JPH11173885A - 流量計 - Google Patents
流量計Info
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- JPH11173885A JPH11173885A JP9362521A JP36252197A JPH11173885A JP H11173885 A JPH11173885 A JP H11173885A JP 9362521 A JP9362521 A JP 9362521A JP 36252197 A JP36252197 A JP 36252197A JP H11173885 A JPH11173885 A JP H11173885A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- cap member
- cap
- sensor
- temperature
- Prior art date
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- Pending
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- Details Of Flowmeters (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 流量センサー等の素子について、（１）固定
する半田が盛りあがって、拡散するのを防止し、（２）
熱容量が大きくなるのを防止し、（３）絶縁性を向上さ
せた流量計とする。 【解決手段】 底部の外側１３が所定の管内を流れる流
体に接するように管に取り付けられるキャップ部材１、
キャップ部材１の底部内側に配置した、流量センサー１
５、温度補償用サーミスタ１７および温度測定用サーミ
スタ２５、キャップ部材１を閉塞する下側ケース部材
５、下側ケース部材５のキャップ部材１とは反対側に設
けた回路基板７、下側ケース部材５の回路基板７が設け
られた部分を閉塞する上側ケース部材（蓋部材）９、な
らびに、配線基板３と回路基板７とを接続するリード線
１１を備える。流量センサー１５および温度補償用サー
ミスタ１７は、キャップ部材１との間の良好な熱伝導性
が確保されるように、半田等により固定してある。前記
キャップ部材１の底部に内側に向けて凸部６０を設け、
該凸部６０に流量センサー１５が半田により固定してあ
る。
する半田が盛りあがって、拡散するのを防止し、（２）
熱容量が大きくなるのを防止し、（３）絶縁性を向上さ
せた流量計とする。 【解決手段】 底部の外側１３が所定の管内を流れる流
体に接するように管に取り付けられるキャップ部材１、
キャップ部材１の底部内側に配置した、流量センサー１
５、温度補償用サーミスタ１７および温度測定用サーミ
スタ２５、キャップ部材１を閉塞する下側ケース部材
５、下側ケース部材５のキャップ部材１とは反対側に設
けた回路基板７、下側ケース部材５の回路基板７が設け
られた部分を閉塞する上側ケース部材（蓋部材）９、な
らびに、配線基板３と回路基板７とを接続するリード線
１１を備える。流量センサー１５および温度補償用サー
ミスタ１７は、キャップ部材１との間の良好な熱伝導性
が確保されるように、半田等により固定してある。前記
キャップ部材１の底部に内側に向けて凸部６０を設け、
該凸部６０に流量センサー１５が半田により固定してあ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管内を流れる流体
の流量を計測する流量計に関し、特に、流量検出用のセ
ンサーとして、薄膜または厚膜製のものを用い、これを
密封して防水耐湿構造とするのに適したものに関する。
の流量を計測する流量計に関し、特に、流量検出用のセ
ンサーとして、薄膜または厚膜製のものを用い、これを
密封して防水耐湿構造とするのに適したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜または厚膜製の流量センサーを用
い、防水耐湿構造とするのに適した流量計に関する技術
としては、例えば特開平９−７９８８０号に開示されて
いる流量センサー装置が知られている。この装置は、図
６に示すように、底部の外側が管内を流れる流体に接す
るように前記管に取り付けられるキャップ部材９０と、
キャップ部材９０の底部内側に固定・配置した流量セン
サー９１および流体の温度を測定するためのサーミスタ
９２と、キャップ部材９０を密封して閉塞する蓋９３
と、流量センサー９１およびサーミスタ９２を外部に接
続するためのプリント基板９４と、流量センサー９１お
よびサーミスタ９２を外部に接続するために蓋９３に貫
通させて設けた端子９５と、端子９５とプリント基板９
４とを接続するとともにプリント基板９４を支持するコ
ネクタ９６とを備え、蓋９３を取り付けると同時に端子
９５がコネクタ９６に接続するようにして、防水耐湿構
造とするのを容易にしている。
い、防水耐湿構造とするのに適した流量計に関する技術
としては、例えば特開平９−７９８８０号に開示されて
いる流量センサー装置が知られている。この装置は、図
６に示すように、底部の外側が管内を流れる流体に接す
るように前記管に取り付けられるキャップ部材９０と、
キャップ部材９０の底部内側に固定・配置した流量セン
サー９１および流体の温度を測定するためのサーミスタ
９２と、キャップ部材９０を密封して閉塞する蓋９３
と、流量センサー９１およびサーミスタ９２を外部に接
続するためのプリント基板９４と、流量センサー９１お
よびサーミスタ９２を外部に接続するために蓋９３に貫
通させて設けた端子９５と、端子９５とプリント基板９
４とを接続するとともにプリント基板９４を支持するコ
ネクタ９６とを備え、蓋９３を取り付けると同時に端子
９５がコネクタ９６に接続するようにして、防水耐湿構
造とするのを容易にしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来技術によれば、（１）流量センサーを固定する半田が
盛りあがって拡散する。（２）熱容量が大きい。（３）
絶縁性が充分でないという問題がある。
来技術によれば、（１）流量センサーを固定する半田が
盛りあがって拡散する。（２）熱容量が大きい。（３）
絶縁性が充分でないという問題がある。
【０００４】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、（１）流量センサーを固定する半田が盛り
あがって、拡散するのを防止し、（２）熱容量が大きく
なるのを防止し、（３）絶縁性を向上させることにあ
る。
題点に鑑み、（１）流量センサーを固定する半田が盛り
あがって、拡散するのを防止し、（２）熱容量が大きく
なるのを防止し、（３）絶縁性を向上させることにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の流量計は、底部の外側が所定の管内を流れる流
体に接するように前記管に取り付けられるキャップ部
材、前記キャップ部材の底部内側に配置した、流量セン
サー、これと外部とを接続するための配線基板、前記キ
ャップ部材を閉塞するケース部材、ならびに、前記配線
基板と外部とを接続するリード線を備え、前記流量セン
サーは、前記キャップ部材底部を介して前記流体により
熱が奪われることによる温度変化に応じて抵抗値が変化
することにより前記流量に応じた流量出力を生成するた
めの流量検出用抵抗を有する、傍熱型または自己発熱型
のものであり、前記流量センサーは、前記キャップ部材
底部に内側に向けて凸部を設け、前記凸部に固定したも
のであることを特徴とする。
本発明の流量計は、底部の外側が所定の管内を流れる流
体に接するように前記管に取り付けられるキャップ部
材、前記キャップ部材の底部内側に配置した、流量セン
サー、これと外部とを接続するための配線基板、前記キ
ャップ部材を閉塞するケース部材、ならびに、前記配線
基板と外部とを接続するリード線を備え、前記流量セン
サーは、前記キャップ部材底部を介して前記流体により
熱が奪われることによる温度変化に応じて抵抗値が変化
することにより前記流量に応じた流量出力を生成するた
めの流量検出用抵抗を有する、傍熱型または自己発熱型
のものであり、前記流量センサーは、前記キャップ部材
底部に内側に向けて凸部を設け、前記凸部に固定したも
のであることを特徴とする。
【０００６】これによれば、（１）流量センサーを固定
する半田が盛りあがって、拡散するのを防止でき、
（２）熱容量が大きくなるのを防止でき、（３）絶縁性
を向上させることができる。
する半田が盛りあがって、拡散するのを防止でき、
（２）熱容量が大きくなるのを防止でき、（３）絶縁性
を向上させることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を、実施
例を通じて具体的に説明する。
例を通じて具体的に説明する。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の一実施例に係る流量計を示
す一部を破断した側面図である。同図に示すように、こ
の流量計は、底部の外側が所定の管内を流れる流体に接
するように前記管に取り付けられるステンレス製のキャ
ップ部材１、キャップ部材１の底部内側に配置した、流
量センサー１５、温度補償用サーミスタ１７および温度
測定用サーミスタ２５、キャップ部材１を閉塞する下側
ケース部材５、下側ケース部材５のキャップ部材１とは
反対側に設けた回路基板７、下側ケース部材５の回路基
板７が設けられた部分を閉塞する上側ケース部材（蓋部
材）９、ならびに、配線基板３と回路基板７とを接続す
るリード線１１を備える。
す一部を破断した側面図である。同図に示すように、こ
の流量計は、底部の外側が所定の管内を流れる流体に接
するように前記管に取り付けられるステンレス製のキャ
ップ部材１、キャップ部材１の底部内側に配置した、流
量センサー１５、温度補償用サーミスタ１７および温度
測定用サーミスタ２５、キャップ部材１を閉塞する下側
ケース部材５、下側ケース部材５のキャップ部材１とは
反対側に設けた回路基板７、下側ケース部材５の回路基
板７が設けられた部分を閉塞する上側ケース部材（蓋部
材）９、ならびに、配線基板３と回路基板７とを接続す
るリード線１１を備える。
【０００９】前記キャップ部材１の底部１３に内側に向
けて段状の凸部６０、６０´を設け、該凸部６０、６０
´に流量センサー１５および温度補償用サーミスタ１７
を、キャップ部材１との間の良好な熱伝導性が確保され
るように、半田やロー付けにより固定してある。なお、
凸部６０、６０の上面の平坦部６１、６１´の大きさを
流量センサー１５、温度補償用サーミスタ１７の大きさ
よりやや大きくしておく。流量センサー１５や温度補償
用サーミスタ１７を凸部６０、６０´に半田やロー付け
で固定するとき、余分な半田やローが平坦部６１、６１
´から下に流れてしまい、流量センサー１５や温度補償
用サーミスタ１７の外周に半田やローが残留することが
ない。また、凸部６０、６０´を一体化し、流量センサ
ー１５と温度補償用サーミスタ１７をならべて一体化し
た凸部に取り付けることもできる。これにより、（１）
流量センサーおよび温度補償用サーミスタを固定する半
田が盛りあがって、拡散するのを防止でき、（２）熱容
量が大きくなるのを防止でき、（３）絶縁性を向上させ
ることができる。温度測定用サーミスタ２５は、ビード
型のものであり、シリコンにより、底部１３の凹部１６
内に埋めてある。
けて段状の凸部６０、６０´を設け、該凸部６０、６０
´に流量センサー１５および温度補償用サーミスタ１７
を、キャップ部材１との間の良好な熱伝導性が確保され
るように、半田やロー付けにより固定してある。なお、
凸部６０、６０の上面の平坦部６１、６１´の大きさを
流量センサー１５、温度補償用サーミスタ１７の大きさ
よりやや大きくしておく。流量センサー１５や温度補償
用サーミスタ１７を凸部６０、６０´に半田やロー付け
で固定するとき、余分な半田やローが平坦部６１、６１
´から下に流れてしまい、流量センサー１５や温度補償
用サーミスタ１７の外周に半田やローが残留することが
ない。また、凸部６０、６０´を一体化し、流量センサ
ー１５と温度補償用サーミスタ１７をならべて一体化し
た凸部に取り付けることもできる。これにより、（１）
流量センサーおよび温度補償用サーミスタを固定する半
田が盛りあがって、拡散するのを防止でき、（２）熱容
量が大きくなるのを防止でき、（３）絶縁性を向上させ
ることができる。温度測定用サーミスタ２５は、ビード
型のものであり、シリコンにより、底部１３の凹部１６
内に埋めてある。
【００１０】図２は流量計の回路の一部を示す。同図に
示すように、流量センサー１５は、キャップ部材１底部
を介して流体により熱が奪われることによる温度変化に
応じて抵抗値が変化することにより流量に応じた流量出
力を生成するための流量検出用抵抗１９を有する。流量
センサー１５としては、ここでは、抵抗２１によって熱
を付与する傍熱型で薄膜型のものを用いている。温度補
償用サーミスタ１７は、流体の温度に応じた流量出力の
変動を補償するように流量検出用抵抗１９に直列または
並列に接続された、薄膜製のものである。
示すように、流量センサー１５は、キャップ部材１底部
を介して流体により熱が奪われることによる温度変化に
応じて抵抗値が変化することにより流量に応じた流量出
力を生成するための流量検出用抵抗１９を有する。流量
センサー１５としては、ここでは、抵抗２１によって熱
を付与する傍熱型で薄膜型のものを用いている。温度補
償用サーミスタ１７は、流体の温度に応じた流量出力の
変動を補償するように流量検出用抵抗１９に直列または
並列に接続された、薄膜製のものである。
【００１１】流量センサー１５は、図５に示すように、
基板８１上に厚さ５μｍの積層膜８０を設けたものであ
り、積層膜８０は、下から、感温膜（サーミスタ）８２
（流量検出用抵抗１９）、感温膜８２に接続した電極８
３、絶縁膜８４、発熱体８５（抵抗２１）、発熱体８５
に接続した電極８６、および絶縁膜８７を、この順に積
層したものである。
基板８１上に厚さ５μｍの積層膜８０を設けたものであ
り、積層膜８０は、下から、感温膜（サーミスタ）８２
（流量検出用抵抗１９）、感温膜８２に接続した電極８
３、絶縁膜８４、発熱体８５（抵抗２１）、発熱体８５
に接続した電極８６、および絶縁膜８７を、この順に積
層したものである。
【００１２】下側ケース部材５は、配線基板３方向に延
び、配線基板３を支持するとともに、配線基板３と下側
ケース部材５との間に密封された空間２２を形成する筒
状部２３が配線基板３と結合する部分の内側に位置す
る。
び、配線基板３を支持するとともに、配線基板３と下側
ケース部材５との間に密封された空間２２を形成する筒
状部２３が配線基板３と結合する部分の内側に位置す
る。
【００１３】下側ケース部材５のキャップ部材１への固
定は、エポキシ樹脂等の接着剤２６により行われてい
る。その接着の際の接着剤２６のはみだしを防止するた
め、下側ケース部材５には、凸部２８を設けてある。ま
た、ケース部材５がキャップ部材１から抜けるのを防止
するために、ケース部材５は、キャップ部材１に圧入さ
れた楔型部分３０を有し、かつキャップ部材１の端部１
２はケース部材５の方へ折り曲げられている。
定は、エポキシ樹脂等の接着剤２６により行われてい
る。その接着の際の接着剤２６のはみだしを防止するた
め、下側ケース部材５には、凸部２８を設けてある。ま
た、ケース部材５がキャップ部材１から抜けるのを防止
するために、ケース部材５は、キャップ部材１に圧入さ
れた楔型部分３０を有し、かつキャップ部材１の端部１
２はケース部材５の方へ折り曲げられている。
【００１４】配線基板３は、底部１３に対し、エポキシ
樹脂を用いた接着剤により固定してある。その固定の
際、配線基板３の周辺ではエポキシ樹脂２４をキャップ
部材１の底部１３から側壁５９へかけて盛り上がるよう
にして付与してキャップ部材１の特に底部１３周辺部の
強度を補強し、流体の圧力に対する耐圧性をさらに向上
させている。
樹脂を用いた接着剤により固定してある。その固定の
際、配線基板３の周辺ではエポキシ樹脂２４をキャップ
部材１の底部１３から側壁５９へかけて盛り上がるよう
にして付与してキャップ部材１の特に底部１３周辺部の
強度を補強し、流体の圧力に対する耐圧性をさらに向上
させている。
【００１５】図３は配線基板３の平面図である。この図
に示すように、配線基板３には、貫通穴２７、２９、３
１が設けられており、これらの穴の部分に、底部１３に
固定された流量センサー１５、温度補償用サーミスタ１
７および温度測定用サーミスタ２５が位置する。配線基
板３はまた、流量センサー１５、温度補償用サーミスタ
１７および温度測定用サーミスタ２５を回路基板７に接
続するためのプリントされた配線３３を有し、各配線３
３の端部は、配線基板３が筒状部２３と結合する部分３
４より外側に位置する端子３５となっている。流量セン
サー１５、温度補償用サーミスタ１７および温度測定用
サーミスタ２５は各配線３３に対し、ワイヤボンディン
グ等により接続されている。
に示すように、配線基板３には、貫通穴２７、２９、３
１が設けられており、これらの穴の部分に、底部１３に
固定された流量センサー１５、温度補償用サーミスタ１
７および温度測定用サーミスタ２５が位置する。配線基
板３はまた、流量センサー１５、温度補償用サーミスタ
１７および温度測定用サーミスタ２５を回路基板７に接
続するためのプリントされた配線３３を有し、各配線３
３の端部は、配線基板３が筒状部２３と結合する部分３
４より外側に位置する端子３５となっている。流量セン
サー１５、温度補償用サーミスタ１７および温度測定用
サーミスタ２５は各配線３３に対し、ワイヤボンディン
グ等により接続されている。
【００１６】リード線１１の一方は、筒状部２３の外側
の各端子３５を介して配線基板３と接続し、他方は、筒
状部２３の外側および下側ケース部材５に設けられた貫
通穴３７を経て回路基板７に接続している。回路基板７
は、図２に示すように、流量検出用抵抗１９および温度
補償用サーミスタ１７を含むブリッジ回路を形成して流
量に応じた流量出力を行う回路を有する。図２には示さ
れていない温度測定用サーミスタ２５は、回路基板７を
経て、そのまま外部に接続される。
の各端子３５を介して配線基板３と接続し、他方は、筒
状部２３の外側および下側ケース部材５に設けられた貫
通穴３７を経て回路基板７に接続している。回路基板７
は、図２に示すように、流量検出用抵抗１９および温度
補償用サーミスタ１７を含むブリッジ回路を形成して流
量に応じた流量出力を行う回路を有する。図２には示さ
れていない温度測定用サーミスタ２５は、回路基板７を
経て、そのまま外部に接続される。
【００１７】筒状部２３の外側には、キャップ部材１、
配線基板３および下側ケース部材５とで囲まれた部分が
形成されており、その部分には防水・防湿用の樹脂４１
が充填され、かつこの樹脂４１部分は貫通穴３７を経て
下側ケース部材５の上面にまで及んでいる。したがっ
て、リード線１１はこの樹脂４１部分は貫通穴３７を経
て回路基板７に接続している。
配線基板３および下側ケース部材５とで囲まれた部分が
形成されており、その部分には防水・防湿用の樹脂４１
が充填され、かつこの樹脂４１部分は貫通穴３７を経て
下側ケース部材５の上面にまで及んでいる。したがっ
て、リード線１１はこの樹脂４１部分は貫通穴３７を経
て回路基板７に接続している。
【００１８】回路基板７の上面は、下側ケース部材５の
内壁へかけて、熱伝導性および絶縁性が良好な樹脂、例
えばシリコン樹脂で覆われている。また、回路基板７
は、下側ケース部材５に対し、有機接着剤４５により固
定されている。これにより、回路基板７と下側ケース部
材５との間には密封された空間３９が形成されている。
上側ケース部材９と下側ケース部材５との間の回路基板
７の上には空間４７が形成されている。
内壁へかけて、熱伝導性および絶縁性が良好な樹脂、例
えばシリコン樹脂で覆われている。また、回路基板７
は、下側ケース部材５に対し、有機接着剤４５により固
定されている。これにより、回路基板７と下側ケース部
材５との間には密封された空間３９が形成されている。
上側ケース部材９と下側ケース部材５との間の回路基板
７の上には空間４７が形成されている。
【００１９】図４に示すように、このような構成を有す
る流量計４９は、管５１に対し、底部１３が管５１内を
流れる流体５３と、その流れの方向に平行に接するよう
に取り付けられる。取り付けは、下側ケース部材５およ
びキャップ部材１に設けられた貫通穴５５（図１９）を
介し、これら部材を管５１にネジ５２によりネジ止めす
ることにより行うことができる。
る流量計４９は、管５１に対し、底部１３が管５１内を
流れる流体５３と、その流れの方向に平行に接するよう
に取り付けられる。取り付けは、下側ケース部材５およ
びキャップ部材１に設けられた貫通穴５５（図１９）を
介し、これら部材を管５１にネジ５２によりネジ止めす
ることにより行うことができる。
【００２０】この状態において、図２の回路に所定の電
圧Ｖを印加すると、抵抗２１は発熱するが、その熱はキ
ャップ部材１の底部１３を介して流体５３により奪われ
るため、流量センサー１５の温度は、流体５３の流量に
応じた温度となり、その温度に応じた電圧がブリッジ回
路５７から出力される。ただしそのときの流量センサー
１５の温度は、流体５３の流量のほか、流体５３の温度
によっても変動する。温度補償用サーミスタ１７はこの
ような流体５３の温度による変動を補償し、ブリッジ回
路５７の出力が、流体５３の流量にのみ依存するよう作
用する。ブリッジ回路５７の出力は増幅され、流量出力
として、回路基板７の回路から出力される。
圧Ｖを印加すると、抵抗２１は発熱するが、その熱はキ
ャップ部材１の底部１３を介して流体５３により奪われ
るため、流量センサー１５の温度は、流体５３の流量に
応じた温度となり、その温度に応じた電圧がブリッジ回
路５７から出力される。ただしそのときの流量センサー
１５の温度は、流体５３の流量のほか、流体５３の温度
によっても変動する。温度補償用サーミスタ１７はこの
ような流体５３の温度による変動を補償し、ブリッジ回
路５７の出力が、流体５３の流量にのみ依存するよう作
用する。ブリッジ回路５７の出力は増幅され、流量出力
として、回路基板７の回路から出力される。
【００２１】このとき、空間２２は、外部に対する断熱
作用を果たすため、外部の温度の影響に左右されないよ
り正確な流量出力が得られる。また、この断熱効果は、
空間３９および４７によって、さらに高められている。
作用を果たすため、外部の温度の影響に左右されないよ
り正確な流量出力が得られる。また、この断熱効果は、
空間３９および４７によって、さらに高められている。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、キ
ャップ部材の底部に内側に向けて凸部を設け、該凸部に
流量センサー等の素子が半田により固定してあるので、
（１）流量センサーの素子を固定する半田が盛りあがっ
て、拡散するのを防止でき、（２）熱容量が大きくなる
のを防止でき、（３）絶縁性を向上させた流量計とする
ことができる。
ャップ部材の底部に内側に向けて凸部を設け、該凸部に
流量センサー等の素子が半田により固定してあるので、
（１）流量センサーの素子を固定する半田が盛りあがっ
て、拡散するのを防止でき、（２）熱容量が大きくなる
のを防止でき、（３）絶縁性を向上させた流量計とする
ことができる。
【図１】 本発明の一実施例に係る流量計を示す一部を
破断した側面図。
破断した側面図。
【図２】 図１の流量計の回路の一部を示す回路図。
【図３】 図１の流量計の配線基板の平面図。
【図４】 図１の流量計を管に取り付けた様子を示す
図。
図。
【図５】 図１の流量計で使用しうる流量センサーの構
造図。
造図。
【図６】 従来例に係る流量センサー装置を示す断面
図。
図。
１：キャップ部材、３：配線基板、５：下側ケース部
材、７：回路基板、９：上側ケース部材、１１：リード
線またはリードフレーム、１２：端部、１３：底部、１
５：流量センサー、１６：凹部、１７：温度補償用サー
ミスタ、１９：流量検出用抵抗、２１：抵抗、２２：密
封空間、２３：筒状部、２４：エポキシ樹脂、２５：温
度測定用サーミスタ、２６：接着剤、２７，２９，３
１：貫通穴、２８：凸部、３０：楔形部分、３３：配
線、３４：結合する部分、３５：端子、３７：貫通穴、
３９：密封された空間、４１：樹脂、４３：シリコン樹
脂、４５：有機接着剤、４７：空間、４９：流量計、５
１：管、５２：ネジ、５３：流体、５５：貫通穴、５
７：ブリッジ回路、５９：側壁、６０，６０´：凸部、
６１，６１´：平坦部。
材、７：回路基板、９：上側ケース部材、１１：リード
線またはリードフレーム、１２：端部、１３：底部、１
５：流量センサー、１６：凹部、１７：温度補償用サー
ミスタ、１９：流量検出用抵抗、２１：抵抗、２２：密
封空間、２３：筒状部、２４：エポキシ樹脂、２５：温
度測定用サーミスタ、２６：接着剤、２７，２９，３
１：貫通穴、２８：凸部、３０：楔形部分、３３：配
線、３４：結合する部分、３５：端子、３７：貫通穴、
３９：密封された空間、４１：樹脂、４３：シリコン樹
脂、４５：有機接着剤、４７：空間、４９：流量計、５
１：管、５２：ネジ、５３：流体、５５：貫通穴、５
７：ブリッジ回路、５９：側壁、６０，６０´：凸部、
６１，６１´：平坦部。
Claims (3)
- 【請求項１】 底部の外側が所定の管内を流れる流体に
接するように前記管に取り付けられるキャップ部材、前
記キャップ部材の底部内側に配置した流量センサー、流
量センサーと外部とを接続するための配線基板、前記キ
ャップ部材を閉塞するケース部材、ならびに、前記配線
基板と外部とを接続するリード線を備え、前記流量セン
サーは前記キャップ部材底部を介して前記流体により熱
が奪われることによる温度変化に応じて抵抗値が変化す
ることにより前記流量に応じた流量出力を生成するため
の流量検出用抵抗を有する傍熱型または自己発熱型のも
のであり、前記キャップ部材底部に内側に向けて凸部を
設け、該凸部に前記流量センサーを固定したものである
ことを特徴とする流量計。 - 【請求項２】 前記キャップ部材の底部内側に配置した
温度補償用サーミスタを備え、前記温度補償用サーミス
タは前記流体の温度に応じた前記流量出力の変動を補償
するように前記流量検出用抵抗に直列または並列に接続
された、薄膜または厚膜製のものであることを特徴とす
る請求項１記載の流量計。 - 【請求項３】前記キャップ部材底部に内側に向けて凸部
を設け、該凸部に半田付けで前記流量センサーを固定し
たものであることを特徴とする請求項１記載の流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9362521A JPH11173885A (ja) | 1997-12-15 | 1997-12-15 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9362521A JPH11173885A (ja) | 1997-12-15 | 1997-12-15 | 流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11173885A true JPH11173885A (ja) | 1999-07-02 |
Family
ID=18477067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9362521A Pending JPH11173885A (ja) | 1997-12-15 | 1997-12-15 | 流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11173885A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017228798A (ja) * | 2017-09-11 | 2017-12-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
| US10345131B2 (en) | 2011-12-07 | 2019-07-09 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flow meter |
-
1997
- 1997-12-15 JP JP9362521A patent/JPH11173885A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10345131B2 (en) | 2011-12-07 | 2019-07-09 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flow meter |
| JP2017228798A (ja) * | 2017-09-11 | 2017-12-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
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