JP6036218B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動車において燃料やブレーキ油の圧力を検出するために搭載され、20〜300MPa程度の高圧を検出する高圧センサとして用いられると好適である。
上記第1実施形態において、金属ステム10とネジ部材20とを一体化してもよいし、金属ステム10、ネジ部材20、ハウジング30とを一体化してもよい。
11 ダイヤフラム
40 センサチップ
50 接合ガラス
51 ボイド
Claims (3)
- 圧力検出用のダイヤフラム(11)を有する金属ステム(10)と、
前記ダイヤフラム上に設けられた接合ガラス(50)と、
前記ダイヤフラムに前記接合ガラスを介して接合され、前記ダイヤフラムの歪みに応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(40)と、を備え、
前記センサチップの厚さは50μm以上とされており、
前記接合ガラスの厚さをT[μm]、前記接合ガラスの内部に存在するボイド(51)の最大直径をR[μm]としたとき、1≦T/Rであることを特徴とする圧力センサ。 - 前記接合ガラスの厚さは、300μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記接合ガラスは、ガラス粒子にフィラー粒子が混入されたものであり、ガラスとフィラーの混合粒子の平均粒度[D50]が1〜5μmとされ、最大粒度[D99]が20μm以下とされていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
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