JP5683192B2 - 熱式流量センサ - Google Patents
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Description
Rt1=L1×log(Wh/Wd)
/((k1t1+k2t2+η1k3t3)(Wh−Wd)) …(式1)
Rt2=L2×log(Wh/Wd)
/((k1t1+k2t2+η2k3t3)(Wh−Wd)) …(式2)
L1/L2=(k1t1+k2t2+η1k3t3)/(k1t1+k2t2)
…(式3)
η2=(L2/L1)(k1t1+k2t2+η1k3t3)/(k3t3) …(式4)
Rt2=L2×log(Wh/Wd)
/((k1t1+k2t2+η2k3t3+k4t4)(Wh−Wd))
…(式5)
t4=(L2/L1)(k1t1+k2t2+η1k3t3)
/k4−(k1t1+k2t2+η2k3t3)/k4 …(式6)
2 ダイアフラム
3a,3b 電気絶縁膜
4 発熱抵抗体
5 配線部
6a,6b,7a,7b 感温抵抗体
8a,8b,9a,9b,9c,9d,10a,10b,10c,10d,28a,28b,28c,28d 引出し配線部
11 電極パッド部
12a,12b,18a,18b,18d,18e 温度分布
13,29 増幅器
14a 通路
14b サブ通路
15a,15b 空気流
16 ベース部材
17 回路基板
19a,19b 等温線
20a,20b 空気流の方向
21 調整体
22a,22b 疑似配線部
23 保護膜
24 膜厚変化点
25 膜厚境界線
26 測温抵抗体
27a,27b,27c,110a,110b,110c 固定抵抗
30,112 トランジスタ
100,101 駆動回路
111 演算増幅器
200 検出回路
Claims (15)
- 半導体基板上に形成した矩形状の空洞部と、前記空洞部を覆うように形成した電気絶縁膜と、前記電気絶縁膜上に形成した矩形状の概形を備える発熱抵抗体と、前記発熱抵抗体の近傍に形成した感温抵抗体と、前記半導体基板の周縁部において周縁に対して略並行に配置した導電体からなる電極部と、前記電極部と前記発熱抵抗体とを電気的に接続する配線部とを有し、被計測流体と前記感温抵抗体との伝熱量に基づいて被計測流体の流量を検出する熱式流量センサにおいて、
前記被計測流体の流れ方向に垂直、かつ、前記電気絶縁膜の表面に平行な軸を基準軸とすると、
前記配線部は、前記発熱抵抗体の概形を構成する辺のうち基準軸の一方側に面した辺から前記空洞部の周縁を構成する辺のうち基準軸の一方側に面した辺に向けて延伸されており、
前記発熱抵抗体の概形を構成する辺において最も基準軸の一方側にある部分と 前記空洞部の周縁を構成する辺において最も基準軸の一方側にある部分との距離をL1とし、
前記発熱抵抗体の概形を構成する辺において最も基準軸の他方側にある部分と 前記空洞部の周縁を構成する辺において最も基準軸の他方側にある部分との距離をL2とすると、
L1>L2となるように前記発熱抵抗体を配置し、
前記発熱抵抗体の概形を構成する辺のうち基準軸の一方側に面した辺と前記空洞部の周縁を構成する辺のうち基準軸の一方側に面した辺とこれら2辺の末端部を結ぶ直線とからなる第1領域の熱抵抗と、
前記発熱抵抗体の概形を構成する辺のうち基準軸の他方側に面した辺と前記空洞部の周縁を構成する辺のうち基準軸の他方側に面した辺とこれら2辺の末端部を結ぶ直線とからなる第2領域の熱抵抗と、がほぼ等しくなるように前記熱抵抗を調整したことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記発熱抵抗体の長手方向の配置がL1/L2≧1.5を満足することを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記熱抵抗は、前記発熱抵抗体の近傍の前記電気絶縁膜上に設けられた前記第1領域および前記第2領域の熱抵抗の不等性を緩和する調整体により調整されることを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項3に記載の熱式流量センサにおいて、
前記調整体は、前記第2領域内に設けられたことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項3に記載の熱式流量センサにおいて、
前記調整体は、前記空洞部の中心軸に対して対称な形状であることを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項3に記載の熱式流量センサにおいて、
前記調整体は、前記発熱抵抗体と同一材料で形成したことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項2に記載の熱式流量センサにおいて、
前記空洞部の一方側の前記電気絶縁膜上に前記配線部を形成し、
前記空洞部の他方側に前記配線部と略対称な疑似配線部を設けることにより前記熱抵抗を調整することを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項2に記載の熱式流量センサにおいて、
前記熱抵抗は、前記第1領域および前記第2領域における前記電気絶縁膜の積層膜の膜厚によって調整され、
前記第1領域における積層膜の平均膜厚をT1とし、前記第2領域における積層膜の平均膜厚をT2とすると、前記平均膜厚の膜厚分布がT1<T2を満たす膜厚分布であることを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項8に記載の熱式流量センサにおいて、
前記T1から前記T2に変化する境界において段階的に前記電気絶縁膜の積層膜の膜厚を変化させたことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項8に記載の熱式流量センサにおいて、
前記電気絶縁膜の積層膜は、前記T1と前記T2との境界線において少なくとも1つの屈曲部を有することを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記発熱抵抗体の温度を検出するための測温抵抗体が前記電気絶縁膜上に形成され、前記測温抵抗体の抵抗値に基づいて前記発熱抵抗体の発熱量を制御する駆動回路が前記発熱抵抗体に電気的に接続されたことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記感温抵抗体は、前記発熱抵抗体に対して被計測流体の流れ方向の上流側に配置された第1の感温抵抗体と、前記発熱抵抗体に対して前記被計測流体の流れ方向の下流側に配置された第2の感温抵抗体を有し、
前記第1の感温抵抗体および前記第2の感温抵抗体は、前記発熱抵抗体に対して略対称に配置されたことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記発熱抵抗体は、少なくとも1つの屈曲部を有していることを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記配線部の線幅は、前記発熱抵抗体の線幅よりも広いことを特徴とする熱式流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式流量センサにおいて、
前記発熱抵抗体は、導電性素材を用いて形成され、ジュール熱により発熱することを特徴とする熱式流量センサ。
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