JP7111539B2 - 流量制御装置およびゼロ点調整方法 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の実施の形態1における流量制御装置について、図1を参照して説明する。この流量制御装置は、センサ部101、流量算出部102、流体停止部103、ヒータ停止部104、温度差検出部105、ゼロ点調整部106を備える。
次に、本発明の実施の形態2における流量制御装置について、図4を参照して説明する。この流量制御装置は、センサ部101、流量算出部102、流体停止部103、ヒータ停止部104、センサ値検出部107、ゼロ点調整部106aを備える。センサ部101、流量算出部102、流体停止部103、ヒータ停止部104は、前述した実施の形態1と同様である。
次に、本発明の実施の形態3における流量制御装置について、図6を参照して説明する。この流量制御装置は、センサ部101、流量算出部102、流体停止部103、ヒータ停止部104、経過時間判定部108、ゼロ点調整部106bを備える。センサ部101、流量算出部102、流体停止部103、ヒータ停止部104は、前述した実施の形態1と同様である。
Claims (2)
- 測定対象の流体が流れる上流から下流に向かって順次に配置された第1温度測定部、ヒータ、第2温度測定部を備え、前記第1温度測定部と前記第2温度測定部との温度測定結果の差を元に前記流体の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部と、前記センサ値を元に前記流体の流量値を求める流量算出部とを備える流量制御装置において、
前記流体の流れを停止するように構成された流体停止部と、
前記ヒータを停止するように構成されたヒータ停止部と、
前記流体停止部が前記流体の流れを停止し、前記ヒータ停止部が前記ヒータを停止した状態で前記第1温度測定部と前記第2温度測定部との温度測定結果の差がゼロとなる状態を検出するように構成された温度差検出部と、
前記温度差検出部が、前記第1温度測定部と前記第2温度測定部との温度測定結果の差がゼロとなる状態を検出すると、前記流量算出部が出力する流量値がゼロとなるように前記流量算出部を調整するように構成されたゼロ点調整部と
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - 測定対象の流体が流れる上流から下流に向かって順次に配置された第1温度測定部、ヒータ、第2温度測定部を備え、前記第1温度測定部と前記第2温度測定部との温度測定結果の差を元に前記流体の流量に応じたセンサ値を出力するセンサ部と、前記センサ値を元に前記流体の流量値を求める流量算出部とを備える流量制御装置のゼロ点調整方法であって、
前記流体の流れを停止する第1ステップと、
前記ヒータを停止する第2ステップと、
前記流体の流れを停止し、前記ヒータを停止した状態で前記第1温度測定部と前記第2温度測定部との温度測定結果の差がゼロとなる状態を検出する第3ステップと、
前記第3ステップで、前記第1温度測定部と前記第2温度測定部との温度測定結果の差がゼロとなる状態が検出されると、前記流量算出部が出力する流量値がゼロとなるように前記流量算出部を調整する第4ステップと
を備えることを特徴とするゼロ点調整方法。
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---|---|---|---|---|
JP2005308665A (ja) | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Hitachi Ltd | 発熱抵抗体式流量計 |
JP2016217812A (ja) | 2015-05-18 | 2016-12-22 | アズビル株式会社 | 熱式マスフローコントローラ及びその傾斜誤差改善方法 |
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US5363689A (en) * | 1992-09-11 | 1994-11-15 | Intertech Development Company | Calibration device for leak detecting instruments |
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