JP4793621B2 - 熱式流量計 - Google Patents
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Description
従って本発明が解決しようとする課題は、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能な熱式流量計を実現することにある。
流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
接液部分が全てガラスで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、前記流路上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを備えたことにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
請求項1記載の発明である熱式流量計において、
前記伝熱手段と、上流側及び下流側の前記温度検出手段とが非接液の状態にあることにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
流路となる溝が形成された第1のガラス基板と、前記溝が形成された側の前記第1のガラス基板に貼り合わされ接液部分が全てガラスで構成された流路を形成する第2のガラス基板と、前記流路に接しない側の前記第2のガラス基板上に形成される伝熱手段と、前記流路の上に位置し前記流路に接しない側の前記第2のガラス基板上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に形成される上流側及び下流側の温度検出手段と、初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを備えたことにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
接液部分が全てプラスチックで構成された流路と、この流路に設けられた伝熱手段と、前記流路上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを備えたことにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
請求項4記載の発明である熱式流量計において、
前記伝熱手段と、上流側及び下流側の前記温度検出手段とが非接液の状態にあることにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
流路となる溝が形成された第1のプラスチック基板と、前記溝が形成された側の前記第1のプラスチック基板に貼り合わされ接液部分が全てプラスチックで構成された流路を形成する第2のプラスチック基板と、前記流路に接しない側の前記第2のプラスチック基板上に形成される伝熱手段と、前記流路の上に位置し前記流路に接しない側の前記第2のプラスチック基板上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に形成される上流側及び下流側の温度検出手段と、初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを備えたことにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の発明である熱式流量計において、
前記演算制御手段が、
前記温度和に閾値を設定して前記温度和が閾値を下回った場合に前記伝熱手段の温度を順次上昇させることにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の発明である熱式流量計において、
前記演算制御手段が、
前記温度和の値を常に一定になるように前記伝熱手段の温度を制御することにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
請求項1,2,3,4,5,6,7及び請求項8の発明によれば、接液部分が全てガラス(若しくは、プラスチック)で構成された流路を流れる被測定液体の温度を伝熱手段で制御し2つの温度検出手段によって伝熱手段の上流側及び下流側の流体の温度を測定し、演算制御手段で予め測定された被測定液体の温度に対して、被測定液体が数度程度高い一定温度になるように伝熱手段を制御すると共に前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御させ、当該温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、当該規格化された温度差に基づき流量を求めることにより、流量が大きくなっても温度検出手段の温度測定誤差やノイズの影響を軽減して高精度で測定することが可能になる。
2,8,13 伝熱手段
3,4,14,15 温度検出手段
5,17 演算制御手段
6,11,12 ガラス基板
7,9 シリコン基板
Claims (8)
- 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
接液部分が全てガラスで構成された流路と、
この流路に設けられた伝熱手段と、
前記流路上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、
初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段と
を備えたことを特徴とする熱式流量計。 - 前記伝熱手段と、上流側及び下流側の前記温度検出手段とが非接液の状態にあることを特徴とする
請求項1記載の熱式流量計。 - 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
流路となる溝が形成された第1のガラス基板と、
前記溝が形成された側の前記第1のガラス基板に貼り合わされ接液部分が全てガラスで構成された流路を形成する第2のガラス基板と、
前記流路に接しない側の前記第2のガラス基板上に形成される伝熱手段と、
前記流路の上に位置し前記流路に接しない側の前記第2のガラス基板上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に形成される上流側及び下流側の温度検出手段と、
初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段と
を備えたことを特徴とする熱式流量計。 - 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
接液部分が全てプラスチックで構成された流路と、
この流路に設けられた伝熱手段と、
前記流路上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段と、
初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段と
を備えたことを特徴とする熱式流量計。 - 前記伝熱手段と、上流側及び下流側の前記温度検出手段とが非接液の状態にあることを特徴とする
請求項4記載の熱式流量計。 - 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の液体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、
流路となる溝が形成された第1のプラスチック基板と、
前記溝が形成された側の前記第1のプラスチック基板に貼り合わされ接液部分が全てプラスチックで構成された流路を形成する第2のプラスチック基板と、
前記流路に接しない側の前記第2のプラスチック基板上に形成される伝熱手段と、
前記流路の上に位置し前記流路に接しない側の前記第2のプラスチック基板上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に形成される上流側及び下流側の温度検出手段と、
初期状態で前記伝熱手段を一定温度に制御し、前記流路を流れる液体の流量が大きくなるに従って前記伝熱手段の温度を単調増加させるように制御すると共に上流側及び下流側の前記温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段と
を備えたことを特徴とする熱式流量計。 - 前記演算制御手段が、
前記温度和に閾値を設定して前記温度和が閾値を下回った場合に前記伝熱手段の温度を順次上昇させることを特徴とする
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の熱式流量計。 - 前記演算制御手段が、
前記温度和の値を常に一定になるように前記伝熱手段の温度を制御することを特徴とする
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の熱式流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005040012A JP4793621B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 熱式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005040012A JP4793621B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 熱式流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006226796A JP2006226796A (ja) | 2006-08-31 |
JP4793621B2 true JP4793621B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=36988309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005040012A Active JP4793621B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 熱式流量計 |
Country Status (1)
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2005
- 2005-02-17 JP JP2005040012A patent/JP4793621B2/ja active Active
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