JP6802289B2 - 圧力検出装置 - Google Patents
圧力検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6802289B2 JP6802289B2 JP2018554856A JP2018554856A JP6802289B2 JP 6802289 B2 JP6802289 B2 JP 6802289B2 JP 2018554856 A JP2018554856 A JP 2018554856A JP 2018554856 A JP2018554856 A JP 2018554856A JP 6802289 B2 JP6802289 B2 JP 6802289B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- terminal
- housing
- pressure
- sensor unit
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 43
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 33
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 15
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/84—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
<圧力検出装置の構成>
図1Aは、第1実施形態に係る圧力検出装置100の側面図である。
なお、図1Aに示すように、x・y・z軸を定める。また、z軸の正側を便宜的に「上側」といい、負側を「下側」という。
ターミナル20a,20b,20cは、センサ部30(図3参照)と基板(図示せず)とを電気的に接続する端子であり、その一部がハウジング10から露出している。
図1Bに示すように、ガイド13には挿通孔haが形成されており、この挿通孔haにターミナル20aが挿通されている(他の挿通孔hb,hcについても同様)。なお、3つのターミナル20a,20b,20cは、電源用・接地用・電気信号伝達用として用いられる。
圧力検出装置100は、前記したハウジング10及びターミナル20a,20b,20cの他に、センサ部30と、端子台40と、ワイヤ50a,50b,50c(ボンディングワイヤ:図3参照)と、を備えている。
なお、図3では、カバー12の下側については断面ではなく、側面を図示している。
また、図3では、ターミナル20aの接続部21aをドット表示している(他の接続部21b,21cについても同様)。詳細については後記するが、ターミナル20aは、ハウジング10の外側(z方向上側)に向かって順に、接続部21a、スプリング機構22a、及び端子部23aを備え、これらが一体として形成されている。なお、他のターミナル20b,20cについても同様である。
歪検出素子31は、圧力を受けることで歪む受圧面11p(図2参照)の歪量を検出する素子である。歪検出素子31は、図示はしないが、複数の歪みゲージがブリッジ接続されてなるブリッジ回路を備えている。そして、ダイヤフラム11f(図2参照)の歪みに伴って、前記したブリッジ回路の抵抗値が変化するようになっている。
端子台40は、圧力ポート11と接続部21a等(つまり、図3の接続部21a,21b,21c)との相対位置を固定する樹脂製の部材である。図2に示すように、端子台40は、圧力ポート11と接続部21a等との間に介在している。なお、端子台40は、ターミナル20a,20b,20cが位置決めされた状態で、これらのターミナル20a,20b,20cとともにインサート成形される。
基部41は、圧力ポート11が嵌め込まれる凹部Jを有している。圧力検出装置100の組付構成において、凹部Jに圧力ポート11が嵌め込まれた状態でダイヤフラム11fが露出し、このダイヤフラム11f(受圧面11pとは反対側の面)に接合剤Gを介してセンサ部30が設置される。
図4に示すように、挿通孔haの径は、ターミナル20aの端子部23aの径よりも若干大きくなっている。すなわち、スプリング機構22a(図2参照)の弾性変形に伴う端子部23aのz方向の移動を阻害しないように(挿通孔haに対して端子部23aが圧入又は軽圧入にならないように)、挿通孔haが形成されている。なお、他の挿通孔hb,hcについても同様である。
接続部21aは、センサ部30にワイヤ50aを介して接続される部分であり、板状を呈している。図2に示す例では、接続部21aの面方向(yz平面)が、センサ部30の面方向に対して平行になっている。また、接続部21aは、センサ部30の真上に設置されている。これによって、接続部21aとセンサ部30とのワイヤ50aを介した接続が行いやすくなり、また、圧力検出装置100の小型化を図ることができる。
次に、接続部21a,21b,21cのx方向直下において、圧力ポート11と端子台40とを接着するための構成について説明する。
図5Aに示すように、圧力ポート11の上端付近には、側面視で矩形状を呈する溝11a,11b,11c(凹部)が設けられている。
図5Bに示すように、圧力ポート11の上部は、円柱の一部をyz平面で切り欠いた形状になっている。そして、平面状を呈する側面Mの上端付近において、x方向負側に凹んでいる部分が、溝11a,11b,11cとして形成されている。なお、溝11a等に塗布される接着剤の量や粘性等を考慮して、溝11a等の側面視(図5A参照)における面積や、平断面視(図5B参照)における深さが決められている。
図5Cに示すように、圧力ポート11の上端まで溝11c等が形成されている。すなわち、圧力ポート11と端子台40とを接着するための接着剤が塗布される溝11cが、圧力ポート11において、x方向で接続部21cに対応する箇所に設けられている。言い換えると、接続部21c(図2参照)、端子台40の壁(図2参照)、及び圧力ポート11の溝11cがx方向で重なっている(他の溝11a,11bについても同様)。そして、これらの溝11a,11b,11cに接着剤が塗布され、圧力ポート11が端子台40に接着された状態で、接着剤が熱硬化される。これによって、接続部21c等のx方向直下に隙間が生じることを防止し、圧力ポート11を固定した状態でワイヤボンディングを適切に行うことができる。
第1実施形態によれば、ターミナル20a等の一部をハウジング10から露出させ、スプリング機構22a等の弾性変形に伴って、ターミナル20a等の先端部分が進退するようになっている。つまり、ターミナル20a等とカバー12とのインサート成形を敢えて行わずに、挿通孔ha等を介してターミナル20a等が進退自在(上下方向に移動可能)になっている。これによって、別部品であるコネクタハーネス(図示せず)を用いることなく、スプリング機構22a等の弾性力によって、ターミナル20a等と基板(図示せず)との電気的接続を適切に行うことができる。
第2実施形態は、ガイド13(図6C参照)から上側に突出する突起部61,62を設けている点が第1実施形態とは異なっているが、その他については第1実施形態と同様である。したがって、第1実施形態とは異なる部分について説明し、重複する部分については説明を省略する。
圧力検出装置100Aは、図6Aに示すハウジング10、ターミナル20a,20b,20c、及び突起部61,62の他に、センサ部30(図6B参照)、端子台40(図6B参照)、及びワイヤ50a等(図6B参照)を備えている。前記したように、突起部61,62を設けている点が、第2実施形態に係る圧力検出装置100Aの特徴である。
図6Bに示すように、突起部61は、ハウジング10のガイド13から上側に突出しており、このガイド13と一体成形されている(他の突起部62も同様:図6C参照)。
図6Cに示す突起部61,62は、スプリング機構22a等の弾性力によって、ターミナル20a等と外部の基板Q(図7参照)とが電気的に接続された状態において、この基板Qに当接するようになっている。
図7に示すように、突起部61は、ガイド13から上側に延びる円柱状の第1柱状部611と、この第1柱状部611から上側に延びる円柱状の第2柱状部612と、が一体成形された構成になっている。
第2実施形態によれば、第1柱状部611等が基板Qに当接した状態において、端子部23a等がハウジング10内に退く長さを一定に保つことができる。したがって、前記したように、基板Qが設置される機器の種類が異なっていても、ターミナル20a等と基板Qとの接点荷重を一定に保つことができる。また、突起部61,62は、基板Qに対するターミナル20a等の位置決めの機能も有しているため、電気的な接続信頼性を第1実施形態よりもさらに高めることができる。
以上、本発明に係る圧力検出装置100,100Aについて各実施形態により説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、各実施形態では、スプリング機構22a,22b,22cが板ばねである構成について説明したが、他の種類のバネ(例えば、コイルばね)を用いてもよい。
図8A、図8Bに示すように、ガイド13に4つの突起部61〜64を設け、これに対応して、基板(図示せず)にも4つのスルーホール(図示せず)を形成してもよい。
図9A、図9Bに示すように、ガイド13に1つの突起部65を設け、これに対応して、基板(図示せず)にも1つのスルーホール(図示せず)を形成してもよい。
また、図9Aに示すように、平面視において第1柱状部651をガイド13の中心付近に設け、その平断面の面積を比較的大きくすることが望ましい。これによって、第1柱状部651が基板に当接した状態での位置決めが行いやすくなる。
10 ハウジング
11 圧力ポート
11a,11b,11c 溝(凹部)
11f ダイヤフラム
11p 受圧面
12 カバー
13 ガイド
20a,20b,20c ターミナル
21a,21b,21c 接続部
22a,22b,22c スプリング機構
23a,23b,23c 端子部
30 センサ部
31 歪検出素子
32 処理回路
40 端子台
41 基部
42 第1固定部
43 第2固定部
50a,50b,50c ワイヤ
61,62,63,64,65 突起部
611,621,651 第1柱状部
612,622,652 第2柱状部
G 接合剤
H 導入穴
Q 基板
h1 スルーホール(孔)
ha,hb,hc 挿通孔
Claims (6)
- 圧力を受けることで歪む受圧面の歪量を検出する歪検出素子と、前記歪検出素子からの信号を処理する処理回路と、を有するセンサ部を備えるとともに、
前記センサ部を収容するハウジングと、
前記センサ部に接続され、その一部が前記ハウジングから進退自在に露出するターミナルと、
前記センサ部と前記ターミナルとを電気的に接続するボンディングワイヤと、
前記ハウジング内に設置される端子台と、を備え、
前記ターミナルは、前記ハウジング内に設けられる弾性変形可能なスプリング機構を有するとともに、前記端子台に設置される板状の接続部と、前記ハウジングから進退自在に露出する端子部と、を有し、
前記ターミナルにおいて、前記ハウジングの外側に向かって順に、前記接続部、前記スプリング機構、及び前記端子部が設けられ、
前記ボンディングワイヤは、その一端が前記センサ部に接続され、他端が前記接続部に接続されていること
を特徴とする圧力検出装置。 - 圧力を受けることで歪む受圧面の歪量を検出する歪検出素子と、前記歪検出素子からの信号を処理する処理回路と、を有するセンサ部を備えるとともに、
前記センサ部を収容するハウジングと、
前記センサ部に接続され、その一部が前記ハウジングから進退自在に露出するターミナルと、を備え、
前記ターミナルは、前記ハウジング内に設けられる弾性変形可能なスプリング機構を有するとともに、前記センサ部にボンディングワイヤを介して接続される接続部を有し、
前記ハウジングは、
前記圧力を有する圧力媒体が導入される導入穴が設けられた圧力ポートを有するとともに、
前記圧力ポートと前記接続部との間に介在し、前記圧力ポートと前記接続部との相対位置を固定する端子台を有し、
前記受圧面は、前記導入穴の壁面に設けられ、
前記圧力ポートと前記端子台とを接着する接着剤が塗布されている凹部が、前記圧力ポートにおいて前記接続部に対応する箇所に設けられること
を特徴とする圧力検出装置。 - 圧力を受けることで歪む受圧面の歪量を検出する歪検出素子と、前記歪検出素子からの信号を処理する処理回路と、を有するセンサ部を備えるとともに、
前記センサ部を収容するハウジングと、
前記センサ部に接続され、その一部が前記ハウジングから進退自在に露出するターミナルと、を備え、
前記ターミナルは、
前記ハウジング内に設けられる弾性変形可能なスプリング機構を有するとともに、前記センサ部にボンディングワイヤを介して接続される接続部を有し、
前記ハウジングの外側に向かって順に、前記接続部、前記スプリング機構、及び端子部を有し、前記端子部の一部が前記ハウジングから進退自在に露出しており、
前記ハウジングは、
前記接続部の前記スプリング機構側を固定する第1固定部と、
前記接続部の前記センサ部側を固定する第2固定部と、を有すること
を特徴とする圧力検出装置。 - 圧力を受けることで歪む受圧面の歪量を検出する歪検出素子と、前記歪検出素子からの信号を処理する処理回路と、を有するセンサ部を備えるとともに、
前記センサ部を収容するハウジングと、
前記センサ部に接続され、その一部が前記ハウジングから進退自在に露出するターミナルと、
前記ハウジングから突出している少なくとも一つの突起部と、を備え、
前記ターミナルは、前記ハウジング内に設けられる弾性変形可能なスプリング機構を有し、
前記突起部は、前記スプリング機構の弾性力によって前記ターミナルと外部の基板とが電気的に接続された状態において前記基板に当接すること
を特徴とする圧力検出装置。 - 前記突起部は、
前記基板に設けられた孔よりも径が大きく、前記スプリング機構の弾性力によって前記ターミナルと前記基板とが電気的に接続された状態において前記基板に当接する第1柱状部と、
前記基板の前記孔よりも径が小さく、前記第1柱状部が前記基板に当接している状態において前記孔に囲まれる第2柱状部と、が一体成形されてなること
を特徴とする請求項4に記載の圧力検出装置。 - 前記ハウジングにおいて、前記ターミナルが挿通される挿通孔はテーパ状を呈し、前記ハウジングの内部に向かうにつれて、その径が大きくなるように形成されていること
を特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の圧力検出装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016236406 | 2016-12-06 | ||
JP2016236406 | 2016-12-06 | ||
PCT/JP2017/038451 WO2018105259A1 (ja) | 2016-12-06 | 2017-10-25 | 圧力検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018105259A1 JPWO2018105259A1 (ja) | 2019-10-24 |
JP6802289B2 true JP6802289B2 (ja) | 2020-12-16 |
Family
ID=62490978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018554856A Active JP6802289B2 (ja) | 2016-12-06 | 2017-10-25 | 圧力検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200064218A1 (ja) |
JP (1) | JP6802289B2 (ja) |
DE (1) | DE112017005469T5 (ja) |
WO (1) | WO2018105259A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022107409A1 (de) | 2022-03-29 | 2023-10-05 | Zf Cv Systems Europe Bv | Druckmessmodul für eine pneumatische Einrichtung eines Fahrzeugs |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005257497A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Denso Corp | センサ装置およびセンサ装置の接続構造 |
CN102126488A (zh) * | 2007-12-04 | 2011-07-20 | 株式会社万都 | 压力传感器 |
JP5173916B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-04-03 | 長野計器株式会社 | 流体圧力測定装置 |
DE102012201416A1 (de) * | 2012-02-01 | 2013-08-01 | Robert Bosch Gmbh | Sensorsystem und Verfahren zum Herstellen eines Sensorsystems |
JP6237490B2 (ja) | 2014-06-23 | 2017-11-29 | 株式会社デンソー | 圧力センサおよびその製造方法 |
WO2016028047A1 (ko) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | 타이코에이엠피 주식회사 | 압력 센서 |
-
2017
- 2017-10-25 DE DE112017005469.9T patent/DE112017005469T5/de not_active Withdrawn
- 2017-10-25 JP JP2018554856A patent/JP6802289B2/ja active Active
- 2017-10-25 US US16/466,160 patent/US20200064218A1/en not_active Abandoned
- 2017-10-25 WO PCT/JP2017/038451 patent/WO2018105259A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2018105259A1 (ja) | 2019-10-24 |
US20200064218A1 (en) | 2020-02-27 |
DE112017005469T5 (de) | 2019-07-18 |
WO2018105259A1 (ja) | 2018-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7077657B2 (en) | Contact structure for connector array and electronic appliance having the same | |
JP4475160B2 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
US7490520B2 (en) | Pressure sensor having improved arrangement of sensor chip for minimizing influence of external vibrations | |
EP2620757A1 (en) | Small form factor microfused silicon strain gage (MSG) pressure sensor packaging | |
KR101756477B1 (ko) | 압력센서 | |
JP2016161567A (ja) | マイクロフューズドシリコン歪みゲージ(msg)圧力センサパッケージ | |
JP6802289B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
US8904864B2 (en) | Electronic component and method for manufacturing the electronic component | |
US9310266B2 (en) | Strain gauge pressure sensor | |
US6375473B1 (en) | Electrical interconnection for an electro-hydraulic brake system using wire form buttons | |
US10644423B2 (en) | Semiconductor module | |
CN111373226B (zh) | 流量计 | |
JP4978455B2 (ja) | プレスフィット端子およびそれを用いた液圧制御装置 | |
CN108778867B (zh) | 电子控制装置 | |
US8797758B2 (en) | Electrical connection structure of electronic board | |
KR102242428B1 (ko) | 스트레인 게이지 압력 센서 | |
US8701476B2 (en) | Sensor assembly with resilient contact portions | |
JP6713535B2 (ja) | 測定空間内の流れ媒体の少なくとも1つの特性を検出する装置を製造する方法 | |
JP2008185334A (ja) | 圧力センサ | |
JP6170879B2 (ja) | 歪みゲージ圧力センサ | |
CN105181216B (zh) | 应变计式压力传感器 | |
JP5900176B2 (ja) | 物理量検出装置 | |
WO2018155094A1 (ja) | 圧力検出装置 | |
JP5821806B2 (ja) | 電子装置 | |
JP2018132478A (ja) | 電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6802289 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |