JP5743871B2 - 熱式流量計 - Google Patents
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- F01N2560/00—Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics
- F01N2560/07—Exhaust systems with means for detecting or measuring exhaust gas components or characteristics the means being an exhaust gas flow rate or velocity meter or sensor, intake flow meters only when exclusively used to determine exhaust gas parameters
Description
2 センサ素子
3 駆動回路
4 チップコンデンサ(保護回路)
5 チップサーミスタ(空気温度検出素子)
6 リードフレーム
7a 接着剤
7b 導電性接着剤
8a、8b 金線ワイヤー
9 熱硬化性樹脂(封止樹脂)
10 空洞部
11 薄膜部(流量検出部)
12 入出力端子
13 通路
14 出口部
15 筐体
16 吸気管路
17 副通路
18 回路室
19 境界部
20 コネクタ
21 コネクタ端子
Claims (10)
- 被計測流体を採り込む副通路と、前記副通路内の被計測流体の流量を計測するセンサ素子と、被計測流体の温度を検出する温度検出素子と、前記センサ素子の加熱温度を制御する駆動回路と、を備え、前記センサ素子の基板に空洞部が形成され、前記空洞部上の薄膜部には電気絶縁膜を介して発熱抵抗体が形成されており、前記薄膜部の温度分布から流量を検出する熱式流量計において、
前記駆動回路と前記駆動回路を保護するためのチップ部品は、金属のリードフレーム上に実装され、前記駆動回路および前記リードフレームは、熱硬化性樹脂で封止することによりチップパッケージされ、
前記リードフレームは、一端側が前記熱硬化性樹脂から突出し、外部との信号の入出力を行う入出力端子部と、前記駆動回路が実装される実装部と、を有しており、
前記入出力端子部は、前記実装部と一体に形成されている端子と、前記実装部とは独立して形成され、前記駆動回路とワイヤボンディングを介して電気的に接続されている端子とを、有しており、
前記チップ部品は、前記実装部と一体に形成されている端子と前記実装部とは独立して形成されている端子とを橋渡しするように前記リードフレーム上に導電性接着材を介して直接実装されていることを特徴とする熱式流量計。 - 前記薄膜部は、前記熱硬化性樹脂から部分的に露出していることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記チップパッケージに、前記空洞部と前記熱硬化性樹脂の外部とを連通する連通機構を設けたことを特徴とする請求項1あるいは2に記載の熱式流量計。
- 前記センサ素子と前記駆動回路と前記連通機構とを、同一直線方向に配置したことを特徴とする請求項3に記載の熱式流量計。
- 前記センサ素子と前記連通機構の外部と連通する側の開口孔との間に前記駆動回路を配置したことを特徴とする請求項4に記載の熱式流量計。
- 前記空気温度検出素子が前記チップパッケージの内部に混載され、前記センサ素子と前記空気温度検出素子を異なる流路に配置したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記チップパッケージの形状は、前記温度検出素子を配置した部分のみ突出した形状であり、かつ、前記被計測流体の流れ上流方向に前記温度検出素子を配置したことを特徴とする請求項6に記載の熱式流量計。
- 前記チップパッケージから前記リードフレームの一部が突出しており、前記突出方向とは反対の位置に前記温度検出素子を配置したことを特徴とする請求項6に記載の熱式流量計。
- 前記センサ素子と前記駆動回路のチップ高さが異なることを特徴とする請求項5に記載の熱式流量計。
- 前記駆動回路のチップ高さは、前記センサ素子のチップ高さより低いことを特徴とする請求項9に記載の熱式流量計。
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