられ、前記流路が第1の屈曲部で屈曲する流量制御装置において、
前記流路の第1の屈曲部に、前記第1の屈曲部前後の前記流路の延伸方向に対して斜めに配置された第1の多孔板と、
前記第1の多孔板に斜めに接続された支持板と、
前記第1の屈曲部より前記流出口側の前記流路の内壁に配置された流れセンサと、
前記流れセンサが検出した前記流路を流れる被測定流体の流速から、前記流路を流れる被測定流体の流量を算出する算出モジュールと、
前記流路に設けられた制御弁と、
前記算出された流量に基づき、前記制御弁を制御し、前記流量を調節するコントローラと、
を備え、
前記支持板の側面に、前記流路の内壁に接する接触部材が設けられていることを特徴とする流量制御装置。
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