JP2005274515A - センサ及びその測定方法 - Google Patents
センサ及びその測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005274515A JP2005274515A JP2004091863A JP2004091863A JP2005274515A JP 2005274515 A JP2005274515 A JP 2005274515A JP 2004091863 A JP2004091863 A JP 2004091863A JP 2004091863 A JP2004091863 A JP 2004091863A JP 2005274515 A JP2005274515 A JP 2005274515A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- sensor
- measurement
- correction
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
【解決手段】 シリコン単結晶に形成された複数の抵抗体よりなるセンサ素子において、少なくとも1つの測定抵抗体の形成されているシリコン層の厚みが他の補正抵抗体の形成されているシリコン層の厚みの1/3以下であり、薄い側の該測定抵抗体の側のシリコン層に通気孔が形成され、測定抵抗体及び補正抵抗体が白金にて形成されていて、該測定抵抗体の線路の間に通気孔が形成されたセンサである。また、流体の流動による測定抵抗体及び補正抵抗体の温度抵抗特性を差動検出し、該測定抵抗体及び該補正抵抗体の温度差を一定に保つ消費電力により流動量を検出する測定方法である。
【選択図】 図1
Description
2 シリコン層
3 通気孔
4 補正抵抗体
5 測定抵抗体
6a、6b 補正抵抗体端子
7a、7b 測定抵抗体端子
101 シリコンウエハ
102 103 105 シリコン酸化膜
104 ボロン拡散層
106 窒化シリコン膜層
107 電極パターン
108 クロム層
109 白金層
110 シリコン酸化膜層
111 レジストパターン
120 圧力レギュレータ
121 バッファ・チャンバ
122 流量調整器
123 流量計
124 センサユニット
125 増幅器(オペアンプ)
126 検出器
Claims (4)
- シリコン単結晶に形成された複数の抵抗体よりなるセンサ素子において、少なくとも1つの測定抵抗体の形成されているシリコン層の厚みが他の補正抵抗体の形成されているシリコン層の厚みの1/3以下であり、薄い側の該測定抵抗体の側のシリコン層に通気孔が形成されていることを特徴とするセンサ。
- 測定抵抗体及び補正抵抗体が白金にて形成されていて、該測定抵抗体の線路の間に通気孔が形成されたセンサ素子であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 測定抵抗体部分の厚さが50μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ。
- 流体の流動による測定抵抗体及び補正抵抗体の温度抵抗特性を差動検出し、該測定抵抗体及び該補正抵抗体の温度差を一定に保つ消費電力により流動量を検出することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のセンサの測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004091863A JP2005274515A (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | センサ及びその測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004091863A JP2005274515A (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | センサ及びその測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005274515A true JP2005274515A (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=35174330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004091863A Pending JP2005274515A (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | センサ及びその測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005274515A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008044502A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Myotoku Ltd | 検知システム |
CN105548606A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-05-04 | 上海交通大学 | 基于mems的柔性流速传感器及其应用和制备方法 |
WO2021038099A1 (de) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | Hahn-Schickard-Gesellschaft Für Angewandte Forschung E. V. | Mems basierte photoakustische zelle |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11271121A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Denso Corp | フローセンサおよびその製造方法 |
JP2000131112A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
JP2001012986A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量センサ |
JP2001027559A (ja) * | 1989-03-22 | 2001-01-30 | Yamatake Corp | 流速検出装置 |
JP2002081982A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Horiba Ltd | 赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法 |
-
2004
- 2004-03-26 JP JP2004091863A patent/JP2005274515A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001027559A (ja) * | 1989-03-22 | 2001-01-30 | Yamatake Corp | 流速検出装置 |
JPH11271121A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-05 | Denso Corp | フローセンサおよびその製造方法 |
JP2000131112A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
JP2001012986A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量センサ |
JP2002081982A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Horiba Ltd | 赤外線ガス検出器用フローセンサおよびフローセンサの製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008044502A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Myotoku Ltd | 検知システム |
CN105548606A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-05-04 | 上海交通大学 | 基于mems的柔性流速传感器及其应用和制备方法 |
CN105548606B (zh) * | 2015-12-10 | 2018-09-21 | 上海交通大学 | 基于mems的柔性流速传感器的流速测量方法 |
WO2021038099A1 (de) * | 2019-08-29 | 2021-03-04 | Hahn-Schickard-Gesellschaft Für Angewandte Forschung E. V. | Mems basierte photoakustische zelle |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960015067B1 (ko) | 실리콘 베이스 질량 기류 센서 및 그 조립방법 | |
US6460411B1 (en) | Flow sensor component | |
EP2233896B1 (en) | Thermal-type flowmeter | |
JP5683192B2 (ja) | 熱式流量センサ | |
JP5315304B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2008020193A (ja) | 熱式流量センサ | |
TW200427970A (en) | Thermal type mass flow rate sensor made of corrosion resistant metal, and fluid supply equipment using the same | |
JP6073489B2 (ja) | センサ素子を備えた空気質量流量計 | |
US6948361B2 (en) | Gasket flow sensing apparatus and method | |
US6725716B1 (en) | Thermo-sensitive flow rate sensor and method of manufacturing the same | |
EP1870681B1 (en) | Thermal type flow rate measuring apparatus | |
US7426857B2 (en) | Flow detector element of thermosensible flow sensor | |
KR100544772B1 (ko) | 감열식 유량 검출 소자 및 그 제조 방법 | |
JP2017067643A (ja) | 流量センサ | |
JP2005274515A (ja) | センサ及びその測定方法 | |
JP2007127538A (ja) | フレキシブル流量センサ | |
JPS61274222A (ja) | 流量センサ | |
JP2003090750A (ja) | 流量及び流速測定装置 | |
JPH102773A (ja) | 熱式空気流量計 | |
JP2020064071A (ja) | 流量センサ | |
JP3808208B2 (ja) | フローセンサ用ソリッドステム | |
JP2003106884A (ja) | 気流センサ | |
JP2016142710A (ja) | 熱式フローセンサ | |
WO2024147736A1 (en) | Thermal flow sensor for determining a flow rate of a fluid | |
JPH0222516A (ja) | フローセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070322 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20070322 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101019 |