JP6237490B2 - 圧力センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両のブレーキアクチュエータに取り付けられ、アクチュエータ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2突出部48の側面48aに囲い部を形成したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
10a 中空部
11 ダイヤフラム
12 開口部
20 センサチップ
41 内部接続領域
43 外部接続領域
43a 接続部
44、45 第1モールド樹脂(搭載部、接合部)
46〜48 第2モールド樹脂(封止部、第1突出部、第2突出部)
51 接続部材(ボンディングワイヤ)
80a 中空部
80 メタルケース
90 モールド部材
100 ターミナル
100a 内部接続部
100b 外部接続部
Claims (5)
- 一端が開口部(12)とされていると共に中空部(10a)を有する有底筒状とされ、底部にて前記中空部に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム(11)が構成されているステム(10)と、
前記ダイヤフラムのうちの前記中空部側と反対側の部分に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(20)と、
前記センサチップと接続部材(51)を介して接続され、導電性部材の一部によって構成される内部接続領域(41)と、
前記内部接続領域を構成する前記導電性部材の一部によって構成され、前記内部接続領域と電気的に接続される外部接続領域(43)と、
前記内部接続領域に備えられ、前記ステムと接合されている第1モールド樹脂(44、45)と、
前記外部接続領域のうちの前記内部接続領域側と反対側の端部である接続部(43a)が露出するように、前記内部接続領域と前記外部接続領域とを連結し、前記第1モールド樹脂上に積層される第2モールド樹脂(46〜48)と、
両端が開口部とされた中空部(80a)を有する筒状とされ、前記センサチップおよび前記第1、第2モールド樹脂を当該中空部に収容するように前記ステムに備えられたメタルケース(80)と、を備え、
前記外部接続領域のうちの前記第2モールド樹脂から露出する前記接続部は、前記第2モールド樹脂のうちの前記第1モールド樹脂側と反対側の端部に沿って折り曲げられることで前記第2モールド樹脂上に位置しており、
前記メタルケースには、前記ステム側と反対側の開口部に当該メタルケースと一体化されたモールド部材(90)が備えられ、
前記モールド部材には、前記メタルケースの中空部内に内部接続部(100a)が露出すると共に当該中空部と反対側から外部回路と接続される外部接続部(100b)が露出するようにターミナル(100)がインサート成形されており、
前記モールド部材と前記第2モールド樹脂との間には、導電性部材で構成されたバネ部材(110)が配置され、
前記ターミナルの内部接続部と前記外部接続領域の接続部とは、前記バネ部材を介して電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記モールド部材および前記第2モールド樹脂は、一対の嵌合手段(48b、91)が形成されており、前記嵌合手段が嵌合されることによって固定されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記モールド部材および前記第2モールド樹脂の少なくともいずれか一方には、前記バネ部材を囲む囲み部(48c)が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記メタルケースは、前記ステム側と反対側の開口部に、中心軸側に突出する保持部(81)が形成され、前記保持部がインサート成形によって前記モールド部材と一体に成形されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサの製造方法において、
前記ダイヤフラムのうちの前記中空部側と反対側の部分に前記センサチップが搭載され、前記ステムに前記第1モールド樹脂が接合されていると共に、前記第1モールド樹脂上に前記第2モールド樹脂が積層されており、前記センサチップと前記内部接続領域とが前記接続部材を介して電気的に接続されたものを用意する工程と、
前記メタルケースに、前記ターミナルがインサート成形されると共に前記メタルケースと一体化された前記モールド部材を形成する工程と、
前記センサチップおよび前記第1、第2モールド樹脂が前記メタルケースの中空部に収容されると共に、前記ターミナルの内部接続部と前記外部接続領域の接続部とが前記バネ部材を介して電気的に接続されるように、前記メタルケースを前記ステムに配置する工程と、を行うことを特徴とする圧力センサの製造方法。
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