JP5183683B2 - 流量測定装置 - Google Patents
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Description
この樹脂製の支持部材は、ベースと、このベースに重ねて接着材で接合されているとともに、前記回路基板及び前記流量検出素子を載置したプレートとから構成されており、回路基板に対面する領域と、この領域と比較して肉薄であって前記流量検出素子の検出部に対面する領域との間に段差部が形成されている。
前記支持部材において、前記検出部に対面する領域よりも、前記挿入孔と反対側に、前記流量検出素子に加わる応力を低減させるための応力低減手段が設けられており、
前記応力低減手段は、前記支持部材における前記流量検出素子の載置面とは反対側の面に形成された溝部である。
図1はこの発明の実施の形態1の流量測定装置を示す側断面図、図2は図1の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図、図3は図1の流量測定装置の背面図、図4は図2の要部拡大図、図5は図1の要部拡大図、図6は図1の温度変化による変形を示す側断面図である。
この流量測定装置は、吸気配管1を通過する被計測流体である空気の流量を測定するもので、内燃機関の吸気配管1に挿入孔2に挿入されて設置されている。
この流量測定装置は、空気の流量を検出する流量検出素子3と、この流量検出素子3に対して挿入孔2側に設けられ流量検出素子3を駆動する回路基板5と、この回路基板5を支持するとともに、流量検出素子3を支持した支持部材8と、支持部材8と重ねて設けられ、支持部材8と協同して空気の一部が流入するバイパス通路7を形成したカバー12とを備えている。
ベース8a及びプレート8bで構成された支持部材8は、回路基板5に対面する領域と、流量検出素子3の検出部10に対面する領域との間に段差部9が形成されている。支持部材8は、検出部10に対面する領域が回路基板5に対面する領域よりも肉薄である。
上記流量検出素子3は、流量検出面13がバイパス通路7の壁面の一部を形成している。流量検出素子3は、シリコンあるいはセラミック等の絶縁板の裏面からエッチングにより薄肉部を形成し、この薄肉部上に、流量検出抵抗体23及び温度補償用抵抗体24からなる検出部10が構成されている。
このような場合、カバー12の厚み方向の収縮量が大きく、プレート8bがカバー12側に引っ張られ、変形する量が大であるものの、溝部11aが形成されていることにより、プレート8bの変形に伴う流量検出素子3に加わる応力の低減効果は大である。
図22は、特許文献1に示された、溝部11aの無い流量測定装置を示す側断面図である。
流量測定装置は、プレート8bと流量検出素子3、ベース8aとプレート8b、プレート8bとカバー12とがそれぞれ熱硬化性の接着材で接着されており、接着材は組立て時に高温下で硬化する。
各部材の樹脂が高温下で熱膨張した状態で接着され、この時は流量検出素子3に応力はかかっていない。
次に、接着材硬化後、常温に冷却する際、高温下にて膨張した各部材の樹脂が収縮する。この際に問題となるのはプレート8bとカバー12の接着箇所である。冷却により樹脂製のカバー12、プレート8bが共に収縮するが、カバー12の厚さはプレート8bの厚さと比較して厚いため厚み方向の収縮量が大きく、矢印Aに示すように、カバー12側に引っ張られてプレート8bが変形する。
この際、変形となる基点は、支持部材8のうち、回路基板5に対面する領域と流量検出素子3の検出部10に対面する領域との間の段差部9である。支持部材8は、検出部10に対面する領域は、回路基板5に対面する領域と比較して肉厚が薄いために、段差部9の根元部Gを基点として変形する。この検出部10に対面する領域の変形に起因して、樹脂性のプレート8bが熱膨張率の異なる流量検出素子3の一部を押し上げ、流量検出素子3の流量検出面13に対して垂直な矢印Bの応力が発生する。
但し、この残留応力が変化しなければ流量検出素子3の特性として問題にはならない。
この応力緩和により、流量検出素子3に形成された抵抗体の抵抗値が一時的に変動して、流量検出の精度が低下する問題が生じる。
このため、樹脂の劣化や温度変化が生じた際も、プレート8bは溝部11aから下部側で変形し、流量検出素子3に発生する応力が大幅に低減され、流量測定装置の検出精度の低下を防止することができる。
図7はこの発明の実施の形態2の流量測定装置を示す側断面図、図8は図7の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図、図9は図7の流量測定装置の背面図である。
この実施の形態では、ベース8aは、流量検出素子3の載置面と反対側のプレート8b
の面を覆った、応力低減手段としての補強部11bが付設されている。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
図10はこの発明の実施の形態3の流量測定装置を示す側断面図、図11は図10の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図、図12は図10の流量測定装置の背面図である。
この実施の形態では、プレート8bは、流量検出素子3の載置面と反対側の面が膨大した、応力低減手段として肉厚の補強部11cが付設されている。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
図13はこの発明の実施の形態4の流量測定装置を示す側断面図、図14は図13の要部拡大図である。
この実施の形態では、流量検出素子3を収納したプレート8bの載置面側の凹部8b2であって、流量検出素子3の挿入孔とは反対側の先端部付近に、応力低減手段としての溝部11dが形成されている。
この溝部11dは、図14(右図)に示すように、流量検出素子3の先端部付近の検出部10に対向する領域に形成するとともに、基点Cからプレート8bが変形しても流量検出素子3と干渉しないように、流量検出素子3の先端とプレート8bとの間に隙間を有するように形成される。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
図15はこの発明の実施の形態5の流量測定装置を示す側断面図、図16は図15の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図、図17は図15の流量測定装置の背面図である。
この実施の形態では、プレート8bに、流量検出素子3の三方を囲んだ応力低減手段としての溝部11eを設けている。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
図19はこの発明の実施の形態6の流量測定装置を示す側断面図、図20は図19の流量測定装置の一部を切り欠いた正面図、図20は図19の流量測定装置の背面図である。
この実施の形態では、プレート8bに、流量検出素子3の三方を囲んだ応力低減手段としての貫通孔11fが形成されている。この貫通孔11fには、接着材が充填されており、バイパス通路7が外部と連通するのを防止している。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
なお、貫通孔11fについても、実施の形態1のものと同様に、流量検出素子3の下側に横方向に延びて1箇所形成するようにしてもよい。
また、上記各実施の形態では、プレート8bと協同してバイパス通路7を形成するカバー12を備えた流量測定装置について説明したが、カバーがなく、吸気配管1内に流れる空気の流量を直接測定する流量測定装置にも、この発明は適用できる。
また、ベース8a及びプレート8bは、PBT樹脂で構成されたが、勿論このものに限定されるものではなく、耐熱性、絶縁性に優れた低熱伝導率の他の樹脂であってもよい。 また、上記各実施の形態では、内燃機関の吸気配管1に設置された流量測定装置について説明したが、内燃機関の排気配管に設置してもより。
また、被計測流体として空気以外の流体であってもよい。
また、上記各実施の形態における応力低減手段を複数組みあせて構成してもよいのは勿論である。
また、上記各実施の形態では、支持部材8は、検出部10に対面する領域が回路基板5に対面する領域よりも肉薄であるが、検出部10に対面する領域が回路基板5に対面する領域よりも肉厚であっても、この発明は適用できる。
Claims (8)
- 配管に形成された挿入孔に挿入して設置され、前記配管を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、
前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、
この流量検出素子に対して前記挿入孔側に設けられ前記流量検出素子を駆動する回路基板と、
この回路基板及び前記流量検出素子を支持した樹脂製の支持部材とを備え、
前記支持部材は、前記回路基板に対面する領域と、前記流量検出素子の検出部に対面する領域との間に段差部が形成された流量測定装置であって、
前記支持部材において、前記検出部に対面する領域よりも、前記挿入孔と反対側に、前記流量検出素子に加わる応力を低減させるための応力低減手段が設けられており、
前記応力低減手段は、前記支持部材における前記流量検出素子の載置面とは反対側の面に形成された溝部であることを特徴とする流量測定装置。 - 前記溝部は、前記流量検出素子の周囲を取り囲むように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の流量測定装置。
- 配管に形成された挿入孔に挿入して設置され、前記配管を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、
前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、
この流量検出素子に対して前記挿入孔側に設けられ前記流量検出素子を駆動する回路基板と、
この回路基板及び前記流量検出素子を支持した樹脂製の支持部材とを備え、
前記支持部材は、前記回路基板に対面する領域と、前記流量検出素子の検出部に対面する領域との間に段差部が形成された流量測定装置であって、
前記支持部材において、前記検出部に対面する領域よりも、前記挿入孔と反対側に、前記流量検出素子に加わる応力を低減させるための応力低減手段が設けられており、
前記応力低減手段は、貫通孔であることを特徴とする流量測定装置。 - 配管に形成された挿入孔に挿入して設置され、前記配管を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、
前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、
この流量検出素子に対して前記挿入孔側に設けられ前記流量検出素子を駆動する回路基板と、
この回路基板及び前記流量検出素子を支持した樹脂製の支持部材とを備え、
前記支持部材は、前記回路基板に対面する領域と、前記流量検出素子の検出部に対面する領域との間に段差部が形成された流量測定装置であって、
前記支持部材において、前記検出部に対面する領域よりも、前記挿入孔と反対側に、前記流量検出素子に加わる応力を低減させるための応力低減手段が設けられており、
前記応力低減手段は、前記支持部材における前記流量検出素子の載置面側であって、前記流量検出素子の前記挿入孔とは反対側の先端部付近に形成した溝部であることを特徴とする流量測定装置。 - 前記支持部材と重ねて設けられ、支持部材と協同して前記被計測流体の一部が流入するバイパス通路を形成した樹脂製のカバーを備えたことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の流量測定装置。
- 前記支持部材と前記カバーとは、熱硬化性の接着材で接着されていることを特徴とする請求項5に記載の流量測定装置。
- 前記カバーは、前記被計測流体に露出した前記検出部の流量検出面に対して垂直方向の厚さが、前記支持部材の前記検出部に対面する領域の前記厚さよりも大きいことを特徴とする請求項5または6に記載の流量測定装置。
- 前記支持部材は、ベースと、このベースに重ねて接合されているとともに、前記回路基板及び前記流量検出素子を載置したプレートとから構成されていることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の流量測定装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010151730A JP5183683B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | 流量測定装置 |
US12/897,238 US8511158B2 (en) | 2010-07-02 | 2010-10-04 | Flow rate measuring apparatus having stress reducing means |
DE102010049118.7A DE102010049118B4 (de) | 2010-07-02 | 2010-10-21 | Strömungsratenmessvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010151730A JP5183683B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | 流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012013601A JP2012013601A (ja) | 2012-01-19 |
JP5183683B2 true JP5183683B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=45346907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010151730A Active JP5183683B2 (ja) | 2010-07-02 | 2010-07-02 | 流量測定装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8511158B2 (ja) |
JP (1) | JP5183683B2 (ja) |
DE (1) | DE102010049118B4 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6009640B1 (ja) * | 2015-10-29 | 2016-10-19 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5496027B2 (ja) | 2010-09-09 | 2014-05-21 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
DE102012220098A1 (de) * | 2012-11-05 | 2014-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums |
JP6043248B2 (ja) * | 2013-07-24 | 2016-12-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
JP5646030B1 (ja) * | 2013-10-11 | 2014-12-24 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP5791759B1 (ja) * | 2014-05-19 | 2015-10-07 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
CN107076591B (zh) * | 2014-09-30 | 2019-10-29 | 日立汽车系统株式会社 | 热式流量计 |
JP5826355B1 (ja) * | 2014-10-03 | 2015-12-02 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP2016090413A (ja) * | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
JP5933782B1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-06-15 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置に一体に設けられた物理量測定装置および物理量測定方法 |
JP2019023610A (ja) * | 2017-07-24 | 2019-02-14 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置及び計測制御装置 |
JP6793107B2 (ja) * | 2017-11-27 | 2020-12-02 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量計 |
JP7095507B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2022-07-05 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04122818A (ja) * | 1990-09-14 | 1992-04-23 | Nippondenso Co Ltd | 熱式流量センサ |
JP2690655B2 (ja) * | 1992-04-28 | 1997-12-10 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
US6729181B2 (en) * | 2000-08-23 | 2004-05-04 | Sensiron Ag | Flow sensor in a housing |
JP2007024589A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Hitachi Ltd | 気体流量計測装置 |
JP4426606B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2010-03-03 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP2009085855A (ja) | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Hitachi Ltd | 流量測定装置及び内燃機関の制御システム |
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-
2010
- 2010-07-02 JP JP2010151730A patent/JP5183683B2/ja active Active
- 2010-10-04 US US12/897,238 patent/US8511158B2/en active Active
- 2010-10-21 DE DE102010049118.7A patent/DE102010049118B4/de active Active
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---|---|---|---|---|
JP6009640B1 (ja) * | 2015-10-29 | 2016-10-19 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8511158B2 (en) | 2013-08-20 |
JP2012013601A (ja) | 2012-01-19 |
US20120000280A1 (en) | 2012-01-05 |
DE102010049118A1 (de) | 2012-01-05 |
DE102010049118B4 (de) | 2014-02-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121130 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5183683 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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