JP2006105853A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】 大気導入通路を介してセンサ素子へ大気を導入するようになっている圧力センサにおいて、大気導入通路から虫が侵入するのを適切に防止する。
【解決手段】 圧力検出を行うセンサ素子２０と、大気とセンサ素子２０とを連通しセンサ素子２０へ大気を導入する大気導入通路４０とを備える圧力センサ１において、大気導入通路４０を、互いに対向する通路内壁に設けられた櫛歯状の壁１１ａ、１２ａ同士がかみ合うことにより形成された折り返し形状の通路とすることにより、大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、大気導入口からセンシング部へ大気が導入されるようになっている圧力センサに関する。

この種の圧力センサは、圧力検出を行うセンシング部と、大気とセンシング部とを連通しセンシング部へ大気を導入する大気導入通路とを備えて構成されている。

たとえば、このような圧力センサは相対圧センサとして構成されており、センシング部には、圧力導入孔から被測定圧力が導入されるとともに、大気導入通路の大気導入口（つまり、大気開放穴）から大気が導入される。そして、両方の圧力の差圧等に基づいて被測定圧力が検出される。

このような圧力センサは、マイコンガスメータにおけるガス漏れ検知用の圧力センサや、ガス自動呂給湯器の水位センサなどに用いられる。

そして、このような機器は、一般に野外に設置されるために、蟻やノミ、蛾などの虫が、センサの大気導入通路へ侵入し、センシング部のワイヤボンド部や電子回路などを破損させる恐れがある。

一方、従来では、機器側の大気開放口や圧力センサの大気開放口にフィルタを設けて異物の侵入を防止するようにしたり（たとえば、特許文献１参照）、機器の大気開放口の穴を大気方向に拡径させ内壁に虫が営巣するのを防止するようにしたもの（たとえば、特許文献２参照）が提案されている。
特開平９−４３０８５号公報 特開平１１−１０１６５９号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載されているような大気開放口にフィルタを設ける構成のものでは、大気導入通路への虫の侵入を防止できるものの、フィルタの部品費や組み付け工数が増大し、コストアップの要因となる。

また、大気開放口の穴を大気方向に拡径させる構成のものでは、大気導入通路の内壁に虫が営巣するのを防止できるものの、虫の侵入まで防止することは困難である。

そこで、本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、大気導入通路を介してセンシング部へ大気を導入するようになっている圧力センサにおいて、大気導入通路から虫が侵入するのを適切に防止できるようにすることを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧力検出を行うセンシング部（２０）と、大気とセンシング部（２０）とを連通し、センシング部（２０）へ大気を導入する大気導入通路（４０）とを備える圧力センサにおいて、大気導入通路（４０）は、曲がった形状の通路となっていることを特徴としている。

それによれば、大気導入通路（４０）を曲がり形状とすることにより、従来の真っ直ぐな形状に比べて、虫がセンサ内部へ侵入しにくくなる。また、大気導入通路（４０）の形状変更で済むので、大気導入通路にフィルタを設ける場合に比べて、簡単で安価な構成とすることができる。

よって、本発明によれば、大気導入通路（４０）を介してセンシング部（２０）へ大気を導入するようになっている圧力センサにおいて、大気導入通路（４０）から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、前記曲がった形状の通路とは、折り返し形状の通路であることを特徴としている。

また、請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の圧力センサにおいて、前記折り返し形状の通路とは、互いに対向する通路内壁に設けられた櫛歯状の壁（１１ａ、１２ａ）同士がかみ合うことにより形成されたものであることを特徴としている。

また、請求項４に記載の発明では、請求項１に記載の圧力センサにおいて、前記曲がった形状の通路とは、螺旋状の通路であることを特徴としている。

また、請求項５に記載の発明では、請求項１〜請求項４に記載の圧力センサにおいて、大気導入通路（４０）の途中部には、粘着性を有する粘着性部材（６０）が設けられていることを特徴としている。

さらに、大気導入通路（４０）の途中部に、粘着性を有する粘着性部材（６０）を設ければ、そこに虫が貼り付いて捕獲されるため、虫の侵入をより確実に防止することができる。

請求項６に記載の発明では、圧力検出を行うセンシング部（２０）と、大気とセンシング部（２０）とを連通し、センシング部（２０）へ大気を導入する大気導入通路（４０）とを備える圧力センサにおいて、大気導入通路（４０）の途中部には、粘着性を有する粘着性部材（６０）が設けられていることを特徴としている。

それによれば、大気導入通路（４０）の途中部に、粘着性を有する粘着性部材（６０）を設けるだけで、そこに虫が貼り付いて捕獲されるため、虫がセンサ内部へ侵入しにくくなる。また、大気導入通路（４０）への粘着性部材（６０）の設置は、フィルタの設置に比べて、簡単で安価に実現可能である。

よって、本発明によれば、大気導入通路（４０）を介してセンシング部（２０）へ大気を導入するようになっている圧力センサにおいて、大気導入通路（４０）から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。

以下の実施形態では、本発明の圧力センサを半導体ダイアフラム式のセンサ素子を用いた相対圧タイプの圧力センサに具体化したものとして説明する。

また、以下の実施形態の圧力センサは、その用途を限定するものではないが、たとえば、浴槽の給湯器における湯（または水）の流路に取り付けられ、当該流路内の圧力によって浴槽の水位を検出する水位センサや、ガスメータに取り付けられてガス漏れを検出する圧力センサなどに適用可能である。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサ１の概略断面構成を示す図である。

本圧力センサ１は、大きくは、ケース１０と、ケース１０内に設けられたセンシング部としてのセンサ素子２０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ被測定圧力を導入するための圧力導入ポート３０と、ケース１０に設けられセンサ素子２０へ大気圧を導入するための大気導入通路４０とを備えて構成されている。

ケース１０は、本体ケース部１１とこの本体ケース部１１の開口部を閉塞する蓋部１２とから構成されている。

本体ケース部１１および蓋部１２は、たとえば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂材料、または、金属、セラミック等を成型や切削等により加工してなるものである。

本体ケース部１１と蓋部１２とは、接着、溶接、溶着、ロウ付けなど種々の接合方法により一体的に接合され固定されている。そして、これら一体化された本体ケース部１１と蓋部１２との間に、ケース１０の内部空間が形成され、この内部空間にセンサ素子２０が収納されている。

センサ素子２０は、圧力印加により歪み変形可能なダイアフラム２１と、このダイアフラムを支持するガラスなどからなる台座２２とからなる。ダイアフラム２１は、台座２２に陽極接合などにより接合され、この台座２２を介して、ケース１０における本体ケース部１１に接着などにより固定されている。

このダイアフラム２１は、半導体基板に対してエッチングなどを施すことで薄肉部としてのダイアフラムを形成してなる圧力センサ素子、すなわち半導体ダイアフラム式の圧力センサ素子として構成されるものである。

具体的には、図示しないが、ピエゾ抵抗効果を有した半導体材料（たとえば単結晶シリコン）よりなるものであって、たとえばダイアフラム２１上には複数個の拡散抵抗が形成され、これら複数個の拡散抵抗をブリッジ接続してなるブリッジ回路を有する構成となっている。

そして、このダイアフラム２１の変形に応じた拡散抵抗の抵抗値変化を上記ブリッジ回路から電気信号として取り出すようになっている。このように、ダイアフラム２１は測定圧力に応じたレベルの電気信号を出力するものである。

また、台座２２には、台座２１の表面からダイアフラム２１の裏面へ到達する貫通穴２３が設けられている。また、ケース１０の本体ケース部１１には、ケース１０の外部とセンサ素子２０の台座２２の貫通穴２３とを連通する貫通穴としての圧力導入ポート３０が設けられている。

ここで、ケース１０は、たとえば上記給湯器の配管やガスメータなどの被検出体に取り付けられ、圧力導入ポート３０から、被測定圧力が導入されるものである。そして、圧力導入ポート３０から導入される被測定圧力は、台座２２の貫通孔２３を経て、ダイアフラム２１の裏面側へに印加されるようになっている。

また、ケース１０には、センサ素子２０と外部とを電気的に接続するための図示しない配線が形成されており、この配線とセンサ素子２０とが電気的に接続されることにより、センサ素子２０の信号が外部に取り出し可能となっている。

たとえば、そのようなケース１０の配線としては、ケース１０にインサート成形されたリードフレームとしたり、ケース１０をセラミック積層基板とした場合には、当該配線はそのセラミック積層基板に導体ペーストなどを用いて形成された導体部としたりすることができる。

そして、このようなケース１０の配線と、センサ素子２０のダイアフラム２１上の図示しない電極とが、Ａｕ（金）やＡｌ（アルミニウム）などからなるボンディングワイヤ５０により結線され、電気的に接続されている。このようにして、ケース１０とセンサ素子２０とが電気接続されている。

また、図１に示されるように、ケース１０における蓋１２には、大気とケース１０の内部とを連通する貫通穴としての大気開放口４１が形成されている。この大気開放口４１は、ケース１０内部に設けられている大気導入通路４０における大気側の開口部として構成されている。

つまり、大気導入通路４０は、ケース１０外部の大気とケース１０内部のセンシング部であるセンサ素子２０とを連通し、センサ素子２０へ大気を導入するための通路である。ここでは、大気は大気導入通路４０を介してセンサ素子２０のダイアフラム２１における表面に導入される。

こうして、本実施形態の圧力センサ１においては、センサ素子２０におけるダイアフラム２１を境として、ダイアフラム２１の表面に大気圧が印加され、ダイアフラム２１の裏面に被測定圧力が印加されるようになっている。

さらに、本実施形態の圧力センサ１においては、独自の構成として、大気導入通路４０を曲がった形状の通路としている。

本例では、ケース１０における大気導入通路４０は、本体ケース部１１の内壁から突出する櫛歯状の壁１１ａとこれに対向する蓋部１２の内壁から突出する櫛歯状の壁１２ａとがかみ合うことにより、その櫛歯状の壁１１ａ、１２ａの隙間として形成されており、折り返し形状の通路となっている。

なお、このような櫛歯状の壁１１ａ、１２ａや大気開放口４１、圧力導入ポート３０を有する本体ケース部１１や蓋部１２は、上述したように、成型加工や切削加工などにより作製することができる。

このような構成を有する圧力センサ１は、たとえば、次のような工程により製造することができる。

ケース１０における本体ケース部１１に、台座２２に接合されたダイアフラム２１すなわちセンサ素子２０を接着などにより取り付ける。次に、ダイアフラム２１とケース１０における上記配線との間で、ワイヤボンディングを行い、ボンディングワイヤ５０による結線を行う。

その後、接着などによりケース１０における蓋部１２を本体ケース部１１に取り付け、本体ケース部１１と蓋部１２とが一体化したケース１０を形成する。それにより、上記図１に示される圧力センサ１を製造することができる。

この圧力センサ１の検出動作は、次の通りである。この圧力センサ１は、特に、野外において、浴槽の給湯器における湯（または水）の流路を構成する配管やガスメータなどの被検出体に取り付けられる。

そして、この被検出体に取り付けられた状態で、圧力導入ポート３０から、被測定圧力がダイアフラム２１の裏面側へ導入されるとともに、大気導入通路４０の大気開放口４１から大気が導入され大気導入通路４０を通ることにより、ダイアフラム２１の表面側に大気が導入される。

それにより、ダイアフラム２１は変形するが、たとえば、このダイアフラム２１の変形に応じた拡散抵抗の抵抗値変化を上記ブリッジ回路から電気信号として取り出し、この電気信号は、ボンディングワイヤ５０を介して、ケース１０の上記配線から外部へ出力される。

これにより、ダイアフラム２１の表面側の大気圧と裏面側の圧力との相対圧を検出することができ、被検出体における被測定圧力を検出できるようになっている。つまり、本実施形態の圧力センサ１は、相対圧タイプの半導体ダイアフラム式圧力センサとして構成されている。

ところで、本実施形態によれば、圧力検出を行うセンシング部としてのセンサ素子２０と、大気とセンサ素子２０とを連通しセンサ素子２０へ大気を導入する大気導入通路４０とを備える圧力センサ１において、大気導入通路４０は、曲がった形状の通路とすることにより、大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにしたことを特徴とする圧力センサ１が提供される。

それによれば、大気導入通路４０を曲がり形状とすることにより、従来の真っ直ぐな形状に比べて、虫がセンサ内部へ侵入しにくくなる。

また、大気導入通路４０の形状変更で済むので、部品点数の増加、組付け工数の増加もなく、従来のように大気導入通路にフィルタを設ける場合に比べて、簡単で安価な構成とすることができる。

よって、本実施形態によれば、大気導入通路４０を介してセンシング部としてのセンサ素子２０へ大気を導入するようになっている圧力センサ１において、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

そのため、虫の侵入によるセンサ素子２０の破損やボンディングワイヤ５０の断線などの不具合を極力防止することができ、圧力センサ１における信頼性、耐久性の向上を図ることができる。

また、本実施形態では、大気導入通路４０における曲がった形状の通路とは、折り返し形状の通路であることも特徴点である。そして、図１に示される例では、この折り返し形状の通路とは、互いに対向する通路内壁に設けられた櫛歯状の壁１１ａ、１２ａ同士がかみ合うことにより形成されたものであることも特徴の一つである。

たとえば、図１に示される大気導入通路４０において、隣り合う本体ケース部１１の櫛歯状の壁１１ａと蓋部１２の櫛歯状の壁１２ａとの両側面間の距離ｄ１は、０．５ｍｍ程度である。以下、この距離ｄ１を櫛歯の側面間隔ｄ１ということにする。

また、図１に示される大気導入通路４０において、本体ケース部１１の櫛歯状の壁１１ａの突出先端部とこれに対向する蓋部１２の内壁との距離ｄ２、および、蓋部１２の櫛歯状の壁１２ａの突出先端部とこれに対向する本体ケース部１１の内壁との距離ｄ２は、たとえば、０．２ｍｍ程度である。以下、この距離ｄ２を櫛歯の先端間隔ｄ２ということにする。

このように、大気導入通路４０を、複数個の櫛歯状の壁１１ａ、１２ａを利用して複数個の折り返し部を持つ長い折り返し形状の通路とし、また、その大気導入通路４０におけるの櫛歯の側面間隔ｄ１および櫛歯の先端間隔ｄ２を狭いものにすることにより、虫の侵入をしづらくしている。

なお、大気導入通路４０における上記櫛歯の各間隔ｄ１、ｄ２は、通路全域において一定寸法でなくてもよく、たとえば、ケース１０の内部へ行くにつれて次第に狭くなるようにしてもよい。

［変形例］
上記図１に示される例では、折り返し形状の大気導入通路４０を、互いに対向する通路内壁に設けられた櫛歯状の壁１１ａ、１２ａ同士をかみ合わせることにより形成したが、たとえば、折り返し形状の大気導入通路４０は、図２に示されるような構成により形成してもよい。

図２は、本実施形態の変形例としてのケース１０構成を示す分解斜視図であり、本体ケース部１１と蓋部１２とを分解して示してある。

この図２に示される例では、蓋部１２の内壁は平面であり、上記図１に示されるような櫛歯状の壁は蓋部１２には設けられていない。一方、本体ケース部１１には、櫛歯状の壁部１１ｂが設けられ、それによりこの壁部１１ｂにより仕切られた折り返し形状の通路が形成されている。

このようなケース１０の各部の構成とすることにより、本変形例においても、蓋部１２と本体ケース部１１とが一体化した状態で、折り返し形状をなす大気導入通路４０が形成されそれによって、大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにできることは明らかである。

そして、本変形例を用いた圧力センサ１によっても、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができ、そのため、虫の侵入によるセンサ素子２０の破損やボンディングワイヤ５０の断線などの不具合を極力防止することができ、圧力センサ１における信頼性、耐久性の向上を図ることができる。

（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサ２の構成を示す図であり、（ａ）は概略平面構成を示す図であって蓋１２を省略した構成として示してあり、また、（ｂ）は概略断面構成を示す図である。ここでは、上記第１実施形態との相違点を中心に述べることにする。

図３に示されるように、本実施形態の圧力センサ２においても、大気導入通路４０は曲がった形状の通路となっている。しかし、本実施形態では、上記実施形態とは異なり、螺旋形状の通路となっている。

この螺旋形状の大気導入通路４０は、たとえば、ケース１０における本体ケース部１１に螺旋状の壁１１ｃを形成すれば、この螺旋状の壁１１ｃにより仕切られた通路として容易に形成することができる。

このように、本実施形態によっても、圧力検出を行うセンシング部としてのセンサ素子２０と、大気とセンサ素子２０とを連通しセンサ素子２０へ大気を導入する大気導入通路４０とを備える圧力センサ２において、大気導入通路４０を曲がった形状の通路とすることにより大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにしたことを特徴とする圧力センサ２が提供される。

特に、本実施形態では、図３（ａ）に示されるように、大気導入通路４０における曲がった形状の通路が、螺旋状の通路であることも特徴点の一つである。

それによれば、上記第１実施形態に述べたのと同様の理由から、従来の真っ直ぐな形状に比べて、虫がセンサ内部へ侵入しにくくなるとともに、簡単で安価な構成とすることができる。

よって、本実施形態によっても、大気導入通路４０を介してセンシング部としてのセンサ素子２０へ大気を導入するようになっている圧力センサ２において、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

そのため、虫の侵入によるセンサ素子２０の破損やボンディングワイヤ５０の断線などの不具合を極力防止することができ、圧力センサ２における信頼性、耐久性の向上を図ることができる。

（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサ３の概略断面構成を示す図である。本実施形態においては、上記第１実施形態との相違点を中心に述べることにする。

図４に示されるように、本実施形態の圧力センサ３においても、大気導入通路４０は曲がった形状の通路となっており、特に、櫛歯１１ａ、１２ａを用いた折り返し形状となっている。

ここで、本実施形態では、上記実施形態に加えて、大気導入通路４０の途中部に、粘着性を有する粘着性部材６０が設けられている。この粘着性部材６０としては、たとえばシリコーンゲルなどの粘着性のあるゲル状物質や、粘着性の樹脂、セラミック、粘着性テープの粘着面などを用いることができる。

このように、本実施形態によれば、圧力検出を行うセンシング部としてのセンサ素子２０と、大気とセンサ素子２０とを連通しセンサ素子２０へ大気を導入する大気導入通路４０とを備える圧力センサ３において、大気導入通路４０を曲がった形状の通路としており、さらに、大気導入通路４０の途中部に粘着性を有する粘着性部材６０を設けることにより、大気導入通路内の虫の進行を阻害するようにしたことを特徴とする圧力センサ３が提供される。

それによれば、上記実施形態と同様に、大気導入通路４０を曲がり形状とすることにより、簡単で安価な構成にて、虫がセンサ内部へ侵入しにくくなる。さらに、大気導入通路４０の途中部に、粘着性部材６０を設けており、侵入してくる虫がこの粘着性部材６０に貼り付いて捕獲されるため、虫の侵入をより確実に防止することができる。

よって、本実施形態によっても、大気導入通路４０を介してセンシング部としてのセンサ素子２０へ大気を導入するようになっている圧力センサ３において、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

そのため、虫の侵入によるセンサ素子２０の破損やボンディングワイヤ５０の断線などの不具合を極力防止することができ、圧力センサ３における信頼性、耐久性の向上を図ることができる。

また、本実施形態の圧力センサ３においては、圧力導入通路４０は曲がり形状ではなく、従来の一般的なもののように真っ直ぐな通路であってもよい。たとえば、図４に示される圧力センサ３において、大気導入通路４０が大気開放口４１からセンサ素子２０まで真っ直ぐに延びるものであってもよい。

その場合には、圧力検出を行うセンシング部としてのセンサ素子２０と、大気とセンサ素子２０とを連通しセンサ素子２０へ大気を導入する大気導入通路４０とを備える圧力センサ３において、大気導入通路４０の途中部に、粘着性を有する粘着性部材６０を設けることにより大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにしたことを特徴とする圧力センサ３が提供される。

それによれば、大気導入通路４０の途中部に、粘着性部材６０を設けるだけで、そこに虫が貼り付いて捕獲されるため、虫がセンサ内部へ侵入しにくくなる。また、大気導入通路４０への粘着性部材６０の設置は、その粘着性を活かして貼り付けるだけでよく、フィルタの設置に比べて、簡単で安価に実現可能である。

たとえば、粘着性部材６０がゲル状の物質である場合には、たとえば、本体ケース部１１における大気導入通路４０となる部位に、粘着性部材６０を塗布するだけで粘着性部材６０の配設が、容易に実現できる。

そして、このような特徴点を有する圧力センサＳ３によっても、大気導入通路４０を介してセンシング部としてのセンサ素子２０へ大気を導入するようになっている圧力センサ３において、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

（第４実施形態）
図５は、本発明の第４実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサ４の概略断面構成を示す図である。

本実施形態は、上記図１に示されるような大気導入通路４０を複数個の櫛歯状の壁１１ａ、１２ａを利用して複数個の折り返し部を持つ長い折り返し形状の通路とした圧力センサに対して、上記第３実施形態の粘着性部材６０を設置したものである。

つまり、本実施形態においては、センサ素子２０と大気導入通路４０とを備える圧力センサ４において、大気導入通路４０は曲がった形状の通路とし、大気導入通路４０の途中部に粘着性部材６０を設けることにより、大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにしたことを特徴とする圧力センサ４が提供される。

そして、このような特徴点を有する本実施形態の圧力センサ４によっても、大気導入通路４０を曲がり形状としたこと、および大気導入通路４０の途中部に粘着性部材６０を設けたことにより、簡単で安価な構成にて、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができる。

そのため、虫の侵入によるセンサ素子２０の破損やボンディングワイヤ５０の断線などの不具合を極力防止することができ、圧力センサ４における信頼性、耐久性の向上を図ることができる。

また、本実施形態の圧力センサ４においても、さらに、大気導入通路４０の上記櫛歯の側面間隔ｄ１および上記櫛歯の先端間隔ｄ２（ｄ１、ｄ２は図１参照）を狭いものにすることにより、より虫の侵入をしづらくしてもよい。

（第５実施形態）
図６は、本発明の第５実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサ５の概略断面構成を示す図である。

本実施形態は、上記図５に示される第４実施形態の圧力センサを変形したものである。上記第４実施形態では、粘着性部材６０は、大気導入通路４０の途中部の１箇所に設けられていたが、本実施形態の圧力センサ５では、図６に示されるように、大気導入通路４０の途中部の複数箇所に、粘着性部材６０が設けられている。

図６に示される例では、折り返し形状をなす大気導入通路４０における各々の折り返し部（Ｕターン部）に、粘着性部材６０が設けられている。

つまり、本実施形態においては、センサ素子２０と大気導入通路４０とを備える圧力センサ５において、大気導入通路４０を曲がった形状の通路とし、大気導入通路４０の途中部に粘着性部材６０を複数箇所設けたことにより、大気導入通路４０内の虫の進行を阻害するようにしたことを特徴とする圧力センサ５が提供される。

そして、このような特徴点を有する本実施形態の圧力センサ５によっても、上記第４実施形態と同様の効果を奏する圧力センサを提供することができる。特に、本実施形態では、複数箇所に粘着性部材６０を設けることにより、粘着性部材６０による虫の捕獲効果を何倍にも向上させることができる。

なお、本実施形態において、このように大気導入通路４０の途中部に粘着性部材６０を複数箇所設ける構成は、圧力導入通路４０が曲がり形状ではなく真っ直ぐな通路である圧力センサに対しても、採用してよいことは、言うまでもない。

それにより、簡単で安価な構成にて、大気導入通路４０から虫が侵入するのを適切に防止することができ、虫の侵入によるセンサ内部の破壊を極力防止することができ、信頼性、耐久性の向上を図ることができる。

また、本実施形態の圧力センサ５においても、さらに、大気導入通路４０の上記櫛歯の側面間隔ｄ１および上記櫛歯の先端間隔ｄ２（ｄ１、ｄ２は図１参照）を狭いものにすることにより、より虫の侵入をしづらくしてもよい。

（他の実施形態）
なお、上記実施形態では、圧力センサは半導体ダイアフラム式のものであったが、これに限定されない。つまり、本発明の圧力センサにおけるセンシング部は、ダイアフラムの歪みを有するものでなくてもよく、大気圧を導入することで圧力検出を行うものであればかまわない。

また、大気導入通路の曲がり形状は、上述した図に示されるような折り返し形状、螺旋状に限定されるものではない。たとえば、円周形状や四角形、三角形などの多角形に曲がった形状やいろいろな迷路形状を採用したりすることができる。

また、上記圧力センサは、大気圧と被測定圧力との差圧に基づいて圧力検出を行う相対圧型の圧力センサであったが、たとえば、センシング部が基準圧力室を有し、被測定圧力として大気圧そのものを測定する絶対圧型の圧力センサであっても、本発明を適用することができる。

要するに、本発明は、圧力検出を行うセンシング部と、大気とセンシング部とを連通し、センシング部へ大気を導入する大気導入通路とを備える圧力センサに対して適用が可能なものであり、このような圧力センサにおいて、大気導入通路を曲がった形状の通路としたこと、あるいは、大気導入通路の途中部に粘着性部材を設け、大気導入通路内の虫の進行を阻害するようにしたことを要部とするものであり、その他の細部については適宜設計変更が可能である。

本発明の第１実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサの概略断面構成を示す図である。 上記第１実施形態の変形例としてのケース構成を示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサの構成を示す図であり、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図である。 本発明の第３実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサの概略断面構成を示す図である。 本発明の第４実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサの概略断面構成を示す図である。 本発明の第５実施形態に係る半導体ダイアフラム式の圧力センサの概略断面構成を示す図である。

符号の説明

１１ａ…本体ケース部の櫛歯状の壁、１２ａ…蓋部の櫛歯状の壁、
２０…センシング部としてのセンサ素子、４０…大気導入通路、
６０…粘着性部材。

Claims (6)

1. 圧力検出を行うセンシング部（２０）と、
   大気と前記センシング部（２０）とを連通し、前記センシング部（２０）へ大気を導入する大気導入通路（４０）とを備える圧力センサにおいて、
   前記大気導入通路（４０）は、曲がった形状の通路となっていることを特徴とする圧力センサ。
2. 前記曲がった形状の通路とは、折り返し形状の通路であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 前記折り返し形状の通路とは、互いに対向する通路内壁に設けられた櫛歯状の壁（１１ａ、１２ａ）同士がかみ合うことにより形成されたものであることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
4. 前記曲がった形状の通路とは、螺旋状の通路であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
5. 前記大気導入通路（４０）の途中部には、粘着性を有する粘着性部材（６０）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
6. 圧力検出を行うセンシング部（２０）と、
   大気と前記センシング部（２０）とを連通し、前記センシング部（２０）へ大気を導入する大気導入通路（４０）とを備える圧力センサにおいて、
   前記大気導入通路（４０）の途中部には、粘着性を有する粘着性部材（６０）が設けられていることを特徴とする圧力センサ。
   

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