JP2015011004A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力媒体の圧力と大気圧との差圧を検出する圧力センサの構成において、大気導入通路の閉塞を防止する。
【解決手段】圧力センサは、外部から各大気導入孔34〜36を介して大気が導入される圧力基準室23と、測定対象の圧力媒体が導入される圧力測定室19と、を有するケース10を備えている。また、圧力センサは、圧力基準室23と圧力測定室19とを分離するようにケース10に収容されていると共に、大気の大気圧と圧力媒体の圧力との差圧を検出するように構成された圧力検出部11を備えている。そして、ケース10は、外部から各大気導入孔34〜36を介して圧力検出部11に至る経路に迷路構造39を有している。これにより、異物が迷路構造39のいずれかの場所で引っ掛かるので、異物による大気導入の閉塞を防止することができる。
【選択図】図1
【解決手段】圧力センサは、外部から各大気導入孔34〜36を介して大気が導入される圧力基準室23と、測定対象の圧力媒体が導入される圧力測定室19と、を有するケース10を備えている。また、圧力センサは、圧力基準室23と圧力測定室19とを分離するようにケース10に収容されていると共に、大気の大気圧と圧力媒体の圧力との差圧を検出するように構成された圧力検出部11を備えている。そして、ケース10は、外部から各大気導入孔34〜36を介して圧力検出部11に至る経路に迷路構造39を有している。これにより、異物が迷路構造39のいずれかの場所で引っ掛かるので、異物による大気導入の閉塞を防止することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、大気圧と圧力媒体の圧力との差圧を検出する圧力センサに関する。
従来より、大気を導入する大気導入孔と圧力媒体を導入する圧力導入孔とを有するケースと、圧力検出を行うように構成されたセンサチップと、を備えた圧力センサが知られている。センサチップは、ケース内において圧力媒体が導入される空間と大気が導入される空間とを分離するようにケースに配置されている。
また、センサチップは板状をなしており、センサチップの表面側と裏面側とに印加される圧力の差圧を検出するように構成されている。これにより、センサチップは例えば表面側で大気圧を受ける一方、裏面側で圧力媒体の圧力を受けるので、圧力媒体の圧力と大気圧との差圧を検出できるようになっている。
しかし、上記の圧力センサの構成では、大気導入孔からケースの内部に水分や異物が侵入すると正確な圧力検出ができなくなる可能性がある。そこで、特許文献1では、ケースの内部に水溜空間が形成された構造が提案されている。これにより、大気導入孔を介してケースに侵入した水分等が水溜空間に留まるようになっている。
しかしながら、上記従来の技術では、ケースの水溜空間に水分や異物が侵入した場合、水溜空間の閉塞が完全に閉塞してしまう可能性がある。このため、圧力センサの圧力検出の信頼性を確保できないという問題がある。
本発明は上記点に鑑み、圧力媒体の圧力と大気圧との差圧を検出する圧力センサの構成において、大気導入通路の閉塞を防止することができる構造を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、圧力センサは、外部から大気導入孔(34〜36、44)を介して大気が導入される圧力基準室(23)と、測定対象の圧力媒体が導入される圧力測定室(19)と、を有するケース(10)を備えている。
また、圧力センサは、圧力基準室(23)と圧力測定室(19)とを分離するようにケース(10)に収容されていると共に、大気の大気圧と圧力媒体の圧力との差圧を検出するように構成された圧力検出部(11)を備えている。
さらに、ケース(10)は、外部から大気導入孔(34〜36、44)を介して圧力検出部(11)に至る経路に迷路構造(39)を有していることを特徴とする。
これによると、ケース(10)に迷路構造(39)が設けられているので、大気導入孔(34〜36、44)を介して水分や異物が入り込んだとしても、水分や異物は迷路構造(39)のいずれかの場所で引っ掛かる。この場合、迷路構造(39)の一部の経路が閉塞されたとしても、他の経路は外部と繋がっている。したがって、異物による大気導入の閉塞を防止することができる。
なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力センサは、例えば、検出対象物である自動車のガソリンタンクに取り付けられ、ガソリンベーパの圧力測定に用いられるものである。図1に示されるように、圧力センサは、ケース10と、圧力検出部11と、を有している。
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力センサは、例えば、検出対象物である自動車のガソリンタンクに取り付けられ、ガソリンベーパの圧力測定に用いられるものである。図1に示されるように、圧力センサは、ケース10と、圧力検出部11と、を有している。
ケース10は、圧力センサの外観の一部をなすものである。例えばPPS(ポリフェニレンサルファイド)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)やエポキシ樹脂等の樹脂材料が型成形されて形成されている。このようなケース10は、ポート部12と、側面部13と、穴部14と、開口部15と、ターミナル16と、リッド17と、を有している。
ポート部12は、圧力検出部11に圧力媒体を導く筒状の部分である。ポート部12は、先端側から反対側の穴部14に通じるように形成された圧力導入孔18を有している。この圧力導入孔18の空間は、測定対象の圧力媒体が導入される圧力測定室19となる。ポート部12はOリング20を介してガソリンタンクに固定される。
側面部13は、ケース10のうちポート部12とは反対側の部分の部分においてポート部12の延設方向に垂直な方向すなわち径方向に突出した部分である。また、側面部13は、側面21と、この側面21に接する底面22と、を有している。側面21は側面部13のうちポート部12の延設方向に平行な面である。また、底面22は側面部13のうちのポート部12側であってポート部12の径方向に平行な面である。
穴部14は、ケース10のうちポート部12とは反対側に形成されていると共にポート部12側に凹んだ溝構造である。穴部14の底部が圧力導入孔18に繋がっている。この穴部14の空間は、大気が導入される圧力基準室23となる。
開口部15は、ケース10の側面部13の一部が穴部14側に凹んだ部位である。開口部15は、外部機器と圧力検出部11とを電気的に接続するための防水コネクタ部24の一部を構成している。開口部15には外部コネクタ等の外部機器が接続される。そして、防水コネクタ部24は、外部機器が装着されることにより外部から開口部15に水分が入り込まない構造になっている。
ターミナル16は、圧力検出部11と外部機器とを電気的に接続するための端子部品である。ターミナル16は一端部が穴部14に露出すると共に、他端部が開口部15に露出するようにケース10にインサート成形されている。例えば、電源用、グランド用、信号用の3本のターミナル16がケース10に設けられている。
リッド17は、ケース10の穴部14を閉じるように、すなわち開口した穴部14に蓋をするようにケース10に取り付けられることで圧力基準室23を構成する部品である。そして、リッド17の開口端部25がケース10の穴部14の周囲に設けられた溝部26に接着剤27を介して固定されている。
圧力検出部11は、圧力基準室23と圧力測定室19とを分離するようにケース10に収容されていると共に、大気の大気圧と圧力媒体の圧力との差圧を検出するセンサ部である。圧力検出部11は、ケース10の穴部14の底部に配置されている。このような圧力検出部11は、ステム28と、台座29と、センサチップ30と、を有している。
ステム28はケース10からセンサチップ30への応力伝達を抑制するための円板状の部品である。ステム28は、中空部が圧力導入孔18に通じるように穴部14の底部に固定されている。ステム28は例えばセラミック材料によって形成されている。
台座29は、センサチップ30を固定するためのセンサチップ30と同形状の部品であり、センサチップ30と陽極接合されたガラス部品である。ガラス台座29は、中空部がステム28の中空部を介して圧力導入孔18に通じるようにステム28に固定されている。
センサチップ30は、例えばシリコン基板等の半導体基板に対してCMOSトランジスタ等が半導体プロセスで形成された半導体部品である。センサチップ30は、物理量として圧力を検出するように構成されたセンシング部を有している。具体的には、センサチップ30は歪み部としてのダイヤフラムを有し、このダイヤフラムに拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路等を備えたセンシング部を有している。すなわち、センシング部は、ピエゾ抵抗効果を利用して圧力を検出するように構成されている。
また、センサチップ30には、センシング部に対して駆動信号を出力することや、センシング部からの電気信号を入力し、演算・増幅処理して外部へ出力すること等の機能を有する制御回路等が形成されている。そして、センサチップ30はワイヤ31を介してターミナル16に電気的に接続されている。
さらに、センサチップ30は、ダイヤフラムの一方の面が圧力基準室23側に向けられると共に、ダイヤフラムの他方の面が圧力測定室19側に向けられて台座29に固定されている。これにより、センサチップ30は圧力測定室19から圧力基準室23に通じる空間をそれぞれ別々の空間に分離している。したがって、センサチップ30は、ダイヤフラムの一方の面で圧力基準室23に導入された大気の大気圧を受けると共に、ダイヤフラムの他方の面で圧力測定室19に導入された圧力媒体の圧力を受け、各圧力の差圧に応じた電気信号を出力する。
上記の構成の圧力検出部11は、台座29の一部及びステム28がゴム部材32で覆われている。また、ゴム部材32及びセンサチップ30が電気絶縁性及び耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等からなるゲル部材33で覆われている。これにより、センサチップ30、ターミナル16の一部、ワイヤ31、センサチップ30とワイヤ31との接続部、及びワイヤ31とターミナル16との接続部が被覆され、異物からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。
次に、圧力基準室23に大気を導入するための具体的な構造について説明する。図2に示されるように、ケース10は圧力基準室23に大気を導入するための複数の大気導入孔34、35、36を有している。
具体的には、ケース10は、大気導入孔として、底面22と穴部14とを繋ぐ第1大気導入孔34と、側面21と穴部14とを繋ぐ第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36と、を有している。図3に示されるように、第1大気導入孔34はケース10の側面部13の底面22に通じるように側面部13に孔が設けられている。
各大気導入孔34〜36と外部とを繋ぐ部分を入口とし、各大気導入孔34〜36と穴部14とを繋ぐ部分を出口とすると、図2に示されるように、各大気導入孔34〜36の各出口側は一つにまとめられた合流孔37となっている。合流孔37は大気導入孔34〜36の一部である。これらの大気導入孔34〜36を介して大気がケース10の穴部14に導入される。
また、第2大気導入孔35と第3大気導入孔36とは側面部13においてそれぞれ異なる位置に形成されている。本実施形態では、第2大気導入孔35は側面部13において第3大気導入孔36とは反対側に位置している。そして、第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36は、入口側が出口側よりもポート部12の先端側に位置している。
第1大気導入孔34の大気導入経路は、結露時の排水経路も兼ねている。また、第1大気導入孔34が閉塞した場合も、第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36から圧力センサ内部の水分が抜ける構造となっている。
さらに、ケース10は、側面部13の側面21の一部が凹んだ凹部38を有している。この凹部38はポート部12の径方向に凹んでいる。凹部38はいわゆる肉盗み部である。そして、第2大気導入孔35が一方の凹部38と穴部14とを接続している。第3大気導入孔36が他方の凹部38と穴部14とを接続している。すなわち、凹部38は第2大気導入孔35や第3大気導入孔36の一部を兼ねている。このような構造により、第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36は、凹部38の存在によって直接的な異物の侵入を防止することができる。
そして、第1大気導入孔34は、第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36よりもケース10の底面22側に設けられている。第1大気導入孔34の入口は、ポート部12の延設方向において、第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36の各入口よりもポート部12の先端側に位置している。これにより、各大気導入孔34〜36からケース10の内部に侵入した水分や異物を容易に排出することができる。
次に、ケース10に設けられた迷路構造39について説明する。図1及び図2に示されるように、ケース10は、外部から各大気導入孔34〜36を介して圧力検出部11に至る経路に迷路構造39を有している。迷路構造39は、各大気導入孔34〜36の各入口から圧力検出部11に至る経路が複雑に入り組んでいる構造である。迷路構造39が各大気導入孔34〜36と圧力検出部11とを繋いでいるとも言える。そして、第1大気導入孔34は底面22と迷路構造39とを繋いでいる。また、第2大気導入孔35及び第3大気導入孔36は側面21と迷路構造39とを繋いでいる。
本実施形態では、迷路構造39は、リッド17の形状とケース10の形状とによって構成されている。具体的には、リッド17は、当該リッド17のうち穴部14側の一面40に設けられた凸部41を有している。本実施形態では凸部41はロッド状である。なお、凸部41は複数設けられていても良い。
そして、リッド17が穴部14を覆うようにケース10に固定されたときに、凸部41が合流孔37の孔壁面42と離間するように合流孔37すなわち各大気導入孔34〜36の一部に配置されることで迷路構造39が構成されている。蟻等の昆虫の内部への侵入を防止するため、孔壁面42と凸部41との隙間を0.15mm以下とすることが好ましい。このように、リッド17に設けられた凸部41によって迷路構造39を構成することができる。
さらに、ケース10は穴部14の内壁面に設けられた突起構造43を有している。具体的には、突起構造43は、穴部14の底部側からリッド17側に突出するように壁状に設けられている。この突起構造43は、リッド17がケース10に装着されたときにリッド17に接触しないように設けられている。すなわち、迷路構造39は、突起構造43がリッド17と離間するように開口部15の内壁面に設けられることで構成されている。
以上説明したように、本実施形態では、リッド17の凸部41及びケース10の突起構造43によってケース10に迷路構造39が設けられていることが特徴となっている。これにより、各大気導入孔34〜36を介して水分や異物が圧力センサ内に入り込んだとしても、水分や異物は迷路構造39のいずれかの場所で引っ掛かる。
例えば、図4に示されるように、各大気導入孔34〜36の各入口から圧力検出部11に至る経路が矢印で示されている。この矢印の経路のうち点線で囲まれた部分に示されるように、リッド17の凸部41と合流孔37の孔壁面42との隙間や、突起構造43とリッド17の一面40との隙間に異物が引っ掛かる。そして、異物が圧力センサ内に進入して迷路構造39の一部の経路が閉塞されたとしても、他の経路は外部と繋がっている。したがって、異物による大気導入の閉塞を防止することができる。また、迷路構造39により、穴部14への異物の侵入を防止することができる。
また、迷路構造39そのものが異物の進入を阻止するので、各大気導入孔34〜36の各入口から圧力検出部11に至る経路にフィルタ等の他の部品を設ける必要がない。もちろん、フィルタの交換も不要である。さらに、部品点数を削減することができるので、圧力センサの製造工程数を削減することができる。フィルタ等の部品が不要であることから、圧力センサの構造の自由度を向上させることができ、ひいては測定対象に対する搭載レイアウトの自由度も増大させることができる。
(第2実施形態)
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図5に示されるように、第2大気導入孔35は、ケース10の側面部13の側面21と迷路構造39とを繋ぐように設けられている。また、第2大気導入孔35は、ポート部12の径方向に平行な方向に延びるように形成されている。このように第2大気導入孔35がケース10に形成されていても良い。なお、第3大気導入孔36についても、第2大気導入孔35と同様に、ポート部12の径方向に平行な方向に延びるように形成されていても良い。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図5に示されるように、第2大気導入孔35は、ケース10の側面部13の側面21と迷路構造39とを繋ぐように設けられている。また、第2大気導入孔35は、ポート部12の径方向に平行な方向に延びるように形成されている。このように第2大気導入孔35がケース10に形成されていても良い。なお、第3大気導入孔36についても、第2大気導入孔35と同様に、ポート部12の径方向に平行な方向に延びるように形成されていても良い。
(第3実施形態)
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、外部機器から防水コネクタ部24を介して大気を圧力基準室23に導入する構造が特徴となっている。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、外部機器から防水コネクタ部24を介して大気を圧力基準室23に導入する構造が特徴となっている。
図6の点線で示されるように、ケース10の開口部15と穴部14とを繋ぐように第4大気導入孔44が形成されている。また、図7に示されるように、第4大気導入孔44の入口は、例えば2本のターミナル16の間に設けられている。さらに、図8に示されるように、第4大気導入孔44は、ポート部12の径方向に平行に延びる部分と、ポート部12の延設方向に平行な方向に延びる部分と、で構成されている。
そして、穴部14のうち圧力検出部11と第4大気導入孔44の出口との間に、穴部14の底部側からリッド17側に突出すると共にリッド17と離間するように壁状の突起構造43が設けられている。これにより、第4大気導入孔44から圧力検出部11に至る経路に、突起構造43とリッド17との隙間が狭くされた迷路構造39が形成されている。すなわち、第4大気導入孔44は、開口部15と迷路構造39とを繋ぐように設けられている。
大気は、防水コネクタ部24に接続された外部機器を介して開口部15に到達し、第4大気導入孔44を介して穴部14に導かれる。上記の構成によると、第4大気導入孔44は防水コネクタ部24に覆われているので、第4大気導入孔44から水分や異物が侵入することを防止することができる。
ここで、防水コネクタ部24に外部コネクタ等が装着された際には、圧力センサ内部の内圧が増加し、センサ出力の変動や誤判定の可能性がある。そこで、図8に示されるように、ケース10の側面部13に穴部14と外部とを繋ぐリリーフ弁としての孔45を設けることが好ましい。これにより、防水コネクタ部24に外部コネクタ等が装着されたときの圧力センサの内圧上昇分を逃がすことができる。
孔45は、蟻等の昆虫の内部への侵入を防止するため、幅を0.15mm以下とすることが好ましい。
孔45はリリーフ弁の役目で設けられたものであり、閉塞しても問題ない。閉塞した場合は、穴部14への水分等の侵入を防止することができるので問題ない。また、孔45が閉塞状態であっても、外部コネクタ等が防水コネクタ部24に装着されたときの穴部14の内圧で、孔45に詰まった異物や水分が吹き飛ばされる。なお、圧力基準室23の大気圧を一定に保つことができる構造がケース10に設けられている場合には孔45は不要である。
(第4実施形態)
本実施形態では、第3実施形態と異なる部分について説明する。図9に示されるように、リッド17は一面40のうち第4大気導入孔44に対応した位置にロッド状の凸部41を有している。そして、リッド17が穴部14を覆うようにケース10に固定されたときに、凸部41の先端部が第4大気導入孔44の孔壁面46と離間するように第4大気導入孔44の一部に配置されることで迷路構造39が構成されている。これにより、迷路構造39をさらに複雑な経路にすることができる。
本実施形態では、第3実施形態と異なる部分について説明する。図9に示されるように、リッド17は一面40のうち第4大気導入孔44に対応した位置にロッド状の凸部41を有している。そして、リッド17が穴部14を覆うようにケース10に固定されたときに、凸部41の先端部が第4大気導入孔44の孔壁面46と離間するように第4大気導入孔44の一部に配置されることで迷路構造39が構成されている。これにより、迷路構造39をさらに複雑な経路にすることができる。
(他の実施形態)
上記各実施形態で示された圧力センサの構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、圧力センサは車載用に限られない。
上記各実施形態で示された圧力センサの構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、圧力センサは車載用に限られない。
また、第1、第2実施形態のように、冗長設計のためには大気導入孔34〜36は複数設けられていることが好ましいが、大気導入孔は1つでも良い。すなわち、大気導入孔は、ケース10の側面部13の側面21及び底面22のうちのいずれかと迷路構造39とを繋ぐように設けられていれば良い。一方、第3、第4実施形態では1つの第4大気導入孔44が示されているが、開口部15と穴部14とを繋ぐ大気導入孔は複数設けられていても良い。
上記各実施形態では、穴部14に突起構造43が設けられていたが、突起構造43が設けられていない構造としても良い。また、突起構造43は上述した形状に限らず、他の形状としても良い。
上記各実施形態では、迷路構造39を構成する凸部41はロッド状であったが、板状等の他の形状でも良い。凸部41が板状となることで、迷路構造39をスリット形状にすることができる。ケース10の穴部14や各大気導入孔34〜36、44の出口側の形状に合わせて凸部41の形状を適宜設定することができる。
10 ケース
11 圧力検出部
19 圧力測定室
23 圧力基準室
34〜36、44 大気導入孔
39 迷路構造
11 圧力検出部
19 圧力測定室
23 圧力基準室
34〜36、44 大気導入孔
39 迷路構造
Claims (9)
- 外部から大気導入孔(34〜36、44)を介して大気が導入される圧力基準室(23)と、測定対象の圧力媒体が導入される圧力測定室(19)と、を有するケース(10)と、
前記圧力基準室(23)と前記圧力測定室(19)とを分離するように前記ケース(10)に収容されていると共に、前記大気の大気圧と前記圧力媒体の圧力との差圧を検出するように構成された圧力検出部(11)と、
を備え、
前記ケース(10)は、外部から前記大気導入孔(34〜36、44)を介して前記圧力検出部(11)に至る経路に迷路構造(39)を有していることを特徴とする圧力センサ。 - 前記ケース(10)は、前記圧力検出部(11)が配置された穴部(14)と、前記穴部(14)を閉じるように当該ケース(10)に取り付けられることで前記圧力基準室(23)を構成するリッド(17)と、前記リッド(17)のうち前記穴部(14)側の一面(40)に設けられた凸部(41)と、を有しており、
前記迷路構造(39)は、前記凸部(41)が前記大気導入孔(34〜36、44)の孔壁面(42、46)と離間するように前記大気導入孔(34〜36、44)の一部に配置されることで構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記凸部(41)は、ロッド状であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記凸部(41)は、板状であることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ケース(10)は、前記圧力検出部(11)が配置された穴部(14)と、前記穴部(14)を閉じるように当該ケース(10)に取り付けられることで前記圧力基準室(23)を構成するリッド(17)と、前記穴部(14)の内壁面に設けられた突起構造(43)と、を有しており、
前記迷路構造(39)は、前記突起構造(43)が前記リッド(17)と離間するように前記開口部(15)の内壁面に設けられることで構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記ケース(10)は、側面部(13)と、前記側面部(13)の一部に設けられた開口部(15)に外部機器が接続されることにより前記外部機器と前記圧力検出部(11)とを電気的に接続するための防水コネクタ部(24)と、を有しており、
前記大気導入孔(34〜36、44)は、前記ケース(10)の側面部(13)の側面(21)及び底面(22)のうちのいずれかと前記迷路構造(39)とを繋ぐように設けられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記ケース(10)の側面部(13)は、当該側面部(13)の側面(21)が凹んでいると共に前記大気導入孔(34〜36、44)の一部を兼ねた凹部(38)を有していることを特徴とする請求項6に記載の圧力センサ。
- 前記ケース(10)は、前記側面部(13)の側面(21)に接する底面(22)を有しており、
さらに、前記ケース(10)は、前記大気導入孔として、前記底面(22)と前記迷路構造(39)とを繋ぐ第1大気導入孔(34)と、前記側面(21)と前記迷路構造(39)とを繋ぐ第2大気導入孔(35)と、前記側面(21)のうち前記第2大気導入孔(35)とは異なる位置と前記迷路構造(39)とを繋ぐ第3大気導入孔(36)と、を有しており、
前記第1大気導入孔(34)は、前記第2大気導入孔(35)及び前記第3大気導入孔(36)よりも前記ケース(10)の底面(22)側に設けられていることを特徴とする請求項6または7に記載の圧力センサ。 - 前記ケース(10)は、側面部(13)と、前記側面部(13)の一部に設けられた開口部(15)に外部機器が接続されることにより前記外部機器と前記圧力検出部(11)とを電気的に接続するための防水コネクタ部(24)と、を有しており、
前記大気導入孔(34〜36、44)は、前記開口部(15)と前記迷路構造(39)とを繋ぐように設けられていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013138714A JP2015011004A (ja) | 2013-07-02 | 2013-07-02 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013138714A JP2015011004A (ja) | 2013-07-02 | 2013-07-02 | 圧力センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=52304279
Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10260976B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-04-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor differential pressure sensor and manufacturing method of the same |
US11447117B2 (en) | 2017-10-05 | 2022-09-20 | Robert Bosch Gmbh | Pressure sensor for a vehicle |
-
2013
- 2013-07-02 JP JP2013138714A patent/JP2015011004A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10260976B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-04-16 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor differential pressure sensor and manufacturing method of the same |
US11447117B2 (en) | 2017-10-05 | 2022-09-20 | Robert Bosch Gmbh | Pressure sensor for a vehicle |
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