JP5826355B1 - 流量測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性及び生産性を損なわないように環境センサと一体化された、低コストで小型の流量測定装置を得る。【解決手段】環境センサ１３は、回路基板３のワイヤボンディング用パッド１１を有していない第２面３ｂに実装され、回路基板収納部８に設けられた計測室１４に配置される。計測室１４は、主通路３２と連通する連通口１５を有する。このような構成によれば、流量測定装置１と環境センサ１３を一体化することによる工程の追加を必要としない。また、パッド１１を電子部品から遠ざけて配置する必要がないため、回路基板３の小型化が図られる。また、環境センサ１３はバイパス通路３３内の空気の流れに影響を与えないため、バイパス通路３３内に配置された流量検出素子２の検出精度が低下することはない。【選択図】図１

Description

本発明は、配管内を通過する被計測流体、例えば内燃機関の吸入空気量を測定する流量測定装置に関し、特に、環境センサと一体化された流量測定装置に関する。

電子制御燃料噴射システムを用いた自動車のエンジンルーム内には、吸入空気量を測定する流量測定装置の他、温度測定装置、湿度測定装置、及び圧力測定装置等の環境センサや制御機器が配置されている。近年、これらの環境センサと流量測定装置を一体化することにより、車両への部品組み付け工数の削減やワイヤハーネスの簡略化が図ることが提案されている。

例えば特許文献１では、流量測定装置の回路基板と、独立した湿度測定装置、圧力測定装置の少なくとも１つを、流量測定装置のハウジングに組み付けることにより、流量測定装置と環境センサを一体化している。

また、特許文献２では、主通路から吸入空気の一部を取り込む第一の副流路内に流量検出素子を配置し、この第一の副流路内に設けられた第二の副流路に、流量測定装置の回路基板に実装された湿度測定装置を配置している。

また、特許文献３では、流量検出素子及び信号処理回路が固定される支持基板の端部に設けられた計測室に環境センサ素子を配置している。この例では、計測室は、流量検出素子が配置される副流路を挟んで信号処理回路と反対側に位置し、副流路と連通する連通穴を有している。

米国特許公報２０１３／０２８３８９５Ａ１ 特許第５１７８３８８号公報 特許第５２７９６６７号公報

しかしながら、特許文献１から特許文献３に示された構造では、流量測定装置と環境センサを一体化することにより以下のような問題が生じる。特許文献１では、流量測定装置の回路基板と別体の環境センサを流量測定装置に一体化しているため、環境センサを流量測定装置の回路基板に実装する場合と比較して、環境センサを組み付ける工程が増えるという問題がある。

また、特許文献２では、湿度測定装置を流量測定装置の回路基板に実装し、回路基板とコネクタ端子をワイヤボンディングにより電気的に接続しているが、湿度測定装置を回路基板上のワイヤボンディング用パッドと同一面にはんだ付けする場合、パッドにフラックスが付着しワイヤとパッドの接合強度が低下する。

そこで、湿度測定装置をはんだ付けした後、ワイヤボンディング用パッドに付着したフラックスを除去するため、回路基板を薬品で洗浄する必要が生じる。しかし、湿度測定装置等の環境センサは薬品の付着により故障する恐れがあるため、素子部をマスクで保護する等の対策が必要となり、工程が増えるという問題がある。

一方、フラックスの除去を目的とした回路基板の洗浄工程を回避する方法として、ワイヤボンディング用パッドを湿度測定装置等の電子部品から十分に遠ざけて配置することにより、パッドへのフラックスの飛散を防ぐことができるが、回路基板が大型化するという問題がある。

また、特許文献２に示された構造では、第二の副流路内に汚損物質や水滴等が侵入し、環境センサ素子が汚損する可能性があり、環境センサ素子の検出応答性及び検出精度の低下が懸念される。さらに、流量検出素子が配置される第一の副流路内に第二の副流路を設けているため、第一の副流路の空気の流れに乱れが生じ、流量検出素子の検出精度に悪影響を与える恐れがある。

また、特許文献３に示された構造では、環境センサ素子が配置される支持基板の端面が計測室内に露出しており、支持基板の耐久性や信頼性が求められる。このため、支持基板にセラミック基板を用いる必要があり、低コスト化の妨げとなる。また、環境センサ素子、流量検出素子及び信号処理回路を支持基板の同一面に配置しているが、これらは近接して配置することができないため、支持基板が大きくなるという問題がある。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、信頼性及び生産性を損なわないように環境センサと一体化された、低コストで小型の流量測定装置を得ることを目的とする。

本発明に係る流量測定装置は、配管に設けられた貫通孔に挿入され、配管内を主通路とする被計測流体の流量を測定する流量測定装置であって、外部装置との間で信号を授受するコネクタ端子を有するコネクタと、主通路を通過する被計測流体の一部を取り込むバイパス通路に配置される流量検出素子と、一方の面にワイヤボンディング用パッドが配置されワイヤボンディングによりコネクタ端子及び流量検出素子と電気的に接続される回路基板と、回路基板を支持し収納する回路基板収納部と、回路基板の他方の面に実装され被計測流体の温度、湿度、及び圧力の少なくとも１つを計測する環境センサと、回路基板収納部に設けられ環境センサが配置される計測室を備え、計測室は、主通路と連通する連通口を有するものである。

本発明によれば、環境センサは回路基板に実装されるので、環境センサを一体化することによる工程数の増加がなく生産性を損なわない。また、環境センサをワイヤボンディング用パッドと反対側の面に実装するため、回路基板の小型化が図られる。また、環境センサは、回路基板収納部に設けられた計測室に配置されるため、被計測流体に直接曝されることなく高い検出応答性及び検出精度が得られると共に、流量検出素子が配置されたバイパス通路の空気の流れに影響を与えないため、流量検出素子の検出精度が低下せず、信頼性の高い流量測定装置が得られる。

本発明の実施の形態１に係る流量測定装置を示す断面図である。 本発明の実施の形態１に係る流量測定装置の一部を切り欠いた側面図である。 本発明の実施の形態１に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態２に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態２に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態３に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態３に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態４に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態４に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態５に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態５に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態６に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態６に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。 本発明の実施の形態７に係る流量測定装置におけるセンサ信号の処理方法を示す図である。

実施の形態１．
以下に、本発明の実施の形態１に係る流量測定装置について、図面に基づいて説明する。図１は、本実施の形態１に係る流量測定装置を示す断面図、図２は、本実施の形態１に係る流量測定装置の一部を切り欠いた側面図、図３は、本実施の形態１に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。なお、各図において、同一、相当部分には、同一符号を付している。

流量測定装置１は、配管に設けられた貫通孔に挿入され、配管内を主通路とする被計測流体の流量を測定するものである。本実施の形態１では、図１に示すように、内燃機関の吸気配管３０に形成された挿入口３１に挿入され、吸気配管３０内を主通路３２とする吸入空気の流量を測定する。なお、図２中、矢印Ａは主通路３２を通過する吸入空気の流れ方向を示している。

流量測定装置１は、挿入方向の先端部から順に、流量検出部７、回路基板収納部８、及びコネクタ９となっている。流量検出部７において、流量検出素子２はプレート４に支持され、プレート４はベース５に支持されている。カバー６は、ベース５及びプレート４に重ねて配置され、それらに接着されている。プレート４とカバー６は、主通路３２を通過する吸入空気の一部を取り込むバイパス通路３３を形成しており、流量検出素子２はバイパス通路３３内に配置される。

回路基板収納部８は、プレート４、ベース５及びカバー６から構成されている。回路基板収納部８において、回路基板３は、プレート４により支持されると共に、その一方の面（第１面３ａ）をカバー６で覆われ、他方の面（第２面３ｂ）をベース５で覆われている。

外部装置（図示省略）との間で信号を授受するコネクタ端子１０を有するコネクタ９は、ベース５の一部により形成され、コネクタ端子１０はベース５と一体成型されている。また、吸気配管３０の外部において、ベース５の一部をねじ（図示省略）等により吸気配管３０に取り付けることにより、流量測定装置１が吸気配管３０に設置される。

回路基板３は、その第１面３ａにワイヤボンディング用パッド１１（以下パッド１１と略す）が配置され、ボンディング部材としてワイヤ１２を用いたワイヤボンディングによりコネクタ端子１０及び流量検出素子２と電気的に接続される。

また、回路基板３の第２面３ｂには、被計測流体の温度、湿度、及び圧力の少なくとも１つを計測する環境センサ１３が、はんだ付けにより実装される。すなわち、環境センサ１３は、温度センサを備えた温度測定装置、湿度センサを備えた湿度測定装置、及び圧力センサを備えた圧力測定装置の少なくとも１つを含んでいる。なお、環境センサ１３は、上記以外の測定装置を含んでいても良い。

さらに、回路基板３の第１面３ａ及び第２面３ｂには、環境センサ１３以外の複数の電子部品（図示省略）が、はんだ付けにより実装される。なお、環境センサ１３以外の複数の電子部品の全てを、第２面３ｂのみに実装しても良いし、第１面３ａのみに実装しても良い。いずれの場合も、回路基板収納部８は、環境センサ１３以外の電子部品が被計測流体に曝されないように回路基板３を収納している。

一方、環境センサ１３は、回路基板収納部８の一部に設けられた計測室１４に配置される。計測室１４に配置される電子部品は、環境センサ１３のみである。本実施の形態１において、計測室１４は、回路基板３、ベース５、及びプレート４から構成されるが、これに限定されるものではない。計測室１４内に露出した環境センサ１３と回路基板３の接合部は、コーティング剤１６によりコーティングされる。

計測室１４は、主通路３２を通過する吸入空気の流れ方向Ａと平行な面（図２に示すベース５の側面５ａ）に、主通路３２との連通口１５を有している。このため、計測室１４に配置された環境センサ１３は、主通路３２を通過する吸入空気の温度、湿度、及び圧力を計測することができる。

計測室１４の連通口１５が、吸入空気の流れ方向Ａと平行なベース５の側面５ａに設けられる理由について、図２を用いて説明する。主通路３２を通過する吸入空気の一部は、流量測定装置１まで到達すると、ベース５の正面５ｂに衝突して流量測定装置１から剥離する。このため、吸入空気に含まれている汚損物質や水滴等は、ベース５の正面５ｂと直交する側面５ａに設けられた連通口１５には到達しにくい。このような理由により、連通口１５はベース５の側面５ａに設けることが望ましい。

次に、流量測定装置１の製造方法として、回路基板３の第１面３ａに環境センサ１３以外の電子部品を実装し、第２面３ｂに環境センサ１３のみを実装する場合の実装工程について説明する。

まず、パッド１１を有する第１面３ａに、環境センサ１３以外の電子部品をはんだ付けにより実装する。続いて、上記はんだ付け工程によってパッド１１に付着したフラックスを除去するために、回路基板３を薬品等で洗浄する。その後、回路基板３の第２面３ｂに、環境センサ１３をはんだ付けにより実装する。

上記実装工程において、環境センサ１３以外の電子部品を、第１面３ａと第２面３ｂの両方に実装するようにしても良い。また、環境センサ１３を含む全ての電子部品を第２面３ｂに実装するようにしても良い。後者の場合、パッド１１へのフラックスの付着が発生しないため、回路基板３の洗浄工程は不要となる。

以上のように、本実施の形態１によれば、環境センサ１３は他の電子部品と同様に回路基板３に実装されるので、流量測定装置１と環境センサ１３を一体化することによる工程の追加を必要としない。また、環境センサ１３は、パッド１１を有していない第２面３ｂに実装されるので、環境センサ１３をはんだ付けする際にパッド１１にフラックスが付着しないため、環境センサ１３を実装後の回路基板３の洗浄工程を回避することができる。

また、パッド１１を有する第１面３ａに環境センサ１３以外の電子部品をはんだ付けする場合には、環境センサ１３を実装する前に回路基板３を洗浄してパッド１１に付着したフラックスを除去することができるので、パッド１１を電子部品から遠ざけて配置する必要がなく、回路基板３の小型化が図られる。

また、環境センサ１３が設置される計測室１４の連通口１５を、主通路３２を通過する吸入空気の流れ方向Ａと平行なベース５の側面５ａに設けることにより、吸入空気に含まれる汚損物質や水滴等が計測室１４へ侵入しにくい。これにより、環境センサ１３は、高い検出応答性及び検出精度が得られる。

また、流量検出部７と隔離された回路基板収納部８に計測室１４を設けているので、環境センサ１３はバイパス通路３３内の空気の流れに影響を与えない。従って、環境センサ１３と一体化することにより、バイパス通路３３内に配置された流量検出素子２の検出精度が低下することはない。

さらに、計測室１４内に回路基板３の端面が露出していないため、回路基板３にセラミック基板を使用する必要がなく、例えばガラスエポキシ基板等の安価な材料を選択することができる。以上のことから、本実施の形態１によれば、信頼性及び生産性を損なわないように環境センサ１３と一体化された、低コストで小型の流量測定装置１を得ることができる。

実施の形態２．
図４及び図５は、本発明の実施の形態２に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。なお、本実施の形態２に係る流量測定装置の全体構成は、上記実施の形態１と同様であるので図１を流用し、各部の詳細な説明を省略する。

本実施の形態２に係る流量測定装置は、計測室１４の連通口１５に防水透湿性のフィルタ１７を設け、キャップ１８で固定している。フィルタ１７は、キャップ１８の主通路３２側の面に、接着または溶着等の方法で固定される。キャップ１８は、連通口１５周辺のベース５に接着される。

なお、図４に示す例では、計測室１４を、回路基板３、プレート４、フィルタ１７及びキャップ１８から構成したが、計測室１４の構成はこれに限定されるものではない。例えば図５に示すように、計測室１４を、回路基板３、フィルタ１７及びキャップ１８Ａから構成しても良い。図５に示すキャップ１８Ａは、図４のプレート４の機能を兼ねており、回路基板３に接着される。

フィルタ１７は、吸入空気に含まれる汚損物質や水滴が計測室１４内に侵入しないように連通口１５に設けられるが、透湿性であるため、計測室１４に配置される環境センサ１３が湿度測定装置の場合にも湿度の測定を正常に行うことが可能であり、湿度検出応答性及び湿度検出精度に影響を与えない。

本実施の形態２によれば、上記実施の形態１と同様の効果に加え、さらに、上記実施の形態１よりも確実に、主通路３２から計測室１４内に汚損物質や水滴等が侵入することを防止することができる。

実施の形態３．
図６及び図７は、本発明の実施の形態３に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。なお、本実施の形態３に係る流量測定装置の全体構成は、上記実施の形態１と同様であるので図１を流用し、各部の詳細な説明を省略する。

上記実施の形態２では、計測室１４の連通口１５に、防水透湿性のフィルタ１７をキャップ１８で固定したが、本実施の形態３では、キャップ１８を用いず、計測室１４を構成するベース５の主通路３２側から連通口１５に直接、フィルタ１７を固定した。

なお、図６に示す例では、計測室１４を、回路基板３、ベース５、プレート４、及びフィルタ１７から構成したが、計測室１４の構成はこれに限定されるものではない。例えば図７に示すように、計測室１４を、回路基板３、ベース５、及びフィルタ１７から構成しても良い。

本実施の形態３によれば、上記実施の形態２と同様の効果に加え、フィルタ１７をベース５に直接固定することによりキャップ１８が不要となり、部品点数を削減することができ、キャップ１８をベース５に接着する工程を削減することができる。

実施の形態４．
図８及び図９は、本発明の実施の形態４に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。なお、本実施の形態４に係る流量測定装置の全体構成は、上記実施の形態１と同様であるので図１を流用し、各部の詳細な説明を省略する。

本実施の形態４に係る流量測定装置は、計測室１４の連通口１５に防水透湿性のフィルタ１７を設け、キャップ１８で固定している。フィルタ１７は、キャップ１８の計測室１４側の面に、接着または溶着等の方法で固定される。キャップ１８は、連通口１５周辺のベース５に接着される。このような固定方法により、流量測定装置１をハンドリングする際に、フィルタ１７に指等が触れにくく、フィルタ１７の剥離を防止することができる。

なお、図８に示す例では、計測室１４を、回路基板３、プレート４、フィルタ１７及びキャップ１８から構成したが、計測室１４の構成はこれに限定されるものではない。例えば図９に示すように、計測室１４を、回路基板３、フィルタ１７及びキャップ１８Ａから構成しても良い。図９に示すキャップ１８Ａは、図８のプレート４の機能を兼ねており、回路基板３に接着される。

フィルタ１７は、吸入空気に含まれる汚損物質や水滴が計測室１４内に侵入しないように連通口１５に設けられるが、透湿性であるため、計測室１４に配置される環境センサ１３が湿度測定装置の場合にも湿度の測定を正常に行うことが可能であり、湿度検出応答性及び湿度検出精度に影響を与えない。

本実施の形態４によれば、上記実施の形態１と同様の効果に加え、さらに、上記実施の形態１よりも確実に、主通路３２から計測室１４内に汚損物質や水滴等が侵入することを防止することができる。

実施の形態５．
図１０及び図１１は、本発明の実施の形態５に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。なお、本実施の形態５に係る流量測定装置の全体構成は、上記実施の形態１と同様であるので図１を流用し、各部の詳細な説明を省略する。

上記実施の形態４では、計測室１４の連通口１５に、防水透湿性のフィルタ１７をキャップ１８で固定したが、本実施の形態５では、キャップ１８を用いず、計測室１４を構成するベース５の内側から連通口１５に直接、フィルタ１７を固定した。このような固定方法により、流量測定装置１をハンドリングする際に、フィルタ１７に指等が触れにくく、フィルタ１７の剥離を防止することができる。

なお、図１０に示す例では、計測室１４を、回路基板３、ベース５、プレート４、及びフィルタ１７から構成したが、計測室１４の構成はこれに限定されるものではない。例えば図１１に示すように、計測室１４を、回路基板３、ベース５、及びフィルタ１７から構成しても良い。

本実施の形態５によれば、上記実施の形態４と同様の効果に加え、フィルタ１７をベース５に直接固定することによりキャップ１８が不要となり、部品点数を削減することができ、キャップ１８をベース５に接着する工程を削減することができる。

実施の形態６．
図１２及び図１３は、本発明の実施の形態６に係る流量測定装置の計測室を示す断面図である。なお、本実施の形態６に係る流量測定装置の全体構成は、上記実施の形態１と同様であるので図１を流用し、各部の詳細な説明を省略する。

吸入空気に含まれる水滴等により連通口１５が封止され、計測室１４が主通路３２と隔離された場合、環境センサ１３は主通路３２を通過する吸入空気の環境パラメータを正確に計測することができない。そこで、本実施の形態６では、連通口１５を有するベース５の側面５ａの主通路３２側に連通口１５を囲む突出部１９を設け、ベース５の側面５ａを伝ってきた水滴等が連通口１５に到達するのを防いでいる。

図１２に示す例では、突出部１９は、フィルタ１７を固定するキャップ１８Ｂと一体成型されている。また、図１３に示す例では、突出部１９は、主通路３２側に向かって開口部が広がるテーパ部２０を有し、キャップ１８Ｃと一体成型されている。突出部１９にテーパ部２０を設けることにより、連通口１５に付着した水滴がテーパ部２０を伝って連通口１５から排出されやすくなる。

なお、本実施の形態６では、突出部１９はキャップ１８Ｂ、１８Ｃと一体成型されているが、これに限定されるものではない。上記実施の形態５のように、フィルタ１７をベース５に直接固定する場合（図１０及び図１１参照）には、突出部をベース５と一体成型することができる。

本実施の形態６によれば、連通口１５を囲む突出部１９を設けることにより、ベース５の側面５ａを伝ってきた水滴等により連通口１５が封止されるのを防ぐことができる。これにより、環境センサ１３による環境パラメータの計測が安定して行われるようになり、信頼性がさらに向上する。

実施の形態７．
図１４は、本発明の実施の形態７に係る流量測定装置におけるセンサ信号の処理を示す図である。本実施の形態７では、環境センサ１３の出力を流量測定装置１の出力に重畳することにより、環境センサ１３との一体化によるコネクタ端子１０の数の増加が発生しないようにしている。なお、本実施の形態７に係る流量測定装置の全体構成は、上記実施の形態１と同様であるので図１を流用し、各部の詳細な説明を省略する。

図１４に示すように、流量測定装置１は流量信号を出力する。また、環境センサ１３が温度センサ、湿度センサ、及び圧力センサを含む場合、それぞれ温度信号、湿度信号、圧力信号を出力する。環境センサ１３から出力された各センサ信号は、回路基板３の信号処理部において流量信号に重畳され、コネクタ端子１０を介してＥＣＵ（Ｅｎｇｉｎｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）に転送される。

流量測定装置１とＥＣＵの間の通信方式としては、車内ＬＡＮの通信方式として一般に普及している例えばＳＥＮＴ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｅｄｇｅ Ｎｉｂｂｌｅ Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）、ＬＩＮ（Ｌｏｃａｌ Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、Ｉ２Ｃ（Ｉｎｔｅｒ−Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＣＡＮ（Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、ＰＳＩ５（Ｐｅｒｉｐｈｅｒａｌ Ｓｅｎｓｏｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ ５）等が用いられる。

本実施の形態７によれば、流量測定装置１と環境センサ１３がコネクタ端子１０を共有しているので、環境センサ１３を流量測定装置１に一体化することによるコネクタ端子１０の数の増加が発生しない。なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。

本発明は、内燃機関の吸入空気量を測定すると共に、環境センサにより環境パラメータを計測することが可能な流量測定装置として利用することができる。

１ 流量測定装置、２ 流量検出素子、３ 回路基板、３ａ 第１面、３ｂ 第２面、４ プレート、５ ベース、５ａ 側面、５ｂ 正面、６ カバー、
７ 流量検出部、８ 回路基板収納部、９ コネクタ、１０ コネクタ端子、
１１ ワイヤボンディング用パッド、１２ ワイヤ、１３ 環境センサ、１４ 計測室、１５ 連通口、１６ コーティング剤、１７ フィルタ、
１８、１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ キャップ、１９ 突出部、２０ テーパ部、
３０ 吸気配管、３１ 挿入口、３２ 主通路、３３ バイパス通路。

Claims (8)

1. 配管に設けられた貫通孔に挿入され、前記配管内を主通路とする被計測流体の流量を測定する流量測定装置であって、
   外部装置との間で信号を授受するコネクタ端子を有するコネクタ、
   前記主通路を通過する被計測流体の一部を取り込むバイパス通路に配置される流量検出素子、
   一方の面にワイヤボンディング用パッドが配置されワイヤボンディングにより前記コネクタ端子及び前記流量検出素子と電気的に接続される回路基板、
   前記回路基板を支持し収納する回路基板収納部、
   前記回路基板の他方の面に実装され、被計測流体の温度、湿度、及び圧力の少なくとも１つを計測する環境センサ、
   前記回路基板収納部に設けられ、前記環境センサが配置される計測室を備え、
   前記計測室は、前記主通路と連通する連通口を有することを特徴とする流量測定装置。
2. 前記計測室は、前記主通路を通過する被計測流体の流れ方向と平行な面に前記連通口を有することを特徴とする請求項１記載の流量測定装置。
3. 前記回路基板の前記一方の面及び前記他方の面のいずれか一方または両方には、前記環境センサ以外の電子部品が実装され、前記回路基板収納部は、前記環境センサ以外の前記電子部品が被計測流体に曝されないように前記回路基板を収納することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流量測定装置。
4. 前記連通口には、防水透湿性のフィルタが設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の流量測定装置。
5. 前記フィルタは、前記計測室の内側から固定されていることを特徴とする請求項４記載の流量測定装置。
6. 前記計測室は、前記連通口を有する面の前記主通路側に、前記連通口を囲む突出部を有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の流量測定装置。
7. 前記突出部は、前記主通路側に向かって開口部が広がるテーパ部を有することを特徴とする請求項６記載の流量測定装置。
8. 前記環境センサの出力を前記流量測定装置の出力に重畳することにより、前記環境センサとの一体化による前記コネクタ端子の数の増加がないように、前記コネクタ端子を共有していることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の流量測定装置。