JP2013120103A - 熱式流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被計測流体を採り込む副通路と、前記副通路内の被計測流体の流量を計測するセンサ素子と、被計測流体の温度を検出する温度検出素子と、前記センサ素子の加熱温度を制御する駆動回路と、ノイズから前記駆動回路を保護する保護回路と、を備え、前記センサ素子の基板に空洞部が形成され、前記空洞部上の薄膜部には電気絶縁膜を介して発熱抵抗体が形成されており、前記薄膜部の温度分布から流量を検出する熱式流量計において、前記センサ素子と前記駆動回路は、金属のリードフレームに実装され、前記センサ素子および前記駆動回路および前記リードフレームは、全周を熱硬化性樹脂で封止することによりチップパッケージされ、少なくとも駆動回路を保護するためのチップ部品あるいは空気温度検出素子のどちらか一方を、前記チップパッケージの内部に混載した。
【選択図】 図1
Description
2 センサ素子
3 駆動回路
4 チップコンデンサ(保護回路)
5 チップサーミスタ(空気温度検出素子)
6 リードフレーム
7a 接着剤
7b 導電性接着剤
8a、8b 金線ワイヤー
9 熱硬化性樹脂(封止樹脂)
10 空洞部
11 薄膜部(流量検出部)
12 入出力端子
13 通路
14 出口部
15 筐体
16 吸気管路
17 副通路
18 回路室
19 境界部
20 コネクタ
21 コネクタ端子
Claims (10)
- 被計測流体を採り込む副通路と、前記副通路内の被計測流体の流量を計測するセンサ素子と、被計測流体の温度を検出する温度検出素子と、前記センサ素子の加熱温度を制御する駆動回路と、ノイズから前記駆動回路を保護する保護回路と、を備え、前記センサ素子の基板に空洞部が形成され、前記空洞部上の薄膜部には電気絶縁膜を介して発熱抵抗体が形成されており、前記薄膜部の温度分布から流量を検出する熱式流量計において、
前記センサ素子と前記駆動回路は、金属のリードフレームに実装され、
前記センサ素子および前記駆動回路および前記リードフレームは、全周を熱硬化性樹脂で封止することによりチップパッケージされ、
少なくとも駆動回路を保護するためのチップ部品あるいは空気温度検出素子のどちらか一方が、前記チップパッケージの内部に混載されていることを特徴とする熱式流量計。 - 前記薄膜部は、前記熱硬化性樹脂から部分的に露出していることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記チップパッケージに、前記空洞部と前記熱硬化性樹脂の外部とを連通する連通機構を設けたことを特徴とする請求項1あるいは2に記載の熱式流量計。
- 前記センサ素子と前記駆動回路と前記空洞部が外部と連通する孔とを、同一直線方向に配置したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記センサ素子と前記空洞部が外部と連通する孔との間に前記駆動回路を配置したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記空気温度検出素子が前記チップパッケージの内部に混載され、前記センサ素子と前記空気温度検出素子を異なる流路に配置したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記チップパッケージの形状は、前記温度検出素子を配置した部分のみ突出した形状であり、かつ、前記被計測流体の流れ上流方向に前記温度検出素子を配置したことを特徴とする請求項6に記載の熱式流量計。
- 前記チップパッケージから前記リードフレームの一部が突出しており、前記突出方向とは反対の位置に前記温度検出素子を配置したことを特徴とする請求項6に記載の熱式流量計。
- 前記センサ素子と前記駆動回路のチップ高さが異なることを特徴とする請求項5に記載の熱式流量計。
- 前記駆動回路のチップ高さは、前記センサ素子のチップ高さより低いことを特徴とする請求項9に記載の熱式流量計。
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