JP2008292268A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】圧力センサ内に発生した水滴によって圧力導入孔が閉塞してしまうことを防止することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ポート部３０に圧力媒体を圧力検出室１５に導入する第１圧力導入孔３１および第２圧力導入孔３２を設けると共に、ポート部３０の一端側に、各圧力導入孔３１、３２の各開口部３１ａ、３２ａからポート部３０の一端側に広がるテーパ状の室内傾斜部３３を設ける。さらに、そのうち第１圧力導入孔３１におけるケース１０側の開口部３１ａ上に、当該開口部３１ａに対向する突起部３４を設ける。
【選択図】図１

Description

本発明は、結露によって発生した水滴が圧力導入孔を閉塞することで圧力検出ができなくなることを防止するようにした圧力センサに関する。

従来より、氷結や結露によるセンシング素子の破壊を防止するようにした圧力センサが、例えば特許文献１、２で提案されている。具体的に、特許文献１では、ダイヤフラム式の圧力検出ユニットがハウジング内の導圧室に収納され、ハウジングを構成する下部蓋に設けた圧力導入ポートから導圧室内に被測定媒体の圧力が導かれる圧力センサが提案されている。このような圧力センサでは、開口部を有しダイヤフラムに圧力を導く導圧孔を有しており、ハウジングを構成する上部蓋は、開口部の直上に突起を有している。そして、導圧室内に充填された水が凍るような状態になったとき、上部蓋の突起によって開口部との間に氷の壁を形成することで、当該氷の壁によって氷結時のダイフラムの破損を防止している。

また、特許文献２では、圧力導入孔を有する台座と、台座上に接合され、凹部により形成された薄肉部をダイヤフラムとするとともに凹部内を圧力導入孔に連通する受圧室とした感圧用シリコンチップとを備えた圧力センサが提案されている。このような圧力センサでは、台座を上下の２層構造とし、下側をシリコン層とすると共に、上側の厚さを０．８ｍｍ以下のガラス層とすることにより、感圧用シリコンチップのダイヤフラムに加わる応力、すなわち、氷結に伴う体積膨張による応力を極力減らしてダイヤフラムの破壊を回避している。
特開平８−２９２７９号公報 特開平７−２９４３５４号公報

しかしながら、上記した特許文献１、２では、圧力を検出する圧力検出ユニットや感圧用シリコンチップが破壊に至らないまでも、圧力検出ユニットや感圧用シリコンチップに設けられたセンシング素子全体を氷が覆ってしまった場合や、圧力導入孔が塞がれるように氷結が起こった場合等では、圧力導入孔の閉塞により氷結中はセンシング素子に圧力が伝達されないという問題がある。

そこで、特開２０００−３２９７５４号公報では、圧力センサのポート部の圧力導入孔内に、当該圧力導入孔の長軸に対して傾斜した孔内傾斜部を設けて、圧力導入孔内に入り込んだ異物を孔内傾斜部を滑らせて圧力センサの外部に排出させる圧力センサが提案されている。しかし、ポート部が水滴で閉塞された場合、圧力媒体を圧力検出室に導入することができなくなり、圧力検出ができないという問題がある。

本発明は、上記点に鑑み、圧力センサ内に発生した水滴によって圧力導入孔が閉塞してしまうことを防止することができる圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の第１の特徴では、柱形状の一端側がケース（１０）に連結されることでケース（１０）の上端面（１２）との間に圧力検出室（１５）を構成し、柱形状の一端側と他端側とが貫通すると共に圧力検出室（１５）および圧力検出素子（２０）へ圧力媒体を導入する複数の圧力導入孔（３１、３２）を有するポート部（３０）を備え、ポート部（３０）は、複数の圧力導入孔（３１、３２）を有することと、当該ポート部（３０）の一端側に、複数の圧力導入孔（３１、３２）の各開口部（３１ａ、３２ａ）からポート部（３０）の一端側に広がるテーパ状の室内傾斜部（３３）を有することを特徴とする。

これにより、圧力検出室（１５）に結露によって水滴（５１、５２）が発生した場合、室内傾斜部（３３）によって水滴（５１、５２）を圧力導入孔（３１、３２）から圧力センサの外部に排出することができる。すなわち、各圧力導入孔（３１、３２）の開口部（３１ａ、３２ａ）に結露によって発生した水滴（５１、５２）が進入する確率を低下させることができる。したがって、少なくとも１つの圧力導入孔（３１、３２）が水滴（５１、５２）によって閉塞してしまうことを防止することができる。

この場合、複数の圧力導入孔（３１、３２）のうち少なくとも１つの圧力導入孔（３１）におけるケース（１０）側に開口する開口部（３１ａ）に対向するように室内傾斜部（３３）に設けられた突起部（３４）を備えることができる。

これにより、少なくとも１つの圧力導入孔（３１）の開口部（３１ａ）の上部に突起部（３４）を配置しているため、当該圧力導入孔（３１）に水滴（５１、５２）が垂れ落ちないようにすることができる。

また、突起部（３４）のうちケース（１０）に対向する面は、当該ケース（１０）に対向する面のうち突起部（３４）の先端側が室内傾斜部（３３）側よりも各開口部（３１ａ、３２ａ）側に位置するように傾斜しているようにすることができる。これにより、突起部（３４）に付着した水滴（５１、５２）が溜まって膜を形成してしまうことを防止することができる。

さらに、圧力導入孔（３１、３２）の壁面に親水処理を施すことができる。これにより、水滴（５１、５２）の排出性を高めることができる。

本発明の第２の特徴では、ポート部（６０）は、複数の圧力ポート（６１、６２）からなることと、当該ポート部（６０）の一端側に、複数の圧力ポート（６１、６２）の各開口部（６１ｂ、６２ｂ）からポート部（６０）の一端側に広がるテーパ状の室内傾斜部（３３）を有することを特徴とする。

これにより、圧力検出室（１５）に結露によって発生した水滴（５１、５２）をいずれかの圧力ポート（６１、６２）から排出させることができ、すべての圧力ポート（６１、６２）が水滴（５１、５２）によって閉塞してしまうことを防止することができる。

この場合、複数の圧力ポート（６１、６２）のうち少なくとも１つの圧力ポート（６１）におけるケース（１０）側に開口する開口部（６１ｂ）に対向するように室内傾斜部（３３）に設けられた突起部（３４）を備えることができる。

これにより、すべての圧力ポート（６１、６２）に水滴（５１、５２）が垂れ落ちないようにすることができる。

また、突起部（３４）のうちケース（１０）に対向する面は、当該ケース（１０）に対向する面のうち突起部（３４）の先端側が室内傾斜部（３３）側よりも各開口部（６１ｂ、６２ｂ）側に位置するように傾斜しているようにすることができる。

これにより、水滴（５１、５２）を排出しやすくすることができ、突起部（３４）に付着した水滴（５１、５２）による膜の形成を防止することができる。

この場合、圧力導入孔（３１、３２）の壁面に親水処理を施すことで、水滴（５１、５２）の排出性を高めることができる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示される圧力センサは、主に水蒸気を多く含む空気の圧力を測定する自動車用圧力センサとして構成されるものである。例えば、ディーゼルエンジンの排気ガス浄化システム（ＤＰＦシステム）を構成する一部品として、排気ガスの圧力を測定するために使用される圧力センサや、例えば、エンジンの電子制御において、空気と燃料の比を最適にするＥＦＩシステムにおいて、エンジンへの吸入空気の圧力を測定する圧力センサとして使用される。

図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を示す図である。この図に示されるように、圧力センサ１００は、ケース１０と、圧力検出素子２０と、ポート部３０とを備えて構成されている。

ケース１０は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものであり、外部と接続される複数のターミナル１１がインサート成型されたものである。また、ケース１０の上端面１２には、圧力検出素子２０を設置するための凹部１３が設けられている。

ターミナル１１の一端部は、ケース１０の側面に設けられた開口部１４内に露出するように配置されている。このケース１０の開口部１４の部分は、当該開口部１４内に位置する各ターミナル１１の一端部と共に、本圧力センサ１００におけるコネクタ部として構成される。つまり、開口部１４は、配線部材等を介して図示しない外部機器に接続可能になっている。このようなターミナル１１として、例えば銅や４２アロイなどの導電材料よりなるものが採用される。なお、ターミナル１１の他端部における凹部１３での露出部分には金メッキなどが施されており、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。

圧力検出素子２０は、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものであり、ピエゾ抵抗効果を利用したものである。この圧力検出素子２０はセンサチップとして構成され、圧力に応じたレベルの電気信号として電圧を検出するセンシング部を備えている。具体的に、圧力検出素子２０は、歪み部としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムに拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えたセンシング部を有している。このような圧力検出素子２０は、ケース１０の凹部１３に固定されたガラス台座上に接着固定されている。

なお、ケース１０の凹部１３には図示しない回路チップが備えられている。当該回路チップは、圧力検出素子２０に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力、圧力検出素子２０からの電気信号を入力し、演算・増幅処理して外部へ出力する等の機能を有する制御回路等を備えたものである。

上記圧力検出素子２０と回路チップとの間、回路チップとターミナル１１のボンディングパッドとの間は金やアルミニウム等のボンディングワイヤ２１で接続されている。

そして、ケース１０の凹部１３内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等からなる保護部材２２が充填されている。この保護部材２２により、圧力検出素子２０、回路チップ、ターミナル１１、ボンディングワイヤ２１、圧力検出素子２０とボンディングワイヤ２１との接続部、回路チップとボンディングワイヤ２１との接続部、およびターミナル１１とボンディングワイヤ２１との接続部が被覆され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。

本実施形態では、２層保護構造の保護部材２２が採用される。例えば、凹部１３内において下層に位置する保護部材として、ターミナル１１とケース１０との界面等からの気泡の発生を抑制するために高弾性率を持ち、且つ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゴム材料等が採用される。また、凹部１３内において上層に位置する保護部材として、圧力検出素子２０およびボンディングワイヤ２１に応力を与えないような低弾性率を持ち、且つ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゲル材料やフロロシリコンゲル等が採用される。

ポート部３０は、圧力検出素子２０に圧力媒体を導くものであり、ケース１０の上端面１２を覆うようにケース１０に対して一端側が接着剤等によって連結されている。これに伴い、ケース１０とポート部３０との間に圧力検出室１５が形成されている。また、ポート部３０の他端側は、ケース１０とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室１５に通じる第１圧力導入孔３１および第２圧力導入孔３２が形成されている。これら圧力導入孔３１、３２は、ポート部３０の長軸方向に延びるように形成されている。そして、インテークマニホルドの吸気などの圧力媒体が、圧力導入孔３１、３２から圧力検出室１５に導かれるようになっている。

このようなポート部３０は、例えば上記ケース１０と同様に、ＰＢＴ、ＰＰＳなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、金型を用いてこれらの樹脂材料を型成形してなるものである。また、ポート部３０の外周部には、Ｏリング４０が設けられ、本圧力センサ１００は、当該Ｏリング４０を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。

上記構成を有する圧力センサ１００では、ポート部３０においてケース１０との連結により構成される圧力検出室１５に室内傾斜部３３が設けられている。この室内傾斜部３３は、ポート部３０の一端側に、各圧力導入孔３１、３２の各開口部３１ａ、３２ａからポート部３０の一端側に広がるテーパ状に設けられている。すなわち、室内傾斜部３３は、ケース１０とポート部３０との連結部分付近から各圧力導入孔３１、３２側にかけて傾斜している。

この室内傾斜部３３は、圧力検出室１５に結露によって水滴５１、５２が発生した際、この傾斜を利用して水滴５１、５２を各圧力導入孔３１、３２に滑り落とし、水滴５１、５２を圧力センサ１００の外部に排出する機能を有している。

そして、図１に示されるように、第１圧力導入孔３１および第２圧力導入孔３２を有するポート部３０に突起部３４が設けられている。この突起部３４は、室内傾斜部３３のうち第１圧力導入孔３１においてケース１０側に開口する開口部３１ａに対向するように室内傾斜部３３に設置されている。すなわち、突起部３４は、突起状の板部分を有しており、当該板部分が第１圧力導入孔３１の開口部３１ａに対向するようにされている。

上記突起部３４は、ポート部３０が形成される際に、ポート部３０と共に一体成形され、ポート部３０の一端側を圧力導入孔３１、３２に見ると、突起部３４が第１圧力導入孔３１側に半円状に設けられた状態になっている。これにより、第１圧力導入孔３１の開口部３１ａが突起部３４に対向することとなる。

この場合、突起部３４と圧力検出素子２０との間に水が溜まらないように、突起部３４と圧力検出素子２０との間に十分な空間を設けることが好ましい。本実施形態では、突起部３４とケース１０側の上端面１２との距離を例えば３〜４ｍｍとしている。

他方、第２圧力導入孔３２においてケース１０側に開口する開口部３２ａに対向するものはなく、当該開口部３２ａはケース１０に対向しているのみである。上述のように、室内傾斜部３３の傾斜によって結露による水滴５１、５２を各圧力導入孔３１、３２に導くために、第２圧力導入孔３２の開口部３２ａとケース１０の上端面１２との間は、表面張力によって水滴５１、５２が溜まらないように十分な空間になっていることが好ましい。以上が、本実施形態に係る圧力センサ１００の全体構成である。

次に、上記構成を有する圧力センサ１００において、圧力検出室１５に水が進入した場合の作動について説明する。上記圧力センサ１００を例えばＤＰＦシステムの一部として用いた場合、水蒸気を含む圧力媒体の圧力を検出することとなる。このため、図１に示されるように、圧力検出室１５内に導入された圧力媒体によって、圧力検出室１５内に結露による水滴５１、５２が発生する。

結露によって生じる水滴５１、５２は、圧力検出素子２０の表面にも付着することがある。このように、圧力検出素子２０やケース１０に付着した水滴５１、５２は、例えば重力や振動等によって室内傾斜部３３に垂れ落ち、室内傾斜部３３の傾斜によって第２圧力導入孔３２を介して圧力センサ１００の外部に排出される。

このように結露が生じた場合であって、突起部３４上に水滴５２が発生した場合、上述のように突起部３４が第１圧力導入孔３１の開口部３１ａに対向するように配置されているため、水滴５２は突起部３４の側面から垂れ落ちる際に第１圧力導入孔３１ではなく第２圧力導入孔３２に垂れ落ちる可能性が高くなる。

すなわち、複数の圧力導入孔３１、３２のうち第１圧力導入孔３１の開口部３１ａ上に突起部３４を配置することで、水滴５１、５２が第１圧力導入孔３１に進入しにくくすることができる。これにより、第１圧力導入孔３１が水滴５１、５２によって閉塞する確率が低下し、閉塞に対する信頼性が向上する。

ここで、図１に示されるように、水滴５１、５２が積極的に第２圧力導入孔３２に導かれた場合、第２圧力導入孔３２内に当該第２圧力導入孔３２を完全に塞ぐ水滴５３が形成される可能性があるが、当該水滴５３は重力や振動等によって圧力センサ１００の外部に排出される。他方、第１圧力導入孔３１は閉塞されないため、圧力媒体を圧力検出室１５に確実に導くことができる。

以上説明したように、本実施形態では、ポート部３０に圧力媒体を圧力検出室１５に導入する圧力導入孔３１、３２を複数設けると共に、そのうち少なくとも１つの第１圧力導入孔３１におけるケース１０側の開口部３１ａ上に、当該開口部３１ａに対向する突起部３４を設けたことを特徴としている。

これにより、圧力検出室１５に結露によって水滴５１、５２が発生したとしても、突起部３４によって第１圧力導入孔３１の開口部３１ａを覆うことで、水滴５１、５２が突起部３４に阻まれて第１圧力導入孔３１の開口部３１ａに進入する確率を低下させることができる。したがって、圧力検出室１５に結露が生じたとしても、水滴５１、５２によって全ての圧力導入孔３１、３２が閉塞されてしまうことを防止することができ、圧力検出室１５に圧力媒体の圧力伝達がなされなくなる不具合を回避することができる。

また、水滴５３によって第２圧力導入孔３２が閉塞されたとしても、開口部３１ａの上部に突起部３４が設けられた第１圧力導入孔３１から圧力媒体を圧力検出室１５に導入することができ、圧力を検出し続けることができる。

（第２実施形態）
本実施形態では、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記第１実施形態では、１つのポート部３０に複数の圧力導入孔３１、３２が設けられた圧力センサ１００について説明したが、本実施形態では、１つの圧力導入孔が設けられた圧力ポートがポート部に複数設けられることが特徴となっている。

図２は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を示す図である。この図に示されるように、本実施形態では、ポート部６０は複数の圧力ポート６１、６２を備えている。これら各圧力ポート６１、６２には、ポート部６０の一端側から他端側に貫通する圧力導入孔６１ａ、６２ａがそれぞれ設けられている。

また、ポート部６０においてケース１０との連結により構成される圧力検出室１５に室内傾斜部３３が設けられている。この室内傾斜部３３は、ポート部６０の一端側に、各圧力導入孔６１ａ、６２ａの各開口部６１ｂ、６２ｂからポート部６０の一端側に広がるテーパ状に設けられている。

そして、室内傾斜部３３には、各圧力ポート６１、６２のうち少なくとも１つの圧力ポート６１におけるケース１０側に開口する開口部６１ｂに対向するように突起部３４が設けられている。この突起部３４においてケース１０に対向する面は、当該ケース１０に対向する面のうち突起部３４の先端側が室内傾斜部３３側よりも各開口部６１ｂ、６２ｂ側に位置するように傾斜している。

なお、本実施形態では、図１に示される圧力センサ１００の構成に対して、ポート部６０の構成のみが異なっており、他の構成部材は図１に示されるものと同様のものが採用される。

このようなポート部６０の構成においても、傾斜した室内傾斜部３３によって、圧力検出室１５に結露によって発生した水滴５１、５２を各圧力ポート６１、６２から排出しやすくすることができ、突起部３４に付着した水滴５２による水の膜の形成を防止することができる。

また、水滴５１、５２を排出する圧力導入孔６１ａ、６２ａが複数設けられているため、各圧力導入孔６１ａ、６２ａが水滴によって閉塞される確率を下げることができ、すべての圧力導入孔６１ａ、６２ａが閉塞してしまうことを防止することができる。

さらに、各圧力導入孔６１ａ、６２ａの各開口部６１ｂ、６２ｂのうち１つの開口部６１ｂ上に当該開口部６１ｂを覆うように突起部３４が設けられているため、突起部３４に覆われた開口部６１ｂに水滴５１、５２が垂れ落ちないようにすることができる。

すなわち、図２に示されるように、水滴５３によって圧力導入孔６２ａが閉塞されてしまったとしても、開口部６１ｂ上に突起部３４が設けられた圧力導入孔６１ａは閉塞されないため、圧力媒体を圧力検出室１５に導くことができる。

（他の実施形態）
上記実施形態では、ポート部３０に２つの圧力導入孔３１、３２を設けているが、圧力導入孔はポート部３０に複数備えられていれば良く、２つに限らず３つ以上あっても構わない。この場合、少なくとも１つの圧力導入孔のケース側の開口部に対向するように突起部３４を設ければ良い。

上記実施形態では、ポート部３０に突起部３４を一体成形しているが、突起部３４をポート部３０とは別体として型成形したものを用意し、当該突起部３４を接着剤等によって室内傾斜部３３に取り付けることもできる。

上記実施形態では、突起部３４のうちケース１０と対向する面は、ケース１０の上端面１２と平行になっているが、この突起部３４のうちケース１０に対向する面が、当該ケース１０に対向する面のうち突起部３４の先端側が室内傾斜部３３側よりも各開口部１４側に位置するように傾斜するようにしても構わない。これにより、さらに水滴５２が垂れ落ちやすいようにすることができる。すなわち、突起部３４とケース１０との間に水滴５２が溜まって膜が形成されないようにすることができる。この場合、第１圧力導入孔３１から圧力検出室１５に圧力媒体を導入するため、突起部３４によって第１圧力導入孔３１の開口部３１ａが閉じられないようにすることが好ましい。

また、特定の圧力導入孔の上部に突起部３４を設け、水滴５１、５２がその圧力導入孔に落ちずに他の圧力導入孔に落ちるように積極的に誘導することで、上部に突起部３４が設けられた圧力導入孔の水滴５１、５２による閉塞の確率をさらに低減し、信頼性を向上させることができる。

上記第１実施形態では、室内傾斜部３３に突起部３４が設けられたものが示されているが、当該突起部３４がない圧力センサ１００を構成することもできる。すなわち、圧力検出室１５に少なくとも室内傾斜部３３が設けられていれば、水滴５１、５２が各圧力導入孔３１、３２の開口部３１ａ、３２ａに進入する確率を低下させることができ、各圧力導入孔３１、３２が閉塞してしまうことを防止することができる。上記第２実施形態についても同様に各圧力導入孔６１ａ、６２ａの閉塞を防止することができる。

各実施形態に示される圧力センサに設けられる各圧力導入孔３１、３２、６１ａ、６２ａの壁面に親水処理を施すこともできる。これにより、圧力検出室１５内に発生した水滴５１、５２、５３の排出性を高めることができる。

本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を示す図である。

符号の説明

１０…ケース、１１…ターミナル、１２…上端面、１３…凹部、１５…圧力検出室、２０…圧力検出素子、３０…ポート部、３１、３２…圧力導入孔、３１ａ、３２ａ…開口部、３３…室内傾斜部、３４…突起部。

Claims (8)

1. 外部と接続されるターミナル（１１）がインサート成型されたケース（１０）と、
   前記ターミナル（１１）に電気的に接続された状態で前記ケース（１０）の上端面（１２）に設けられた凹部（１３）に配置されると共に、圧力検出を行う圧力検出素子（２０）と、
   柱形状の一端側が前記ケース（１０）に連結されることで前記ケース（１０）の上端面（１２）との間に圧力検出室（１５）を構成し、前記柱形状の一端側と他端側とが貫通すると共に前記圧力検出室（１５）および前記圧力検出素子（２０）へ圧力媒体を導入するポート部（３０）とを備えた圧力センサであって、
   前記ポート部（３０）は、
   複数の圧力導入孔（３１、３２）を有することと、当該ポート部（３０）の一端側に、前記複数の圧力導入孔（３１、３２）の各開口部（３１ａ、３２ａ）から前記ポート部（３０）の一端側に広がるテーパ状の室内傾斜部（３３）を有することを特徴とする圧力センサ。
2. 前記複数の圧力導入孔（３１、３２）のうち少なくとも１つの圧力導入孔（３１）における前記ケース（１０）側に開口する開口部（３１ａ）に対向するように前記室内傾斜部（３３）に設けられた突起部（３４）を有していることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記突起部（３４）のうち前記ケース（１０）に対向する面は、当該ケース（１０）に対向する面のうち前記突起部（３４）の先端側が前記室内傾斜部（３３）側よりも前記各開口部（３１ａ、３２ａ）側に位置するように傾斜していることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記圧力導入孔（３１、３２）の壁面に親水処理を施したことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
5. 外部と接続されるターミナル（１１）がインサート成型されたケース（１０）と、
   前記ターミナル（１１）に電気的に接続された状態で前記ケース（１０）の上端面（１２）に設けられた凹部（１３）に配置されると共に、圧力検出を行う圧力検出素子（２０）と、
   柱形状の一端側が前記ケース（１０）に連結されることで前記ケース（１０）の上端面（１２）との間に圧力検出室（１５）を構成し、前記柱形状の一端側と他端側とが貫通すると共に前記圧力検出室（１５）および前記圧力検出素子（２０）へ圧力媒体を導入するポート部（６０）とを備えた圧力センサであって、
   前記ポート部（６０）は、圧力導入孔（６１ａ、６２ａ）をそれぞれ備えた複数の圧力ポート（６１、６２）からなることと、当該ポート部（６０）の一端側に、前記複数の圧力ポート（６１、６２）の各開口部（６１ｂ、６２ｂ）から前記ポート部（６０）の一端側に広がるテーパ状の室内傾斜部（３３）を有することを特徴とする圧力センサ。
6. 前記複数の圧力ポート（６１、６２）のうち少なくとも１つの圧力ポート（６１）における前記ケース（１０）側に開口する開口部（６１ｂ）に対向するように前記室内傾斜部（３３）に設けられた突起部（３４）を有していることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
7. 前記突起部（３４）のうち前記ケース（１０）に対向する面は、当該ケース（１０）に対向する面のうち前記突起部（３４）の先端側が前記室内傾斜部（３３）側よりも前記各開口部（６１ｂ、６２ｂ）側に位置するように傾斜していることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
8. 前記圧力ポート（６１、６２）の圧力導入孔（６１ａ、６２ａ）の壁面に親水処理を施したことを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。

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