JPWO2017203860A1 - 湿度測定装置 - Google Patents
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- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
Abstract
Description
本発明に係る湿度測定装置の第一実施形態を図1から図3を用いて説明する。
次に、本発明に係る湿度測定装置の第二実施形態を図4を用いて説明する。
次に、本発明に係る湿度測定装置の第三実施形態を図5を用いて説明する。
10 …圧力導入通路
10a…圧力導入口
11 …筐体
12 …コネクタ
13 …カバー
14 …Oリング
15 …金属ワイヤ
16 …回路基板
17 …湿度検出素子(湿度センサ)
18 …圧力検出素子(圧力センサ)
19 …収納穴
20 …収納室
21 …メインヒータ
22 …サブヒータ
23 …薄膜支持体
24 …絶縁層
25 …絶縁層
26a〜26d…電極
27 …シリコン基板
28 …空洞部
30A、30B、30C、31A、31B、32A、32B…仕切部材
30Ba、30Ca、31Ba、32Ba…貫通孔
L …軸線
N …通気軸
Claims (6)
- 主通路を流れる気体を取り込むための圧力導入口を有する直線状の穴からなる圧力導入通路が設けられるとともに、該圧力導入通路に連接して該圧力導入通路の前記主通路側とは反対側に収納室が設けられ、該収納室に、前記圧力導入通路に導入された気体の湿度を発熱体の放熱量から検出する湿度検出素子と前記気体の圧力を検出する圧力検出素子とが配置され、前記気体の湿度を前記気体の圧力で補正して前記気体の湿度を測定する湿度測定装置であって、
前記圧力導入口から前記圧力導入通路に導入された気体が前記湿度検出素子まで到達するまでの間に少なくとも1回は曲がるように、前記湿度検出素子が、前記収納室における前記圧力導入通路の延長線上からオフセットした空間、または、前記収納室における前記圧力導入通路の延長線上に設けられた部材の前記主通路側とは反対側に形成された空間に配設されていることを特徴とする湿度測定装置。 - 前記湿度検出素子と前記圧力検出素子とが回路基板の搭載面に搭載されるとともに、前記回路基板は、前記搭載面が前記圧力導入通路の軸線に対して垂直となるように前記収納室に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の湿度測定装置。
- 前記部材は、前記圧力導入通路より幅広に形成され、
前記圧力導入通路に導入された気体が、前記部材の側部と前記収納室の内壁との間に形成された空間を介して前記湿度検出素子まで到達することを特徴とする、請求項1に記載の湿度測定装置。 - 前記部材は、前記圧力導入通路より幅広に形成され、
前記圧力導入通路に導入された気体が、前記部材における前記圧力導入通路の延長線上から外れた位置に設けられた1つ以上の貫通孔を介して前記湿度検出素子まで到達することを特徴とする、請求項1に記載の湿度測定装置。 - 前記部材は、前記圧力導入通路の軸線方向に離間して設けられた複数の部材を含み、前記複数の部材の各々と前記収納室の内壁との間には、気体が流通する空間が設けられるとともに、隣接する部材の側方における前記空間は、前記圧力導入通路の軸線方向で視たときに重ならないようになっており、
前記圧力導入通路に導入された気体が、前記複数の部材の側方における各空間を介して前記湿度検出素子まで到達することを特徴とする、請求項1に記載の湿度測定装置。 - 前記部材は、前記圧力導入通路の軸線方向に離間して設けられた複数の部材を含み、前記複数の部材の各々には、貫通孔が設けられるとともに、隣接する部材に設けられた貫通孔は、前記圧力導入通路の軸線方向で視たときに重ならないようになっており、
前記圧力導入通路に導入された気体が、前記複数の部材における各貫通孔を介して前記湿度検出素子まで到達することを特徴とする、請求項1に記載の湿度測定装置。
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