JP2008026278A - 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ダイヤフラムのクラック発生を抑制でき、測定精度も向上可能な熱式ガス流量センサを実現する。
【解決手段】平板基板32に保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、強度補強保護膜37、引き出し配線部34、薄肉部2を形成する。薄肉部2の表面には発熱抵抗体3と温度検出抵抗体4、14が形成され、保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30cで被覆され、最表面には強度補強保護膜37が形成される。発熱抵抗体部3と温度検出部4、14からなる抵抗体が存在しても、保護膜30a、31aの表面には段差がない構造となっている。発熱抵抗体3および温度検出抵抗体4、14は窒化膜により完全に覆われ、外部からの影響に対する、例えば水素や水などが原因による抵抗値の変動が少なくなる。
【選択図】図3
【解決手段】平板基板32に保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、強度補強保護膜37、引き出し配線部34、薄肉部2を形成する。薄肉部2の表面には発熱抵抗体3と温度検出抵抗体4、14が形成され、保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30cで被覆され、最表面には強度補強保護膜37が形成される。発熱抵抗体部3と温度検出部4、14からなる抵抗体が存在しても、保護膜30a、31aの表面には段差がない構造となっている。発熱抵抗体3および温度検出抵抗体4、14は窒化膜により完全に覆われ、外部からの影響に対する、例えば水素や水などが原因による抵抗値の変動が少なくなる。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体薄膜により発熱抵抗体を構成した熱式ガス流量センサに関する。
自動車などの内燃機関の電子制御燃料噴射装置に設けられ吸入空気量の流量計や、半導体製造に用いる各種ガスおよび燃料電池に用いる水素/酸素の流量計として、熱式のガス流量計が質量ガス量を直接検知できることから主流である。
この中で特に、半導体マイクロマシニング技術により製造されたガス流量計が、コストが低減でき且つ低電力で駆動することができることから注目されてきた。
このような従来の半導体基板を用いたガス流量計としては、例えば、特許文献1や特許文献2に記載されているように、発熱抵抗体として耐熱性および材料コストの利点から、従来使用されていた白金に置き換えて多結晶ケイ素(ポリシリコン)を用いたものが知られている。
しかしながら、従来の技術にあっては、発熱抵抗体等を絶縁する保護膜を、発熱抵抗体等の上部に形成した場合、発熱抵抗体等が存在する部分と、存在しない部分との間に段差が生じてしまう。
段差が発生していると、その部分にクラックが発生し、ダイヤフラムの破壊を招く恐れがある。
また、段差が生じている場合であって、測定ガス中にカーボン等のダストが存在するときは、このダストが段差部分に付着し、堆積し易くなる。ダストが段差部に堆積すると、特定部分のみダストが堆積することなるので、測定すべきガスの流れが初期状態と変化し、ガス流量測定精度が低下する。
また、段差が生じている場合であって、測定ガス中にカーボン等のダストが存在するときは、このダストが段差部分に付着し、堆積し易くなる。ダストが段差部に堆積すると、特定部分のみダストが堆積することなるので、測定すべきガスの流れが初期状態と変化し、ガス流量測定精度が低下する。
本発明の目的は、ダイヤフラムのクラック発生を抑制でき、測定精度も向上可能な熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内熱機関の制御装置を実現することである。
本発明の熱式ガス流量センサは、基板上に電気絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを備え、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体の保護膜の最表面は平坦面となっている。
また、本発明の内燃機関の制御装置は、内燃機関に供給する空気流量を計測する熱式空気流量センサと、この熱式空気流量センサにより計測された流量に基づいて、空気流量を制御する手段とを備え、上記熱式空気流量センサは、基板上に電気絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを有し、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体の保護膜の最表面は平坦面となっている。
また、熱式ガス流量センサの製造方法は、基板上に絶縁膜と、この絶縁膜上に第1の保護膜を形成する工程と、上記第1の保護膜に、発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を配置する溝を形成する工程と、上記溝を含む上記第1の保護膜上に第2の保護膜を形成する工程と、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を上記第2の保護膜が形成された上記溝内に形成した後、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体の上表面と上記第2の保護膜の上表面とを平坦化する工程と、上記発熱抵抗体、上記温度検出抵抗体及び上記第2の保護膜を、さらに上記第2の保護膜で覆う工程と、上記第2の保護膜上に第3の保護を形成する工程とを備える。
ダイヤフラムのクラック発生を抑制でき、測定精度も向上可能な熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内熱機関の制御装置を実現するこができる。
また、ダイヤフラムのクラック発生を抑制でき、測定精度も向上可能な熱式ガス流量センサの製造方法を実現することができる。
以下、本発明の一実施形態について、添付図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明を熱式空気流量センサに適用した場合の例である。
図1は、本発明の一実施形態が適用される熱式空気流量センサの検出素子1の平面図であり、図2は図1のA−A'線に沿った断面図、図3は図1のB−B'線に沿った断面図である。
図1、図2、図3において、検出素子1はシリコンやセラミック等の熱伝導率の良い材料で構成される平板基板32に、保護膜30a(第3の保護膜)、30b(第1の保護膜)、31a(第2の保護膜)、電気絶縁膜31b、30c、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、コンタクト部33、強度補強保護膜37、引き出し配線部34を形成する。
その後、平板基板32を裏面からアルカリエッチ、例えばKOHやTMAH溶液などでエッチングすることで絶縁膜30cの下部に空間35を形成し、平板基板32に薄肉部(ダイヤフラム)2を形成する。
薄肉部2の表面には測定空気流量の温度と所定の温度差に加熱される発熱体としての発熱抵抗体3と、発熱抵抗体3の両側に温度検出手段としての温度検出抵抗体4、14が形成されている。なお、発熱抵抗体3はポリシリコン薄膜、白金薄膜、モリブデン膜などでつくられた抵抗体で、これらの抵抗体の抵抗値が温度により変化することを利用して、温度検出抵抗体4、14が配置された場所の温度を検出する。
発熱抵抗体3及び温度検出抵抗体4、14から信号線を引き出せるように配線部18〜23と、これら配線部18〜23に接続されるパッド8〜13が形成されている。これらの発熱抵抗体部3及び温度検出抵抗体4、14は、配線部18〜23を解してコンタクト部24〜29に接続される。そして、パッド8〜13を用いて外部に信号が取り出せるようにしている。発熱抵抗体3及び温度検出抵抗体4、14は、保護膜30a、30b、31a、絶縁膜31b、30cで覆われ、最表面には強度補強保護膜37が形成されている。
ここで、発熱抵抗体3及び温度検出抵抗体4、14は、窒化膜(又は酸窒化膜)31aにより、被覆された状態となっている。
図3に示すように、本発明の一実施形態では、発熱抵抗体部3と温度検出部4、14からなる抵抗体が存在しても、保護膜30a、31aの表面には、段差がない構造となっている。また、発熱抵抗体3および温度検出抵抗体4、14は窒化膜31aにより被覆されることにより、外部からの影響に対する、例えば水素や水などが原因による抵抗値の変動が少なくなる。
つまり、本発明の一実施形態によれば、発熱抵抗体3、温度検出部4、14を絶縁する保護膜を形成した場合、発熱抵抗体等が存在する部分と、存在しない部分との間には段差が生じず、平坦な形状となっているとともに、温度検出抵抗体4、14は窒化膜31aにより被覆されているため、段差によるクラックの発生、ダストの堆積が抑制され、抵抗値の変動も抑制することができる。
従来の技術においては、発熱抵抗体3および温度検出抵抗体4、14はポリシリコン膜などで形成されており、加工を行った後、酸化膜や窒化膜などの保護膜を成膜するため、発熱抵抗体部の膜厚分だけがどうしても段差が生じてしまっていた。また、発熱抵抗体3および温度検出抵抗体4、14は、外部から、例えば水素や水など浸入し、それが原因で抵抗値に変動が生じていた。
そこで、本発明においては、以下に説明する製造方法により、段差の発生を防止するとともに、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、14を窒化膜31aで被覆している。なお、図4〜図9は、図3に対応する断面図である。
図4に示すように、まず、ポリシリコン膜を成膜する前の工程にて、基板32上に、絶縁膜30c、31b、保護膜30bを形成する。
次に、図5に示すように、レジスト39などで配線パターンを形成し、マスクを作成して、ドライエッチなどで、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、14を形成するための溝を形成する。
続いて、レジスト39を除去した後、図6に示すように、前の工程で形成された溝にバリア膜となる窒化膜(保護膜31a)を低圧CVD法により成膜する。そして、図7に示すように、成膜後の溝に、発熱抵抗体3、温度検出抵抗体4、14の埋め込みを行う。
この後、図8に示すように、CMP装置もしくはRIE(イオンエッチ装置)などで平坦化処理を行い、保護膜31aを露出させる。そして、図9に示すように、窒化膜31a、絶縁膜30aを成膜する。
この後、強度補強保護膜37を形成し、さらに、KOHやTMAHなどのアルカリエッチ溶液にて基板32の裏面エッチングを行いダイヤフラム部2を形成させる(図3)。
これにより、発熱抵抗体部が窒化膜で完全に覆われて、かつ空気流量計測面に対して平坦である熱式空気流量センサが製造される。
つまり、本発明の熱式ガス流量センサの製造方法によれば、ダイヤフラムのクラック発生を抑制でき、測定精度も向上可能な熱式ガス流量センサの製造方法を実現することができる。
次に、本発明の効果につき、図10、図11を参照して説明する。
図10は、本発明と異なり、保護膜に段差が発生している場合の例を示す。図10において、計測する空気にダスト(例えばカーボン)などが存在していた場合、段差部40によりカーボン38が付着、堆積する。これより、ダイヤフラム部2の破損や特性変化が生じることがある。
図10は、本発明と異なり、保護膜に段差が発生している場合の例を示す。図10において、計測する空気にダスト(例えばカーボン)などが存在していた場合、段差部40によりカーボン38が付着、堆積する。これより、ダイヤフラム部2の破損や特性変化が生じることがある。
図11は、本発明により、段差部が発生していない例である。この図11に示す例のように、段差部が無いためクラック発生が抑制され、かつ、カーボン等のダストの特定部分のみの堆積が防止される。
図12は、上述した本発明による熱式空気流量センサが適用される内燃機関制御装置の要部概略構成図である。
図12において、エアクリーナ100から吸入された吸入空気116は、熱式空気流量センサ117が配置された主管118、吸気ダクト103、スロットルボディ104及び燃料が供給されるインジェクタ(燃料噴射弁)105を備えたインテークマニホールド106を経て、エンジンシリンダ107に吸入される。そして、エンジンシリンダ107で発生したガス108は排気マニホールド109を経て外部に排出される。
熱式空気流量センサ117は、エンジンルーム内のエアクリーナー100と、スロットルボディ104との間に設置される。熱式空気流量センサ117から出力される空気流量信号、吸入空気温度信号、スロットル角度センサ111から出力されるスロットルバルブ角度信号、排気マニホールド109に設けられた酸素濃度計112から出力される酸素濃度信号、及びエンジン回転速度計113から出力されるエンジン回転速度信号等は、コントロールユニット114に送信される。
コントロールユニット114は、送信された信号を逐次演算して、最適な燃料噴射量とアイドルエアコントロールバルブ開度とを求め、その値を使ってインジェクタ105及びアイドルエアコントロールバルブ115を制御する。
本発明による熱式空気流量センサ117が適用された内燃機関の制御装置によれば、空気流量の測定精度が向上されるので、内燃機関の制御精度を向上することができる。
なお、上述した例は発明を、熱式空気流量センサに適用した場合の例であるが、空気のならず、水素、酸素等の他のガス流量を測定するセンサにも適用可能である。
また、上述した例は、ダイヤフラムに発熱抵抗体、温度検出抵抗体、保護膜等が形成される例であるが、本発明は、温度検出抵抗体等がダイヤフラム上ではなく、平板基板上に形成される例であっても、適用可能である。
1・・・検出素子、2・・・ダイヤフラム(薄肉部)、3・・・発熱抵抗体、4・・・温度検出抵抗体、5〜7・・・配線部、8〜13・・・パット部、14〜17・・・配線部、18〜23・・・電極引き出し配線、24〜29・・・コンタクト部、30a、30b、31a・・・保護膜、30c、31b・・・絶縁膜、32・・・平板基板、33・・・コンタクト部、34・・・引き出し配線部、35・・・中空部、37・・・強度補強保護膜
Claims (9)
- 基板上に電気絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを備える熱式ガス流量センサにおいて、
上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体の保護膜の最表面は平坦面となっていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。 - 請求項1記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記保護膜は、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を被覆する窒化膜又は酸窒化膜を有することを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項2記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記保護膜は、上記窒化膜又は酸窒化膜で被覆された上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体が配置される溝を有することを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 請求項3記載の熱式ガス流量センサにおいて、上記基板には、ダイヤフラムが形成され、このダイヤフラム上に上記電気絶縁膜、発熱抵抗体及び温度検出抵抗体、保護膜が形成されていることを特徴とする熱式ガス流量センサ。
- 内燃機関に供給する空気流量を計測する熱式空気流量センサと、この熱式空気流量センサにより計測された流量に基づいて、空気流量を制御する手段とを備える内燃機関の制御装置において、
上記熱式空気流量センサは、基板上に電気絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを有し、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体の保護膜の最表面は平坦面となっていることを特徴とする内燃機関の制御装置。 - 請求項5記載の内燃機関の制御装置において、上記保護膜は、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を被覆する窒化膜又は酸窒化膜を有することを特徴とする内燃機関の制御装置。
- 基板上に電気絶縁膜を介して配置される発熱抵抗体及び温度検出抵抗体と、これら発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を保護する保護膜とを備える熱式ガス流量センサの製造方法において、
上記基板上に絶縁膜と、この絶縁膜上に第1の保護膜を形成する工程と、
上記第1の保護膜に、発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を配置する溝を形成する工程と、
上記溝を含む上記第1の保護膜上に第2の保護膜を形成する工程と、
上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体を上記第2の保護膜が形成された上記溝内に形成した後、上記発熱抵抗体及び温度検出抵抗体の上表面と上記第2の保護膜の上表面とを平坦化する工程と、
上記発熱抵抗体、上記温度検出抵抗体及び上記第2の保護膜を、さらに上記第2の保護膜で覆う工程と、
上記第2の保護膜上に第3の保護を形成する工程と、
を備えることを特徴とする熱式ガス流量センサの製造方法。 - 請求項7記載の熱式ガス流量センサの製造方法において、上記第2の保護膜は、窒化膜又は酸窒化膜であることを特徴とする熱式ガス流量センサの製造方法。
- 請求項8記載の熱式ガス流量センサの製造方法において、上記基板の上記電気絶縁膜が形成された面と反対側の面にダイヤフラムを形成する工程を備えることを特徴とする熱式ガス流量センサの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006202420A JP2008026278A (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 |
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JP2006202420A JP2008026278A (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 |
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JP2008026278A true JP2008026278A (ja) | 2008-02-07 |
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JP2006202420A Pending JP2008026278A (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009098875A1 (ja) | 2008-02-06 | 2009-08-13 | Panasonic Corporation | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2020079711A (ja) * | 2018-11-12 | 2020-05-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 樹脂パッケージ並びにそれを備える流量測定装置 |
-
2006
- 2006-07-25 JP JP2006202420A patent/JP2008026278A/ja active Pending
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