JP2007127538A - フレキシブル流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヒータ21を形成したフレキシブル基板22を変形させ、これを管10の内壁に沿うように実装することで、ヒータ21が管内壁を囲んだフレキシブル流量センサ20を構成する。フレキシブル流量センサ20は管内の流れを環情報(ライン情報)として計測するため、流れの状態(流速分布)に対する依存性を低減できる。流量検出は予め流量に対するヒータ抵抗値変化の校正曲線を求めておき、この校正曲線を用いて行う。
【選択図】図1
Description
図1(a)には、ヒータ21を形成したフレキシブル基板22を管内壁形状に応じて変形させ、これを管10の内壁に沿うように実装した後の様子が示されている。図に示したように、ヒータ素子21が管内壁で管を囲むようなリング型フレキシブル流量センサ構造になっている。また、配管端部でフレキシブル基板を管外へと折り曲げることで配線取り出し部23が形成されている。配線取り出し部23には、ヒート加熱制御回路と、流量出力演算回路が接続されている。
具体的な検出法は、上記の単一タイプと同様で、予め流量に対するヒータ抵抗値変化の校正曲線を求めておき、この校正曲線を用いて未知の流量を演算処理回路にて算出する。
(a) 先ず、フレキシブルなベース基板22として、厚さ数十ミクロンのポリイミドフィルムを用意し、この上にヒータ金属膜パターン形成用の感光性ホトレジスト30をスピン塗布する。なお、基板22の厚さおよび材質は流量センサとして用いる動作環境に応じて決定されることが望ましいが、一般的には、その厚さは数十ミクロンから数百ミクロンで、化学的に安定、かつ熱絶縁、電気絶縁に優れたポリイミドフィルムが良い。
(b) ホトリソグラフィーを用いてヒータ(場合に応じて検出用抵抗線)の電極パターンを形成する。
(c) ヒータ(場合に応じて検出用抵抗線)となる材質31をホトレジストのパターン上に形成する。本手法では、下地にクロム、チタン、の何れかを用い、その上のヒータおよび検出用抵抗線には化学的に安定な白金、金の何れかを用いている。なお、本材質31は基板選択と同様に、使用目的に応じて、材質、形状、厚さなどを決定することが望ましい。
(d) 上記(a)の工程で形成したホトレジスト30を除去することでポリイミドフィルム上に金属製のヒータ(場合に応じて検出用抵抗線)31が形成される。
以上のように、本手法ではリフトオフ法を用いてヒータ31および図示していない抵抗線をパターニングしたが、これ以外にも先に金属薄膜を基板22表面に形成した後に、ホトリソグラフィーでそのパターニング化を行ってもかまわない。金属薄膜のパターニング精度、金属薄膜エッチング手法に応じて何れかを選択するのが望ましい。
図には厚さ25ミクロンのポリイミドフィルム上に、クロム(50 nm)、金(250 nm)でヒータ21およびその両側に検出用抵抗線24を形成した場合を示してある。ヒータ21部分の大きさは約3 mm x 4 mmである。また図中に素子の断面の様子を示した。なお、ヒータ21両側の検出用素子24を取り除けばヒータ単体の流量センサになる。
図には上記で示した、厚さ25ミクロンのポリイミド製フレキシブルセンサ20を内径3 mmのガラス管32に実装したときの様子を示している。なお、ヒータ形状に限らず配管材32も使用目的に応じて選定することが望ましい。
本流量センサでは、ヒータもしくは検出用抵抗線の抵抗変化をもとに流量を算出する。そこで、その一例として、ヒータ素子自体を流量センサとして用いる場合の流量に対するヒータ抵抗変化を図に示した。図に示したように、流量に応じてヒータ自体の抵抗値が変化しており、これを校正曲線とすることで、本センサでは未知の流量を算出することができる。なお、図の縦軸の値は、流量なしのとき値で規格化した値になっている。また、ヒータに加えた電流は30 mAである。なお、ヒータに加える電力は使用範囲に応じて設定することが望ましい。
本フレキシブル流量センサでは、基板材として熱絶縁に優れたポリイミドフィルムを用いているとともに、図4に示したように、流量センサの小型化もあわせて行っている。一般に、熱型素子は熱絶縁性の良い基板を用いると、スケール効果により、大きさを小型化すると、それにともない素子の高速化が図れる。また、応答性を向上させるために、センサ自体を管の内壁に沿うように実装するという工夫も計っている。以上のような工夫をすることで、本発明のフレキシブル流量センサでは10マイクロセコンドの高速応答を実現している。このように、本発明の流量センサでは、小型化による空間分解能の向上のみならず、時間分解能も向上させている。
以上のように、本センサでは、これまでのセンサでは不可能であった測定領域でも流量を検出することができるという大きな特徴がある。
Claims (6)
- 管内を流れる流体の流量を測定できる流量センサにおいて、
フレキシブル基材にヒータを形成し、前記フレキシブル基材を管内壁形状に沿うように管内壁に実装することで、管内壁を囲むように前記ヒータがフレキシブル基材を介して取り付けられていることを特徴とする流量センサ。 - 管内を流れる流体の流量を測定できる流量センサにおいて、
フレキシブル基材にヒータおよび少なくとも一つ以上の検出用抵抗線を形成し、前記フレキシブル基材を管内壁形状に沿うように管内壁に実装することで管内壁を囲むように前記ヒータ及び検出用抵抗線がフレキシブル基材を介して取り付けられていることを特徴とする流量センサ。 - 請求項1記載のフレキシブル流量センサにおいて、
前記ヒータの抵抗変化を検出することで、管内の流量を検出することを特徴とするフレキシブル流量センサ。 - 請求項2記載のフレキシブル流量センサにおいて、
前記ヒータを通電加熱し、前記検出用抵抗線の抵抗値変化を検出することで管内の流量を計測することを特徴とするフレキシブル流量センサ。 - 請求項1乃至4のいずれか一に記載のフレキシブル流量センサにおいて、
前記ヒータおよび検出用抵抗配線の電極取り出しのために、前記フレキシブル基板の一部が前記管の端部にて折り曲げられて実装されることを特徴とするフレキシブル流量センサ。 - 請求項1乃至5のいずれか一に記載のフレキシブル流量センサにおいて、
前記フレキシブル基板が、ポリイミド、パリレン、シリコーンゴム薄膜のうちの少なくとも一つのものから形成されていることを特徴とするフレキシブル流量センサ。
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- 2005-11-04 JP JP2005320788A patent/JP4182228B2/ja active Active
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