JP5050392B2 - 圧力センサ - Google Patents
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以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図1に、本実施形態における圧力センサS1の断面図を示すと共に、図2に図1の二点鎖線部分の拡大図を示し、これらの図に基づいて説明する。なお、この圧力センサS1は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力を検出するものに適用される。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサS1は、第1実施形態に対してセンサ素子20とコネクタケース10に備えられるターミナル12との接続部の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサS1は、第1実施形態に対してセンサ素子20の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサS1は、第1実施形態に対してセンサ素子20に備えられる貫通電極23の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサS1は、第1実施形態に対してセンサ素子20に備えられる貫通穴22および貫通電極23の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサS1は、第1実施形態に対してセンサ素子20に備えられる貫通穴22および貫通電極23の構成を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
上記第1実施形態では、図3に示すように、貫通電極23を四角形で構成されたセンサ素子20の各辺の中央位置に配置する例を挙げたが、例えば、図14に示すように、貫通電極23をセンサ素子20の四隅に配置しても構わない。
15…シール剤、20…センサ素子、20a…ダイアフラム、21…台座、
22…貫通穴、23…貫通電極、25…保護膜、30…ハウジング、30a…凹部、
31…圧力導入孔、100…ケーシング。
Claims (6)
- 外部への電気的な接続を行うためのターミナル(12)と、
前記ターミナル(12)の一端が露出するように構成されたケーシング(100)と、
前記ケーシング(100)内に配置され、表面側を受圧面とする圧力検出用のダイアフラム(20a)が形成されていると共に、前記ダイアフラム(20a)にゲージ抵抗が形成されてなるセンサ素子(20)とを有し、
前記センサ素子(20)には該センサ素子(20)の表裏を貫通する貫通穴(22)が形成されていると共に、該貫通穴(22)内に配置され、かつ、前記ゲージ抵抗に電気的に接続された貫通電極(23)が備えられており、
前記センサ素子(20)は、前記貫通電極(23)を介して該センサ素子(20)の裏面側において前記ターミナル(12)のうち前記ケーシング(100)から露出している一端と電気的に接続されていると共に四角形で構成され、
前記貫通電極(23)は、前記ターミナル(12)に対して直接的に金属−金属接合により接合されており、前記センサ素子(20)の各辺内において各辺の中央位置に対して対称配置されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記貫通電極(23)は、断面形状が円形とされていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記センサ素子(20)は、前記ケーシング(100)に対して直接接続されており、前記センサ素子(20)と前記ケーシング(100)との間に基準大気圧室が形成された構成とされていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記センサ素子(20)の裏面に台座(21)が接合され、前記貫通穴(22)および前記貫通電極(23)は前記センサ素子(20)の表裏を貫通して設けられた部分と前記台座(21)の表裏を貫通して設けられた部分とによって構成され、前記センサ素子(20)は、前記台座(21)を介して前記ケーシング(100)に接合されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記貫通穴(22)および前記貫通電極(23)は円錐台形状であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記貫通電極(23)は、前記貫通穴(22)の表面にのみ形成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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