JP6065560B2 - 圧力センサ - Google Patents

Description

本発明は、第１ケースと測定媒体が導入される圧力導入孔が形成された第２ケースとが一体に組みつけられてなるケーシング内に圧力を検出する圧力検出素子が収容された圧力センサに関するものである。

従来より、第１ケースと第２ケースとが一体に組みつけられてなるケーシングの空間にて圧力検出室が構成され、当該圧力検出室に圧力を検出する圧力検出素子が収容された圧力センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、この圧力センサでは、第２ケースに、第１ケース側と反対側に突出する圧力導入孔が形成されており、当該圧力導入孔から測定媒体が圧力検出室に導入されるようになっている。そして、この圧力導入孔から圧力検出室に導入された測定媒体の圧力が圧力検出素子によって検出される。

このような圧力センサは、被取付部材に対して圧力導入孔が天地方向と垂直になるように車両等に搭載されて用いられる。

特開２０００−１８６９６９号公報

しかしながら、上記圧力センサでは、例えば、冬場や寒冷地で使用する（低温で使用する）ような場合には、圧力検出室に入った空気中の水分が結露し、水滴（結露水）によって圧力導入孔が閉塞されることがあり、圧力の検出が困難になるという問題がある。

本発明は上記点に鑑みて、圧力導入孔が水滴によって閉塞されることを抑制することができる圧力センサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧力導入孔（２２）は、第１ケース（１０）側と反対側に向かって突出している第１導入孔（２２ａ）と、第１導入孔（２２ａ）と連通されていると共に第１導入孔（２２ａ）の突出方向と非平行な方向に突出している第２導入孔（２２ｂ）とにより構成されており、第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面にのみ当該第１導入孔（２２ａ）の突出方向に沿った突起（２２ｃ）または溝（２２ｆ）が形成されていることを特徴としている。

このような圧力センサは、第１導入孔（２２ａ）の突出方向が天地方向と垂直となり、第２導入孔（２２ｂ）の先端が地側となるように被取付部材に取り付けられて用いられることにより、第１導入孔（２２ａ）に滞留している水滴が第２導入孔（２２ｂ）に達すると重力によって圧力導入孔（２２）内から排出される。したがって、従来の圧力センサと圧力導入孔（２２）の長さが同じである場合、圧力導入孔（２２）が閉塞されることを抑制することができる。また、第１導入孔（２２ａ）に滞留しているに水滴は突起（２２ｃ）または溝（２２ｆ）によって表面張力が崩されて複数滴に分離され、各水滴と第１導入孔（２２ａ）との接触面積が減少して第１導入孔（２２ａ）に滞留し難くなる。このため、圧力導入孔（２２）に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。

例えば、請求項４に記載の発明のように、圧力導入孔（２２）は、第２導入孔（２２ｂ）を構成する壁面のうち第１ケース（１０）側に位置する壁面と当該壁面と連結している第１導入孔（２２ａ）の壁面との成す内角（θ１）が９０°以下とされているものとすることができる。

この場合、請求項５に記載の発明のように、圧力導入孔（２２）は、第２導入孔（２２ｂ）が第１導入孔（２２ａ）の突出方向に対して垂直方向に突出し、Ｌ字形状であるものとすることができる。

また、請求項６に記載の発明のように、圧力導入孔（２２）は、第２導入孔（２２ｂ）を構成する壁面のうち第１ケース（１０）側に位置する壁面が曲面とされているものとすることもできる。

これによれば、第１導入孔（２２ａ）と第２導入孔（２２ｂ）とに水滴が跨っているような場合には、第２導入孔（２２ｂ）を構成する壁面のうち第１ケース（１０）側に位置する壁面が平坦である場合と比較して、水滴と第２導入孔（２２ｂ）を構成する壁面との接触面積を増加させることができる。このため、水滴が第２導入孔（２２ｂ）側に移動し易くなり、圧力導入孔（２２）に水滴が滞留することを抑制することができる。

また、請求項７に記載の発明のように、圧力導入孔（２２）は、第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面に撥水性の材料で構成されるコーティング材（２２ｄ）が備えられているものとすることができる。

これによれば、第１導入孔（２２ａ）に滞留している水滴はコーティング材（２２ｄ）によって第１導入孔（２２ａ）に滞留し難くなるため、圧力導入孔（２２）に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。

また、請求項２および３に記載の発明では、圧力導入孔（２２）は、第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面に、第２ケース（２０）を構成する材料より水滴に対する浸透性の高い材料で構成され、第２導入孔（２２ｂ）内に垂れ下がっている排出部材（２２ｅ）が備えられていることを特徴としている。

これによれば、第１導入孔（２２ａ）に滞留している水滴は排出部材（２２ｅ）に吸収され、排出部材（２２ｅ）のうち第２導入孔（２２ｂ）内に垂れ下がっている先端部分から垂れ落ちる。このため、圧力導入孔（２２）に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。

また、請求項８に記載の発明のように、圧力導入孔（２２）は、圧力検出室（８０）側の一端部と当該一端部と反対側の他端部との間に閉塞部（２３）が備えられ、一端部と他端部とは閉塞部（２３）に形成されたスリット（２３ａ）を介して連通されているものとすることができる。

これによれば、閉塞部（２３）によって異物が圧力検出室（８０）側の一端部に導入されることを抑制することができ、圧力検出室（８０）に異物が導入されることを抑制することができる。

この場合、請求項９に記載の発明のように、閉塞部（２３）は、第１導入孔（２２ａ）に備えられ、スリット（２３ａ）は、第１導入孔（２２ａ）の突出方向に対して傾いていることが好ましい。

これによれば、第１導入孔（２２ａ）の突出方向と垂直となる方向が運動方向となるように圧力センサが被取付部材に取り付けられて用いられることにより、スリット（２３ａ）に水滴が滞留している場合には、被取付部材の運動（加速）により水滴に慣性力が印加される。このため、水滴がスリット（２３ａ）を構成する壁面を伝ってスリット（２３ａ）外に排出され、スリット（２３ａ）が水滴にて閉塞されることを抑制できる。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

本発明の第１実施形態における圧力センサの断面図である。 図１に示す圧力導入孔の断面図である。 （ａ）は本発明の第２実施形態における圧力導入孔の断面図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ断面図である 本発明の第３実施形態における圧力導入孔の断面図である。 本発明の第４実施形態における圧力導入孔の断面図である。 本発明の第５実施形態における圧力導入孔の断面図である。 本発明の第６実施形態における圧力導入孔の断面図である。 （ａ）は本発明の第７実施形態における圧力導入孔の断面図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ断面図である 本発明の第８実施形態における第１導入孔の断面図である。 本発明の第９実施形態における圧力導入孔の断面図である。 本発明の他の実施形態における圧力導入孔の断面図である。 本発明の他の実施形態における圧力導入孔の断面図である。 本発明の他の実施形態における圧力導入孔の断面図である。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態における圧力センサの断面図である。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両側面に備えられる車両ドアの内部空間に取り付けられ、車両ドアに物体が衝突したか否かを判定するのに用いられる内部空間の圧力を検出するために用いられると好適である。

図１に示されるように、圧力センサは、本発明の第１ケースに相当するコネクタケース１０を備えている。このコネクタケース１０は、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより製造される。そして、コネクタケース１０のうち後述するポート部２０が接続される側には凹部１１が形成されている。

また、コネクタケース１０には外部と接続される複数本のターミナル３０が備えられている（図１では１本のみ図示）。このターミナル３０はインサート成型によりコネクタケース１０と一体的に成形されることでコネクタケース１０内に保持されている。特に限定されるものではないが、ターミナル３０は、銅等の導電性材料で構成されている。

そして、複数本のターミナル３０の一端部は、凹部１１内にて露出するようにコネクタケース１０内に備えられ、露出している部分に金メッキ等が施されることによってボンディングパッドとして機能するように構成されている。また、複数本のターミナル３０の他端部は、コネクタケース１０における開口部１２内にて露出しており、図示しない外部機器（外部の配線部材等）に接続可能となっている。

コネクタケース１０に形成された凹部１１には、測定媒体の圧力を検出する圧力検出素子４０が備えられている。この圧力検出素子４０は、センサチップ４１およびガラス等で構成される台座４２を有し、これらセンサチップ４１と台座４２とが陽極接合されて構成されている。

センサチップ４１としては、ダイヤフラムが形成され、ダイヤフラムにブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成された一般的な半導体ダイヤフラム式のものが用いられる。つまり、ダイヤフラムに圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ出力信号を出力するものが用いられる。

そして、この圧力検出素子４０は、凹部１１の底面と台座４２との間に、シリコーンゴム等の図示しない接着剤を介在させた状態でダイボンディングされている。また、圧力検出素子４０は、ターミナル３０の上記ボンディングパッドに対してアルミニウム等で構成されたボンディングワイヤ５０を介して電気的に接続されている。

コネクタケース１０の凹部１１内には、コネクタケース１０とターミナル３０との界面、圧力検出素子４０およびボンディングワイヤ５０等を封止して保護するための電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等で構成された保護部材６０が充填されている。

そして、コネクタケース１０には凹部１１を覆うように本発明の第２ケースに相当するポート部２０が備えられており、コネクタケース１０とポート部２０とが一体化されてケーシング１００が構成されている。具体的には、コネクタケース１０にはポート部２０側に突出する凸部１３が形成され、ポート部２０には凹部２１が形成されている。そして、凹部２１にコネクタケース１０の凸部１３が差し込まれた状態で接着剤７０によってこれらが固定されることにより、コネクタケース１０とポート部２０とが一体化されている。

なお、ポート部２０は、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより製造される。また、接着剤７０としては、例えば、ハードエポキシ樹脂等の耐薬品性に優れ、かつ高弾性であるものが用いられる。

そして、コネクタケース１０とポート部２０とが一体化されることにより、コネクタケース１０とポート部２０との間、つまりケーシング１００内の空間にて圧力検出室８０が構成され、この圧力検出室８０内に圧力検出素子４０が搭載された構成となる。

ポート部２０には、圧力検出室８０と連通され、圧力検出室８０へ測定媒体を導入する圧力導入孔２２が形成されている。具体的には、この圧力導入孔２２は、コネクタケース１０側と反対側に突出する第１導入孔２２ａと、第１導入孔２２ａの突出方向に対して垂直方向に突出する第２導入孔２２ｂとによって構成される。つまり、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面と当該壁面と連結している第１導入孔２２ａの壁面との成す内角θ１が９０°とされていると共に、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側と反対側の壁面と当該壁面と連結している第１導入孔２２ａの壁面との成す内角θ２が９０°とされており、圧力導入孔２２はＬ字形状とされている。

なお、ここでは第２導入孔２２ｂがコネクタケース１０に形成された開口部１２側（図１中下方）に突出している例を説明するが、第２導入孔２２ｂはコネクタケース１０に形成された開口部１２側と反対側（図１中上方）に突出していてもよい。

以上が本実施形態における圧力センサの構成である。そして、上記圧力センサは、被取付部材に対して、第１導入孔２２ａの突出方向が天地方向と垂直となると共に第２導入孔２２ｂの先端が地側となるように取り付けられて用いられる。

以上説明したように、本実施形態の圧力センサは、上記のように被取付部材に取り付けられることにより、圧力導入孔２２内に水滴が滞留することを抑制することができる。これについて図２を参照して説明する。図２は、圧力導入孔２２の拡大図である。

図２に示されるように、第１導入孔２２ａに滞留している水滴が第２導入孔２２ｂに達すると重力によって圧力導入孔２２内から排出される。したがって、従来の圧力センサと圧力導入孔２２の長さが同じである場合、圧力導入孔２２が閉塞されることを抑制することができる。なお、圧力導入孔２２の長さとは、言い換えると、圧力導入孔２２内を測定媒体が通過する距離のことである。

また、重力によって外部から第２導入孔２２ｂ内に異物が入り込むことも抑制することができ、異物によって圧力導入孔２２が閉塞することも抑制することができる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第１導入孔２２ａに突起を形成したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図３（ａ）は本実施形態における圧力導入孔２２の断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）中のＡ−Ａ断面図である。

図３に示されるように、本実施形態では、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面に当該第１導入孔２２ａの突出方向に沿った複数の突起２２ｃが形成されている。なお、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面とは、言い換えると、被取付部材に取り付けられた際に地側に位置する壁面のことであり、図３中の下側の壁面のことである。

これによれば、第１導入孔２２ａに滞留している水滴は突起２２ｃによって表面張力が崩されて複数滴に分離され、各水滴と第１導入孔２２ａとの接触面積が減少して第１導入孔２２ａに滞留し難くなる。このため、圧力導入孔２２に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。

なお、上記では、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面のみに突起２２ｃが備えられている例を説明したが、第１導入孔２２ａの全面に突起２２ｃが形成されていてもよい。また、突起２２ｃは複数備えられていなくてもよく、１つのみ備えられていてもよい。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第１導入孔２２ａに撥水性の材料で構成されるコーティング材を備えたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図４は、本実施形態における圧力導入孔２２の断面図である。

図４に示されるように、本実施形態では、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面に撥水性の材料で構成されるコーティング材２２ｄが備えられている。このコーティング材２２ｄは、例えば、ガラスで構成されるものが用いられる。

これによれば、第１導入孔２２ａに滞留している水滴はコーティング材２２ｄによって第１導入孔２２ａに滞留し難くなる。このため、圧力導入孔２２に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。なお、上記では、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面のみにコーティング材２２ｄが備えられている例を説明したが、第１導入孔２２ａの全面にコーティング材２２ｄが備えられていてもよい。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第１導入孔２２ａに排出部材を備えたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図５は、本実施形態における圧力導入孔２２の断面図である。

図５に示されるように、本実施形態では、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面に、ポート部２０を構成する材料より浸透性の高い材料で構成され、第２導入孔２２ｂ内に垂れ下がっている排出部材２２ｅが備えられている。この排出部材２２ｅとしては、例えば、布紐等が用いられる。

これによれば、第１導入孔２２ａに滞留している水滴は排出部材２２ｅに吸収され、排出部材２２ｅのうち第２導入孔２２ｂ内に垂れ下がっている先端部分から垂れ落ちる。このため、圧力導入孔２２に水滴が滞留することを抑制することができる。

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、圧力導入孔２２の形状を変化させたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図６は、本実施形態における圧力導入孔２２の断面図である。

図６に示されるように、本実施形態では、圧力導入孔２２は、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面と当該壁面と連結している第１導入孔２２ａの壁面との成す内角θ１が９０°未満（鋭角）とされている。このような圧力センサとしても、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態は第５実施形態に対して、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面の形状を変更したものであり、その他に関しては第５実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図７は、本実施形態における圧力導入孔２２の断面図である。

図７に示されるように、本実施形態では、圧力導入孔２２は、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面が曲面とされている。

これによれば、第１導入孔２２ａと第２導入孔２２ｂとに水滴が跨っているような場合には、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面が平坦である場合と比較して、水滴と第２導入孔２２ｂを構成する壁面との接触面積を増加させることができる。このため、水滴がより第２導入孔２２ｂ側に移動し易くなり、圧力導入孔２２に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。

（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態は第１実施形態に対して、第１導入孔２２ａの形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図８（ａ）は本実施形態における圧力導入孔２２の断面図、図８（ｂ）は図８（ａ）中のＢ−Ｂ断面図である。

図８に示されるように、本実施形態では、圧力導入孔２２は、圧力検出室８０側の一端部と当該一端部と反対側の他端部との間に閉塞部２３が備えられている。

具体的には、この閉塞部２３は、第１導入孔２２ａのうち、圧力検出室８０側の端部と第２導入孔２２ｂ側の端部との間に備えられている。そして、圧力検出室８０側の端部と第２導入孔２２ｂ側の端部とは、閉塞部２３に形成されたスリット２３ａを介して連通されている。言い換えると、第１導入孔２２ａは、閉塞部２３が備えられている部分において、突出方向が法線方向となる平面に沿った断面積が小さくされている。

なお、圧力導入孔２２における一端部とは、第１導入孔２２ａのうち圧力検出室８０側の端部のことであり、圧力導入孔２２における他端部とは、第２導入孔２２ｂのうちの先端部のことである。また、本実施形態のスリット２３ａは、第１導入孔２２ａの突出方向と平行な方向に延設されている。そして、このような閉塞部２３は、ポート部２０を成形する際に構成される。

これによれば、閉塞部２３によって圧力検出室８０に異物が導入されることをさらに抑制することができる。

なお、本実施形態では、第１導入孔２２ａに閉塞部２３が備えられている例について説明したが、第２導入孔２２ｂに閉塞部２３が備えられていてもよいし、第１、第２導入孔２２ａ、２２ｂに閉塞部２３が備えられていてもよい。

（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について説明する。本実施形態は第７実施形態に対して、スリット２３ａの形状を変更したものであり、その他に関しては第７実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図９は、本実施形態における第１導入孔２２ａの断面図であり、図８中のＣ−Ｃ断面に相当している。

図９に示されるように、本実施形態では、スリット２３ａは、第１導入孔２２ａの突出方向（図９中紙面左右方向）に対して傾いて形成されている。

これによれば、スリット２３ａが水滴にて閉塞されることを抑制できる。すなわち、上記のように、圧力センサは、第１導入孔２２ａの突出方向が天地方向と垂直となると共に第２導入孔２２ｂの先端が地側となる状態で被取付部材に取り付けられるが、より詳しくは、第１、第２導入孔２２ａの突出方向と垂直となる方向が運動方向（加速度の方向）となるように被取付部材に取り付けられる。このため、水滴がスリット２３ａに滞留している場合は、被取付部材（車両）の運動（加速）により、水滴に慣性力が印加される。このため、水滴がスリット２３ａを構成する壁面を伝ってスリット２３ａ外に排出され、スリット２３ａが水滴にて閉塞されることを抑制できる。

なお、スリット２３ａを構成する壁面の角部が丸められていてもよい。これによれば、表面張力で存在している水滴が角部で移動を妨げられなくなるため、スリット２３ａに滞留している水滴をさらに排出し易くなる。

（第９実施形態）
本発明の第９実施形態について説明する。本実施形態は第７実施形態に対して、第１導入孔２２ａの形状を変更したものであり、その他に関しては第７実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図１０は本実施形態における圧力導入孔２２の断面図である。

図１０に示されるように、本実施形態では、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側であって閉塞部２３よりも圧力検出室８０側に位置する壁面と、第２導入孔２２ｂを構成する壁面とを貫通する連通路２４が形成されている。

これによれば、第１導入孔２２ａのうち閉塞部２３よりも圧力検出室８０側に滞留している水滴は、スリット２３ａおよび連通路２４から第２導入孔２２ｂに排出される。このため、第１導入孔２２ａに水滴が滞留することを抑制することができる。

（他の実施形態）
上記各実施形態を適宜組み合わせた圧力センサとすることもできる。例えば、第２実施形態を第３〜第６実施形態に組み合わせ、第１導入孔２２ａに突起２２ｃを形成してもよい。また、第２実施形態を第７〜第９実施形態に組み合わせ、第１導入孔２２ａのうち閉塞部２３が備えられていない部分に突起２２ｃを形成してもよい。

そして、第３実施形態を第４〜第９実施形態に組み合わせ、第１導入孔２２ａにコーティング材２２ｄを備えてもよいし、第４実施形態を第５〜第９実施形態に組み合わせ、第１導入孔２２ａに排出部材２２ｅを備えてもよい。なお、第４実施形態を第７〜第９実施形態に組み合わせる場合には、スリット２３ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面にもコーティング材２２ｄを備えてもよい。

さらに、第５、第６実施形態を第７〜第９実施形態に組み合わせ、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面と当該壁面と連結している第１導入孔２２ａの壁面との成す内角θ１を９０°未満（鋭角）としてもよい。また、第８実施形態を第９実施形態に組み合わせ、スリット２３ａを傾けて形成してもよい。そして、適宜組み合わせた実施形態同士をさらに組み合わせてもよい。

また、上記第２実施形態では、第１導入孔２２ａに突起２２ｃが形成されている例を説明したが、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面に溝を形成してもよい。図１１は、他の実施形態における圧力導入孔２２の断面図であり、図３（ａ）中のＡ−Ａ断面に相当している。

図１１に示されるように、第１導入孔２２ａを構成する壁面のうち第２導入孔２２ｂの突出方向側の壁面に第１導入孔２２ａの突出方向に沿って複数の溝２２ｆが形成されていてもよい。これによれば、第２実施形態と同様に、水滴が溝２２ｆに流れ込む際に表面張力が崩されて複数滴に分離され、各水滴と第１導入孔２２ａとの接触面積が減少して第１導入孔２２ａに滞留し難くなるため、圧力導入孔２２に水滴が滞留することをさらに抑制することができる。

また、上記第１〜第９実施形態において、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側と反対側の壁面は次のようにされていてもよい。図１２は、他の実施形態における圧力導入孔２２の断面図である。

図１２に示されるように、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側と反対側の壁面と当該壁面と連結している第１導入孔２２ａの壁面との成す内角θ２が９０°より大きく（鈍角）されていてもよい。

また、上記第１〜第４、第７〜第９実施形態において、図１３に示されるように、第２導入孔２２ｂを構成する壁面のうちコネクタケース１０側に位置する壁面と当該壁面と連結している第１導入孔２２ａの壁面との成す内角θ１が９０°より大きく（鈍角）されていてもよい。

このような圧力センサとしても、第１導入孔２２ａの突出方向が天地方向と垂直となり、かつ、第２導入孔２２ｂの先端が地側となるように被取付部材に取り付けられることにより、同様の効果を得ることができる。

また、上記第１、第２、第４〜第９実施形態において、圧力導入孔２２を構成する壁面をサンドブラスター等で荒らし、親水性を高めるようにしてもよい。

１０ コネクタケース（第１ケース）
２０ ポート部（第２ケース）
２２ 圧力導入孔
２２ａ 第１導入孔
２２ｂ 第２導入孔
３０ ターミナル
４０ 圧力検出素子
５０ ボンディングワイヤ
８０ 圧力検出室

Claims (9)

1. 第１ケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（２２）が形成された第２ケース（２０）とが一体に組みつけられてなり、内部に前記圧力導入孔（２２）と連通している圧力検出室（８０）を有するケーシング（１００）と、
   前記圧力検出室（８０）内に備えられ、前記圧力導入孔（２２）から前記圧力検出室（８０）内に導入された前記測定媒体の圧力を検出する圧力検出素子（４０）と、を備える圧力センサにおいて、
   前記圧力導入孔（２２）は、前記第１ケース（１０）側と反対側に向かって突出している第１導入孔（２２ａ）と、前記第１導入孔（２２ａ）と連通されていると共に前記第１導入孔（２２ａ）の突出方向と非平行な方向に突出している第２導入孔（２２ｂ）とにより構成されており、前記第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち前記第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面にのみ当該第１導入孔（２２ａ）の突出方向に沿った突起（２２ｃ）または溝（２２ｆ）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記圧力導入孔（２２）は、前記第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち前記第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面に、前記第２ケース（２０）を構成する材料より水滴に対する浸透性の高い材料で構成され、前記第２導入孔（２２ｂ）内に垂れ下がっている排出部材（２２ｅ）が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 第１ケース（１０）と測定媒体が導入される圧力導入孔（２２）が形成された第２ケース（２０）とが一体に組みつけられてなり、内部に前記圧力導入孔（２２）と連通している圧力検出室（８０）を有するケーシング（１００）と、
   前記圧力検出室（８０）内に備えられ、前記圧力導入孔（２２）から前記圧力検出室（８０）内に導入された前記測定媒体の圧力を検出する圧力検出素子（４０）と、を備える圧力センサにおいて、
   前記圧力導入孔（２２）は、前記第１ケース（１０）側と反対側に向かって突出している第１導入孔（２２ａ）と、前記第１導入孔（２２ａ）と連通されていると共に前記第１導入孔（２２ａ）の突出方向と非平行な方向に突出している第２導入孔（２２ｂ）とにより構成されており、前記第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち前記第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面に、前記第２ケース（２０）を構成する材料より水滴に対する浸透性の高い材料で構成され、前記第２導入孔（２２ｂ）内に垂れ下がっている排出部材（２２ｅ）が備えられていることを特徴とする圧力センサ
4. 前記圧力導入孔（２２）は、前記第２導入孔（２２ｂ）を構成する壁面のうち前記第１ケース（１０）側に位置する壁面と当該壁面と連結している前記第１導入孔（２２ａ）の壁面との成す内角（θ１）が９０°以下とされていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
5. 前記圧力導入孔（２２）は、前記第２導入孔（２２ｂ）が前記第１導入孔（２２ａ）の突出方向に対して垂直方向に突出しており、Ｌ字形状とされていることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。
6. 前記圧力導入孔（２２）は、前記第２導入孔（２２ｂ）を構成する壁面のうち前記第１ケース（１０）側に位置する壁面が曲面とされていることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。
7. 前記圧力導入孔（２２）は、前記第１導入孔（２２ａ）を構成する壁面のうち前記第２導入孔（２２ｂ）の突出方向側の壁面に撥水性の材料で構成されるコーティング材（２２ｄ）が備えられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
8. 前記圧力導入孔（２２）は、前記圧力検出室（８０）側の一端部と当該一端部と反対側の他端部との間に閉塞部（２３）が備えられ、前記一端部と前記他端部とは前記閉塞部（２３）に形成されたスリット（２３ａ）を介して連通されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
9. 前記閉塞部（２３）は、前記第１導入孔（２２ａ）に備えられ、
   前記スリット（２３ａ）は、前記第１導入孔（２２ａ）の突出方向に対して傾いていることを特徴とする請求項８に記載の圧力センサ。

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