JP2005098795A - メンブレンを有するセンサ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板10と、基板10の内部に形成された空洞部20と、基板10の少なくとも一面10a側において空洞部20に対応した部位に形成されたメンブレン30aとを備え、基板10の端面10cには、空洞部20と空洞部20の外部とを連通する細孔40が形成されており、細孔40を空気が通過する際に所定の圧力損失が発生するようになっている。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るメンブレンを有するセンサ装置としてのエアフローセンサS1の概略平面構成を示す図であり、図2は、図1中のA−A線に沿った本センサS1の概略断面構成を示す図である。
図6は、本発明の第2実施形態に係るメンブレンを有するセンサ装置としてのエアフローセンサの製造方法を示す概略断面図である。
なお、本発明は上記エアフローセンサに限定されるものではなく、基板の一面側に開口部を有し当該一面側から基板の他面側へ向かって凹んだ空洞部と、基板の他面側に位置する空洞部の底部に形成されたメンブレンとを備えるセンサ装置であれば、適用することができる。
10c、500c…基板の他面、20…空洞部、30a…メンブレン、
40…細孔、200…半導体ウェハ。
Claims (4)
- 基板(10、500)と、
前記基板(10、500)の内部に形成された空洞部(20)と、
前記基板(10、500)の少なくとも一面(10a、500a)側において前記空洞部(20)に対応した部位に形成されたメンブレン(30a)とを備え、
前記基板(10、500)の端面(10c、500c)には、前記空洞部(20)と前記空洞部(20)の外部とを連通する細孔(40)が形成されており、
前記細孔(40)を空気が通過する際に所定の圧力損失が発生するようになっていることを特徴とするメンブレンを有するセンサ装置。 - 前記細孔(40)の孔径は、前記メンブレン(30a)の面積よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のメンブレンを有するセンサ装置。
- 半導体ウェハ(200)の内部に、空洞部(20)、前記空洞部(20)に連通する細孔(40)を形成するとともに、
前記半導体ウェハ(200)の少なくとも一面側において前記空洞部(20)に対応した部位にメンブレン(30a)を形成した後、
前記半導体ウェハ(200)をチップ単位にカットするときに、カットされたチップの端面から前記細孔(40)が露出するように、前記カットを行うことを特徴とするメンブレンを有するセンサ装置の製造方法。 - 前記空洞部(20)と前記細孔(40)とを同時に形成することを特徴とする請求項3に記載のメンブレンを有するセンサ装置の製造方法。
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