JP6460911B2 - 熱式マスフローコントローラ及びその傾斜誤差改善方法 - Google Patents
熱式マスフローコントローラ及びその傾斜誤差改善方法 Download PDFInfo
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Description
上記のように本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
20 流量演算部/補正部
30 記憶装置
40 配管
100 熱式マスフローコントローラ
RH 発熱体(ヒータ素子)
R1,R2 測温体(抵抗素子)
100 熱式マスフローコントローラ
Claims (2)
- 被測定流体が流れる配管に設置される熱式マスフローコントローラであって、
発熱体と、
前記発熱体から被測定流体に与えられた熱を検出する測温体と、
前記被測定流体の流れの向きが鉛直方向成分を含んでいる場合に、前記発熱体を2つの異なる温度で発熱させた際に前記測温体でそれぞれ検出される温度に対して前記被測定流体の測定流量を補正するための情報を保存する記憶装置と、
前記情報に基づいて前記被測定流体の前記測定流量を補正する補正部と、
を備え、
前記配管を流れる被測定流体の流量がゼロである際に前記測温体において検出される温度誤差と前記情報とに基づいて、前記被測定流体の出力を補正することを特徴とする熱式マスフローコントローラ。 - 発熱体と、前記発熱体から被測定流体に与えられた熱を検出する測温体と、を備える熱式マスフローコントローラの傾斜誤差改善方法であって、
配管を流れる被測定流体の流量がゼロである際に前記測温体によって検出される温度誤差を計測する手順と、
前記被測定流体の流れの向きが鉛直方向成分を含んでいる場合に、前記温度誤差と前記被測定流体の測定流量を補正するための情報とに基づいて、前記被測定流体の出力を補正する手順と、
を有することを特徴とする熱式マスフローコントローラの傾斜誤差改善方法。
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JP2015101301A JP6460911B2 (ja) | 2015-05-18 | 2015-05-18 | 熱式マスフローコントローラ及びその傾斜誤差改善方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019156243A1 (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-15 | オムロン株式会社 | 流量測定装置及び埋設型ガスメータ |
JP7111539B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2022-08-02 | アズビル株式会社 | 流量制御装置およびゼロ点調整方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4718274B2 (ja) * | 2005-08-25 | 2011-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置,半導体製造装置の流量補正方法,プログラム |
US7409871B2 (en) * | 2006-03-16 | 2008-08-12 | Celerity, Inc. | Mass flow meter or controller with inclination sensor |
KR101382159B1 (ko) * | 2006-05-26 | 2014-04-07 | 가부시키가이샤 호리바 에스텍 | 써멀타입 질량유량계 및 써멀타입 질량유량 제어 장치 |
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