JP2020079711A - 樹脂パッケージ並びにそれを備える流量測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、第1実施例による作用効果について説明する。図4に示すセンサアセンブリ10の製造工程において、ダイアフラム部27の部分露出構造形成のため、センサチップ4を上金型16で押す。これにより、センサチップ4が変形し、ダイアフラム部27に応力が発生するため、計測精度が低下するおそれがある。センサチップ4が上金型16から受ける押し荷重は、センサアセンブリ10を構成する部品の厚さばらつきの総和が大きいほど大きくなる。本実施例では、連通通路13をリードフレーム1と保護テープ2で構成しており、保護テープ2の厚さを小さくできる。そのため、保護テープ2の厚さばらつきを低減することができ、センサチップ4が上金型16から受ける押し荷重を低減することが可能となる。保護テープ2の厚さは、少なくともリードフレーム1の厚さの半分以下であることが望ましい。さらに、センサアセンブリ10の厚さを小さくすることができるため、空気流量の圧力損失を低減でき、さらなる測定精度の向上が可能となる。
また、下金型15で押さえつけることで形成される樹脂パッケージの露出部では、保護テープ2によりリードフレーム1が覆われるため、リードフレーム1が測定媒体に曝されることを抑制でき、リードフレーム1の耐食性を向上することが可能となる。言い換えると、保護テープ2の一部が露出する露出部を樹脂パッケージは備えている。また、保護テープ2の一部が露出するように樹脂パッケージに形成される孔の投影領域内に、連通通路を構成するためにリードフレーム1に設けられた孔が配置されている。
図9は連通通路13の幅wと保護テープ2の厚さtの比であるw/tと保護テープに発生する応力σの関係である。図9より、(w/t)2<2σB/3を満たすことで、保護テープ2の破れを防止可能となる。例えば、保護テープ2に材料強度20MPaのポリイミドテープを用いる場合、(w/t)2<40/3を満たすことで、空気通路の閉塞を防止可能となり、計測精度の低下を抑制できる。
2…保護テープ
3…LSI
4…センサチップ
6…接着テープ
7…接着テープ
8…金線
9…金線
10…センサアセンブリ
11…筐体
12…副通路
13…空気通路
14…保持部
15…下金型
16…上金型
17…出口開口
20…保持部
21…保持部
24…第1樹脂
26…空気
27…ダイアフラム部
28…空洞部
30…空気
Claims (10)
- リードフレームと、
前記リードフレームの一面側に実装される流量検出素子と、
前記リードフレームの他面側に設けられた保護テープと、
前記流量検出素子の検出部と前記保護テープの一部を少なくとも露出する様に封止する封止樹脂と、を備える樹脂パッケージ - 前記リードフレームの他面側に形成された溝と、前記保護テープと、前記リードフレームに形成された孔とを用いて形成される連通通路を備える請求項1に記載の樹脂パッケージ
- 前記溝の幅wと前記保護テープの厚さtの比w/tと、前記保護テープの材料強度σBが、(w/t)2<2σB/3なる関係にある請求項2に記載の樹脂パッケージ
- 前記保護テープの厚さが、前記リードフレームの厚さの1/2以下である請求項3に記載の樹脂パッケージ
- 前記溝の幅wと前記保護テープの厚さtの比w/tと、前記保護テープのヤング率Eと前記溝の深さhが、(w/t)3<16Eh/3wなる関係にある請求項3に記載の樹脂パッケージ
- 前記封止樹脂に形成される前記保護テープが部分的に露出する穴部は、その投影領域内に前記リードフレームに形成される孔が含まれる位置に形成され、
リードフレームに形成される孔の径は、前記保護テープの露出部の穴径より小さく、前記溝の幅よりも大きい請求項4または5に記載の樹脂パッケージ - 前記保護テープは、ポリイミドである請求項6に記載の樹脂パッケージ
- 前記保護テープの材料強度が20MPa以上であり、(w/t)2<40/3なる関係を有する請求項6に記載の樹脂パッケージ
- 前記保護テープのヤング率が1.8GPa以上であり、(w/t)3<9600h/wなる関係を有する請求項6に記載の樹脂パッケージ
- 請求項1乃至9の何れかに記載の樹脂パッケージを備える流量測定装置
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