JP2015045515A - ガスセンサ装置 - Google Patents
ガスセンサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015045515A JP2015045515A JP2013175449A JP2013175449A JP2015045515A JP 2015045515 A JP2015045515 A JP 2015045515A JP 2013175449 A JP2013175449 A JP 2013175449A JP 2013175449 A JP2013175449 A JP 2013175449A JP 2015045515 A JP2015045515 A JP 2015045515A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- signal
- sensor element
- gas
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 55
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 29
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 abstract description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 27
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 102100023593 Fibroblast growth factor receptor 1 Human genes 0.000 description 8
- 101000827746 Homo sapiens Fibroblast growth factor receptor 1 Proteins 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 101000851018 Homo sapiens Vascular endothelial growth factor receptor 1 Proteins 0.000 description 4
- 102100033178 Vascular endothelial growth factor receptor 1 Human genes 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0062—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method or the display, e.g. intermittent measurement or digital display
- G01N33/0067—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method or the display, e.g. intermittent measurement or digital display by measuring the rate of variation of the concentration
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
本発明の目的は、内燃機関の様々な運転条件下において良好な補正効果が得られるガスセンサ装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明のガスセンサ装置1は、気体の濃度を計測する濃度センサ4と気体の圧力を計測する圧力センサ5とを備えたガスセンサ装置1において、空気流から隔離された計測室7を設け、この計測室7に濃度センサ4と圧力センサ5とを配置し、圧力センサ5の信号により濃度センサ4の信号を調整する処理回路部14を設けたものである。この処理回路部14には、圧力センサの検出信号の応答速度を濃度センサの検出信号の応答速度に近付ける応答速度調整部を設けることが好ましい。
【選択図】図1
Description
更に、本発明における濃度センサとして、加熱抵抗体の放熱量が気体の濃度によって変化することを利用して、気体の濃度を計測する方式であればより効果的である。
更に、本発明における濃度センサとして、半導体基板に薄肉部を形成し、この薄肉部に加熱抵抗体を形成することで、より効果的である。
ガスセンサ装置1は、内燃機関の吸気通路2の内側に突出するように取り付けられている。ガスセンサ装置1のハウジング3の内部には、気体の量を検出する検出素子(濃度センサ素子)としての湿度センサ素子4と、吸気通路2の圧力を検出するための圧力センサ素子5とが設置される。また、ハウジング3の内部には吸気通路2を流れる吸気6の流れから遮蔽された計測室7が設けられている。計測室7には、計測室7の室内を吸気通路2と連通し吸気通路2を流れる吸気(空気)6を取り込む連通路8が形成されている。湿度センサ素子4と圧力センサ素子5とは、計測室7の内部に設置される。すなわち湿度センサ素子4と圧力センサ素子5とは同一の圧力下に設置されている。また、湿度センサ素子4と圧力センサ素子5とは、同一の連通路8から取り込まれた吸気に晒されている。計測室7および連通路8により、湿度センサ素子4に吸気通路2を流れる吸気6が直接流入することを低減している。すなわち、計測室7は吸気通路2を流れる吸気6の流れ(空気流)から隔離されており、この計測室7に湿度センサ素子4と圧力センサ素子5とを配置することにより、湿度センサ素子4と圧力センサ素子5とが吸気通路2を流れる吸気6の流れに晒されるのを防止している。これにより、湿度センサ素子4周辺の空気流動が低減され、安定した気体中において湿度を計測することで高精度な計測ができる。
図2に図示されるように、湿度センサ素子4は、支持部材としてのセンサパッケージ10に搭載されている。センサパッケージ10は、射出成形技術により湿度センサ素子4を封止樹脂により封止してパッケージ化したものである。湿度センサ素子4の検出部11は、封止樹脂から露出してパッケージ化されている。これにより、センサパッケージ10に一体化された湿度センサ素子4がハウジング3の計測室7内に設置された状態で、湿度センサ素子4の検出部11が計測室7内に露出し、計測室7内の空気の湿度を計測することが可能となっている。
湿度センサ素子4及び圧力センサ素子5と共に、リードフレーム12a、12b、12c、12d、半導体チップ14、およびワイヤ13a、13b、13c、13d、13eが封止樹脂15により封止されて、センサパッケージ10として一体化されている。湿度センサ素子4及び圧力センサ素子5は、リードフレーム12a上に接着され固定されている。湿度センサ素子4と圧力センサ素子5とは同一の支持部材(リードフレーム12a)上に接着されている。
センサチップ14には、湿度センサ4からのアナログ信号を入力しデジタル値に変換するA/D変換器AD1と、圧力センサ5からのアナログ信号を入力しデジタル値に変換するA/D変換器AD2が備わる。AD1においてデジタル値に変換された湿度信号は信号処理部FLT1により、信号ノイズが除去され演算器PUに入力される。AD2においてデジタル値に変換された圧力信号は信号処理部FLT2により、信号ノイズが除去され演算器PUに入力される。PUでは、湿度信号に対して補正演算が行われる。補正演算では、圧力信号値とあらかじめ記憶装置MMRに保存された定数を基に補正量が決定され、湿度信号に補正量を加える。その後、演算器PUで補正された湿度信号がOUTPUTとして出力される。
静電容量式の応答速度は数秒(1Hzのオーダー)程度であるのに対して、圧力センサは数ミリ秒(1kHzのオーダー)の応答速度である。内燃機関を高回転で運転させると100Hz程度の吸気脈動が発生する。静電容量型の湿度センサは応答速度が遅いため、100Hzの吸気脈動による圧力変化に追従できない。これに対し、圧力センサは十分に追従する。吸気脈動時に応答速度の速い圧力センサを用いて湿度センサを補正すると、不要な補正を加えてしまうことになり、補正された湿度信号の精度が低下する可能性がある。すなわち、補正により湿度センサの信号に高周波信号を重ねた信号となってしまう。
熱式湿度センサ素子4bと圧力センサとは数ミリから数十ミリ秒(100Hz〜1kHz)の応答速度である。したがって熱式湿度センサと圧力センサとはほぼ同等の応答性である。内燃機関を高回転で運転させると100Hz程度の吸気脈動が発生するが、熱式湿度センサ4b及び圧力センサは十分に追従する。したがって熱式湿度センサ素子4bを用いることにより、高周波の吸気脈動時においても圧力センサ5の検出値を用いて熱式湿度センサ素子4bの検出値を補正することができる。その結果、高周波の吸気脈動時においても高精度な絶対湿度の瞬時値を計測することが可能である。
湿度センサ素子4および圧力センサ素子5は、ハウジング3の内部に設けた計測室7(第1空洞部)に配置する。計測室7はハウジングの内部に設けた膨張室26(第2空洞部)に連通部27を介して連通する。膨張室26には吸気通路2へ開口する連通路8が設けられる。連通路8は、ハウジング3の吸気通路2の流れに沿った面(側面)に設ける。連通路8から湿度センサ素子4までの容積変化としては、第1実施例と同様に、連通路8により吸気通路2への開口部が絞られ、膨張室6により容積が膨らみ、連通部7により容積が絞られ計測室5により容積が膨らむ構成である。
図14において、湿度センサ素子4及び圧力センサ素子5は、支持部材としてのセンサパッケージ10により固定されている。支持部材10としては、射出成形技術により製造したモールドパッケージを用いている。湿度センサ素子4の検出部11は、パッケージから露出するように形成されている。支持部材10はベース3aとカバー3bとで覆われる。ベース3aとカバー3bとによってハウジング3を形成している。ベース3a及びカバー3bを成型、接着または接合することにより、計測室7、膨張室26、連通部27、連通路8が形成される。
湿度センサ素子4、圧力センサ素子5及び流量センサ素子21は検出部が露出するようにモールド樹脂によりパッケージ化する。吸気温度センサ素子24はパッケージの一部を突出させたビーム28の先端部に埋め込まれる。パッケージ内部には、これらの湿度センサ素子4、圧力センサ素子5、流量センサ素子23、吸気温度センサ素子22の駆動、検出、補正を行うための半導体チップ(処理回路部)14が搭載されている。これらの素子への電源供給や、半導体チップ14で検出した信号はリードフレーム12d、12a1の一部をパッケージ10から露出させた端子から出力される。
湿度センサ素子4、圧力センサ素子5、流量センサ素子21及び半導体チップ14は、リードフレーム12a上に接着固定される。吸気温度センサ素子24はビーム28と供に延設したリードフレーム12eの先端部に設置される。湿度センサ素子4の電極はボンディングワイヤー13fにより半導体チップ14に電気的に接続される。圧力センサ素子5の電極はボンディングワイヤー13gにより半導体チップ14に電気的に接続される。また、流量センサ素子23も同様にボンディングワイヤー13hにより半導体チップ14に接続される。吸気温度センサ素子24は、リードフレーム12eと半導体チップ14をボンディングワイヤー13iにより接続することによって半導体チップ14に電気的に接続される。
半導体チップ14には、湿度センサ4からのアナログ信号を入力しデジタル値に変換するA/D変換器AD1と、圧力センサ素子5からのアナログ信号を入力しデジタル値に変換するA/D変換器AD2とが備わる。AD1においてデジタル値に変換された湿度信号は信号処理部FLT1により信号ノイズが除去され、演算器PUに入力される。AD2においてデジタル値に変換された圧力信号は信号処理部FLT2により信号ノイズの除去と上述した応答速度調整とが行われ、演算器PUに入力される。更に、流量センサ素子21からのアナログ信号を入力しデジタル値に変換するA/D変換器AD3、吸気温度センサ素子24からのアナログ信号を入力しデジタル値に変換するA/D変換器AD4が搭載されている。PUでは、湿度信号に対して補正演算が行われる。補正演算では、圧力信号値とあらかじめ記憶装置MMRに保存された定数とを基に補正量が決定され、湿度信号に補正量を加える。その後、演算器PUで補正された湿度信号がOUTPUTとして出力される。本実施例では、各センサによって様々な情報を計測可能であり、これらのセンサ信号を出力するための出力回路MPを備えている。出力回路MPはいずれかのセンサ信号を選択し出力するマルチプレクサ機能を備えている。または、一つの出力信号線に複数のセンサ信号や電源電圧を重畳させる機能を備えている。
Claims (8)
- 気体の濃度を計測する濃度センサと気体の圧力を計測する圧力センサとを備えたガスセンサ装置において、
ハウジング内に空気流から遮蔽された計測室を設け、前記計測室に前記濃度センサと前記圧力センサとを配置し、前記圧力センサの信号により前記濃度センサの信号を調整する処理回路部を設けたことを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項1に記載のガスセンサ装置において、
前記処理回路部に圧力センサの圧力信号の応答速度を濃度センサの濃度信号の応答速度に近付ける応答速度調整部を設けたことを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項2に記載のガスセンサ装置において、
前記応答速度調整部は、前記圧力センサからの圧力信号から前記濃度センサの濃度信号の応答速度に対応する周波数よりも高い高周波数信号成分を除去又は減衰する機能を有し、
前記濃度信号は前記応答速度調整部によって調整された後の圧力信号に基づいて補正されることを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項3に記載のガスセンサ装置において、
前記処理回路部に、前記濃度センサからの濃度信号を入力しデジタル値に変換する第1のA/D変換器と、前記圧力センサからの圧力信号を入力しデジタル値に変換する第2のA/D変換器とを備え、
前記応答速度調整部はデジタル値に変換された圧力信号から前記高周波数信号成分を除去又は減衰する機能を有し、
前記応答速度調整部によって前記高周波信号が除去又は減衰された後の圧力信号に基づいて、前記第1のA/D変換器でデジタル値に変換された濃度信号に対して補正演算する演算器を備えたことを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項4に記載のガスセンサ装置において、
前記計測室を測定対象となる気体が流れる外部空間に連通する連通路を設け、前記気体の流れに沿ったハウジング面に前記連通路を開口したことを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項5に記載のガスセンサ装置において、
前記濃度センサは、発熱抵抗体の放熱量が気体の濃度によって変化することを利用して、気体の濃度を計測することを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項6に記載のガスセンサ装置において、
前記濃度センサは、前記発熱抵抗体を半導体基板に形成した薄肉部上に形成したことを特徴とするガスセンサ装置。 - 請求項1乃至7記載のいずれかに記載のガスセンサ装置において、
流量センサ素子及び吸気温度センサ素子を前記ハウジングと一体化して備え、前記湿度信号または前記圧力信号を用いて前記流量センサ素子の流量信号に対し補正を加えることを特徴とするガスセンサ装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013175449A JP6021761B2 (ja) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | ガスセンサ装置 |
CN201480047460.8A CN105492898B (zh) | 2013-08-27 | 2014-02-03 | 气体传感器装置 |
PCT/JP2014/052386 WO2015029460A1 (ja) | 2013-08-27 | 2014-02-03 | ガスセンサ装置 |
US14/914,231 US9958305B2 (en) | 2013-08-27 | 2014-02-03 | Gas sensor device |
DE112014003909.8T DE112014003909T5 (de) | 2013-08-27 | 2014-02-03 | Gassensorvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013175449A JP6021761B2 (ja) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | ガスセンサ装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015045515A true JP2015045515A (ja) | 2015-03-12 |
JP2015045515A5 JP2015045515A5 (ja) | 2016-03-03 |
JP6021761B2 JP6021761B2 (ja) | 2016-11-09 |
Family
ID=52586047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013175449A Expired - Fee Related JP6021761B2 (ja) | 2013-08-27 | 2013-08-27 | ガスセンサ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9958305B2 (ja) |
JP (1) | JP6021761B2 (ja) |
CN (1) | CN105492898B (ja) |
DE (1) | DE112014003909T5 (ja) |
WO (1) | WO2015029460A1 (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017044598A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
WO2017073273A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 内燃機関制御装置 |
JP2017111123A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 株式会社堀場製作所 | 排ガス計測システム |
WO2017203860A1 (ja) * | 2016-05-23 | 2017-11-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
WO2018147004A1 (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社デンソー | 絶対湿度センサ |
WO2018179248A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 三菱電機株式会社 | 換気装置 |
WO2018193743A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JP2018179922A (ja) * | 2017-04-21 | 2018-11-15 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 車載用センサモジュール |
EP3332225A4 (en) * | 2015-08-07 | 2019-04-17 | Brewer Science, Inc. | ENVIRONMENTAL SENSOR SYSTEM AND SIGNAL PROCESSOR |
KR101977196B1 (ko) * | 2018-11-23 | 2019-05-10 | 주식회사 파워맥스 | 통합형 센서 |
WO2020095619A1 (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式湿度測定装置 |
JP2020112433A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JP2020530908A (ja) * | 2017-08-14 | 2020-10-29 | ハーン−シッカート−ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォアシュング アインゲトラーゲナー フェラインHahn−Schickard−Gesellschaft fuer angewandte Forschung e.V. | 呼吸空気の呼気二酸化炭素濃度を決定するためのガスセンサ |
US11092559B2 (en) * | 2016-08-26 | 2021-08-17 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal humidity measuring device |
JP2021124472A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-08-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 複合センサ |
CN113785188A (zh) * | 2019-05-23 | 2021-12-10 | 安赛乐米塔尔公司 | 带材的湿度检测设备 |
KR20220081293A (ko) * | 2020-12-08 | 2022-06-15 | (주)리벤씨 | 선박용 이중 연료 엔진 조립체 |
KR20230084921A (ko) * | 2021-12-06 | 2023-06-13 | 주식회사 현대케피코 | 열전도식 가스감지센서 및 이를 이용한 가스 측정방법 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6099094B2 (ja) * | 2013-06-21 | 2017-03-22 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置およびガスセンサ装置の取付け構造 |
US10449320B2 (en) | 2013-10-15 | 2019-10-22 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Sensing and control arrangements for respiratory device |
JP5826355B1 (ja) * | 2014-10-03 | 2015-12-02 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP6686276B2 (ja) * | 2014-12-09 | 2020-04-22 | 株式会社デンソー | エアフロメータ |
JP5933782B1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-06-15 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置に一体に設けられた物理量測定装置および物理量測定方法 |
DE102015219501A1 (de) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums |
JP6520636B2 (ja) * | 2015-10-16 | 2019-05-29 | 株式会社デンソー | 物理量センササブアセンブリおよび物理量測定装置 |
JP6474342B2 (ja) * | 2015-10-28 | 2019-02-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JP6421763B2 (ja) * | 2016-01-13 | 2018-11-14 | トヨタ自動車株式会社 | 湿度センサの異常検出装置 |
GB201609905D0 (en) * | 2016-06-07 | 2016-07-20 | Ge Oil & Gas | Device and system for fluid flow measurement |
JP6812688B2 (ja) * | 2016-07-20 | 2021-01-13 | 株式会社デンソー | 吸気流量測定装置 |
KR101839809B1 (ko) * | 2016-08-12 | 2018-03-19 | (주)포인트엔지니어링 | 마이크로 센서 |
US10650621B1 (en) | 2016-09-13 | 2020-05-12 | Iocurrents, Inc. | Interfacing with a vehicular controller area network |
JP6544365B2 (ja) * | 2017-02-08 | 2019-07-17 | 株式会社デンソー | 絶対湿度センサ |
JP6916667B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2021-08-11 | 株式会社堀場製作所 | プローブデバイス、及び、排ガス分析装置 |
JP7168340B2 (ja) * | 2018-04-11 | 2022-11-09 | 日立Astemo株式会社 | 熱式流量計 |
CN109752418B (zh) * | 2019-01-21 | 2021-11-05 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种微型热导气体传感器 |
DE102021111431A1 (de) | 2020-06-29 | 2021-12-30 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Überwachungssystem |
US11772958B2 (en) * | 2020-09-17 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Mass flow control based on micro-electromechanical devices |
DE102021206131A1 (de) * | 2021-06-16 | 2022-12-22 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Modul und Verfahren zum Überwachen von Umwelteinflüssen auf ein Modul |
DE102022208864A1 (de) | 2022-08-26 | 2024-02-29 | Vitesco Technologies GmbH | Sensor, Kanal und Brennstoffzellensystem |
CN115523961B (zh) * | 2022-11-03 | 2023-02-28 | 南京元感微电子有限公司 | 一种气体与电容式压力传感器及其加工方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05273168A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-22 | Hiroaki Ogishima | 水分活性測定器 |
JPH06281607A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-10-07 | Shimadzu Corp | ガス濃度連続分析装置 |
JPH10197305A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計及び熱式空気流量計用の測定素子 |
JP2001272370A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス濃度測定装置 |
JP2002373694A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-26 | General Motors Corp <Gm> | 圧力及びガス組成の変化に関して補償する相対湿度センサ |
JP2010151795A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式空気流量センサ |
JP2010261846A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Denso Corp | ガスセンサの信号処理装置 |
JP2011123076A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Siemens Ag | 二酸化炭素センサ及びガス測定値を発生させるための付属する方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3182807B2 (ja) * | 1991-09-20 | 2001-07-03 | 株式会社日立製作所 | 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム |
US5263369A (en) * | 1992-07-24 | 1993-11-23 | Bear Medical Systems, Inc. | Flow sensor system and method |
US7752885B2 (en) * | 2006-12-07 | 2010-07-13 | General Electric Company | Gas analysis system and method |
JP4882732B2 (ja) * | 2006-12-22 | 2012-02-22 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JP4940172B2 (ja) * | 2008-03-05 | 2012-05-30 | 日本特殊陶業株式会社 | NOxセンサ制御装置及び車両側制御装置 |
JP5469553B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2014-04-16 | 日本碍子株式会社 | アンモニア濃度検出センサ |
JP4976469B2 (ja) * | 2009-08-28 | 2012-07-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式湿度センサ |
JP5406674B2 (ja) * | 2009-11-06 | 2014-02-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流体流量センサおよびその製造方法 |
JP5519596B2 (ja) | 2011-08-08 | 2014-06-11 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ装置およびガスセンサを用いた濃度測定方法 |
DE102011089897A1 (de) * | 2011-12-23 | 2013-06-27 | Continental Automotive Gmbh | Sensorsystem |
DE112012006615T5 (de) * | 2012-06-27 | 2015-03-26 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Fluidmessvorrichtung |
EP2720034B1 (en) * | 2012-10-12 | 2016-04-27 | ams International AG | Integrated Circuit comprising a relative humidity sensor and a thermal conductivity based gas sensor |
US9618653B2 (en) * | 2013-03-29 | 2017-04-11 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Microelectronic environmental sensing module |
US9310349B2 (en) * | 2013-12-10 | 2016-04-12 | Continental Automotive Systems, Inc. | Sensor structure for EVAP hydrocarbon concentration and flow rate |
-
2013
- 2013-08-27 JP JP2013175449A patent/JP6021761B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-02-03 CN CN201480047460.8A patent/CN105492898B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-02-03 US US14/914,231 patent/US9958305B2/en active Active
- 2014-02-03 WO PCT/JP2014/052386 patent/WO2015029460A1/ja active Application Filing
- 2014-02-03 DE DE112014003909.8T patent/DE112014003909T5/de not_active Ceased
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05273168A (ja) * | 1992-03-27 | 1993-10-22 | Hiroaki Ogishima | 水分活性測定器 |
JPH06281607A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-10-07 | Shimadzu Corp | ガス濃度連続分析装置 |
JPH10197305A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計及び熱式空気流量計用の測定素子 |
JP2001272370A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガス濃度測定装置 |
JP2002373694A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-26 | General Motors Corp <Gm> | 圧力及びガス組成の変化に関して補償する相対湿度センサ |
JP2010151795A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式空気流量センサ |
JP2010261846A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Denso Corp | ガスセンサの信号処理装置 |
JP2011123076A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Siemens Ag | 二酸化炭素センサ及びガス測定値を発生させるための付属する方法 |
Cited By (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI679853B (zh) * | 2015-08-07 | 2019-12-11 | 美商布魯爾科技公司 | 環境感測器系統和信號處理器 |
EP3332225A4 (en) * | 2015-08-07 | 2019-04-17 | Brewer Science, Inc. | ENVIRONMENTAL SENSOR SYSTEM AND SIGNAL PROCESSOR |
JP2017044598A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
WO2017073273A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 内燃機関制御装置 |
JPWO2017073273A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2018-06-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 内燃機関制御装置 |
US10519891B2 (en) | 2015-10-28 | 2019-12-31 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Control device for internal combustion engine |
JP2017111123A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 株式会社堀場製作所 | 排ガス計測システム |
WO2017203860A1 (ja) * | 2016-05-23 | 2017-11-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JPWO2017203860A1 (ja) * | 2016-05-23 | 2019-01-31 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
US20190219529A1 (en) * | 2016-05-23 | 2019-07-18 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Humidity Measuring Apparatus |
US11092559B2 (en) * | 2016-08-26 | 2021-08-17 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal humidity measuring device |
JP2018128348A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社デンソー | 絶対湿度センサ |
WO2018147004A1 (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社デンソー | 絶対湿度センサ |
WO2018179248A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 三菱電機株式会社 | 換気装置 |
JPWO2018193743A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2020-01-16 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
WO2018193743A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 湿度測定装置 |
JP2018179922A (ja) * | 2017-04-21 | 2018-11-15 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 車載用センサモジュール |
US11105292B2 (en) | 2017-04-21 | 2021-08-31 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Humidity measurement device |
JP2020530908A (ja) * | 2017-08-14 | 2020-10-29 | ハーン−シッカート−ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォアシュング アインゲトラーゲナー フェラインHahn−Schickard−Gesellschaft fuer angewandte Forschung e.V. | 呼吸空気の呼気二酸化炭素濃度を決定するためのガスセンサ |
JP7253551B2 (ja) | 2017-08-14 | 2023-04-06 | ハーン-シッカート-ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォアシュング アインゲトラーゲナー フェライン | 呼吸空気の呼気co2濃度を決定するためのガスセンサ |
US11047846B2 (en) | 2017-08-14 | 2021-06-29 | Hahn-Schickard-Gesellschaft Fuer Angewandte Forschung E.V. | Gas sensor for determining the expiratory CO2 content of respiratory air |
AU2018319173B2 (en) * | 2017-08-14 | 2022-01-06 | GS Elektromedizinische Geräte G. Stemple GmbH | Sensor assembly comprising a pressure sensor and a thermal gas sensor |
WO2020095619A1 (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式湿度測定装置 |
KR101977196B1 (ko) * | 2018-11-23 | 2019-05-10 | 주식회사 파워맥스 | 통합형 센서 |
JP2020112433A (ja) * | 2019-01-11 | 2020-07-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
CN113785188A (zh) * | 2019-05-23 | 2021-12-10 | 安赛乐米塔尔公司 | 带材的湿度检测设备 |
CN113785188B (zh) * | 2019-05-23 | 2024-02-02 | 安赛乐米塔尔公司 | 带材的湿度检测设备 |
JP2021124472A (ja) * | 2020-02-10 | 2021-08-30 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 複合センサ |
KR102617973B1 (ko) * | 2020-12-08 | 2023-12-27 | (주)리벤씨 | 선박용 이중 연료 엔진 조립체 |
KR20220081293A (ko) * | 2020-12-08 | 2022-06-15 | (주)리벤씨 | 선박용 이중 연료 엔진 조립체 |
KR20230084921A (ko) * | 2021-12-06 | 2023-06-13 | 주식회사 현대케피코 | 열전도식 가스감지센서 및 이를 이용한 가스 측정방법 |
KR102641537B1 (ko) * | 2021-12-06 | 2024-02-27 | 주식회사 현대케피코 | 열전도식 가스감지센서 및 이를 이용한 가스 측정방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015029460A1 (ja) | 2015-03-05 |
CN105492898A (zh) | 2016-04-13 |
US20160202200A1 (en) | 2016-07-14 |
DE112014003909T5 (de) | 2016-05-12 |
JP6021761B2 (ja) | 2016-11-09 |
CN105492898B (zh) | 2018-02-13 |
US9958305B2 (en) | 2018-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6021761B2 (ja) | ガスセンサ装置 | |
JP4341506B2 (ja) | 湿度センサおよび湿度検出機能を有する複合センサ | |
JP5883887B2 (ja) | 流量計測装置 | |
JP3335860B2 (ja) | 熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量計 | |
JP5743871B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP6686276B2 (ja) | エアフロメータ | |
JP2012220189A (ja) | 熱式空気流量計 | |
US8935959B2 (en) | Thermal type flow rate sensor | |
JP2007024589A (ja) | 気体流量計測装置 | |
JP5152292B2 (ja) | 流量計測装置 | |
JP6043833B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5644674B2 (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP6134840B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP6458104B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5120289B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP6739525B2 (ja) | 湿度測定装置 | |
JP6215502B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2020003440A (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP6784316B2 (ja) | エアフロメータ | |
JP4914226B2 (ja) | 気体流量計 | |
WO2019087609A1 (ja) | 気体センサ装置 | |
JP5218384B2 (ja) | 空気流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160115 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6021761 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |