JP6793107B2 - 流量計 - Google Patents
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Description
特許文献1には、配管に形成された装置挿入孔に挿入して設置され、配管通路を通過する被計測流体の流量を測定する流量測定装置において、基端部に前記配管の外部に突出したコネクタを有するベース本体、このベース本体から径方向に延びて設けられ前記装置挿入孔に嵌着されるフランジを含む樹脂製のベースと、前記ベース本体に部分的に重ねて設けられたプレートと、このプレートに露出して設けられ前記被計測流体の流量を検出する流量検出素子と、前記プレートの前記コネクタ側に設けられ前記流量検出素子からの信号を処理する制御回路を有する回路基板と、この回路基板を覆った回路収納部、前記プレートと協同して計測用通路を形成する流体通路溝を有する樹脂製のカバーと、前記回路収納部の内部に設けられ前記コネクタと前記回路基板とを電気的に接続したワイヤと、前記フランジの内壁面とこの内壁面に対向した前記カバーの外周壁面との間に設けられ、フランジとカバーとを連結し、前記配管の振動に起因するベース本体の変形を抑制する変形抑制手段とを備えたことを特徴とする流量測定装置が開示されている。
本発明の第2の態様による流量計は、平板状の基板と、前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、前記支持体と前記カバーとが接する面積は、前記支持体と前記基板とが接する面積よりも小さい。
本発明の第3の態様による流量計は、平板状の基板と、前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、前記固定部は、電気的な接続を兼ねる。
本発明の第4の態様による流量計は、平板状の基板と、前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、前記基板は前記第1領域に穴である突起部対応穴を備え、前記ハウジングは前記基板側に突出し、前記突起部対応穴を貫通する突起部を備える。
本発明の第5の態様による流量計は、平板状の基板と、前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、前記基板は前記支持体と接する領域に穴である充填穴を備え、前記充填穴は前記支持体と一体に形成された被充填支持体で満たされる。
本発明の第6の態様による流量計は、平板状の基板と、前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、前記支持体は前記カバーと接する面に凹部または凸部である支持体はめあい部を備え、前記カバーは前記支持体はめあい部とはめ合わされるカバーはめあい部を備える。
本発明の第7の態様による流量計は、平板状の基板と、前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、前記支持体の長手方向は、前記基板の短手方向に配され、前記支持体の長手方向の寸法は、前記基板の短手方向の寸法よりも長く、前記ハウジングは、前記支持体とはめ合わされる切り欠き部を備える。
以下、図1〜図3を参照して、本発明にかかる流量計の第1の実施の形態を説明する。
図1は流量計100の平面図、図2は図1に示すII―II線で切断した構造を示す断面図である。ただし図1では図2に示すカバー10を除去した状態で図示している。本実施の形態では、流量計100の平面図と断面図を併用するので両者の関係を明確にするために図1の右下に示すようにX軸、Y軸、およびZ軸を定義する。本実施の形態における全ての図面においてこの3軸は共通である。以下では、図1の左右方向、すなわちX軸方向を後述する回路基板5の長手方向と呼ぶ。そして回路基板5を長手方向の中央で2分し、図1に示す左側を第1領域51、右側を第2領域52と呼ぶ。また回路基板5のZ軸方向の表面を表裏で呼び分け、図2の上方を回路基板5の表面53、下方を回路基板5の裏面54と呼ぶ。
支持体9を安定的に回路基板5およびカバー10に実装する方法を説明する。まず流量計チップ2と圧力センサ3、湿度センサ4等のセンサやその他マイコンなどの電子部品を回路基板5にはんだ等で実装する。その後に、ホットメルト成形によって回路基板5の表面53の第1領域51の端部に支持体9を形成する。これにより、回路基板5と支持体9が接着される。
(1)流量計100は、平板状の回路基板5と、回路基板5を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジング7と、回路基板5を覆ってハウジング7の開口した面を覆うカバー10と、カバー10および回路基板5に接して回路基板5を支持する支持体9と、回路基板5とハウジング7とを接続する固定部200とを備える。回路基板5を長手方向の中央で2分して形成される第1領域51と第2領域52において、第1領域51に支持体9が配され、第2領域52に固定部200が配される。
図4は、変形例1における流量計100の断面図である。第1の実施の形態では支持体9は回路基板5の表面53のみに配されたが、図4に示すように第2の支持体である裏面支持体91が回路基板5の裏面54にも配されてもよい。裏面支持体91は、支持体9と同一の素材で同一の形状でもよいし、支持体9と異なる素材で異なる形状であってもよい。ただし裏面支持体91も圧縮された状態でハウジング7と回路基板5の間に配される。
第1の実施の形態では支持体9の素材は、熱可塑性樹脂、または熱硬化性樹脂であるとした。しかし支持体9は金属製のバネであってもよい。ただしこの場合も支持体9のヤング率は10MPa以上の材料が望ましい。
図5は、変形例3における流量計100の断面図である。変形例3における回路基板5は、図5に示すように第1領域51の端部に樹脂充填穴55を備える。樹脂充填穴55にはホットメルト成形時に樹脂が充填され被充填支持体94を形成する。ただし被充填支持体94は支持体9と一体に形成される。そのため支持体9は被充填支持体94のアンカー効果によって、より強固に回路基板5に固着される。
(5)回路基板5は支持体9と接する領域に穴である樹脂充填穴55を備える。樹脂充填穴55は支持体9と一体に形成された被充填支持体94が形成される。そのためアンカー効果によってより強固に支持体9を回路基板5に固着できる。
支持体9は、接着剤を用いて回路基板5に貼り付けて実装してもよい。また支持体9は、接着剤を用いてカバー10に貼り付け、カバー10をハウジング7に固定することにより支持体9を回路基板5に圧接させてもよい。
図6は、変形例5における流量計100の断面図である。第1の実施の形態では、支持体9の形状は略直方体であったが、図6に示すように支持体9の断面は台形であってもよい。そして図6において上辺よりも底辺が長い台形とし、支持体9およびカバー10が接する面積は、支持体9および回路基板5が接する面積よりも小さい。
(6)支持体9とカバー10とが接する面積は、支持体9と回路基板5とが接する面積よりも小さい。支持体9の断面、すなわち図6に示すXZ平面への射影像が長方形ではないため、実装時に回路基板5とカバー10とで支持体9を容易に圧縮することができる。また先の工程で固定される面の面積である、支持体9および回路基板5が接する面積を大きく確保するので、組み立てが効率的に行える。
図7は変形例6における流量計100の平面図、図8は図7に示すVIII―VIII線で切断した構造を示す断面図である。変形例6における支持体9は図7および図8に示すように凹部93を備える。変形例6におけるカバー10は、図8に示すように凸部10Aを備える。凸部10Aと凹部93は嵌め合い可能な寸法で形成され、両者ははめ合わされる。たとえば凸部10Aおよび凹部93の寸法は、いわゆるしまりばめの関係にあってもよいし、中間ばめの関係にあってもよい。なお支持体9とカバー10の凹凸を逆にしてもよい。
(7)支持体9はカバー10と接する面に凹部93を備える。カバー10は凹部93とはめ合わされる凸部10Aを備える。この変形例6によれば、支持体9およびカバー10のX軸方向の相対位置が凹部93および凸部10Aにより規制されるので、振動による回路基板5の変形を抑制できる。
図9は変形例7における流量計100の平面図である。図10は図9に示すX―X線で切断した構造を示す断面図である。第1の実施の形態と同様に、支持体9の長手方向は、回路基板5の短手方向に配される。変形例7における支持体9のY方向の長さは回路基板5のY方向の長さよりも長く、ハウジング7はこの支持体9とはめ合わされる切り欠き部73を有する。
(8)支持体9の長手方向は、回路基板5の短手方向に配される。支持体9の長手方向の寸法は、回路基板5の短手方向の寸法よりも長い。ハウジング7は、支持体9とはめ合わされる切り欠き部73を備える。そのため支持体9とハウジング7のX軸方向の相対位置が規制されるので、振動による回路基板5の変形を抑制できる。
図11〜図12を参照して、本発明にかかる流量計の第2の実施の形態を説明する。以下の説明では、第1の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第1の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、支持体が長手方向に延伸する点で、第1の実施の形態と異なる。
(9)流量計100Aは、支持体9に隣接し、回路基板5の外周部に配され、カバー10および回路基板5に接して回路基板5を支持する延伸部9Aを備える。そのため、延伸部9Aにより回路基板5の振動がさらに抑制できる。
第2の実施の形態では支持体9の延伸部は第2領域52にまで達していた。しかし支持体9の延伸部は第1領域51の内部に収まっていてもよく、換言すると回路基板5の長手方向の中央までの長さでもよい。
図13〜図14を参照して、本発明にかかる流量計の第3の実施の形態を説明する。以下の説明では、第1の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第1の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、ハウジングが突起部を備える点で、第1の実施の形態と異なる。
(10)回路基板5は第1領域51に突起部対応穴56を備える。ハウジング7は回路基板5の側に突出し、突起部対応穴56を貫通する突起部14を備える。そのため突起部14は、流量計100Bの使用中における振動による回路基板5Aの主にXY平面のズレを抑制することができる。
図15は、第3の実施の形態の変形例1における流量計100Bの平面図、図16は図15に示すXVI―XVI線で切断した構造を示す断面図である。本変形例では支持体9が突起部延伸対応穴92をさらに備える。回路基板5Aをハウジング7Aに実装後に、突起部延伸対応穴92の内側面とハウジング7の突起部14の外側面が接触するように支持体9を差し込むことで流量計100Bが構成される。
図17〜図21を参照して、第1の実施の形態および第2の実施の形態における流量計のシミュレーション解析の結果を説明する。また第1の実施の形態における流量計100から支持体9を除いた構成を以下では「比較例」と呼ぶ。以下では、流量計100に振動が生じた際の回路基板5のスルーホール6近傍の応力について、比較例、流量計100、および流量計100Aで比較する。また流量計100および流量計100Aは、支持体9の弾性率を複数とおり変化させ、弾性率の応力緩和への影響を調べた。ただし第2の実施の形態における延伸部9Aは支持体9と同一とした。たとえば支持体9の弾性率を1GPaとする場合は延伸部9Aの弾性率を1GPaとし、支持体9の弾性率を10GPaとする場合は延伸部9Aの弾性率も10GPaとした。本解析ではコンピュータでのシミュレーションソフトウェアで公知の解析手法などを用いて解析した。
図17〜図19に第1の実施の形態における流量計100の解析モデル、換言すると流量計100の寸法を示す。図17は流量計100の平面寸法図、図18は流量計100の回路基板5の平面寸法図、図19は図17のXIX−XIX断面の寸法図である。解析では、回路基板5とハウジング7、プレスフィット端子8、支持体9、カバー10を組み込み、その他の各種センサ等はモデルから除いて計算した。
負荷条件は、図19に示すフランジ部11のZ方向に30Gの周期荷重を負荷した。また、接触条件として、回路基板5のスルーホール6の内周とプレスフィット端子8は接合状態にあるとして解析した。
図21は、解析結果を示す図である。流量計100および流量計100Aは、支持体9の弾性率を0.1MPa、1MPa、10MPa、100MPa、1000MPa、10000MPaの6とおりに変化させて解析した。比較例は前述のとおり支持体9を備えないので1とおりのみの解析を行った。それぞれの解析において回路基板5のスルーホール6近傍の応力を算出し、流量計100および流量計100Aにおける算出値を比較例における算出値で除した値が図21に示されている。ただし図21では、流量計100の算出結果は丸のプロットとし、「実施の形態1」のラベルを付している。また図21では流量計100Aの算出結果は三角のプロットとし、「実施の形態2」のラベルを付している。
(11)支持体9のヤング率、すなわち縦弾性係数は、10MPa以上が望ましい。支持体9のヤング率を10MPa以上とすることで、支持体9の応力低減効果を高めることができる。
5 回路基板
6 スルーホール
7 ハウジング
9 支持体
10 カバー
14 突起部
51 第1領域
52 第2領域
53 表面
54 裏面
55 樹脂充填穴
56 突起部対応穴、
91 裏面支持体
92 突起部延伸対応穴
93 凹部
94 被充填支持体
100、100A、100B 流量計
200 固定部
Claims (7)
- 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記固定部および前記支持体は、前記基板の端部に配され、
前記支持体に隣接し、前記基板の外周部に配され、前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する延伸部をさらに備える流量計。 - 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記支持体と前記カバーとが接する面積は、前記支持体と前記基板とが接する面積よりも小さい流量計。 - 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記固定部は、電気的な接続を兼ねる流量計。 - 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記基板は前記第1領域に穴である突起部対応穴を備え、
前記ハウジングは前記基板側に突出し、前記突起部対応穴を貫通する突起部を備える流量計。 - 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記基板は前記支持体と接する領域に穴である充填穴を備え、
前記充填穴は前記支持体と一体に形成された被充填支持体で満たされる流量計。 - 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記支持体は前記カバーと接する面に凹部または凸部である支持体はめあい部を備え、
前記カバーは前記支持体はめあい部とはめ合わされるカバーはめあい部を備える流量計。 - 平板状の基板と、
前記基板を格納し、少なくとも一方向の面が開口したハウジングと、
前記基板を覆って前記ハウジングの開口した面を覆うカバーと、
前記カバーおよび前記基板に接して前記基板を支持する支持体と、
前記基板と前記ハウジングとを接続する固定部とを備え、
前記基板を長手方向の中央で2分して形成される第1領域と第2領域において、前記第1領域に前記支持体が配され、前記第2領域に前記固定部が配され、
前記支持体の長手方向は、前記基板の短手方向に配され、
前記支持体の長手方向の寸法は、前記基板の短手方向の寸法よりも長く、
前記ハウジングは、前記支持体とはめ合わされる切り欠き部を備える流量計。
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JP7225062B2 (ja) * | 2019-08-29 | 2023-02-20 | 日立Astemo株式会社 | センサ装置 |
JP2021089190A (ja) * | 2019-12-03 | 2021-06-10 | 株式会社デンソー | 流量検出装置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0748054B2 (ja) * | 1990-03-08 | 1995-05-24 | 株式会社日立製作所 | 発熱抵抗式空気流量計 |
US6782745B1 (en) * | 2003-02-21 | 2004-08-31 | Visteon Global Technologies, Inc. | Slosh supressor and heat sink |
US7568399B2 (en) * | 2006-01-05 | 2009-08-04 | Integrated Sensing Systems, Inc. | Microfluidic device |
JP2011506938A (ja) * | 2007-12-07 | 2011-03-03 | インテグレイテッド センシング システムズ,インク. | 流体の特性を評価するシステムおよび方法 |
JP4956450B2 (ja) * | 2008-01-16 | 2012-06-20 | 株式会社東芝 | 電子機器の回路基板支持構造 |
JP5208099B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2013-06-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量センサとその製造方法、及び流量センサモジュール |
DE102010015813A1 (de) * | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Krohne Messtechnik Gmbh | Sensoranordnung für ein kalorimetrisches Massedurchflussmessgerät |
JP5183683B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2013-04-17 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP5409560B2 (ja) * | 2010-09-03 | 2014-02-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量センサ |
JP5178806B2 (ja) | 2010-11-01 | 2013-04-10 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
JP5192564B2 (ja) * | 2011-04-28 | 2013-05-08 | 三菱電機株式会社 | 電子回路収納ケース及びその製造方法 |
EP2717059B1 (en) * | 2011-05-26 | 2015-11-18 | NEC Corporation | Acceleration sensor |
JP5838749B2 (ja) * | 2011-11-16 | 2016-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動デバイスおよび電子機器 |
JP5662382B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2015-01-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP6297392B2 (ja) * | 2014-04-08 | 2018-03-20 | アルプス電気株式会社 | 圧力検出装置 |
JP2016090413A (ja) * | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
WO2017073271A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量計 |
JP6578238B2 (ja) * | 2016-04-11 | 2019-09-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
JP6359594B2 (ja) | 2016-06-21 | 2018-07-18 | 本田技研工業株式会社 | 内燃機関の制御装置 |
US20200200613A1 (en) * | 2017-09-29 | 2020-06-25 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Physical quantity detection device |
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