JP2008008829A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力検出用のダイアフラムを有するハウジングに信号取り出し用のコネクタケースを組み付けてなる圧力センサにおいて、バネ部材やフレキシブルプリント基板を用いることなく、コネクタケース側と検出部側とを接続する。
【解決手段】ハウジング10に接合されて一体化されるコネクタケース30において、ターミナルピン40と導通し検出部としての半導体チップ21の近傍まで延びる配線部41を設けるとともに、コネクタケース30のうち配線部41および半導体チップ21に臨む位置に開口部31を設け、この開口部31を介して配線部41と検出部21とをワイヤボンディングして電気的に接続した。
【選択図】図1
【解決手段】ハウジング10に接合されて一体化されるコネクタケース30において、ターミナルピン40と導通し検出部としての半導体チップ21の近傍まで延びる配線部41を設けるとともに、コネクタケース30のうち配線部41および半導体チップ21に臨む位置に開口部31を設け、この開口部31を介して配線部41と検出部21とをワイヤボンディングして電気的に接続した。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧力検出用のダイアフラムを有するハウジングに信号取り出し用のコネクタケースを組み付けてなる圧力センサに関する。
従来より、この種の圧力センサとしては、特許文献1に記載の圧力センサが提案されている。この圧力センサは、測定対象となる圧力が導入される圧力導入孔を有するハウジングと、外部との信号のやりとりを行うためのターミナルピンを有するコネクタケースとが一体に接合されてなる。
ここで、ハウジングにおいては、圧力導入孔の先端位置においてダイアフラムが備えられ、このダイアフラムの外面には歪みゲージなどを備えた半導体チップなどよりなる検出部が固定されている。そして、この検出部は、圧力導入孔から導入される圧力によってダイアフラムの変形に応じた電気信号を出力するようになっている。
そして、このような圧力センサは、ハウジングに、検出部や場合に応じて信号処理などを行う回路基板を固定し、検出部と回路基板とをワイヤボンディングにて接続した後、コネクタケースをハウジングに接合することにより製造される。
ここで、従来では、一般に、コネクタケースのターミナルピンとハウジング側の検出部や回路基板との電気的な接続は、接続すべき両部材の間に導電性のバネ部材やフレキシブルプリント基板を介在させた状態で、コネクタケースとハウジングとを接合することにより行われる。
特開2000−298071号公報
しかしながら、上記した従来の圧力センサにおいては、コネクタケース側のターミナルピンとハウジング側の各部との電気的な接続を、これら両部材の間に介在する導電性のバネ部材やフレキシブルプリント基板により行っている。
つまり、従来では、上記したバネ部材やフレキシブルプリント基板といった部品が、別途必要であり、それゆえ、コネクタケース側と検出部側との電気接続における部品構成を安価にすることが困難であるなどの問題が生じる。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、圧力検出用のダイアフラムを有するハウジングに信号取り出し用のコネクタケースを組み付けてなる圧力センサにおいて、バネ部材やフレキシブルプリント基板を用いることなく、コネクタケース側と検出部側とを接続できるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、ハウジング(10)に接合されて一体化されるコネクタケース(30)において、ターミナルピン(40)と導通し検出部(21)の近傍まで延びる配線部(41)を設けるとともに、配線部(41)および検出部(21)に臨む位置に開口部(31)を設け、この開口部(31)を介して配線部(41)と検出部(21)とをワイヤボンディングして電気的に接続したことを特徴とする。
それによれば、コネクタケース(30)とハウジング(10)とを接合した後に、開口部(31)を介して配線部(41)と検出部(21)とをワイヤボンディングできるから、バネ部材やフレキシブルプリント基板を用いることなく、コネクタケース(30)側と検出部(21)側とを接続することができる。
ここで、開口部(31)に、カバー部材(70)を設け、このカバー部材(70)により当該開口部(31)を遮蔽すれば、センサ内部の各部の保護が可能となる。さらに、カバー部材(70)を透明材料よりなるものにすれば、カバー部材(70)を通してセンサ内部を目視することができ、不具合の発見などに便利である。
また、ハウジング(10)としては、圧力導入孔(13)を中空部とし、一端部をダイアフラム(20)により閉塞された閉塞部とした有底筒状をなすものを採用し、コネクタケース(30)としては筒状をなし、その一端部がハウジング(10)の一端部に接続されるとともに、その側面部に開口部(31)が設けられているものにできる。
また、コネクタケース(30)において、回路基板(80)を配線部(41)に電気的に接続した状態で固定した場合、当該回路基板(80)の板面がダイアフラム(20)の面に対して立てられた状態とすれば、回路基板(80)の配置スペースを小さくすることができる。
また、配線部(41)におけるワイヤボンディングされる部位と検出部(21)におけるワイヤボンディングされる部位とを、同一平面上に位置させれば、配線部(41)と検出部(21)とのワイヤボンディングを行いやすい。
また、配線部(41)におけるワイヤボンディングされる部位を、検出部(21)と開口部(31)との間に位置させれば、配線部(41)におけるワイヤボンディングされる部位が開口部(31)側に寄った位置となるため、ワイヤボンディングしやすいものとなる。
また、ボンディングワイヤ(60)が複数本のものよりなる場合に、これらすべてを、開口部(31)からコネクタケース(30)の内部に向かって延びるものにすれば、すべてのワイヤ(60)において当該ワイヤの延びる方向が、開口部(31)からコネクタケース(30)の内部に向かうように、実質的に揃った状態となるため、ワイヤボンディングを行いやすい構成となる。
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
図1は、本発明の実施形態に係る圧力センサ100の全体概略断面構成を示す図であり、図2は、この圧力センサ100における図1中のA−A一点鎖線に沿った部分の概略断面図である。
ハウジング10は、中空状の段付き円柱部材であり、ステンレスや炭素鋼、アルミニウムなどの金属を、切削加工やプレス加工などにて成形することにより作られるものである。このハウジング10の一端側の外周面には、被測定体にネジ結合可能なネジ部11が形成されている。
図1に示されるように、このハウジング10の一端側からハウジング10の中心軸10aに沿って延設されるように、圧力導入孔13が形成されている。この圧力導入孔13は、被測定体から測定対象となる圧力を、開口部12を介してハウジング10内すなわち圧力センサ100内へ導入するための通路である。
また、ハウジング10の圧力導入孔13の先端位置において、ハウジング10が薄肉化されており、この薄肉化された部分によって圧力により変形可能なダイアフラム20が構成されている。そして、被測定体の圧力が開口部12から圧力導入孔13を通じてダイアフラム20に伝えられるようになっている。
このように、本実施形態では、ハウジング10は、圧力導入孔13を中空部とし、一端側に開口部12を有し、開口部12とは反対側の他端部がダイアフラム20により閉塞された閉塞部となっている有底筒状をなすものである。
また、ハウジング10における表面のうちダイアフラム20の位置においては、ダイアフラム20の変形に応じた電気信号を出力する検出部としての半導体チップ21が備えられている。この半導体チップ21は、図示しないが、低融点ガラスを介したガラス接合などにより、ダイアフラム20の表面に接合されている。
半導体チップ21は、例えばシリコン基板を用いて形成されており、このシリコン基板の表面に図示しない歪みゲージが備えられたものである。この歪みゲージは、たとえばP型不純物をドーピングして形成したホイートストンブリッジ状をなす。そして、圧力導入孔13から導入された圧力によってダイアフラム20が変形したときに、この変形に応じた当該歪みゲージ抵抗値の変化を電気信号に変換して出力するため、半導体チップ21は、検出部として機能する。
ここで、図1に示されるように、ハウジング10におけるダイアフラム20側の端部には、コネクタケース30が接合され、コネクタケース30とハウジング10とは一体化している。このコネクタケース30は、外部との信号のやりとりを行うための金属などよりなる導電性のターミナルピン40を有する。
ここでは、コネクタケース30は、PPS(ポリプロピレンサルファイド)などの樹脂を成形してなるものであり、ターミナルピン40とコネクタケース30とは、インサート成形などにより一体に固定されている。
そして、ターミナルピン40の上端部が、図示しない外部コネクタなどに接続されることにより、圧力センサ100の外部にある相手側回路等へ配線部材を介して電気的に接続されるようになっている。
このように、コネクタケース30は、圧力センサ100で検出された圧力値の信号を外部に出力するためのコネクタ、いわゆるケースプラグをなすものである。ここでは、コネクタケース30は筒状をなすものとなっており、その一端部が筒状のハウジング10のダイアフラム20側の端部に接続されている。
具体的には、コネクタケース30の一端部は、ダイアフラム20を取り囲むようにハウジング10に取り付けられ、コネクタケース30の一端部に対してハウジング10の端部をかしめることにより、コネクタケース30とハウジング10とが固定されている。なお、コネクタケース30の外周部とハウジング10の内周部との間には、Oリング50が配置され、これらの間のシールが確保されている。
さらに、本実施形態では、図1に示されるように、筒状をなすハウジング10の軸10aと、筒状をなすコネクタケース30の軸30aとがずれており、互いに偏芯した位置関係となっている。また、これら軸10a、30aに沿った方向におけるコネクタケース30の外形寸法、すなわちコネクタケース30の径方向寸法は、ハウジング10の径方向寸法の範囲内に収まっている。
また、図1、図2に示されるように、コネクタケース30においては、ターミナルピン40と導通する配線部41が設けられている。この配線部41は、コネクタケース30にインサート成形された金属配線よりなる。このような金属配線としての配線部41は、ターミナルピン40と溶接、はんだ、ロウ付けなどにより接続されたものでもよいし、ターミナルピン40と一体のものであってもよい。
配線部41は、ターミナルピン40からコネクタケース30の一端部まで延び、検出部としての半導体チップ21の近傍まで延びている。そして、半導体チップ21の近傍において、半導体チップ21と配線部41とは、金やアルミなどのボンディングワイヤ60により結線され、電気的に接続されている。
本実施形態では、図1に示されるように、配線部41におけるワイヤボンディングされる部位と半導体チップ21におけるワイヤボンディングされる部位とが、互いに同一の平面上に位置している。
ここで、コネクタケース30のうち配線部41および半導体チップ21に臨む位置には、開口部31が設けられている。ここでは、筒状のコネクタケース30における側面部に開口部31が設けられている。図1、図2に示される例では、開口部31はコネクタケース30の側面の一部を切り取った形となっている。そして、ボンディングワイヤ60は、この開口部31を通して行われている。
また、コネクタケース30には、この開口部31を被覆するように、カバー部材70が取り付けられている。このようなカバー部材70は、樹脂、セラミック、金属などよりなる例えば板状のものであり、接着や圧入、嵌合などの手法により、コネクタケース30に固定されている。
ここでは、カバー部材70としては、透明な樹脂や透明なセラミックよりなるものが望ましく、カバー部材70を通して外部からセンサ内部が目視できるものがよい。そして、このカバー部材70により、開口部31が閉塞され、センサ内部の半導体チップ21や電気的接続部等が湿気・機械的外力より保護されるようになっている。
また、本実施形態では、コネクタケース30の内部には回路基板80が設けられている。この回路基板80は、半導体チップ21から出力された電気信号を受け取り、この電気信号に応じた出力信号を作成するものである。
具体的には、回路基板80は、信号変換機能などを有する図示しないICチップや、半導体チップ21の出力する電気信号の処理を行うとともにそれに応じた出力信号を発生させる信号処理回路、配線パターンなどを備えたものであり、例えばシリコン半導体チップなどよりなる。
この回路基板80は、コネクタケース30内において、配線部41に電気的に接続された状態でコネクタケース30に固定されている。本実施形態では、回路基板80の板面が、検出部としての半導体チップ21の板面と略直角の状態、すなわち、ダイアフラム20の面に対して立てられた状態となっている。
さらに言うならば、図1に示される例では、回路基板80は、筒状のコネクタケース30の軸30aに沿って立てられた状態となっている。つまり、回路基板80の基板面がコネクタケース30の軸30aと平行に位置した状態となっている。
この回路基板80は、コネクタケース30内において配線部41の途中部に介在した状態となっており、コネクタケース30の内面に対して接着やインサート成形などにより固定されている。そして、回路基板80と配線部41とは、図示しないが、バンプを介した圧着などにより電気的に接続されている。
こうして、配線部41を介してターミナルピン40と回路基板80とが電気的に接続されている。それにより、半導体チップ21からの信号は、ボンディングワイヤ60および配線部41を介して、回路基板80で処理され、ターミナルピン40から外部へ出力されるようになっている。
また、図1、図2に示されるように、本実施形態の圧力センサ100においては、配線部41におけるワイヤボンディングされる部位は、すなわち配線部41におけるワイヤ60との接続部は、半導体チップ21と開口部31との間に位置している。
また、この種の圧力センサと同様に、検出部としての半導体チップ21に接続するボンディングワイヤ60は複数本のものよりなるが、これら複数本のボンディングワイヤ60は、いずれも、開口部31からコネクタケース30の内部に向かって延びるものとなっている。
このような本実施形態の圧力センサ100の製造方法について、図3、図4も参照して述べる。図3は、本製造方法におけるワイヤボンディング方法を上記図1に対応した断面にて示す工程図であり、図4は、同ワイヤボンディング方法を上記図2に対応した断面にて示す工程図である。
まず、上記半導体チップ21が取り付けられたハウジング10を用意するとともに、上記ターミナルピン40、配線部41および回路基板80が取り付けられたコネクタケース30を用意する。そして、これらハウジング10とコネクタケース30とを、上記Oリング50を介して組み付け、かしめ固定する。
この状態では、図3、図4に示されるように、コネクタケース30の開口部31を介して、半導体チップ21および配線部41におけるワイヤボンディングされる部位が外部に臨んでいる。
そこで、次に、この開口部31を通して、図3、図4に示されるように、ワイヤボンディング装置200を、コネクタケース30内に挿入し、ワイヤボンディングを行う。ここで、このワイヤボンディング装置200は、超音波ボンディングなど通常の手法によるワイヤボンディングを行うものである。それにより、ボンディングワイヤ60が形成され、半導体チップ21と配線部41とが電気的に接続される。
ここで、本実施形態においては、半導体チップ21および配線部41は、開口部31を介してワイヤボンディングされる位置にあればよい。特に、上述したように、配線部41におけるワイヤボンディングされる部位と半導体チップ21におけるワイヤボンディングされる部位とを、同一平面上に位置させることによって、ワイヤボンディングを容易としている。
さらに、上述したように、配線部41におけるワイヤボンディングされる部位を、半導体チップ21と開口部31との間に位置させることにより、ワイヤボンディングを容易としている。これは、当該ボンディングされる部位を開口部31側に寄った位置とすることになるためである。
この場合、たとえば、上記図2および図4において、当該ボンディングされる部位が、半導体チップ21と回路基板80との間に位置している場合よりも、開口部31に近くなるため、ワイヤボンディング装置200による開口部31を介したワイヤボンディングが容易となる。
また、上述したが、本実施形態では、複数本のボンディングワイヤ60をすべて、開口部31からコネクタケース30の内部に向かって延びるものしており、複数本のワイヤ60の延びる方向が、実質的にほぼ同じ方向となっている。そのため、ワイヤ60の延びる方向がワイヤ60同士で大幅に異なる場合に比べて、ワイヤボンディングを容易することが可能である。
このように、半導体チップ21と配線部41とをワイヤボンディングにて接合した後、上記のカバー部材70の取り付けを行い、カバー部材70により開口部31を閉塞する。こうして、本実施形態の圧力センサ100ができあがる。
ところで、本実施形態では、ハウジング10に接合されて一体化されているコネクタケース30において、ターミナルピン40と導通し半導体チップ21の近傍まで延びる配線部41を設けるとともに、配線部41および半導体チップ21に臨む位置に開口部31を設け、開口部31を介して配線部41と半導体チップ21とをワイヤボンディングして電気的に接続している。
それにより、上記図3および図4に示したように、コネクタケース30とハウジング10とを接合した後に、開口部31を介して配線部41と半導体チップ21とをワイヤボンディング接続できる。
よって、本実施形態によれば、従来のように、バネ部材やフレキシブルプリント基板を用いることなく、コネクタケース30側と半導体チップ21側とを電気的に接続することができる。
また、本実施形態では、開口部31を、カバー部材70によって遮蔽し、センサ内部の半導体チップ、回路基板80、配線部41、ボンディングワイヤ60などを保護している。ここにおいて、このカバー部材70を透明材料よりなるものにすることにより、カバー部材70を通してセンサ内部を目視することができ、断線などの不具合の発見等を容易に行うことができる。
また、本実施形態では、ハウジング10およびコネクタケース30をともに筒状のものとし、両者10、30の軸10a、30aをずらして偏芯させている。これにより、ワイヤボンディングされる部位と開口部31とをより近づけて、ワイヤボンディングを容易にすることが可能となる。
また、本実施形態では、筒状のコネクタケース30の内部において、回路基板80の板面をダイアフラム20の面に対して立てた状態としているため、回路基板80の配置スペースを小さくできる。このことは、例えばコネクタケース30を細いものにする場合などに有効である。
(他の実施形態)
なお、上記実施形態では、ハウジング10は1つの部品であったが、複数個の部品を接合して一体化させてなるものであってもよい。たとえば、ダイアフラム20を有する部分とネジ部11を有する部分とを分けて2つの部品とし、これら2つの部品をネジ結合や溶接、接着などにより一体化させたものを、ハウジング10としてもよい。
なお、上記実施形態では、ハウジング10は1つの部品であったが、複数個の部品を接合して一体化させてなるものであってもよい。たとえば、ダイアフラム20を有する部分とネジ部11を有する部分とを分けて2つの部品とし、これら2つの部品をネジ結合や溶接、接着などにより一体化させたものを、ハウジング10としてもよい。
また、上記実施形態では、ハウジング10は上記したような有底筒状のものであったが、上記圧力導入孔13を有し、該圧力導入孔13の先端位置においてダイアフラム20が備えられたものであれば、それ以外のものであってもよい。
また、検出部21としては、ハウジング10のうちダイアフラム20の位置に固定可能であって、圧力導入孔13から導入される圧力によってダイアフラム20の変形に応じた電気信号を出力するものであれば、上記半導体チップ21に限定されない。
また、上記実施形態では、コネクタケース30は上記したような筒状をなすものであったが、上記ターミナルピン40および上記開口部31を有しハウジング10と接合されて一体化可能なものであれば、それ以外のものであってもよい。また、開口部31は、上記ワイヤボンディングができるものであればよく、その大きさ、形状は適宜変更が可能である。
また、配線部41は、ターミナルピン40と導通し検出部21の近傍まで延びた状態でコネクタケース30に設けられるとともに、検出部21とワイヤボンディングされるものであればよく、上記したようなコネクタケース30にインサート成形された金属配線に限定されるものではない。
また、カバー部材70を設けることでセンサ内部の各部の保護が可能であるが、場合によっては、カバー部材70を省略して、コネクタケース30の開口部31を解放した構成であってもよい。
また、上記実施形態では、圧力センサに回路基板80を備えたものとしたが、回路基板を持たない構成であってもよい。たとえば、検出部21からの信号は、ターミナルピン40を介してセンサの外部に出力し、外部回路にて処理するようにしてもよい。
10…ハウジング、10a…ハウジングの軸、13…圧力導入孔、
20…ダイアフラム、21…検出部としての半導体チップ、
30…コネクタケース、30a…コネクタケースの軸、31…開口部、
40…ターミナルピン、41…配線部、60…ボンディングワイヤ、
70…カバー部材、80…回路基板。
20…ダイアフラム、21…検出部としての半導体チップ、
30…コネクタケース、30a…コネクタケースの軸、31…開口部、
40…ターミナルピン、41…配線部、60…ボンディングワイヤ、
70…カバー部材、80…回路基板。
Claims (10)
- 測定対象となる圧力が導入される圧力導入孔(13)を有し、該圧力導入孔(13)の先端位置においてダイアフラム(20)が備えられたハウジング(10)と、
前記ハウジング(10)のうち前記ダイアフラム(20)の位置に固定され、前記圧力導入孔(13)から導入される圧力によって前記ダイアフラム(20)の変形に応じた電気信号を出力する検出部(21)と、
外部との信号のやりとりを行うためのターミナルピン(40)を有するコネクタケース(30)と、を備え、
前記コネクタケース(30)は、前記ハウジング(10)に接合されて前記ハウジング(10)と一体化されている圧力センサにおいて、
前記コネクタケース(30)には、前記ターミナルピン(40)と導通し、前記検出部(21)の近傍まで延びる配線部(41)が設けられるとともに、前記コネクタケース(30)のうち前記配線部(41)および前記検出部(21)に臨む位置に開口部(31)が設けられ、
この開口部(31)を介して前記配線部(41)と前記検出部(21)とがワイヤボンディングされて電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記開口部(31)には、カバー部材(70)が設けられ、このカバー部材(70)により当該開口部(31)は遮蔽されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記カバー部材(70)は透明材料よりなることを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジング(10)は、前記圧力導入孔(13)を中空部とし、一端部が前記ダイアフラム(20)により閉塞された閉塞部となっている有底筒状をなすものであり、
前記コネクタケース(30)は、その側面部に前記開口部(31)が設けられている筒状をなすものであり、
前記コネクタケース(30)の一端部が前記ハウジング(10)の一端部に接続されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記コネクタケース(30)には、回路基板(80)が前記配線部(41)に電気的に接続された状態で固定されており、
前記配線部(41)を介して前記ターミナルピン(40)と前記回路基板(80)とが電気的に接続されており、
この回路基板(80)の板面が、前記ダイアフラム(20)の面に対して立てられた状態となっていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記ハウジング(10)の軸(10a)と前記コネクタケース(30)の軸(30a)とが偏芯した位置にあることを特徴とする請求項4または5に記載の圧力センサ。
- 前記配線部(41)における前記ワイヤボンディングされる部位と前記検出部(21)における前記ワイヤボンディングされる部位とが、互いに同一の平面上に位置したものとなっていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記コネクタケース(30)は樹脂よりなり、前記配線部(41)は前記コネクタケース(30)にインサート成形された金属配線よりなることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記配線部(41)における前記ワイヤボンディングされる部位は、前記検出部(21)と前記開口部(31)との間に位置していることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記ワイヤボンディングにより形成されたボンディングワイヤ(60)は複数本のものよりなり、
これら複数本のボンディングワイヤ(60)は、いずれも前記開口部(31)から前記コネクタケース(30)の内部に向かって延びるものであることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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2006
- 2006-06-30 JP JP2006181258A patent/JP2008008829A/ja not_active Withdrawn
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