JP2015083937A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の圧力導入孔を備える圧力センサにおいて、圧力検出室に測定媒体を適切に導入できる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力検出素子20が備えられる圧力検出室80と連通する第1、第2圧力導入孔32、33において、圧力検出室80側と反対側の開口端を互いに異なる方向に向ける。これによれば、第1、第2圧力導入孔32、33の一方の開口端が被水環境になったとしても、他方の開口端が被水環境になることを抑制できる。したがって、圧力検出室80に測定媒体が導入されなくなることを抑制できる。【選択図】図1
Description
本発明は、ケースに圧力導入孔が形成されたポート部を組み付け、ケースとポート部との間に構成される圧力検出室に圧力に応じたセンサ信号を出力する圧力検出素子を備えた圧力センサに関するものである。
従来より、この種の圧力センサとして、次のようなものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。具体的には、この圧力センサでは、ケースには一面に凹部が形成され、この凹部に圧力検出素子が搭載されている。ポート部は、ケースの一面との間に圧力検出室を構成するようにケースに連結され、ケースの一面に対する法線方向に沿って第1、第2圧力導入孔が形成されている。そして、第1、第2圧力導入孔を介して圧力検出室に測定媒体が導入されるようになっている。
これによれば、ポート部に第1、第2圧力導入孔が形成されているため、第1、第2圧力導入孔のうちの一方の圧力導入孔が水滴によって閉塞されたとしても、他方の圧力導入孔から圧力検出室に測定媒体を導入することができる。
しかしながら、上記特許文献1の圧力センサでは、第1、第2圧力導入孔は、それぞれケースの一面に対する法線方向に沿って延設されている。このため、一方の圧力導入孔が水滴によって閉塞される可能性がある被水環境にある場合には、他方の圧力導入孔も被水環境にある可能性が高い。言い換えると、一方の圧力導入孔が水滴によって閉塞された場合、他方の圧力導入孔も水滴によって閉塞される可能性が高い。このため、圧力検出室に測定媒体(圧力)を適切に導入できなくなる可能性がある。
本発明は上記点に鑑みて、複数の圧力導入孔を備える圧力センサにおいて、圧力検出室に測定媒体を適切に導入できる圧力センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、一面(11)に凹部(12)が形成されたケース(10)と、凹部に搭載され、圧力に応じたセンサ信号を出力する圧力検出素子(20)と、ケースに連結されることでケースの一面との間に圧力検出室(80)を構成し、圧力検出室へ測定媒体を導入する第1、第2圧力導入孔(32、33)が形成されたポート部(30)とを備え、第1、第2圧力導入孔は、圧力検出室側と反対側の開口端が互いに異なる方向を向いていることを特徴としている。
これによれば、第1、第2圧力導入孔の一方の開口端が被水環境になったとしても、他方の開口端が被水環境になることを抑制できる。したがって、圧力検出室に測定媒体が導入されなくなることを抑制できる。
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、車両のドア内のスペースに取り付けられ、車両のドア内の圧力を検出する圧力センサとして用いられると好適である。なお、車両のドア内のスペースとは、ドアの室外側を構成するアウターパネルと室内側のドアトリムとに挟まれたスペースのことである。また、アウターパネルとドアトリムとの間にインナートリムが配置される場合には、ドア内のスペースとは、アウターパネルとインナートリムに挟まれたスペース、またはインナートリムとドアトリムとに挟まれたスペースのことである。
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、車両のドア内のスペースに取り付けられ、車両のドア内の圧力を検出する圧力センサとして用いられると好適である。なお、車両のドア内のスペースとは、ドアの室外側を構成するアウターパネルと室内側のドアトリムとに挟まれたスペースのことである。また、アウターパネルとドアトリムとの間にインナートリムが配置される場合には、ドア内のスペースとは、アウターパネルとインナートリムに挟まれたスペース、またはインナートリムとドアトリムとに挟まれたスペースのことである。
図1に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ケース10に圧力検出素子20が備えられる共に、ケース10にポート部30が組みつけられて構成されている。
ケース10は、例えば、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより製造されたものであり、一面11に凹部12が形成されている。
また、ケース10には外部と接続される複数本(図1中では1本のみ図示)のターミナル13が備えられている。各ターミナル13はインサート成型により一体的に成形されることでケース10内に保持されている。
具体的には、複数本のターミナル13は、一端部が凹部12内にて露出すると共に他端部が開口部14内に露出(突出)するようにケース10内に備えられている。そして、ターミナル13のうち開口部14内に露出している部分は、図示しない外部機器(外部の配線部材等)に接続可能とされている。つまり、ケース10の開口部14側の部分は、開口部14内に位置する各ターミナル13の他端部と共に、圧力センサにおけるコネクタ部として機能する。
なお、ターミナル13は、銅等の導電性材料で構成されている。また、ターミナル13のうちの凹部12内に露出している部分は、金メッキ等が施されてボンディングパッドとして機能するように構成されている。
そして、ケース10に形成された凹部12には、測定媒体の圧力を検出する圧力検出素子20が接着剤40を介して搭載されている。
圧力検出素子20は、圧力が印加されると当該圧力に応じたセンサ信号を出力するものであり、本実施形態ではセンサチップ20aと台座20bとにより構成されている。具体的には、センサチップ20aには薄肉状のダイヤフラムが形成されており、当該ダイヤフラムにブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成されている。つまり、本実施形態のセンサチップ20aは、ダイヤフラムに圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じたセンサ信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。
そして、このようなセンサチップ20aに台座20bが陽極接合されることによって圧力検出素子20が構成されている。なお、センサチップ20a(ダイヤフラム)と台座20bとの間には基準室が形成されるが、この基準室は真空圧とされていてもよいし、大気圧とされていてもよい。
このように構成された圧力検出素子20は、台座20bが接着剤40を介して凹部12の底面に固定されることで凹部12に搭載されている。そして、圧力検出素子20は、ターミナル13のうちの凹部12内に露出している部分とボンディングワイヤ50を介して電気的に接続されている。なお、ボンディングワイヤ50は、例えば、金やアルミニウム等が用いられる。
さらに、ケース10の凹部12内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴム等で構成された保護部材60が充填されている。これにより、ケース10とターミナル13との界面、圧力検出素子20、ボンディングワイヤ50が被覆されて保護されるようになっている。
なお、本実施形態では、保護部材60は2層保護構造とされている。例えば、凹部12内において下層(底面側)に位置する保護部材としては、ケース10とターミナル13との界面等からの気泡の発生を抑制するために、高弾性率を有し、かつ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゴム材料等が用いられる。また、凹部12内において上層(開口端側)に位置する保護部材としては、圧力検出素子20およびボンディングワイヤ50に応力を与えないような低弾性率を有し、かつ耐薬品性を有する材料からなるフッ素系のゲル材料やフロロシリコンゲル等が用いられる。
ポート部30は、上記ケース10と同様に、PPS(ポリフェニレンサルファイド)やPBT(ポリブチレンテレフタレート)等の樹脂を型成形することにより製造されたものであり、圧力検出素子20に測定媒体を導くものである。
そして、このようなポート部30は、ケース10の一面11を覆うように、一端31がハードエポキシ樹脂等の耐薬品性に優れ、かつ高弾性である接着剤70等によってケース10と連結されている。これにより、ケース10とポート部30との間に圧力検出室80が構成されている。
また、ポート部30には、圧力検出室80と連通され、当該圧力検出室80に測定媒体を導入し、圧力検出室80側と反対側の開口端が互いに異なる方向を向いている第1、第2圧力導入孔32、33が形成されている。なお、開口端が互いに異なる方向を向いているとは、言い換えると、開口端を閉塞する平面(第1開口端を閉塞する平面は図1中紙面左右方向に延びる平面、第2開口端を閉塞する平面は図1中紙面上下方向に延びる平面)に対する法線方向が互いに異なる方向を向いていることである。
具体的には、第1圧力導入孔32は、ケース10の一面11に対する法線方向(図1中紙面上下方向)に延びる第1軸に沿って延設されている。つまり、第1圧力導入孔32における開口端は、第1軸と平行な方向を向いているといえる。
これに対し、第2圧力導入孔33は、第1、第2部位33a、33bを有する構成とされている。詳述すると、第1部位33aは、圧力検出室80と連通し、第1軸に沿って延設されている。つまり、第1圧力導入孔32と平行な方向に延設されている。また、第2部位33bは、第1部位33aと連通し、第1軸と直交する方向(図1中紙面左右方向)に延びる第2軸に沿って延設されている。すなわち、第2圧力導入孔33における開口端は、第2軸と平行な方向を向いているといえる。そして、第2部位33bのうちの第1部位33aと反対側の端部により、第2圧力導入孔33の開口端が形成されている。
なお、本実施形態では、第2部位33bは、第1部位33aと連結される側の端部と反対側の端部が第1部位33aと連結される側の端部を挟んで第1圧力導入孔32と反対側に位置しているものを図示しているが、第2圧力導入孔33の構成はこれに限定されるものではない。例えば、第2部位33bは、第1部位33aと連結される側の端部と反対側の端部を挟んで第1部位33aと連結される側の端部が第1圧力導入孔32と反対側に位置していてもよい。
以上が本実施形態における圧力センサの構成である。このような圧力センサは、上記のように、車両のドア内のスペースに、ケース10が天地方向の天側となると共に、第1圧力導入孔32の開口端が天地方向の地側となるように、接着剤やボルト等を用いて取り付けられる。この場合、第1、第2圧力導入孔32、33の開口端の方向が異なっているため、一方の開口端が被水環境になったとしても、他方の開口端が被水環境になることを抑制できる。
以上説明したように、本実施形態では、第1、第2圧力導入孔32、33の開口端が互いに異なる方向を向いている。このため、第1、第2圧力導入孔32、33の開口端の一方の開口端が被水環境になったとしても、他方の開口端が被水環境になることを抑制できる。したがって、圧力検出室80に測定媒体が導入されなくなることを抑制できる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2圧力導入孔33の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2圧力導入孔33の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図2に示されるように、第2圧力導入孔33は、第2部位33bにおけるケース10側と反対側の壁面において、第1部位33aと連結される端部側より当該端部と反対側の端部側の方がケース10から離間している。言い換えると、第2圧力導入孔33は、第2部位33bにおけるケース10側と反対側の壁面において、第1部位33aと連結される端部側より当該端部と反対側の端部側の方が下方に位置している。
これによれば、上記のように圧力センサを車両のドアのスペース内に取り付けた際、第2部位33bに滞留した水滴を重力によって排出し易くしつつ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2圧力導入孔33の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2圧力導入孔33の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本実施形態では、図3に示されるように、第2圧力導入孔33は、圧力検出室80と連通する端部と当該端部と反対側の端部(開口端)とが曲率を有する壁面にて連結されている。言い換えると、第2圧力導入孔33は、圧力検出室80と連通する端部と当該端部と反対側の端部(開口端)とを連結する壁面が曲面とされている。
これによれば、測定媒体の導入方向が急峻に変化することを抑制でき、圧力損失を低減しつつ、上記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
例えば、上記各実施形態において、ケース10に形成された凹部12には、圧力検出素子20に対する駆動信号の出力や外部への検出用信号の出力、圧力検出素子20からのセンサ信号を演算、増幅処理等する回路チップが搭載されていてもよい。この場合、圧力検出素子20と回路チップとがボンディングワイヤを介して接続されると共に、回路チップ部とターミナル13とがボンディングワイヤを介して接続される。
また、上記第1、第2実施形態では、第1部位33aの延設方向と第2部位33bの延設方向とが直交する例について説明したが、第1部位33aの延設方向と第2部位33bの延設方向とは直交していなくてもよい。例えば、第1部位33aの延設方向と第2部位33bの延設方向との成す角度が30°とされている圧力センサとしてもよい。同様に、上記第3実施形態において、例えば、第1圧力導入孔32の開口端の方向と第2圧力導入孔33の開口端の方向とが30°異なっている圧力センサとしてもよい。すなわち、第1圧力導入孔32の開口端の方向と第2圧力導入孔33の方向とが互いに異なっていれば本発明の効果を得ることができる。
10 ケース
11 一面
12 凹部
20 圧力検出素子
30 ポート部
32 第1圧力導入孔
33 第2圧力導入孔
11 一面
12 凹部
20 圧力検出素子
30 ポート部
32 第1圧力導入孔
33 第2圧力導入孔
Claims (4)
- 一面(11)に凹部(12)が形成されたケース(10)と、
前記凹部に搭載され、圧力に応じたセンサ信号を出力する圧力検出素子(20)と、
前記ケースに連結されることで前記ケースの一面との間に圧力検出室(80)を構成し、前記圧力検出室へ測定媒体を導入する第1、第2圧力導入孔(32、33)が形成されたポート部(30)と、を備え、
前記第1、第2圧力導入孔は、前記圧力検出室側と反対側の開口端が互いに異なる方向を向いていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記第1圧力導入孔は、前記ケースの一面に対する法線方向に延びる第1軸に沿って延設され、
前記第2圧力導入孔は、前記圧力検出室と連通し、前記第1軸に沿って延設された第1部位(33a)と、前記第1部位と連通し、前記第1軸と直交する方向に延びる第2軸に沿って延設された第2部位(33b)とを有し、前記第2部位における前記第1部位と連通する端部と反対側の端部にて前記第2圧力導入孔における前記開口端が構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記第2部位を構成する壁面のうち前記ケース側と反対側の壁面は、第1部位と連結される端部より当該端部と反対側の端部の方が前記ケースから離間していることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記第1圧力導入孔は、前記前記ケースの一面に対する法線方向に延びる軸に沿って延設され、
前記第2圧力導入孔は、前記ケース側の一端部と前記開口端側の他端部とが曲率を有する壁面にて連結されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013222255A JP2015083937A (ja) | 2013-10-25 | 2013-10-25 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2020197168A1 (ko) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 한국단자공업 주식회사 | 압력센서 |
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2013
- 2013-10-25 JP JP2013222255A patent/JP2015083937A/ja active Pending
Cited By (2)
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WO2020197168A1 (ko) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 한국단자공업 주식회사 | 압력센서 |
US11852552B2 (en) | 2019-03-26 | 2023-12-26 | Korea Electric Terminal Co., Ltd. | Pressure sensor with a communicating passage in a straight line |
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