JPH1130535A - 圧力センサ装置 - Google Patents

圧力センサ装置

Info

Publication number
JPH1130535A
JPH1130535A JP9186546A JP18654697A JPH1130535A JP H1130535 A JPH1130535 A JP H1130535A JP 9186546 A JP9186546 A JP 9186546A JP 18654697 A JP18654697 A JP 18654697A JP H1130535 A JPH1130535 A JP H1130535A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
pressure sensor
chamber
sensor device
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9186546A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3404257B2 (ja
Inventor
Junichi Ichikawa
淳一 市川
Etsuo Nishimura
悦夫 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP18654697A priority Critical patent/JP3404257B2/ja
Priority to US08/974,683 priority patent/US6003379A/en
Publication of JPH1130535A publication Critical patent/JPH1130535A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3404257B2 publication Critical patent/JP3404257B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0636Protection against aggressive medium in general using particle filters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異物が圧力導入路奥の圧力センサに到達する
ことを抑制し、耐汚損性、耐凍結性に優れ、温度センサ
有する圧力センサ装置を得ることが課題である。 【解決手段】 密閉された基準室1cと圧力導入室1e
とを画成するように配設され、基準室1cと圧力導入室
1eとの圧力差によって変形し、被測定物の圧力を検出
する圧力検出素子1d、圧力導入室1eに接続されたパ
イプ1b、および導出部1aを有する圧力センサ1と、
被測定物の温度を検出する感熱素子16および導出部1
7を有する温度センサ14と、圧力センサ1と温度セン
サ14とを収納し、一端がパイプ1bに気密に接続され
他端が外部に開口され迷路構造8,9を有する圧力導入
路7が形成され、先端部に感熱素子16が埋設された温
度センサ収納突起15が形成されたセンサ収納容器6と
を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、被測定物の圧力
を検出する圧力センサ装置に関するものであり、特にエ
ンジンの吸気系に直接取り付けられて用いられ、耐汚損
性、耐凍結性に優れ、信頼性の高い圧力センサ装置に関
するものである。また、被測定物の温度を検出する温度
センサが付加された圧力センサ装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図8は例えば特開平6−281519号
公報に示された従来の圧力センサ装置の断面図である。
図8において、圧力センサ1は、一側に突出して設けら
れた導出部であるリード1aを回路基板2にハンダ付け
されて実装されている。圧力センサ1の内部には、図示
しない基準室が気密に形成されている。この基準室内に
は、さらに気密に圧力導入室を形成する図示しない圧力
検出素子が設けられている。この圧力導入室には、圧力
センサ1の外部に延びるパイプ1bが接続されている。
パイプ1bは、例えば空気等の被測定物の圧力を圧力導
入室に導く。圧力検出素子は、圧力導入室と基準室の圧
力差によって変形し、この変形量を被測定物の圧力とし
て電気信号に変換しリード1aを介して外部に出力す
る。
【0003】圧力センサ1は、パイプ1bを回路基板2
に穿孔された貫通孔2aに貫通させて回路基板2に実装
されている。回路基板2上には更に、断面コ字型のセラ
ミック回路基板2cが圧力センサ1を覆うように配設さ
れている。また、圧力センサ1の出力信号を外部に出力
するターミナル3が回路基板2の一端から延設されてい
る。回路基板2と圧力センサ1の組立体は、回路基板2
の周辺部を支持されてベース4上に載置され、さらに樹
脂製箱状のハウジング5に覆わている。ベース4とハウ
ジング5は、上記組立体を収容するセンサ収納容器6を
構成している。
【0004】圧力センサ1およびセラミック回路基板2
cは、ベース4とハウジング5の内側に形成された空間
に、容器に接触しないように収納されている。ハウジン
グ5とセラミック回路基板2cとの間には、セラミック
回路基板2cを覆うように箱状のカバー5bが配設され
ている。カバー5bは周縁部を全周にわたって回路基板
2の外周部に当接させ、一方反対側の頂部をハウジング
5の内壁に当接させ、回路基板2を図1の上方からベー
ス4に押しつけて、回路基板2を位置決めしている。
【0005】ハウジング5の1側面には、図示しない外
部コネクタが接続されるためのコネクタ部5aが形成さ
れている。コネクタ部5aの中央には、ターミナル3が
埋め込まれて支持されている。ベース4には、パイプ1
bに接続される圧力導入路7が形成されている。圧力導
入路7の中間部には、フィルタ7aが配置されている。
ベース4は、フィルタ7aを挟み込むために、圧力導入
路7の軸方向(図8の上下方向)に2個の部材4a,4
bに分割され、部材4aと部材4bでフィルタ7aを挟
んで支持している。部材4a側に形成された圧力導入路
7のフィルタ7aに対向した部分は、フィルタ7aを通
過する被測定物の量を稼ぐ目的で円錐状に広げられてい
る。圧力導入路7は、Oリング10によって、パイプ1
bと気密に接続されている。
【0006】ベース4の外周部には、圧力センサ装置が
所定の場所に取り付けられるとき支持される取付面4c
が形成されている。取付面4cには、外周に沿ってOリ
ング22が配設されている。
【0007】このような構造の従来の圧力センサ装置
は、例えばエンジンの吸気系50の壁面に穿孔された取
付穴50aに、穴を塞ぐようにベース4が挿入されて、
取付穴50aに取付面4cを係合させ、Oリング22で
取付面4cと取付穴50aとの間を密閉されて取り付け
られ、エンジンの吸気系圧力を測定する。
【0008】尚、フィルタ7aは、圧力センサ1に異物
を侵入させないために、必要に応じて設けられるが、部
品点数が多くなり、また構造が複雑となるので、フィル
タ7aを設けないタイプの圧力センサ装置も多い。その
ようなタイプの圧力センサ装置においては、ベース4は
2個に分割されておらず、また圧力導入路7は直線的な
円筒形状とされている。
【0009】また、図9は例えば実開平4−30448
号公報に示された従来の温度センサ装置の構造図であ
る。図9において、感熱素子であるサーミスタ16は、
ホルダ15に収納され、周囲を樹脂20で覆われて封止
されている。サーミスタ16には、2本のリード線1
7,17が接続され、一側のリード線17は、各々のリ
ード線17,17間の絶縁性を得るためにチューブ13
で覆われている。サーミスタ16で検出された温度は、
コネクタ24に埋設されたターミナル25から外部に出
力される。ハウジング26は、ホルダ15とコネクタ2
4を支持するとともに、外周部には温度センサ装置を所
定の位置に取り付けのためのネジ部26aが形成されて
いる。ハウジング26とホルダ15との間には、被測定
物側と外気側とをシールするOリング27が配設されて
いる。
【0010】このような構造の従来の温度センサ装置
は、例えばエンジンの吸気系50の壁面に穿孔された取
付穴50bに穴を塞ぐように、ハウジング26の外周部
に形成されたネジ部26aを締着されて取り付けられ、
被測定物の温度を検出する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧力センサ装置
と温度センサ装置は、以上のように構成されているの
で、被測定物の圧力と温度を検出するために各々別のセ
ンサ装置が必要であった。そのため、例えばエンジンの
吸気系50に個別に取り付けられ、それぞれ取付穴50
a,50bが必要であり、また供給電源、信号出力のた
めの外部コネクタや配線がそれぞれのセンサ装置に対し
て必要であるという問題があった。また、外装部品や内
部構成部品がそれぞれのセンサ装置に対して必要となる
ため、トータルで安価につくることが困難であった。
【0012】図8のような構造の従来の圧力センサ装置
においては、上記のように例えばエンジンの吸気系50
の壁面に穿孔された取付穴50aに、穴を塞ぐように取
り付けられるが、一般にエンジンの吸気系50は、圧力
脈動や急激なスロットル開閉により圧力が急変する。そ
して、負圧から大気圧あるいは正圧に圧力が変化した場
合、圧力源に存在する固形異物が低圧側に高速で飛来す
る。そして、飛来した固形異物は、場合によって圧力セ
ンサ装置内に突入することもある。一方、図8のような
構成の従来の圧力センサ装置は、ベース4に形成された
圧力導入路7は、パイプ1bの軸線上に直線的に形成さ
れており、フィルタ7aがないタイプのものの場合、固
形異物は運動エネルギーが減衰されないまま圧力導入路
7奥の圧力検出素子まで到達し圧力検出素子が動作不良
となるという問題があった。
【0013】また、図8のような構造の従来の圧力セン
サ装置においては、例えば圧力導入路7が水平とされた
状態で取り付けられると、圧力導入路7のフィルタ7a
に対向した円錐形の部分に水滴が滞留してしまう。圧力
導入路7内に水滴が存在するとこの水滴の凍結等により
圧力導入路7が閉塞し感圧不良が発生する。そのため、
従来の圧力センサ装置は、圧力導入路7が鉛直となるよ
うに取り付けられ、傾いた取付場所等には取り付けるこ
とができなかった。
【0014】さらに、このような構造の従来の圧力セン
サ装置においては、圧力導入路7の開口が1箇所なの
で、この開口が水滴の凍結や高粘度の物質の付着によっ
て閉塞した場合、圧力導入路が確保できず感圧不良が発
生するという問題があった。
【0015】また、被測定物が高湿度である場合、圧力
センサ装置周辺の温度が低下すると圧力導通路7および
パイプ1b内の水蒸気が冷えて内部壁面に結露が発生す
るが、この際、壁面の温度が最も低い場所に結露が発生
する。圧力センサ1のパイプ1bは金属からなり、樹脂
からなるベース4に比べ比熱が小さいため、ベース4よ
りも温度が先に低くなる。そのためパイプ1bの内壁か
ら先端にかけて結露が発生する。そして、結露となって
発生した水滴が凍結し感圧不良が発生するという問題が
あった。
【0016】また、図9のような構造の従来の温度セン
サ装置においては、取付穴50bと接するネジ部26a
とホルダ15との間には、吸気系50の温度がサーミス
タ16に伝わることがないよう空隙51が設けられてい
る。しかし、この構造が複雑となるのでコスト高の原因
となっており、また、熱はホルダ15や樹脂20を伝わ
りサーミスタ16に至り、熱の伝達の防止に関しては完
全ではなかった。
【0017】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたものであり、センサ装置の取付場所を
削減することができ、異物が圧力導入路奥の圧力センサ
まで到達することを抑制し、取付位置の自由度を向上さ
せ、耐汚損性、耐凍結性に優れ、さらに圧力測定位置近
傍の被測定物の温度を正確に測定することができる温度
センサ有する圧力センサ装置を得ることを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】請求項1の圧力センサ装
置においては、密閉された基準室と圧力導入室とを画成
するように配設され、基準室と圧力導入室との圧力差に
よって変形し、外部の被測定物の圧力を検出する圧力検
出素子、圧力導入室に接続され、外部の被測定物を圧力
導入室に導入するパイプ、および圧力検出素子の検出値
を外部に導く導出部を有する圧力センサと、圧力センサ
に隣接して設けられ、被測定物の温度を検出する感熱素
子、および感熱素子から延出され感熱素子の検出値を外
部に導く導出部を有する温度センサと、圧力センサと温
度センサとを収納すると共に、一端がパイプに気密に接
続され他端が外部に開口され被測定物の圧力を伝達可能
とすると共に圧力センサに異物が侵入することを阻止す
る迷路構造を有する圧力導入路が形成され、開口の近傍
から突出され先端部に感熱素子が埋設された温度センサ
収納突起が形成されたセンサ収納容器を備えている。
【0019】請求項2の圧力センサ装置においては、密
閉された基準室、基準室内に更に密閉された圧力導入室
を形成し、基準室と圧力導入室との圧力差によって変形
し、外部の被測定物の圧力を検出する圧力検出素子、圧
力導入室に接続され、外部の被測定物を圧力導入室に導
入するパイプ、および圧力検出素子の検出値を外部に導
く導出部を有する圧力センサと、圧力センサを収納する
と共に、一端がパイプに気密に接続され他端が容器内部
に開口され被測定物の圧力を伝達可能とすると共に圧力
センサに異物が侵入することを阻止する迷路構造を有す
る圧力導入路が形成されたセンサ収納容器を備えてい
る。
【0020】請求項3の圧力センサ装置においては、迷
路構造は、一端がパイプに気密に接続され他端に底部を
有する円筒形の副室と、底部の最大内径部から穿孔さ
れ、副室と外部とを連通するように設けられ、外部に開
口する開口部の位置が、副室の内壁より径方向外方とな
るように形成されている小通路とから構成されている。
【0021】請求項4の圧力センサ装置においては、小
通路は、周方向に沿って複数個が形成されている。
【0022】請求項5の圧力センサ装置においては、底
部は、中央部が高くされた概略円錐形とされている。
【0023】請求項6の圧力センサ装置においては、副
室は、容積が0.2cm3以上であり、且つ小通路の断
面積は、0.1cm2以下である。
【0024】請求項7の圧力センサ装置においては、副
室とパイプとの間に設けられ、主面に貫通穴が穿孔さ
れ、主面と所定の間隔をあけて貫通穴を覆うように設け
られた遮蔽部が設けられ、被測定物は遮蔽部を迂回し貫
通穴を通過する防護板を有する。
【0025】請求項8の圧力センサ装置においては、防
護板は、センサ収納容器より比熱が小さい材料で作製さ
れている。
【0026】請求項9の圧力センサ装置においては、防
護板の主面と遮蔽部との間に貫通穴を覆うように収納さ
れ、油脂が含浸された不織布を有する。
【0027】請求項10の圧力センサ装置においては、
防護板の主面と遮蔽部との間に貫通穴を覆うように収納
された金属メッシュフィルタを有する。
【0028】請求項11の圧力センサ装置においては、
センサ収納容器は、被測定物を収納する容器の壁面に穿
孔された取付穴に、外周部に形成された取付面を気密に
係合されて取り付けられ、温度センサ収納突起は、底部
側を容器内に向けて突設され、先端部に感熱素子が収納
された有底筒状部と、感熱素子の周囲に充填された熱伝
導性の高い樹脂とからなり、樹脂と取付面との間には、
空気層が形成されている。
【0029】請求項12の圧力センサ装置においては、
センサ収納容器内に回路基板が配設され、温度センサは
フレキシブル基板を介して回路基板と電気的に接続され
ている。
【0030】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1は本発明の圧力センサ装置の断面図
である。図2は圧力センサ装置の裏面図である。図3は
防護板付近の部分的な拡大図である。図4は防護板の正
面図である。図5は図4のV-V線に沿う矢視断面図であ
る。図1において、圧力センサ1は、一側に突出して設
けられた導出部であるリード1aを回路基板2にハンダ
付けされて実装されている。圧力センサ1の内部には、
基準室1cが気密に形成されている。この基準室1cの
中央には、シリコンで成形された箱状の圧力検出素子1
dが縁部を気密に固定されて配設されている。圧力検出
素子1dの内部には、気密な圧力導入室1eが形成され
ている。圧力検出素子1dは、一部分が薄肉にされて形
成されたダイアフラム部とこのダイアフラム部上に形成
されたゲージ抵抗とを有している。圧力導入室1eに
は、圧力センサ1の外部に延びるパイプ1bが接続され
ている。パイプ1bは、例えば空気等の被測定物の圧力
を圧力導入室1eに導く。圧力検出素子1dのダイアフ
ラム部は、圧力導入室1eと基準室1cの圧力差によっ
て変形する。この変形量は被測定物の圧力に比例する。
ゲージ抵抗はこの変形によって抵抗値が変化し、この抵
抗値に比例した電圧値を被測定物の圧力としてリード1
aを介して外部に出力する。
【0031】圧力センサ1は、パイプ1bを回路基板2
に穿孔された貫通孔2aに貫通させて回路基板2に実装
されている。また、圧力センサ1の出力信号を外部に出
力するターミナル3が回路基板2の一端から延設されて
いる。回路基板2と圧力センサ1の組立体は、回路基板
2の周辺部を支持されてベース4上に載置され、さらに
樹脂製箱状のハウジング5に覆わている。ハウジング5
の周縁部は、ベース4に接着されている。ベース4とハ
ウジング5は、この組立体を収容するセンサ収納容器6
を構成している。圧力センサ1は、センサ収納容器6の
内側に形成された空間に、容器に接触しないように収納
されている。ハウジング5と圧力センサ1との間には、
圧力センサ1を覆うように箱状のカバー5bが配設され
ている。カバー5bは、周縁部を全周にわたって回路基
板2の外周部に当接させ、一方反対側の頂部をハウジン
グ5の内壁に当接させ、回路基板2を図1の上方からベ
ース4に押しつけて、回路基板2を位置決めしている。
【0032】ハウジング5の1側面には、図示しない外
部コネクタが接続されるためのコネクタ部5aが形成さ
れている。コネクタ部5aの中央には、複数のターミナ
ル3が埋め込まれて支持されている。
【0033】ベース4には、パイプ1bに接続され被測
定物の圧力をパイプ1b導く圧力導入路7が形成されて
いる。圧力導入路7は、副室8及び小通路9からなる迷
路構造を有している。副室8は、一端がパイプ1b側に
気密に連結され他端に底部8aを有する円筒形状の空間
である。また、小通路9は、底部8aの最も外側である
最大内径部から穿孔され、副室8と外部とを連通するよ
うに設けられ、外部に開口された開口部9aの位置が、
副室8の内壁より径方向外方となるように形成された通
路である。底部8aは、パイプ1bの軸線上に配置さ
れ、中央部が高くされた概略円錐形とされている。
【0034】圧力導入路7を通過する被測定物は、小通
路9を通過した後、向きを変えて副室8に至り、その後
パイプ1b内に入る。一方、高速で飛来した固形異物は
底部8aに当たるか、または、小通路9から侵入しても
小通路9と副室8との接続部で運動エネルギーを減衰さ
れ、圧力センサ1までは達しない。すなわち、迷路構造
を構成する副室8及び小通路9は、被測定物を迂回させ
て圧力センサ1に導き、被測定物の圧力を圧力センサ1
に伝達すると共に、高速で飛来した固形異物の運動エネ
ルギーを減衰させ、圧力センサ1に異物が侵入すること
を阻止する。
【0035】圧力導入路7は、Oリング10によって、
パイプ1bに気密に連結されている。Oリング10は、
回路基板2との間に配設されたホルダ11によって位置
決めされている。また、副室8とパイプ1bとの間に
は、小通路9よりさらに小さな貫通穴を有すると共に、
被測定物がさらに迂回して圧力センサ1に導かれるよう
に、防護板12が配設されている。防護板12について
は、後で詳細を説明する。
【0036】ベース4には、圧力導入路7に隣接して形
成され図1の下方に延びる温度センサ収納突起15が形
成されている。温度センサ収納突起15の内部には、図
1の上方から温度センサ収納突起15の中心軸に沿っ
て、また圧力導入路7と平行な方向に深い穴が空けられ
中空部15aが形成されている。中空部15aは、温度
センサ収納突起15に、側壁および底が所定の厚さとし
て残るように内部が削除されて形成されている。
【0037】中空部15a内には、温度センサ14が収
納されている。温度センサ14は、中空部15aの底近
傍に配置された感熱素子であるサーミスタ16とサーミ
スタ16から延びる導出部であるリード線17からなっ
ている。サーミスタ16は、温度センサ収納突起15の
側壁を介して被測定物の温度を感じ取り、これを電気信
号に変換して外部に出力する。中空部15aの内部に
は、温度センサ14の位置決めのために、熱伝達性の良
いシリコーンゴム、シリコーングリース、シリコーンコ
ンパウンド等の樹脂20が充填されている。樹脂20は
中空部15aの先端部分のみに充填され、後で述べる取
付面4c付近の中空部15aには充填されていない。
【0038】リード線17の端部は、フレキシブル基板
18の一端と半田19により接続されている。フレキシ
ブル基板18は概略直角に湾曲し他端は、回路基板2に
固定され、回路基板2から延設されたターミナル3と電
気的に接続されている。サーミスタ16で検出された温
度は、電気信号に変換され、リード線17、フレキシブ
ル基板18、回路基板2およびターミナル3を経由して
外部に出力される。
【0039】装置の組立工程において、温度センサ14
は、まずリード線17の末端をフレキシブル基板18に
半田付けされ、その後フレキシブル基板18の他端が、
回路基板2に半田付けされ、その後、回路基板2がベー
ス4に載置される際に、中空部15aに挿入される。こ
の時、フレキシブル基板18は、湾曲が容易なので、温
度センサ14が中空部15aに挿入されやすく組立性が
良い。
【0040】ベース4の外周部には、取付面4cが形成
されている。取付面4cには、周方向に沿ってOリング
22が配設されている。圧力センサ装置は、エンジンの
吸気系50に設けられた取付穴50aに、図1のOリン
グ22より下方の部分を挿入され、Oリング22で密閉
されて取り付けられている。
【0041】図2において、小通路9は、底部8aの最
大内径部に周方向に沿って等間隔に3個が形成されてい
る。図3において、Oリング10は、副室8と同軸に形
成されたOリング収納部4d内に収納されている。Oリ
ング収納部4dと副室8の間には、周方向にそって段部
が形成されている。一方、防護板12は、外周部に形成
された耳部12aをこの段部に掛けて、図3の上方から
Oリング10で押圧されて位置決めされている。
【0042】図4および図5において、防護板12は、
センサ収納容器6より比熱の小さい金属で作製され、例
えばプレス機によって矩形に打ち抜かれた板材の4つの
角部が内側に折り曲げられて作製されている。防護板1
2の主面の中央部には、中心から所定の距離を離して等
間隔に4個の貫通穴12cが穿孔されている。角部を折
り曲げて形成された遮蔽部12bは、それぞれ中央部に
穿孔された4個の貫通穴12cに所定の間隔を離して覆
い被さっている。貫通穴12cは、小通路9の直径より
小さい穴とされている。被測定物は、副室8からパイプ
1bに向かうときこの防護板12を通過する。その際、
被測定物は、遮蔽部12bを迂回して、貫通穴12cを
通り、さらに向きを変えてパイプ1bに向かう。すなわ
ち、迷路構造を構成する副室8と小通路9は、内部に防
護板12を設け、さらに複雑な迷路構造を構成し、さら
に異物の侵入を困難にしている。
【0043】このような構成の圧力センサ装置において
は、エンジンの吸気系50に設けられた取付穴50aに
Oリング22で密閉されて取り付けられ、圧力センサ1
で被測定物の圧力を検出すると共に、温度センサ14に
より圧力検出位置近傍の被測定物の温度が検出される。
【0044】本実施の形態の圧力センサ装置において
は、副室8の容量は、0.2cm3、また小通路9の断
面積は0.1cm2とされている。圧力導入路7の形状
については、いろいろ形状を変えて実験を行った結果、
圧力導入路の途中に、ある容量以上の副室が形成される
と、外部の圧力変動の影響が低減されることが解った。
すなわち、本実施の形態の圧力センサ装置を、エンジン
の吸気管の集合部であるサージタンクに取り付け、副室
8の容量と小通路9の断面積とをいろいろ形状を変えて
実験を行った結果、副室8の容量が0.2cm3以上
で、小通路9の断面積が0.1cm2以下となるように
構成された場合に、1KHzを越える圧力高周波脈動を
除去することができた。この圧力高周波脈動が除去され
ると、万が一副室8に固形異物が侵入しても、固形異物
の運動エネルギーが減衰され圧力センサ1まで達し難く
なる。
【0045】このような構成の圧力センサ装置において
は、圧力導入路7は、一端がパイプ1bに気密に連結さ
れ他端に底部8aを有する円筒形の副室8と、底部8a
の最大内径部から穿孔され、副室8と外部とを連通する
ように設けられた小通路9と、副室8とパイプ1bとの
間に設けられ、小通路9より小さな貫通穴12cを有す
る防護板12からなる迷路構造を有しているので、圧力
センサ1に、異物が到達し難く、信頼性の高い圧力セン
サ装置とすることができる。
【0046】また、小通路9は、底部8aの最大内径部
から穿孔され、外部に開口する開口部9aの位置が、副
室8の内壁より径方向外方に形成されているので、圧力
導入路7が、多少傾いて取り付けられても、圧力導入路
7に液体が滞留し難く、取り付け方向の自由度が増す。
尚、最大90度傾いた状態でも、圧力導通路7内に液体
が滞留する場所がなく、また小通路9の位置が副室8の
内壁より径方向外方なので液体が排出されやすい。その
ため、液体の凍結による感圧不良が発生することがなく
信頼性が増す。
【0047】さらに、小通路9は、底部8aの最大内径
部に周方向に沿って複数個が形成されているので、例え
1個の小通路9が、液体の凍結やグリ−ス等の高粘度の
物質の付着により塞がれても、他の小通路9が塞がれて
なければ圧力を伝達することができ、さらに信頼性の高
い圧力センサとすることができる。
【0048】また、副室8は、容積が0.2cm3以上
とされ、且つ小通路9の断面積は、0.1cm2以下と
されているので、1KHzを越える圧力高周波脈動除去
することができ、万が一固形異物が侵入しても固形異物
の運動エネルギーを減衰することができ、信頼性の高い
圧力センサとすることができる。
【0049】さらにまた、防護板12は、センサ収納容
器6より比熱が小さい材料で作製されているので、圧力
導入路7中の水蒸気が冷やされた場合、この防護板12
から最初に結露する。そして結露は防護板12の全体に
渡って少量ずつ発生する。そのため、結露が仮に凍結し
ても貫通穴12cは閉塞されずらい。その結果、圧力セ
ンサ1のパイプ1b内で発生した結露がパイプ1bを閉
塞してしまう場合にくらべ、導入路が閉塞されずらく信
頼性が格段に向上する。
【0050】また、樹脂20は中空部15aの先端部分
のみに充填され、取付面4c付近の中空部15aには充
填されていない。そのため、樹脂20と取付面4cとの
間には、空気層が形成されている。この空気層は、熱伝
導率がベース4の樹脂材と比べ約1/10である。その
ため、吸気系50の取付穴50aの熱が、ベース4から
サーミスタ16に伝達し難くなり、サーミスタ16は被
測定物の温度を正確に計測することができる。
【0051】また、温度センサ14は、フレキシブル基
板を介して回路基板2と電気的に接続されているので、
装置の組立工程において、温度センサ14は、中空部1
5aに挿入される時、フレキシブル基板18は、湾曲が
容易なので、温度センサ14が中空部15aに挿入され
やすく組立性が良い。
【0052】実施の形態2.図6は本発明の圧力センサ
装置の他の例を示す断面図である。本実施の形態は、実
施の形態1の圧力センサ装置から、温度センサ14およ
びその周辺部が削除された構成をなしている。また、小
通路9は、底部8aの最大内径部に、対向した位置に2
個形成されている。その他の構成は実施の形態1と同様
である。
【0053】このような構成の圧力センサ装置において
は、実施の形態1の圧力センサ1に関わる効果と概略同
等な効果を得ることができる。
【0054】実施の形態3.図7は本発明の圧力センサ
装置の他の例を示す防護板の断面図である。本実施の形
態においては、実施の形態1と同様の防護板12を有
し、防護板12の内部にシリコンオイルを等の油脂が含
浸された不織布30が収納されている。不織布30は貫
通穴12cを覆って配置されている。
【0055】このような構成の圧力センサ装置において
は、圧力センサ1に、さらに細かな異物が侵入すること
を防止することができると共に、不織布30はシリコン
オイルを等の油脂が含浸されて撥水性を有するので、水
等の液体をはじき圧力センサ1に侵入させず、更に信頼
性の高い圧力センサ装置とすることができる。
【0056】尚、不織布30の代わりに、金属メッシュ
フィルタが収納されてもよい。金属メッシュフィルタを
用いることにより、安価に作製することができる。
【0057】
【発明の効果】請求項1の圧力センサ装置においては、
密閉された基準室と圧力導入室とを画成するように配設
され、基準室と圧力導入室との圧力差によって変形し、
外部の被測定物の圧力を検出する圧力検出素子、圧力導
入室に接続され、外部の被測定物を圧力導入室に導入す
るパイプ、および圧力検出素子の検出値を外部に導く導
出部を有する圧力センサと、圧力センサに隣接して設け
られ、被測定物の温度を検出する感熱素子、および感熱
素子から延出され感熱素子の検出値を外部に導く導出部
を有する温度センサと、圧力センサと温度センサとを収
納すると共に、一端がパイプに気密に接続され他端が外
部に開口され被測定物の圧力を伝達可能とすると共に圧
力センサに異物が侵入することを阻止する迷路構造を有
する圧力導入路が形成され、開口の近傍から突出され先
端部に感熱素子が埋設された温度センサ収納突起が形成
されたセンサ収納容器を備えている。そのため、別々に
取り付けられていた圧力センサと温度センサを1カ所の
取り付け場所に取り付けることができ、取り付け場所を
削減することができると共に、圧力検出位置の温度を正
確に測定することができ、更に圧力センサに、異物が侵
入することを阻止することができ、信頼性の高い圧力セ
ンサとすることができる。
【0058】請求項2の圧力センサ装置においては、密
閉された基準室、基準室内に更に密閉された圧力導入室
を形成し、基準室と圧力導入室との圧力差によって変形
し、外部の被測定物の圧力を検出する圧力検出素子、圧
力導入室に接続され、外部の被測定物を圧力導入室に導
入するパイプ、および圧力検出素子の検出値を外部に導
く導出部を有する圧力センサと、圧力センサを収納する
と共に、一端がパイプに気密に接続され他端が容器内部
に開口され被測定物の圧力を伝達可能とすると共に圧力
センサに異物が侵入することを阻止する迷路構造を有す
る圧力導入路が形成されたセンサ収納容器を備えてい
る。そのため、圧力センサに、異物が侵入することを阻
止することができ、信頼性の高い圧力センサとすること
ができる。
【0059】請求項3の圧力センサ装置においては、迷
路構造は、一端がパイプに気密に接続され他端に底部を
有する円筒形の副室と、底部の最大内径部から穿孔さ
れ、副室と外部とを連通するように設けられ、外部に開
口する開口部の位置が、副室の内壁より径方向外方とな
るように形成されている小通路とから構成されている。
そのため、迷路内に液体が滞留し難く、信頼性の高い圧
力センサとすることができる。
【0060】請求項4の圧力センサ装置においては、小
通路は、周方向に沿って複数個が形成されている。その
ため、1個の小通路が、異物で塞がれても、他の小通路
で圧力を伝達することができ、信頼性の高い圧力センサ
とすることができる。
【0061】請求項5の圧力センサ装置においては、底
部は、中央部が高くされた概略円錐形とされている。そ
のため、更に迷路内に液体が滞留し難く、信頼性の高い
圧力センサとすることができる。
【0062】請求項6の圧力センサ装置においては、副
室は、容積が0.2cm3以上であり、且つ小通路の断
面積は、0.1cm2以下である。そのため、制御に必
要でない1KHzを越える圧力高周波脈動を除去するこ
とができ、信頼性の高い圧力センサとすることができ
る。
【0063】請求項7の圧力センサ装置においては、副
室とパイプとの間に設けられ、主面に貫通穴が穿孔さ
れ、主面と所定の間隔をあけて貫通穴を覆うように設け
られた遮蔽部が設けられ、被測定物は遮蔽部を迂回し貫
通穴を通過する防護板を有する。そのため、圧力センサ
に、さらに細かな異物が侵入することを防止することが
でき、信頼性の高い圧力センサとすることができる。
【0064】請求項8の圧力センサ装置においては、防
護板は、センサ収納容器より比熱が小さい材料で作製さ
れている。そのため、圧力センサ内での水滴結露が防止
でき、凍結閉息による感圧不良がなくなる。
【0065】請求項9の圧力センサ装置においては、防
護板の主面と遮蔽部との間に貫通穴を覆うように収納さ
れ、油脂が含浸された不織布を有する。そのため、圧力
センサに、さらに細かな異物が侵入することを防止する
ことができると共に、不織布は撥水性を有するので、水
等の液体をはじき圧力センサに侵入させず、更に信頼性
の高い圧力センサとすることができる。
【0066】請求項10の圧力センサ装置においては、
防護板の主面と遮蔽部との間に貫通穴を覆うように収納
された金属メッシュフィルタを有する。そのため、圧力
センサに、さらに細かな異物が侵入することを防止する
ことができると共に、安価に作製することができる。
【0067】請求項11の圧力センサ装置においては、
センサ収納容器は、被測定物を収納する容器の壁面に穿
孔された取付穴に、外周部に形成された取付面を気密に
係合されて取り付けられ、温度センサ収納突起は、底部
側を容器内に向けて突設され、先端部に感熱素子が収納
された有底筒状部と、感熱素子の周囲に充填された熱伝
導性の高い樹脂とからなり、樹脂と取付面との間には、
空気層が形成されている。そのため、取付面を介して伝
わる被測定物を収納する容器の熱は、空気層によって遮
断され、感熱素子に伝わらず、被測定物の温度を正確に
検出することができる。
【0068】請求項12の圧力センサ装置においては、
センサ収納容器内に回路基板が配設され、温度センサは
フレキシブル基板を介して回路基板と電気的に接続され
ている。そのため、感熱素子を温度センサ収納突起に挿
入し易く組立性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の圧力センサ装置の断面図である。
【図2】 圧力センサ装置の裏面図である。
【図3】 防護板付近の部分的な拡大図である。
【図4】 防護板の正面図である。
【図5】 図4のV-V線に沿う矢視断面図である。
【図6】 本発明の圧力センサ装置の他の例を示す断面
図である。
【図7】 本発明の圧力センサ装置の他の例を示す防護
板の断面図である。
【図8】 従来の圧力センサ装置の断面図である。
【図9】 従来の温度センサ装置の構造図である。
【符号の説明】
1 圧力センサ、1a リード(導出部)、1b パイ
プ、1c 基準室、1e 圧力導入室、1d 圧力検出
素子、2 回路基板、4c 取付面、6 センサ収納容
器、7 圧力導入路、8 副室(迷路構造)、8a 底
部、9 小通路(迷路構造)、12 防護板(迷路構
造)、12b 遮蔽部、12c 貫通穴、14 温度セ
ンサ、15 温度センサ収納突起、16 サーミスタ
(感熱素子)、17 リード線(導出部)、18 フレ
キシブル基板、20 高熱伝導性の樹脂、30 油脂が
含浸された不織布、50a 取付穴。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 密閉された基準室と圧力導入室とを画成
    するように配設され、該基準室と該圧力導入室との圧力
    差によって変形し、外部の被測定物の圧力を検出する圧
    力検出素子、該圧力導入室に接続され、外部の被測定物
    を該圧力導入室に導入するパイプ、および該圧力検出素
    子の検出値を外部に導く導出部を有する圧力センサと、 上記圧力センサに隣接して設けられ、被測定物の温度を
    検出する感熱素子、および該感熱素子から延出され該感
    熱素子の検出値を外部に導く導出部を有する温度センサ
    と、 上記圧力センサと温度センサとを収納すると共に、一端
    が上記パイプに気密に接続され他端が外部に開口され上
    記被測定物の圧力を伝達可能とすると共に上記圧力セン
    サに異物が侵入することを阻止する迷路構造を有する圧
    力導入路が形成され、該開口の近傍から突出され先端部
    に上記感熱素子が埋設された温度センサ収納突起が形成
    されたセンサ収納容器を備えたことを特徴とする圧力セ
    ンサ装置。
  2. 【請求項2】 密閉された基準室、該基準室内に更に密
    閉された圧力導入室を形成し、該基準室と該圧力導入室
    との圧力差によって変形し、外部の被測定物の圧力を検
    出する圧力検出素子、該圧力導入室に接続され、外部の
    被測定物を該圧力導入室に導入するパイプ、および該圧
    力検出素子の検出値を外部に導く導出部を有する圧力セ
    ンサと、 上記圧力センサを収納すると共に、一端が上記パイプに
    気密に接続され他端が上記容器内部に開口され上記被測
    定物の圧力を伝達可能とすると共に上記圧力センサに異
    物が侵入することを阻止する迷路構造を有する圧力導入
    路が形成されたセンサ収納容器を備えたことを特徴とす
    る圧力センサ装置。
  3. 【請求項3】 上記迷路構造は、一端が上記パイプに気
    密に接続され他端に底部を有する円筒形の副室と、上記
    底部の最大内径部から穿孔され、上記副室と外部とを連
    通するように設けられ、外部に開口する開口部の位置
    が、上記副室の内壁より径方向外方となるように形成さ
    れている小通路とから構成されていることを特徴とする
    請求項1または2に記載の圧力センサ装置。
  4. 【請求項4】 上記小通路は、周方向に沿って複数個が
    形成されていることを特徴とする請求項3に記載の圧力
    センサ装置。
  5. 【請求項5】 上記底部は、中央部が高くされた概略円
    錐形とされていることを特徴とする請求項3または4に
    記載の圧力センサ装置。
  6. 【請求項6】 上記副室は、容積が0.2cm3以上で
    あり、且つ上記小通路の断面積は、0.1cm2以下で
    あることを特徴とする請求項3乃至5のいずれかに記載
    の圧力センサ装置。
  7. 【請求項7】 上記副室と上記パイプとの間に設けら
    れ、主面に貫通穴が穿孔され、該主面と所定の間隔をあ
    けて該貫通穴を覆うように設けられた遮蔽部が設けら
    れ、被測定物は該遮蔽部を迂回し貫通穴を通過する防護
    板を有することを特徴とする請求項3に記載の圧力セン
    サ装置。
  8. 【請求項8】 上記防護板は、上記センサ収納容器より
    比熱が小さい材料で作製されていることを特徴とする請
    求項7に記載の圧力センサ装置。
  9. 【請求項9】 上記防護板の上記主面と上記遮蔽部との
    間に上記貫通穴を覆うように収納され、油脂が含浸され
    た不織布を有することを特徴とする請求項7または8に
    記載の圧力センサ装置。
  10. 【請求項10】 上記防護板の上記主面と上記遮蔽部と
    の間に上記貫通穴を覆うように収納された金属メッシュ
    フィルタを有することを特徴とする請求項7または8に
    記載の圧力センサ装置。
  11. 【請求項11】 上記センサ収納容器は、被測定物を収
    納する容器の壁面に穿孔された取付穴に、外周部に形成
    された取付面を気密に係合されて取り付けられ、 上記温度センサ収納突起は、底部側を該容器内に向けて
    突設され、先端部に上記感熱素子が収納された有底筒状
    部と、上記感熱素子の周囲に充填された熱伝導性の高い
    樹脂とからなり、該樹脂と上記取付面との間には、空気
    層が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の
    圧力センサ装置。
  12. 【請求項12】 上記センサ収納容器内に回路基板が配
    設され、上記温度センサはフレキシブル基板を介して該
    回路基板と電気的に接続されていることを特徴とする請
    求項1または請求項11に記載の圧力センサ装置。
JP18654697A 1997-07-11 1997-07-11 圧力センサ装置 Expired - Lifetime JP3404257B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18654697A JP3404257B2 (ja) 1997-07-11 1997-07-11 圧力センサ装置
US08/974,683 US6003379A (en) 1997-07-11 1997-11-19 Pressure sensor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18654697A JP3404257B2 (ja) 1997-07-11 1997-07-11 圧力センサ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1130535A true JPH1130535A (ja) 1999-02-02
JP3404257B2 JP3404257B2 (ja) 2003-05-06

Family

ID=16190407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18654697A Expired - Lifetime JP3404257B2 (ja) 1997-07-11 1997-07-11 圧力センサ装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6003379A (ja)
JP (1) JP3404257B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004047973A1 (de) * 2004-06-07 2005-12-29 Mitsubishi Denki K.K. Drucksensorvorrichtung
JP2008122182A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Hitachi Ltd 圧力センサ装置及び圧力センサ容器
EP2034307A1 (en) 2007-09-05 2009-03-11 Nissan Motor Co., Ltd. Gas physical quantity detecting device, fuel cell system and vehicle
JP2009264945A (ja) * 2008-04-25 2009-11-12 Denso Corp 圧力センサ
US7663496B2 (en) 2006-12-07 2010-02-16 Smc Kabushiki Kaisha Pressure switch
US7893371B2 (en) 2006-12-07 2011-02-22 Smc Kabushiki Kaisha Pressure switch

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6546814B1 (en) 1999-03-13 2003-04-15 Textron Systems Corporation Method and apparatus for estimating torque in rotating machinery
US6425293B1 (en) * 1999-03-13 2002-07-30 Textron Systems Corporation Sensor plug
US6694285B1 (en) 1999-03-13 2004-02-17 Textron System Corporation Method and apparatus for monitoring rotating machinery
JP4121104B2 (ja) * 1999-07-16 2008-07-23 松下電器産業株式会社 二次電池
US8266465B2 (en) 2000-07-26 2012-09-11 Bridgestone Americas Tire Operation, LLC System for conserving battery life in a battery operated device
US7161476B2 (en) 2000-07-26 2007-01-09 Bridgestone Firestone North American Tire, Llc Electronic tire management system
US6305975B1 (en) * 2000-10-12 2001-10-23 Bear Instruments, Inc. Electrical connector feedthrough to low pressure chamber
JP3555111B2 (ja) * 2001-05-21 2004-08-18 川崎重工業株式会社 V形2気筒エンジン
US6708104B2 (en) 2001-07-27 2004-03-16 Detroit Diesel Corporation Engine control based on exhaust back pressure
DE10232315B4 (de) * 2001-11-12 2009-05-28 Temperaturmeßtechnik Geraberg GmbH Kombinierter Temperatur- und Druckfühler und Verfahren zur Ermittlung von physikalischen Kenngrößen
US6725514B2 (en) 2002-05-31 2004-04-27 Delphi Technologies, Inc. Method of making thick film pressure and temperature sensors on a stainless steel diaphragm
JP3870918B2 (ja) * 2002-10-23 2007-01-24 株式会社デンソー 温度センサ一体型圧力センサ装置
JP3870917B2 (ja) * 2003-03-19 2007-01-24 株式会社デンソー 温度センサ一体型圧力センサ装置及びその温度センサ固定方法
US7093495B2 (en) * 2003-07-28 2006-08-22 Cts Corporation Pressure sensor
US6997059B2 (en) * 2003-10-07 2006-02-14 Cts Corporation Pressure sensor
US20050103110A1 (en) * 2003-11-19 2005-05-19 Cts Corporation Integrated pressure and temperature sensor
US7240558B2 (en) 2003-11-19 2007-07-10 Cts Corporation Pressure sensor
JP2005274412A (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Denso Corp 温度センサ一体型圧力センサ装置
WO2007052554A1 (ja) * 2005-11-07 2007-05-10 Keihin Corporation エンジンの吸気装置
EP1790964B1 (en) * 2005-11-29 2017-08-23 Sensata Technologies, Inc. A sensor arrangement for measuring a pressure and a temperature in a fluid
DE102005060651A1 (de) * 2005-12-19 2007-06-28 Robert Bosch Gmbh Kombinierter Druck- und Temperatursensor
JP4867437B2 (ja) * 2006-04-05 2012-02-01 株式会社デンソー 温度センサ
EP1921431B1 (en) * 2006-11-10 2016-02-03 Fuji Electric Co., Ltd. Integrated sensor including a pressure sensor and a temperature sensor
US20080190493A1 (en) * 2007-02-14 2008-08-14 Chang-Hoon Oh Sensor module, fluid circulation system having the same, and method for assembling sensor module
JP4431592B2 (ja) * 2007-03-26 2010-03-17 長野計器株式会社 センサ及びセンサの製造方法
JP2008261796A (ja) * 2007-04-13 2008-10-30 Denso Corp 温度センサ一体型圧力センサ装置
US7981182B2 (en) * 2007-12-31 2011-07-19 Honda Motor Co., Ltd. Labyrinth box structure and method
JP4968179B2 (ja) * 2008-05-23 2012-07-04 株式会社デンソー 温度センサ一体型圧力センサ装置
IT1395431B1 (it) * 2009-07-23 2012-09-14 Pietro Fiorentini Spa Gruppo di collegamento di una sonda ad una tubazione
ITVI20110127A1 (it) * 2011-05-20 2012-11-21 Guglielmi Danilo S R L Gruppo di collegamento di un sensore della temperatura e di pressione in un fluido
US9709461B2 (en) * 2012-11-30 2017-07-18 Sensata Technologies, Inc. Method of integrating a temperature sensing element
DE102013218479A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines fluiden Mediums
US11085805B2 (en) 2013-10-30 2021-08-10 S1 Technologies, Inc. System and method for identifying a fuel loss
US9557207B2 (en) * 2013-10-30 2017-01-31 S1 Technologies, Inc. System and method for determining volume of fluid in a tank
US11100456B2 (en) 2013-10-30 2021-08-24 S1 Technologies, Inc. System and method for determining volume of fluid in a tank
DE102014001640B4 (de) * 2014-02-05 2016-06-30 I2S Intelligente Sensorsysteme Dresden Gmbh Druck- und Temperatursensor-Element
EP3112830B1 (en) 2015-07-01 2018-08-22 Sensata Technologies, Inc. Temperature sensor and method for the production of a temperature sensor
KR101766144B1 (ko) * 2016-05-31 2017-08-08 현대자동차주식회사 온도센서 일체형 압력센서
US10288513B2 (en) * 2016-09-14 2019-05-14 Sensata Technologies Integrated pressure and temperature sensor
US10428716B2 (en) 2016-12-20 2019-10-01 Sensata Technologies, Inc. High-temperature exhaust sensor
JP6748006B2 (ja) * 2017-03-09 2020-08-26 アズビル株式会社 圧力センサ
US10545064B2 (en) * 2017-05-04 2020-01-28 Sensata Technologies, Inc. Integrated pressure and temperature sensor
US10247615B2 (en) * 2017-05-08 2019-04-02 DunAn Sensing, LLC Sensor assemblies and methods of making same
US10502641B2 (en) 2017-05-18 2019-12-10 Sensata Technologies, Inc. Floating conductor housing
DE102017131076A1 (de) * 2017-12-22 2019-06-27 Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg Inline-Sensor und Fluidleitungssystem
DE102018104726A1 (de) * 2018-03-01 2019-09-05 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Sensoranordnung für ein Kraftfahrzeug
CN109855689A (zh) * 2019-02-28 2019-06-07 中建三局安装工程有限公司 一种温压探测装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2026615T3 (es) * 1987-09-24 1992-05-01 Siemens Aktiengesellschaft Convertidor de presion con pletinas de conexion, especialmente para el control de un automovil.
US4797007A (en) * 1987-12-18 1989-01-10 Emhart Industries, Inc. Temperature and line pressure probe
US5386730A (en) * 1992-06-25 1995-02-07 Nippondenso Co., Ltd. Pressure sensor having a sealed water-resistant construction
JPH08105808A (ja) * 1994-10-05 1996-04-23 Mitsubishi Electric Corp 圧力センサ

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004047973A1 (de) * 2004-06-07 2005-12-29 Mitsubishi Denki K.K. Drucksensorvorrichtung
US7104136B2 (en) 2004-06-07 2006-09-12 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Multi-compartment pressure sensor housing apparatus
CN100405035C (zh) * 2004-06-07 2008-07-23 三菱电机株式会社 压力传感装置
DE102004047973B4 (de) * 2004-06-07 2009-07-16 Mitsubishi Denki K.K. Drucksensorvorrichtung
JP2008122182A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Hitachi Ltd 圧力センサ装置及び圧力センサ容器
US7663496B2 (en) 2006-12-07 2010-02-16 Smc Kabushiki Kaisha Pressure switch
US7893371B2 (en) 2006-12-07 2011-02-22 Smc Kabushiki Kaisha Pressure switch
EP2034307A1 (en) 2007-09-05 2009-03-11 Nissan Motor Co., Ltd. Gas physical quantity detecting device, fuel cell system and vehicle
JP2009264945A (ja) * 2008-04-25 2009-11-12 Denso Corp 圧力センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JP3404257B2 (ja) 2003-05-06
US6003379A (en) 1999-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1130535A (ja) 圧力センサ装置
JP3319990B2 (ja) 圧力センサ装置
JP3054148B2 (ja) センサ
US9709425B2 (en) Sensor with foamed rubber sealing member mounted to circuit board
US7824101B2 (en) Sensor arrangement
JPH06501820A (ja) 電気機器、特に自動車用の切換え・制御機器
JPH1194668A (ja) 組合せ式流体圧力および温度センサ装置
PL179154B1 (pl) Sonda do kontroli poziomu cieczy w zbiorniku PL PL PL
JP3013843B1 (ja) 圧力センサ
EP4039114A1 (en) Air flow sensor and electronic cigarette
US7437937B2 (en) Relative pressure measuring transmitter
JPH07501652A (ja) コネクタストリップ
JP2003279530A (ja) ガスセンサ
JP2000180289A (ja) 油漏れ検出器
JP2000346737A (ja) 圧力センサ
JP7064460B2 (ja) パッケージ型フローセンサ
CN113229534A (zh) 一种防水防油型气压传感器及电子烟
JP2008292268A (ja) 圧力センサ
JP2015011004A (ja) 圧力センサ
CN220063116U (zh) 一种投入式液位传感器
JPH05264324A (ja) 圧電式オイルレベルセンサー
JP2002181651A (ja) 圧力センサ
CN216293023U (zh) 一种集成气压传感器的雾化器
JPH08240552A (ja) 湿度センサ
WO2021181781A1 (ja) パッケージ型フローセンサ

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080229

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090228

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100228

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100228

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110228

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120229

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130228

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130228

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140228

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term