JP6101619B2 - 熱式空気流量計 - Google Patents
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- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 22
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Description
2…換気プレート
3…LSI
4…センサチップ
5…接着テープ
6…接着テープ
7…接着テープ
8…金線
9…金線
10…センサアセンブリ
11…筐体
12…副通路
13…空気通路
14…保持部
15…下金型
16…上金型
17…出口開口
18…連通部
20…保持部
21…保持部
24…第1樹脂
26…空気
27…ダイアフラム部
28…空洞部
Claims (3)
- 被計測流体の一部を取り込む副通路と、半導体基板に形成された空洞部と前記空洞部を覆うように形成された薄膜部からなるダイアフラムとを有し前記副通路に配置され前記被計測流体の流量を計測するセンサチップと、前記センサチップにより検出した流体流量を電気信号に変換する回路部と、前記回路部と電気的に接続され外部に信号を出力するコネクタを有するコネクタ部と、前記センサチップ及び前記回路部を支持する筐体と、を備える熱式空気流量計において、
前記センサチップが実装され、前記空洞部を連通する空気通路が複数形成された換気用のプレートを備え、
前記センサチップ及び前記プレートの表面は、モールドパッケージとして、前記センサチップのダイアフラム及び前記プレートの一部が露出するように樹脂でモールドされ、
前記空洞部と前記モールドパッケージの外部とが前記複数の空気通路で連通され、
前記複数の空気通路は、前記モールドパッケージの外部を連結する出口開口部で合流し、
前記出口開口部は、前記副通路外に備えられることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
前記空洞部は、前記空気通路及び前記出口開口部を介し前記副通路と連通する通路を備えたことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1または請求項2のいずれかに記載の熱式空気流量計において、
前記換気プレートは、ガラスもしくは樹脂で形成されることを特徴とする熱式空気流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013233620A JP6101619B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 熱式空気流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013233620A JP6101619B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 熱式空気流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015094647A JP2015094647A (ja) | 2015-05-18 |
JP6101619B2 true JP6101619B2 (ja) | 2017-03-22 |
Family
ID=53197140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013233620A Active JP6101619B2 (ja) | 2013-11-12 | 2013-11-12 | 熱式空気流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6101619B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017020982A (ja) * | 2015-07-15 | 2017-01-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量計 |
JP6551080B2 (ja) * | 2015-09-04 | 2019-07-31 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
JP7127441B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2022-08-30 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置及び流量計測装置 |
JP2020079711A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-05-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 樹脂パッケージ並びにそれを備える流量測定装置 |
WO2020110742A1 (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7211873B2 (en) * | 2003-09-24 | 2007-05-01 | Denso Corporation | Sensor device having thin membrane and method of manufacturing the same |
JP4609019B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-01-12 | 株式会社デンソー | 熱式流量センサ及びその製造方法 |
JP4830391B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-12-07 | 株式会社デンソー | センサ装置の製造方法及びセンサ装置 |
JP2008020193A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 熱式流量センサ |
JP5279667B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2013-09-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量センサ |
JP5256264B2 (ja) * | 2010-09-03 | 2013-08-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式空気流量センサ |
-
2013
- 2013-11-12 JP JP2013233620A patent/JP6101619B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015094647A (ja) | 2015-05-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
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