JP5575359B2 - 熱式流量計 - Google Patents
熱式流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5575359B2 JP5575359B2 JP2007177248A JP2007177248A JP5575359B2 JP 5575359 B2 JP5575359 B2 JP 5575359B2 JP 2007177248 A JP2007177248 A JP 2007177248A JP 2007177248 A JP2007177248 A JP 2007177248A JP 5575359 B2 JP5575359 B2 JP 5575359B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- flow rate
- heat transfer
- thermal
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
図4において、温度分布測定型熱式流量計は、流路1内の被測定液体を加熱する伝熱素子(ヒータ)3と、ヒータ3の上流側およぴ下流側の等距離の位置に設置した第1温度センサ2と、第2温度センサ4とから構成され、第1及び第2温度センサ2、4からの温度測定信号により、被測定流体の流量を測定する演算部(図示省略)とから構成されている。
流量ゼロでは流体内の温度分布は伝熱素子3を中心に対称であるが、流体が流れることで温度分布のピークが下流側にシフトする。伝熱素子3から等距離で上流側と下流側に設置した第1,第2温度センサ2、4間の温度差は、流量に依存した信号となる。
液体の気化を防ぐため、伝熱素子3の温度は、初期流体温度から数℃以内の温度上昇になるようコントロールされている。
これ以外に、伝熱素子で消費される熱量によって流量を検出する手法や流速に応じて異なるヒータで消費される熱量を検出して被測定液体の流量を算出する手法などもある。
なお、流量信号が流体の物性値に依存するのは、熱式流量計に特異な問題点ではなく、差圧式や渦式など多くの流量計が流体の物性値に依存する。
また、熱式流量計のもう一つの問題点として、ゼロ点シフトが激しく、キャリブレーションやゼロ調整を頻繁に行なう必要がある。
流路の近傍に配置され、前記流路を流れる液体を加熱若しくは冷却する伝熱手段と、
前記流路の近傍であって前記伝熱手段から等間隔の上流側及び下流側に配置され、前記液体の温度を測定する第1,第2温度検出手段と、
前記伝熱手段と下流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第3温度検出手段と、
前記伝熱手段と上流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第4温度検出手段と、
前記第1乃至第4温度検出手段からの出力信号に基づいて原理の異なる2つの演算方式で流量を演算する流量演算手段を備えた熱式流量計において、
前記流量演算手段は前記第2温度検出手段からの温度信号を入力して前記伝熱手段が一定温度になるような信号を出力し、
前記流量演算手段には温度分布測定型及び熱式TOF方式の2つの方式での流量を測定するための演算式が格納されており、前記伝熱手段及び各温度検出手段からの信号を適宜取り入れると共に所定のタイミングで切換えて交互に演算を行い、前記2つの演算方式の一つで演算した流量信号を基準として他方の方式で演算した流量信号の校正を行うとともに、流量と流体の熱的な物性値を測定することを特徴とする。
前記流路の近傍であって前記伝熱手段から等間隔の上流側及び下流側に配置され、前記液体の温度を測定する第1,第2温度検出手段と、
前記伝熱手段と下流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第3温度検出手段と、
前記伝熱手段と上流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第4温度検出手段と、
前記第1乃至第4温度検出手段からの出力信号に基づいて原理の異なる2つの演算方式で流量を演算する流量演算手段を備えた熱式流量計において、
前記流量演算手段は前記第2温度検出手段からの温度信号を入力して前記伝熱手段が一定温度になるような信号を出力し、
前記流量演算手段には温度分布測定型及び熱式TOF方式の2つの方式での流量を測定するための演算式が格納されており、前記伝熱手段及び各温度検出手段からの信号を適宜取り入れると共に所定のタイミングで切換えて交互に演算を行い、前記2つの演算方式の一つで演算した流量信号を基準として他方の方式で演算した流量信号の校正を行うとともに、流量と流体の熱的な物性値を測定するので、液体を流している状態で精度の高いオンラインのままオートキャリブレーションを行なうことができる。また、液体の流れ方向が逆になっても対応可能であり、複数の物性値の合成値から流体の識別が可能となる。
即ち、本発明では、原理の異なる2つの演算方式の一つは温度分布測定型熱式流量計、他の一つは熱式TOF方式としている。TOF方式は、流体の物性値の影響が小さいので、両方の流量信号が校正されている場合は、例えば流路に流れている流体を予測したり素性のわかっている複数の流体を混合した場合に、混合の度合いを推測することができる。
図1(a,b)は本発明の実施形態の一例を示す要部構成説明図であり、図(a)は平面図、図(b)は図(a)のA−A断面図である。
これらの図において、5は表面に溝1aが形成されたガラスチップであり、溝1aの両端には液体の流入口6および流出口7が形成されている。5aは溝1aを覆って配置された薄板状のカバーガラスで、ガラスチップ5に形成された溝1aを覆うことにより流路1が形成されている。
なお、ヒータ3および第1〜第4温度センサは図1(c)に示すようにカバーガラス5aの内側(流体に接して)に配置してもよい。
次に第2温度センサ4からの信号とヒータ3および第1温度センサ2からの信号をもとに図4で示した従来例の温度分布測定型の原理を適用して流量を演算する。
図2(a,b)は、熱式TOF方式の原理を用いた流量計の説明図である。図における符号は図1に対応している)。
一方の流量信号を利用して、他方の流量信号の校正を行なう。すなわち、液体を流している状態でオンラインのままオートキャリブレーションを行なうことができる。
が、ある特定の物性値が測定できるわけでなく、複数の物性値の合成値であり、流体の識別に利用できるような値である。
たに過ぎない。本実施例では一方の熱式流量計として温度分布測定型の熱式流量計を用いて説明したが、温度分布測定型熱式流量計の代わりに、ヒータでの消費熱量を測定する公知の消費熱量測定型の熱式流量計を用いる構成としても同様の効果を得ることができる。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲
で更に多くの変更、変形をも含むものである。
2 第1温度センサ
3 伝熱手段(ヒータ)
4 第2温度センサ
5 ガラスチップ
5a カバーガラス
6 流入口
7 流出口
8 第3温度センサ
9 第4温度センサ
11 配線
12 配線
Claims (1)
- 流路の近傍に配置され、前記流路を流れる液体を加熱若しくは冷却する伝熱手段と、
前記流路の近傍であって前記伝熱手段から等間隔の上流側及び下流側に配置され、前記液体の温度を測定する第1,第2温度検出手段と、
前記伝熱手段と下流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第3温度検出手段と、
前記伝熱手段と上流側の温度検出手段の間に配置され前記液体の温度を測定する第4温度検出手段と、
前記第1乃至第4温度検出手段からの出力信号に基づいて原理の異なる2つの演算方式で流量を演算する流量演算手段を備えた熱式流量計において、
前記流量演算手段は前記第2温度検出手段からの温度信号を入力して前記伝熱手段が一定温度になるような信号を出力し、
前記流量演算手段には温度分布測定型及び熱式TOF方式の2つの方式での流量を測定するための演算式が格納されており、前記伝熱手段及び各温度検出手段からの信号を適宜取り入れると共に所定のタイミングで切換えて交互に演算を行い、前記2つの演算方式の一つで演算した流量信号を基準として他方の方式で演算した流量信号の校正を行うとともに、流量と流体の熱的な物性値を測定することを特徴とする熱式流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007177248A JP5575359B2 (ja) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | 熱式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007177248A JP5575359B2 (ja) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | 熱式流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009014533A JP2009014533A (ja) | 2009-01-22 |
JP5575359B2 true JP5575359B2 (ja) | 2014-08-20 |
Family
ID=40355615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007177248A Active JP5575359B2 (ja) | 2007-07-05 | 2007-07-05 | 熱式流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5575359B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5601452B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-10-08 | 株式会社ノーリツ | 貯湯式給湯システム |
JP2016142709A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 株式会社鷺宮製作所 | 熱式フローセンサ用チップ、熱式フローセンサ用チップの製造方法、および、熱式フローセンサ用チップを備えるフローメータ |
US10052441B2 (en) * | 2016-08-02 | 2018-08-21 | Becton, Dickinson And Company | System and method for measuring delivered dose |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3293469B2 (ja) * | 1996-05-28 | 2002-06-17 | 三菱電機株式会社 | 熱式流速センサ |
JP2001269407A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-10-02 | Nippon Applied Flow Kk | 医療用ガス流量計 |
JP3752962B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2006-03-08 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量測定装置及びそれを用いた内燃機関並びに熱式空気流量測定方法 |
EP1213566A3 (en) * | 2000-12-06 | 2007-03-07 | Haldor Topsoe A/S | Method for determination of mass flow and density of a process stream |
JP4081639B2 (ja) * | 2001-05-09 | 2008-04-30 | 横河電機株式会社 | 液体用熱式質量流量計 |
JP4293941B2 (ja) * | 2003-05-27 | 2009-07-08 | 日機装株式会社 | 流量測定方法および装置 |
-
2007
- 2007-07-05 JP JP2007177248A patent/JP5575359B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009014533A (ja) | 2009-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5652315B2 (ja) | 流量測定装置 | |
KR101456469B1 (ko) | 미소 유량 센서 | |
US7644612B2 (en) | Thermal mass flow meter and method for its operation | |
JP6493235B2 (ja) | 流量測定装置、流量の測定方法及び流量測定プログラム | |
EP1477781B1 (en) | Mass flowmeter | |
WO1995033979A1 (en) | Flowmeter | |
US5237866A (en) | Flow sensor for measuring high fluid flow rates | |
WO2018230478A1 (ja) | 流量測定装置 | |
JP5575359B2 (ja) | 熱式流量計 | |
WO2007145036A1 (ja) | 容積流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計 | |
JP2009115504A (ja) | 熱式流量計 | |
JP2006010322A (ja) | 熱式流量計 | |
JP5207210B2 (ja) | 熱式流量計 | |
CN114777863A (zh) | 一种多组分气体流量补偿装置及补偿方法 | |
CN210123295U (zh) | 流量测定装置 | |
JP2021135156A (ja) | 流量測定装置 | |
JP5354438B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP3398251B2 (ja) | 流量計 | |
JP4081639B2 (ja) | 液体用熱式質量流量計 | |
JP2009109285A (ja) | 熱式流量計 | |
KR20130109483A (ko) | 열량형 질량유량계 센서 | |
JP4811636B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2007303899A (ja) | 熱式流量計 | |
JP4793621B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JPH085426A (ja) | 流量計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100420 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121030 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121219 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130409 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140702 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5575359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |