JP2012052975A - 熱式空気流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の熱式空気流量センサは、検出素子50に形成された空洞部200を、検出素子50の駆動回路部品401が収納された回路室400、或いは吸気ダクトの外部700に連通させる。これにより、空洞部200の圧力が外部の圧力と平衡する。また、回路室400は、検出素子50の検出部が配置される検出室(測定対象である空気が流れる通路室300)から離隔されて設けられるので、通路室300を流れる空気が空洞部200の内側に流入して流量出力特性に影響するのを抑制することができる。
【選択図】 図1
Description
11 上流開口部
12 下流開口部
50 検出素子
55 ダイアフラム
60 LTCC基板
61 キャビティ
70 樹脂部材
80 Auワイヤ
100 検出素子の上面
150 接着剤
200 検出素子の空洞部
300 通路室
350 サブ通路室
400 回路室
401 検出素子の駆動回路部品(抵抗器やコンデンサなど)
450 リードフレーム
600 空洞部と回路室とを跨ぐ換気孔
601 検出素子裏面スリット
650 回路室と吸気ダクト外部とを跨ぐ換気孔
700 吸気ダクト外部
701 吸気ダクト
702 吸気ダクト内部
Claims (9)
- 空気流量を検出する検出素子の一部に空洞部を有する熱式空気流量センサにおいて、
空洞部がこの空洞部とは逆面に位置する検出室に直接連通しないように、検出素子がセンサ構造部材に固定接着されており、かつ、空洞部を、検出素子の駆動回路が実装されている回路室、あるいは吸気ダクト外部に連通させる連通通路を設けたことを特徴とする熱式空気流量センサ。 - 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、空洞部を回路室に連通させる第1の連通通路と、回路室を吸気ダクト外部に連通させる第2の連通通路とを設けたことを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、検出素子は矩形型素子であって、空洞部と検出室とを完全に遮断するように、矩形型素子の4辺を全辺接着したことを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、検出素子が低温焼成セラミック積層基板あるいは、プリント基板、あるいは金属基板に実装されており、基板の裏面全面がセンサ構造部材に接着されており、前記連通通路が前記基板の一部に設けられた貫通孔とセンサ構造部材の一部に設けられたスリットとの組み合わせによって構成されていることを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、前記連通通路が検出素子を実装する基板の内部に形成されていることを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、検出素子が検出室と回路室とに跨るように配置され、空洞部と検出室とを完全に遮断するように検出素子が接着されており、かつ、検出素子の空気流に対して上流側に位置する辺、空気流に対して下流に位置する辺、又は回路室内に位置する辺のうち少なくとも1辺の一部に接着剤を塗布しない空間領域が存在し、前記空間領域が空洞部と回路室、あるいは吸気ダクト外部とを連通する連通通路の一部となっていることを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、矩形形状の検出素子が検出室と回路室とに跨るように配置され、空洞部と検出室とを完全に遮断するように矩形形状の検出素子の4辺全辺が接着されており、かつ、検出素子の一部に空洞部と回路室内に位置する辺とに跨るスリットが形成されていることを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 請求項1に記載の熱式空気流量センサにおいて、電子部品を支持しており、かつ電気的配線の役割を果たしているリードフレームに検出素子が電気的に接続されており、かつ、検出素子およびリードフレームが樹脂部材でパッケージされており、前記連通通路が前記樹脂部材に形成されていることを特徴とする熱式空気流量センサ。
- 検出素子の一部に空洞部を有する熱式空気流量センサにおいて、空洞部が検出素子の上面にダクト内を流れる空気を誘導する通路室とは直接連通しないように検出素子の4辺を全辺接着することにより検出素子が接着固定されており、かつ、空洞部を前記通路室とは別の経路を持つサブ通路室に連通させる連通通路を設けたことを特徴とする熱式空気流量センサ。
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